JPH0289863U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0289863U JPH0289863U JP17084788U JP17084788U JPH0289863U JP H0289863 U JPH0289863 U JP H0289863U JP 17084788 U JP17084788 U JP 17084788U JP 17084788 U JP17084788 U JP 17084788U JP H0289863 U JPH0289863 U JP H0289863U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- pair
- gas container
- discharge
- gas
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例の縦断面図、第
２図は第１図のＡ−Ａ′線の概略断面図、第３図
はオプテイカルパスカバーの構造を示す図で、ａ
は正面図、ｂはそのＢ−Ｂ′線断面図、第４図は
本考案の第２の実施例の縦断面図である。 記号の説明：１……主放電電極、２……レーザ
ガス容器、３……光学部品、４……オプテイカル
・パス・カバー、５……ダストフイルタ、６……
循環フアン、７……端子。
２図は第１図のＡ−Ａ′線の概略断面図、第３図
はオプテイカルパスカバーの構造を示す図で、ａ
は正面図、ｂはそのＢ−Ｂ′線断面図、第４図は
本考案の第２の実施例の縦断面図である。 記号の説明：１……主放電電極、２……レーザ
ガス容器、３……光学部品、４……オプテイカル
・パス・カバー、５……ダストフイルタ、６……
循環フアン、７……端子。
Claims (1)
- レーザガス容器内で対の光学部品を通して取り
出されるレーザ光の進行方向と放電励起方向とガ
スの循環方向の各軸が互いに直角に交わる三軸直
交型の放電励起エキシマレーザ発振器において、
該レーザガス容器内で前記レーザ光の前記光学部
品から内方の一部を側方から覆うように設けられ
且つ前記循環するガスが当たる側面にダストフイ
ルタを具えた穴を有する対のオプテイカルパスカ
バーを設けたことを特徴とするエキシマレーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17084788U JPH0289863U (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17084788U JPH0289863U (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0289863U true JPH0289863U (ja) | 1990-07-17 |
Family
ID=31462147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17084788U Pending JPH0289863U (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0289863U (ja) |
-
1988
- 1988-12-28 JP JP17084788U patent/JPH0289863U/ja active Pending
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