JPH0290666U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0290666U JPH0290666U JP16813588U JP16813588U JPH0290666U JP H0290666 U JPH0290666 U JP H0290666U JP 16813588 U JP16813588 U JP 16813588U JP 16813588 U JP16813588 U JP 16813588U JP H0290666 U JPH0290666 U JP H0290666U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- fitting opening
- fitting
- movable claw
- engaged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ないし第３図はこの考案の一実施例を示
し、第１図はカートとホルダとの分解状態の断面
図、第２図はカートの背面図、第３図は要部の断
面図、第４図は従来の基板保持装置の背面図、第
５図は同じく分解状態の断面図である。 １５……カート、１６……ホルダ、１７……嵌
合口、１８……受部、２０……可動爪、２３……
係合凸部（係合部）、２９……嵌合凹部、３０…
…係合凹部（被係合部）。
し、第１図はカートとホルダとの分解状態の断面
図、第２図はカートの背面図、第３図は要部の断
面図、第４図は従来の基板保持装置の背面図、第
５図は同じく分解状態の断面図である。 １５……カート、１６……ホルダ、１７……嵌
合口、１８……受部、２０……可動爪、２３……
係合凸部（係合部）、２９……嵌合凹部、３０…
…係合凹部（被係合部）。
Claims (1)
- カートに形成された嵌合口に、基板を保持した
ホルダを嵌合装着して前記カートにより前記基板
を成膜装置内に搬送するものにおいて、前記カー
トの嵌合口の内周に受部を形成するとともに上部
に、回動自在に垂下しかつ自重で先端部が嵌合口
の内側に突出する可動爪を設け、さらに嵌合口の
内周下端面に係合部を形成し、前記ホルダには下
端面に前記係合部に係合自在な被係合部を、上端
面に前記可動爪の介入が可能な嵌合口部をそれぞ
れ形成し、前記係合部に前記被係合部を係合させ
ながらホルダを嵌合口内に押込む動作で前記可動
爪が一方向に回動し、該ホルダが前記受部に合致
するのに伴い前記可動爪が自重で逆方向に回動し
てその先端部が前記嵌合凹部内に嵌合してホルダ
が嵌合口内に保持されることを特徴とした成膜装
置における基板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16813588U JPH0290666U (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16813588U JPH0290666U (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290666U true JPH0290666U (ja) | 1990-07-18 |
Family
ID=31457053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16813588U Pending JPH0290666U (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0290666U (ja) |
-
1988
- 1988-12-26 JP JP16813588U patent/JPH0290666U/ja active Pending
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