JPH0290823U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示し、第１図はダ
スト除去装置の断面図、第２図はキヤリアおよび
その上蓋と下蓋の正面図、第３図はキヤリアの平
面図、第４図はキヤリアの断面図である。 １……ベース、３……吸気口、５……吸気機構
、６……送気管、７……噴出ノズル、８……エア
ーシヤワーユニツト、１５……キヤリア。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 水平に配置したベースと、このベースに形成さ
   れた吸気口と、前記ベースの下方側に配置して前
   記吸気口に接続された吸気機構と、前記吸気口の
   近傍に位置して前記ベースの上面から起立しかつ
   上端部に噴出ノズルを備えた送気管と、この送気
   管の上方に設けられ前記ベースの上面に向けて空
   気を送風するエアーシヤワーユニツトと、上下端
   に開口部を有する基板移送用のキヤリアとを具備
   し、前記キヤリア内に基板を起立状態に収納し、
   このキヤリアを前記ベースの上に前記吸気口と対
   向しかつ内部に前記送気管を通して載置し、この
   状態で前記送気管の噴出ノズルから基板に向けて
   清掃用の気体を噴出するとともに、前記エアーシ
   ヤワーユニツトにより前記キヤリアの上端の開口
   部に向けて空気を送風し、かつ前記吸気機構によ
   りキヤリア内の空気を吸入することを特徴とする
   基板のダスト除去装置。