JPH0298990A - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
- Publication number
- JPH0298990A JPH0298990A JP25153588A JP25153588A JPH0298990A JP H0298990 A JPH0298990 A JP H0298990A JP 25153588 A JP25153588 A JP 25153588A JP 25153588 A JP25153588 A JP 25153588A JP H0298990 A JPH0298990 A JP H0298990A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser rods
- rods
- optical axis
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 title 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 17
- 230000003321 amplification Effects 0.000 abstract description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 abstract description 4
- 101001062229 Homo sapiens Protein RD3-like Proteins 0.000 description 3
- 102100029280 Protein RD3-like Human genes 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/025—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
- H01S3/093—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp focusing or directing the excitation energy into the active medium
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、高出力型の固体レーザｌｉｔに関し、より詳
細には調整が容易で消ｇｔ電力の少ない小型の装置構造
に関する。
細には調整が容易で消ｇｔ電力の少ない小型の装置構造
に関する。
［従来の技術］
一般にＹＡＧレーザやガラスレーザ等の固体レーザ装置
は、キセノンランプ等のフラッシュランプを点灯させ、
その発光エネルギをＹＡＧ口ｙＮやガラスロッドに照射
してレーザ発振を起こすようにしている。
は、キセノンランプ等のフラッシュランプを点灯させ、
その発光エネルギをＹＡＧ口ｙＮやガラスロッドに照射
してレーザ発振を起こすようにしている。
この種のレーザ装置において、簡易な仕方で出力を上げ
るには、２本の励起ランプを使用して励起エネルギを倍
増させる構造にしている。さらに高出力を得るために、
第４図に示すように励起φ発振部を何段も（この例では
３段）直列に重ねてカスケードにした構造にしている。
るには、２本の励起ランプを使用して励起エネルギを倍
増させる構造にしている。さらに高出力を得るために、
第４図に示すように励起φ発振部を何段も（この例では
３段）直列に重ねてカスケードにした構造にしている。
この図において、３本のレーザロッドＲｄ１．Ｒｄ２．
Ｒｄ３はそれぞれの光軸が一致するよう同軸上に一列に
配置される。各レーザロッドに対して、２本の励起ラン
プＬａｌ、Ｌａ２．Ｌａ３が両側に設けられるとともに
、それら励起ランプを点灯させるための電源回路Ｅ Ｓ
ｌ、Ｅ ３２．Ｅ Ｓ３が設けられる。１００は全反射
ミラー １０２は出力ミラーで、両者は光共振器を構成
する。このようなカスケード構造によれば、多段の発振
作用によってレーザ光が増強され、高いレーザ出力が得
られる。
Ｒｄ３はそれぞれの光軸が一致するよう同軸上に一列に
配置される。各レーザロッドに対して、２本の励起ラン
プＬａｌ、Ｌａ２．Ｌａ３が両側に設けられるとともに
、それら励起ランプを点灯させるための電源回路Ｅ Ｓ
ｌ、Ｅ ３２．Ｅ Ｓ３が設けられる。１００は全反射
ミラー １０２は出力ミラーで、両者は光共振器を構成
する。このようなカスケード構造によれば、多段の発振
作用によってレーザ光が増強され、高いレーザ出力が得
られる。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上述のようなカスケード構造においては
、多数のレーザロッドＲｄｌ、Ｒｄ２．・・・・を正確
に同軸上（−直線上）に並べなければならず光軸合わせ
の調整が非常に難しかった。特に、レーザロッドを１本
でも交換する度にこの難しい調整を行わなければならず
、保守が大変であった。
、多数のレーザロッドＲｄｌ、Ｒｄ２．・・・・を正確
に同軸上（−直線上）に並べなければならず光軸合わせ
の調整が非常に難しかった。特に、レーザロッドを１本
でも交換する度にこの難しい調整を行わなければならず
、保守が大変であった。
また、各段間で励起ランプの同期をとるのも難しかった
。
。
さらにまた、段数に応じた数だけ励起ランプや電源回路
を設けるため、装置が大がかりなものとなり、消費電力
も多かった。
を設けるため、装置が大がかりなものとなり、消費電力
も多かった。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、小型
で、電力消費効率が高く、光軸合わせ調整の容易な高出
力型固体レーザ装置を提供することを目的とする。
で、電力消費効率が高く、光軸合わせ調整の容易な高出
力型固体レーザ装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するために、本発明の固体レーザ装置
は、複数のレーザロッドと励起ランプを並列に交互に配
置し、それら複数のレーザロッドを光学的に直列に接続
するよう各隣り合う２つのレーザロッドの片側の端面を
光学的に結合する光反射手段を配設する構成とした。
は、複数のレーザロッドと励起ランプを並列に交互に配
置し、それら複数のレーザロッドを光学的に直列に接続
するよう各隣り合う２つのレーザロッドの片側の端面を
光学的に結合する光反射手段を配設する構成とした。
また、レーザロッドの好ましい本数として、３本以上の
奇数本とすることとした。
奇数本とすることとした。
［作用コ
複数の励起ランプが連続的もしくはパル８的に点灯する
と、それらランプの間に挟まれた各レーザロッドが発振
し、各々の両端面よりレーザ光が発生する。本発明によ
る複数のレーザロッドは光反射手段によって光学的に直
列接続されているので、レーザ光はあたかもカスケード
構造におけるように多段増幅され、高出力のレーザ光と
なって出力ミラーより出力される。
と、それらランプの間に挟まれた各レーザロッドが発振
し、各々の両端面よりレーザ光が発生する。本発明によ
る複数のレーザロッドは光反射手段によって光学的に直
列接続されているので、レーザ光はあたかもカスケード
構造におけるように多段増幅され、高出力のレーザ光と
なって出力ミラーより出力される。
本発明では、複数のレーザロッドを機構的には並列に配
置し、光学的には光反射手段によって同一の光軸上に直
列に接続することで多段増幅の高出力を得るようにして
いる。光軸合わせの調整は光反射手段の位置ないし角度
を変えることで行うが、細長いレーザロッドを一直線上
に並べるのと比べれば格段に容易な調整作業である。ま
た、各レーザロッドと並列に交互に励起ランプを配置す
ることにより、最小本数の励起ランプで全レーザロッド
の各々に両側から光を当てることが可能であり、電力消
費効率が高く、装置サイズもコンパクトにまとまる。
置し、光学的には光反射手段によって同一の光軸上に直
列に接続することで多段増幅の高出力を得るようにして
いる。光軸合わせの調整は光反射手段の位置ないし角度
を変えることで行うが、細長いレーザロッドを一直線上
に並べるのと比べれば格段に容易な調整作業である。ま
た、各レーザロッドと並列に交互に励起ランプを配置す
ることにより、最小本数の励起ランプで全レーザロッド
の各々に両側から光を当てることが可能であり、電力消
費効率が高く、装置サイズもコンパクトにまとまる。
また、レーザロッドの本数を３本、５本、７本等の奇数
本とすると、両端のレーザロッドにおける光強度分布の
中心部側への偏りを互いにキャンセルさせ、出射レーザ
光の光強度分布を光軸に関して対象形の良好なものとす
ることができる。
本とすると、両端のレーザロッドにおける光強度分布の
中心部側への偏りを互いにキャンセルさせ、出射レーザ
光の光強度分布を光軸に関して対象形の良好なものとす
ることができる。
〔実施例］
以下、第１図ないし第３図を参照して本発明の一実施例
を説明する。
を説明する。
第１図はこの実施例による固体レーザ装置の全体構成を
示す平面図、第２図は同装置のレーザロッドと励起ラン
プの配置構成を示す略断面図、第３図は励起ランプの電
気的な接続関係を示す図である。
示す平面図、第２図は同装置のレーザロッドと励起ラン
プの配置構成を示す略断面図、第３図は励起ランプの電
気的な接続関係を示す図である。
この実施例では、図示のように３本のレーザロッド（例
えばＹＡＧロッド）ＲＤＩ、ＲＤ２．ＲＤ３と４本の励
起ランプＬＡＩ、ＬＡ２．ＬＡ３．ＬＡ４が並列に交互
に配置される。第２図において、装置筐体１２の内側面
には多重（この例では６重）楕円筒形の反射鏡２８が設
けられ、楕円焦点にレーザロッドと励起ランプが交互に
配置される。′第１図において、３本のレーザロッドＲ
ＤＩ〜ＲＤ３はそれぞれ中空の管形支持体１０．１０を
介して装置筐体１２に略々水平に取り付けられている。
えばＹＡＧロッド）ＲＤＩ、ＲＤ２．ＲＤ３と４本の励
起ランプＬＡＩ、ＬＡ２．ＬＡ３．ＬＡ４が並列に交互
に配置される。第２図において、装置筐体１２の内側面
には多重（この例では６重）楕円筒形の反射鏡２８が設
けられ、楕円焦点にレーザロッドと励起ランプが交互に
配置される。′第１図において、３本のレーザロッドＲ
ＤＩ〜ＲＤ３はそれぞれ中空の管形支持体１０．１０を
介して装置筐体１２に略々水平に取り付けられている。
第１０ツドＲＤＩは、その左側端面ＲＤ ＩＬが全反射
ミラー１４と略々平行に対向し、右側端面ＲＤＩＲが下
に略々４５°傾いた全反射ミラー１６と対向している。
ミラー１４と略々平行に対向し、右側端面ＲＤＩＲが下
に略々４５°傾いた全反射ミラー１６と対向している。
第２０ツドＲＤ２は、左側端面ＲＤ２Ｌが下に略々４５
°傾いた全反射ミラー１８と対向し、右側端面ＲＤ２Ｒ
が上に４５°傾いた全反射ミラー２０と対向している。
°傾いた全反射ミラー１８と対向し、右側端面ＲＤ２Ｒ
が上に４５°傾いた全反射ミラー２０と対向している。
第３０ソドＲＤ３は、左側端面ＲＤ３Ｌが上に略々４５
゛傾いた全反射ミラー２２と対向し、右側端面ＲＤ３Ｒ
が出力ミラー２４と略々平行に対向している。
゛傾いた全反射ミラー２２と対向し、右側端面ＲＤ３Ｒ
が出力ミラー２４と略々平行に対向している。
そして、右側の２つの全反射ミラー１６．２０は互いに
約９０゛の角度をなして対向し、これにより第１および
第２０ンドＲＤＩ、ＲＤ２のそれぞれの右側端面ＲＤＩ
Ｒ，ＲＤ２Ｒを光学的に結合している。また、左側の２
つの全反射ミラー１８，２２も互いに約９０“の角度を
なして対向し、これによって第２および第３０ッドＲＤ
２．ＲＤ３のそれぞれの左側端面ＲＤ２Ｌ、ＲＤ３Ｌを
光学的に結合している。
約９０゛の角度をなして対向し、これにより第１および
第２０ンドＲＤＩ、ＲＤ２のそれぞれの右側端面ＲＤＩ
Ｒ，ＲＤ２Ｒを光学的に結合している。また、左側の２
つの全反射ミラー１８，２２も互いに約９０“の角度を
なして対向し、これによって第２および第３０ッドＲＤ
２．ＲＤ３のそれぞれの左側端面ＲＤ２Ｌ、ＲＤ３Ｌを
光学的に結合している。
このように、３本のレーザロッドＲＤＩ、ＲＤ２゜ＲＤ
３は、機構的には並列に配置されているが、光学的には
全反射ミラー１６〜２２を介して直列に接続されている
。そして、各レーザロッド間の光軸合わせは、レーザロ
ッドを固定したままで、全反射ミラー１６〜２２の位置
または傾斜角度を調整することによって行われる。
３は、機構的には並列に配置されているが、光学的には
全反射ミラー１６〜２２を介して直列に接続されている
。そして、各レーザロッド間の光軸合わせは、レーザロ
ッドを固定したままで、全反射ミラー１６〜２２の位置
または傾斜角度を調整することによって行われる。
４本の励起ランプＬＡＩ−ＬＡ４は、第１および第２ラ
ンプＬＡＩ、ＬＡ２が第１０ツドＲＤＩの両側に、第２
および第３ランプＬＡ２．ＬＡ３が第２０ツドＲＤ２の
両側に、第３および第４ランプＬＡ３．ＬＡ４が第３０
ツドＲＤ３の両側にそれぞれ位置し、各ランプの両端部
は金具２８．２６によって固定されている。回路的には
、第３図に示すように、第１および第２ランプＬＡＩ、
ＬＡ２が直列接続されるとともに、第３および第４ラン
プＬＡ３．ＬＡ４が直列接続され、それらの直列回路が
互いに並列に端子３０．３２を介して共通の電源回路（
図示せず）に接続されている。
ンプＬＡＩ、ＬＡ２が第１０ツドＲＤＩの両側に、第２
および第３ランプＬＡ２．ＬＡ３が第２０ツドＲＤ２の
両側に、第３および第４ランプＬＡ３．ＬＡ４が第３０
ツドＲＤ３の両側にそれぞれ位置し、各ランプの両端部
は金具２８．２６によって固定されている。回路的には
、第３図に示すように、第１および第２ランプＬＡＩ、
ＬＡ２が直列接続されるとともに、第３および第４ラン
プＬＡ３．ＬＡ４が直列接続され、それらの直列回路が
互いに並列に端子３０．３２を介して共通の電源回路（
図示せず）に接続されている。
このように、４本の励起ランプＬＡＩ〜ＬＡ４が３本の
レーザロッドＲＤＩ ＲＤ２．ＲＤ３の各々に対して両
側から励起用の光を照射するようになっている。
レーザロッドＲＤＩ ＲＤ２．ＲＤ３の各々に対して両
側から励起用の光を照射するようになっている。
なお、第１図において３４．３６は、装置全体に冷却水
を供給するための水冷パイプである。また第２図におい
て３８〜５０は冷却水を通す管形の水冷ケースで、中の
励起ランプＬＡＩ −ＬＡ４およびレーザロッドＲＤＩ
〜ＲＤ３を冷却する。
を供給するための水冷パイプである。また第２図におい
て３８〜５０は冷却水を通す管形の水冷ケースで、中の
励起ランプＬＡＩ −ＬＡ４およびレーザロッドＲＤＩ
〜ＲＤ３を冷却する。
冷却機構は本発明の特徴とするところではないので、そ
の詳しい図解と説明は省略する。
の詳しい図解と説明は省略する。
かかる構造の固体レーザ装置において、励起う７プＬＡ
Ｉ〜ＬＡ４が連続的もしくはパルス的に点灯すると、そ
れらランプからの光によってレーザロッドＲＤＩ、ＲＤ
２．ＲＤ３がレーザ発振し、それぞれの両端面よりレー
ザ光ＢＭが発生する。これら３本のレーザロッドは全反
射ミラー１６〜２２を介して光学的に直列接続されてい
るので、レーザ光ＢＭはあたかも３段重ねのカスケード
におけるように３段増幅され、高出力のレーザ光となっ
て出力ミラー２４より出力される。
Ｉ〜ＬＡ４が連続的もしくはパルス的に点灯すると、そ
れらランプからの光によってレーザロッドＲＤＩ、ＲＤ
２．ＲＤ３がレーザ発振し、それぞれの両端面よりレー
ザ光ＢＭが発生する。これら３本のレーザロッドは全反
射ミラー１６〜２２を介して光学的に直列接続されてい
るので、レーザ光ＢＭはあたかも３段重ねのカスケード
におけるように３段増幅され、高出力のレーザ光となっ
て出力ミラー２４より出力される。
以上のように、この実施例では、３本のレーザロッドＲ
ＤＩ、ＲＤ２．ＲＤ３を物理的には並列に配置し、光学
的には全反射ミラー１６〜２２によって同一の光軸上に
直列に接続することにより、３段増幅の高出力を得るよ
うにしており、光軸合わせの調整はミラー１６〜２２の
位置ないし角度を変えることで容易に行うことができる
。また、それら３本のレーザロッドＲＤＩ、ＲＤ２．Ｒ
Ｄ３と交互に励起ランプＬＡＩ−ＬＡ４を並列に配置す
ることにより、４本の励起ランプ（カスケード方式なら
ば６本）で各レーザロッドに両側から光を当てることが
可能であり、電力消費効率が高く、装置サイズも大幅に
小型化される。さらにまた、１つの共通電源回路によっ
て４本の励起ランプを同時に点灯させるので、回路的に
も小型で、従来の同期合わせも不要となっている。
ＤＩ、ＲＤ２．ＲＤ３を物理的には並列に配置し、光学
的には全反射ミラー１６〜２２によって同一の光軸上に
直列に接続することにより、３段増幅の高出力を得るよ
うにしており、光軸合わせの調整はミラー１６〜２２の
位置ないし角度を変えることで容易に行うことができる
。また、それら３本のレーザロッドＲＤＩ、ＲＤ２．Ｒ
Ｄ３と交互に励起ランプＬＡＩ−ＬＡ４を並列に配置す
ることにより、４本の励起ランプ（カスケード方式なら
ば６本）で各レーザロッドに両側から光を当てることが
可能であり、電力消費効率が高く、装置サイズも大幅に
小型化される。さらにまた、１つの共通電源回路によっ
て４本の励起ランプを同時に点灯させるので、回路的に
も小型で、従来の同期合わせも不要となっている。
なお、この実施例ではレーザロッドの本数が３本であっ
たが、２本または４本以上でももぢろん可能である。た
だし、次のような理由から３本。
たが、２本または４本以上でももぢろん可能である。た
だし、次のような理由から３本。
５本、７本、・・・・等の奇数本にしたほうが、レーザ
光の光強度分布に関して好ましい。
光の光強度分布に関して好ましい。
すなわち、各レーザロッドは両側から光を照射されるが
、両端のレーザロッドにあっては端部側よりも中心部側
からの方が光量が多い。例えば、実施例の第１０ツドＲ
ＤＩにあっては、端部側からは第１ランプＬＡＩからの
光を受けるのに対して、中心部側からは第２ランプＬＡ
２からの光だけでなく第３ランプＬＡ３ないし第４ラン
プＬＡ４からの光も受けるので、光照射量が両側非対象
となっている。第３０ツドＲＤ３にあっても、同様に光
照射量が両側非対象となっている。しかし中心部の第２
０ツドＲＤ２にあっては、−刃側から第１および第２ラ
ンプＬＡＩ、ＬＡ２からの光を受け、他方側から第３お
よび第４ランプＬＡ３．ＬＡ４からの光を受けるので、
光照射量は両側で均衡している。
、両端のレーザロッドにあっては端部側よりも中心部側
からの方が光量が多い。例えば、実施例の第１０ツドＲ
ＤＩにあっては、端部側からは第１ランプＬＡＩからの
光を受けるのに対して、中心部側からは第２ランプＬＡ
２からの光だけでなく第３ランプＬＡ３ないし第４ラン
プＬＡ４からの光も受けるので、光照射量が両側非対象
となっている。第３０ツドＲＤ３にあっても、同様に光
照射量が両側非対象となっている。しかし中心部の第２
０ツドＲＤ２にあっては、−刃側から第１および第２ラ
ンプＬＡＩ、ＬＡ２からの光を受け、他方側から第３お
よび第４ランプＬＡ３．ＬＡ４からの光を受けるので、
光照射量は両側で均衡している。
そうすると、例えば第１０ツドＲＤＩの右側端ＲＤＩＩ
？より出たレーザ光ＢＭの光強度分布は図中に曲ＩＩＱ
で示すように進行方向に関して右半分が左半分より強度
の大きな分布となり、左右非対象である。このレーザ光
ＢＭは、その光強度分布を保ったまま全反射ミラー１６
，２０．第２０ツドＲＤ２および全反射ミラー１８．２
２を伝搬し、第３０ツドＲＤ３の左側端面ＲＤ３Ｌに入
射する。
？より出たレーザ光ＢＭの光強度分布は図中に曲ＩＩＱ
で示すように進行方向に関して右半分が左半分より強度
の大きな分布となり、左右非対象である。このレーザ光
ＢＭは、その光強度分布を保ったまま全反射ミラー１６
，２０．第２０ツドＲＤ２および全反射ミラー１８．２
２を伝搬し、第３０ツドＲＤ３の左側端面ＲＤ３Ｌに入
射する。
この第３０ツドＲＤ３では中心部側からのランプ光が強
いので、レーザ光ＢＭはその進行方向に関して右半分側
よりも左半分側において強（増強され、その結果第３０
ツドＲＤの右側端面ＲＤ３Ｒより出射されたレーザ光Ｂ
Ｍは曲線Ｑ′で示すように進行方向に関して左右対象な
光強度分布をもつことになる。
いので、レーザ光ＢＭはその進行方向に関して右半分側
よりも左半分側において強（増強され、その結果第３０
ツドＲＤの右側端面ＲＤ３Ｒより出射されたレーザ光Ｂ
Ｍは曲線Ｑ′で示すように進行方向に関して左右対象な
光強度分布をもつことになる。
これに対し、レーザロッドの本数を偶数本、例えば４本
とした場合は、レーザ光は最終段のレーザロッド（第４
０ツド）でも第１０ツドと同じ片側（中心部側）で偏っ
た増幅を受け、光強度分布が一層非対象となって出射さ
れる。このように光軸に関して光強度分布の非対象なレ
ーザ光を、例えば微細レーザ加工に使用すると、良好な
加工品質が保証されないおそれがある。
とした場合は、レーザ光は最終段のレーザロッド（第４
０ツド）でも第１０ツドと同じ片側（中心部側）で偏っ
た増幅を受け、光強度分布が一層非対象となって出射さ
れる。このように光軸に関して光強度分布の非対象なレ
ーザ光を、例えば微細レーザ加工に使用すると、良好な
加工品質が保証されないおそれがある。
このような訳で、レーザロッドの本数は３本。
５本、７本、・・・・等のような奇数本とするのが好ま
しい。
しい。
なお、この実施例では、光反射手段として全反射ミラー
１６〜２２を用いたが、プリズムを用いることも可能で
ある。
１６〜２２を用いたが、プリズムを用いることも可能で
ある。
［発明の効果コ
本発明は、上述したような構成を有することにより、次
のような効果を奏する。
のような効果を奏する。
複数のレーザロッドを機構的には並列に配置し光学的に
は光反射手段によって同一の光軸上に直列に接続するこ
とで多段増幅の高出力を得るようにしたので、光軸合わ
せの調整は光反射手段の位置ないし角度を変えることで
容易に行うことが可能である。また、各レーザロー／
Ｆと並列に交互に励起ランプを配置することにより、従
来よりも少ない数の励起ランプで全レーザロッドの各々
に両側から光を当てることが可能で、電力消費効率も高
く、装置サイズもコンパクト化される。
は光反射手段によって同一の光軸上に直列に接続するこ
とで多段増幅の高出力を得るようにしたので、光軸合わ
せの調整は光反射手段の位置ないし角度を変えることで
容易に行うことが可能である。また、各レーザロー／
Ｆと並列に交互に励起ランプを配置することにより、従
来よりも少ない数の励起ランプで全レーザロッドの各々
に両側から光を当てることが可能で、電力消費効率も高
く、装置サイズもコンパクト化される。
また、レーザロッドの本数を３本、５本、７本等の奇数
本とすることにより、両端のレーザロッドにおける光強
度分布の中心部側への偏りを互いにキャンセル、させる
ことが可能であり、光軸に関して対象形の光強度分布を
もつ良好な出射レーザ光が得られる。
本とすることにより、両端のレーザロッドにおける光強
度分布の中心部側への偏りを互いにキャンセル、させる
ことが可能であり、光軸に関して対象形の光強度分布を
もつ良好な出射レーザ光が得られる。
第１図は、本発明の一実施例による固体レーザ装置の全
体構成を示す平面図、 第２図は、実施例装置のレーザロッドと励起ランプの配
置構成を示す略断面図、 第３図は、実施例装置の励起ランプの電気的な接続関係
を示す図、および 第４図は、カスケード方式による従来の高出力型固体レ
ーザ装置の構成を示す略斜視図である。 図面において、 １２・・・・装置筐体、 １４・・・・全反射ミラー １６〜２２・・・・全反射ミラー ２４・・・・出力ミラー ＲＤＩ〜ＲＤ３・・・・レーザロッド、ＬＡＩ−ＬＡ４
・・・・励起ランプ。 特許出願人 宮 地 電 子 株 式
会 社代理人 弁理士 佐々木 を 孝
体構成を示す平面図、 第２図は、実施例装置のレーザロッドと励起ランプの配
置構成を示す略断面図、 第３図は、実施例装置の励起ランプの電気的な接続関係
を示す図、および 第４図は、カスケード方式による従来の高出力型固体レ
ーザ装置の構成を示す略斜視図である。 図面において、 １２・・・・装置筐体、 １４・・・・全反射ミラー １６〜２２・・・・全反射ミラー ２４・・・・出力ミラー ＲＤＩ〜ＲＤ３・・・・レーザロッド、ＬＡＩ−ＬＡ４
・・・・励起ランプ。 特許出願人 宮 地 電 子 株 式
会 社代理人 弁理士 佐々木 を 孝
Claims (2)
- （１）複数のレーザロッドと励起ランプを並列に交互に
配置し、前記複数のレーザロッドを光学的に直列に接続
するよう各隣り合う２つのレーザロッドの片側の端面を
光学的に結合する光反射手段を配設したことを特徴とす
る固体レーザ装置。 - （２）前記レーザロッドの本数を３本以上の奇数本とす
る請求項１記載の固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63251535A JP2657407B2 (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63251535A JP2657407B2 (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 固体レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0298990A true JPH0298990A (ja) | 1990-04-11 |
| JP2657407B2 JP2657407B2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=17224259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63251535A Expired - Lifetime JP2657407B2 (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2657407B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991006994A1 (en) * | 1989-10-25 | 1991-05-16 | Australian Electro Optics Pty. Ltd. | Phase-locked, fibre bundle excited, stacked slabs, laser system |
| JPH05335692A (ja) * | 1992-05-06 | 1993-12-17 | Electrox Inc | レーザービーム結合装置及び当該装置に用いられる共通出力透過窓アセンブリ |
| WO1998006156A1 (en) * | 1996-08-07 | 1998-02-12 | Lumonics Inc. | Multiple element, folded beam laser |
| US5867519A (en) * | 1996-08-07 | 1999-02-02 | Lumonics Inc. | Multiple element, folded beam laser |
| US5867518A (en) * | 1996-08-07 | 1999-02-02 | Lumonics Inc. | Multiple element laser pumping chamber |
| JP2019080006A (ja) * | 2017-10-26 | 2019-05-23 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 | レーザー増幅装置 |
| JP2022075955A (ja) * | 2017-10-26 | 2022-05-18 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 | レーザー増幅装置 |
| CN117117618A (zh) * | 2023-10-23 | 2023-11-24 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种紧凑串联型平面波导激光增益模块、激光放大器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5085291A (ja) * | 1973-11-28 | 1975-07-09 | ||
| JPS6182489A (ja) * | 1984-09-29 | 1986-04-26 | Hoya Corp | 固体レ−ザ発振装置 |
-
1988
- 1988-10-05 JP JP63251535A patent/JP2657407B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5085291A (ja) * | 1973-11-28 | 1975-07-09 | ||
| JPS6182489A (ja) * | 1984-09-29 | 1986-04-26 | Hoya Corp | 固体レ−ザ発振装置 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991006994A1 (en) * | 1989-10-25 | 1991-05-16 | Australian Electro Optics Pty. Ltd. | Phase-locked, fibre bundle excited, stacked slabs, laser system |
| JPH05335692A (ja) * | 1992-05-06 | 1993-12-17 | Electrox Inc | レーザービーム結合装置及び当該装置に用いられる共通出力透過窓アセンブリ |
| WO1998006156A1 (en) * | 1996-08-07 | 1998-02-12 | Lumonics Inc. | Multiple element, folded beam laser |
| US5867519A (en) * | 1996-08-07 | 1999-02-02 | Lumonics Inc. | Multiple element, folded beam laser |
| US5867518A (en) * | 1996-08-07 | 1999-02-02 | Lumonics Inc. | Multiple element laser pumping chamber |
| EP0986150A1 (en) * | 1996-08-07 | 2000-03-15 | Lumonics Inc. | Multiple element, folded beam laser |
| JP2019080006A (ja) * | 2017-10-26 | 2019-05-23 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 | レーザー増幅装置 |
| JP2022075955A (ja) * | 2017-10-26 | 2022-05-18 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 | レーザー増幅装置 |
| CN117117618A (zh) * | 2023-10-23 | 2023-11-24 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种紧凑串联型平面波导激光增益模块、激光放大器 |
| CN117117618B (zh) * | 2023-10-23 | 2024-03-12 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种紧凑串联型平面波导激光增益模块、激光放大器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2657407B2 (ja) | 1997-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4922502A (en) | Solid-state laser device comprising a plurality of excitation units selectively energized | |
| EP0770226B1 (en) | Optical system for improving the symmetry of the beam emitted from a broad area laser diode | |
| US4890289A (en) | Fiber coupled diode pumped moving solid state laser | |
| US4916712A (en) | Optically pumped slab laser | |
| WO2021017539A1 (zh) | 激光辐射三倍率产生的装置 | |
| JPH01119080A (ja) | レーザー空胴の光路を延長する方法及びレーザー共振器 | |
| US4479225A (en) | Combined laser resonator structure | |
| JP2657407B2 (ja) | 固体レーザ装置 | |
| US4520486A (en) | Gas flow laser oscillator | |
| CN106684687A (zh) | 一种碟片固体激光放大器 | |
| CN101710669B (zh) | 双输出端面泵浦全固态激光器 | |
| US4697271A (en) | Solid-state laser device capable of effectively exciting a plurality of slab-shaped laser media | |
| US4780882A (en) | Optical resonator and laser | |
| US5867519A (en) | Multiple element, folded beam laser | |
| EP0917748B1 (en) | Multiple element, folded beam laser | |
| CN201541050U (zh) | 双输出端面泵浦全固态激光器 | |
| CN109326948A (zh) | 一种半导体激光泵浦固体激光折叠腔的调试方法 | |
| WO1998006156A9 (en) | Multiple element, folded beam laser | |
| CN211680514U (zh) | 激光倍频切换装置 | |
| CN101567516A (zh) | 调q激光器 | |
| JPH08162717A (ja) | 面発光半導体レーザ | |
| CN110137794A (zh) | 一种同轴输出红绿激光的激光器 | |
| CN220914742U (zh) | 一种多波长激光器及多波长半导体激光系统 | |
| US5867518A (en) | Multiple element laser pumping chamber | |
| CN100428583C (zh) | 环形行波腔多输出光束相干合成装置 |