JPH0289829U - - Google Patents
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- JPH0289829U JPH0289829U JP16999588U JP16999588U JPH0289829U JP H0289829 U JPH0289829 U JP H0289829U JP 16999588 U JP16999588 U JP 16999588U JP 16999588 U JP16999588 U JP 16999588U JP H0289829 U JPH0289829 U JP H0289829U
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- JP
- Japan
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- processing
- processing tank
- filter
- semiconductor device
- manufacturing apparatus
- Prior art date
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- Pending
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
第１図及び第２図は本考案の第１及び第２の実
施例の断面図、第３図は従来例の断面図である。 １……処理槽、２，３……供給管、４……循環
ポンプ、５……吸入部、６……フイルター、７…
…吐出部、８……混合液、９……超音波混合室、
１０……超音波発振器、１１……超音波振動子、
１２……超音波、１３……過酸化水素水補充用供
給管、１４……流量計。
施例の断面図、第３図は従来例の断面図である。 １……処理槽、２，３……供給管、４……循環
ポンプ、５……吸入部、６……フイルター、７…
…吐出部、８……混合液、９……超音波混合室、
１０……超音波発振器、１１……超音波振動子、
１２……超音波、１３……過酸化水素水補充用供
給管、１４……流量計。
Claims (1)
- 複数の薬液からなる処理液を入れる処理槽と、
前記処理槽の下部より処理液を吸入しフイルター
を通して処理槽の上部内に吐出させる循環ポンプ
とを有する半導体装置の製造装置において、吸入
した処理液を混合するための超音波を利用した混
合室を前記フイルターに接続したことを特徴とす
る半導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16999588U JPH0289829U (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16999588U JPH0289829U (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0289829U true JPH0289829U (ja) | 1990-07-17 |
Family
ID=31460552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16999588U Pending JPH0289829U (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0289829U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012519392A (ja) * | 2009-03-13 | 2012-08-23 | エーエヌディ コーポレーション | 高圧処理器及び高圧シーリング方法 |
-
1988
- 1988-12-28 JP JP16999588U patent/JPH0289829U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012519392A (ja) * | 2009-03-13 | 2012-08-23 | エーエヌディ コーポレーション | 高圧処理器及び高圧シーリング方法 |