JPH03100290A - クリーン窓機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本願は、米国特許出願番号節３７６．０９４号（１９８
９年７月６日出願）及び第３７６．０９５号（１９８９
年７月６日出願）と関連を有する。

この発明は粉末の製造ではあっても、その製造で求める
製品が粉末である場合に関するものではなく、粉末の製
造の副産物と、溶融処理の副産物として製造される微細
な粉末との処理に関する。

副産物は、材料を形成し、処理し又は溶融させる装置内
で形成される非常に微細な粒子のクラウドである。

処理される材料を雰囲気から保護しなければならない為
、又は処理される材料が処理工場内に分散し、本来なら
ば工場内のクリーン区域を実質的に汚染する惧れがある
為に、外被又は容器の内部で行なわなければならない様
な多数の材料処理手順がある。

こう云う材料処理手順は、金属の高強度加熱、プラズマ
吹付は沈積、プラズマ加熱、トランスファ・アーク加熱
、金属の吹付は沈積、金属のガス噴霧化、金属の電子ビ
ーム加熱及びその他の材料処理手順がある。

この様な１つの材料処理方法は、微細な粉末を形成する
。現在、材料を微細な粉末に噴霧化する為に使われてい
る１つの方法は、液体の流れに当たって、それを分散す
ると共に噴霧化するガスの流れにより、液体又は溶融材
料の流れを噴霧化する。この発明はガス噴霧化によって
粉末を形成することには関係するものではない。

然し、この様な噴霧化は、溶融金属の流れにぶつかるガ
スの流れの作用によって噴霧化される溶融金属から形成
された微細な霧又はクラウドの様な極めて微細な粉末の
生成を伴う。

この様な別の材料処理手順は、吹付けが液体金属から行
なわれる場合でも、或いは粉末をプラズマ炎の中に流し
て、粉末粒子を溶融させて溶融吹付けとする場合でも、
吹付は沈積過程に粉末を使う。

この発明はこう云う材料処理手順とも関係はないが、こ
の様な材料処理手順の副産物として形成される非常に微
細な粒子の霧又はクラウドに関係する。

物品を形成する際、微細な粉末又は蒸気を形成するか、
或いは蒸気或いは微細な粉末を利用し、材料処理手順の
副産物として、非常に微細な粒子の霧又はクラウドを形
成するこの他の数多くの材料処理方法がある。

こう云う作業の多くでは、材料処理に伴う重要な現象に
何等かの可視的な接近手段を持つことが望ましい場合が
多い。然し、この様な可視的な接近は、非常に微細な粒
子の霧又はクラウドによって減殺され、変更され又はぼ
かされることがある。

ある処理の判断基準を守り、感知し又は制御することが
出来る様に、処理の進行中に、処理室の内部を観察する
ことが出来る様な多数の設計が提案され、開発されてい
る。

行なわれている材料の処理又は反応の副産物として、微
細な粒子のクラウドが外波内に発生される時、室内に形
成された粒子状のクラウドによって、外波内の実際の重
要な現象がぼかされることがある。処理室内で形成され
るこの様なりラウドの１つの特性は、室の壁にある窓の
内面に沈積することを含めて、粒子が室の内面に沈積す
る傾向があることである。この様な粒子状材料の沈積は
観察を妨げ、室の外部からの観測をぼかすことがある。

重大な場合、窓の内面が粒子状材料によって塞がれる為
に、室の内部の観測が全く出来ないことがある。

この様な観察窓の内面を綺麗に保つ数多くの方式が工夫
されている。然し、こう云う多くの方式は、観察が行な
うことが出来る時間を伸ばすことが出来る様にする点で
は、限られた程度にしか成功せず、長期間には、粒子状
材料が次第に窓を塞ぎ、観察をぼかしたり、或いは光が
窓を透過するのを妨げる。

従来、この様な装置の観察ポートを綺麗に保つ為に用い
られていた試みは、ガス・カーテン、ガス・ジェット、
移動膜又はシャッタを使うものであった。然し、こう云
う方式は、綺麗な観察ポートを保つ点では、ある入り混
じった結果をもたらした。こう云う方式は、綺麗な観察
ポートを保つ点では限られた範囲で助けになるが、それ
を使うことによって別の問題が発生する。その１つの問
題はガス・カーテン又はガス・ジェットを使う場合であ
る。それを使うには、一般的に大量のガスの流れ又は高
速のガスの流れを必要とする。この様な高速又は大容積
のガスの流れは、時間が経つと観察ポートの近辺に、乱
流が強い低圧領域を作り出す。これはガスの渦流、粒子
の巻込み、並びにその沈積を防ぐ為に、大容積のガス並
びに高速のガスを用いても、観察窓に対する衝突を招く
惧れがある。

これと対照的に、移動膜方式は、粒子状物質の沈積をそ
のま＼許すが、その沈積は透明膜にだけ起ると云う原理
で作用する。沈積が起ると、膜を割出して、観察通路か
ら粒子を担持する膜を移動し、それを新しい綺麗な膜に
取替え、この膜が更に粒子状物質の沈積を受けることが
出来る様にする。この代りに、綺麗な透明膜を連続的に
観察ポートを通り越す様に移動させて、観察ポートを通
過する時に、膜に粒子状物質が連続的に沈積しても、観
察ポートの場所では綺麗な透明部分が得られる様にする
。この綺麗な膜を用いる方式は、動的に作用する高度の
機械的なハードウェアを必要とし、寸法がかさばり、動
作が厄介であると云う惧れがある。更に、膜は光路に別
の要素を持込み、例えば赤外線スペクトルの光の様に、
通路に沿って移動する光信号に対して部分的に不透明で
あることがある。

シャッタ方式は、微細に分割された又は蒸気状物質を処
理する室から観察ポートを物理的に隔離する単なる機械
的な方法である。シャッタを使うことにより、観察ポー
トは隔離されるが、観察が必要な時はシャッタが開いて
おり、観察を行なった後にシャッタを閉じる。シャッタ
方式の１つの問題は、連続的な観察が出来ないことであ
る。更に、シャッタが開いていて、粒子状物質が観察レ
ンズ上に沈積する短い時間の間、沈積した物資を除去す
る機構がなく、シャッタを開く度に、この物質が単純に
蓄積されると云う欠点がある。

発明の詳細な説明 従って、この発明の１つの目的は、蒸気状の又は微細に
分割された物質をその中で生成するか又は処理する外被
の観察を連続的に行なうことが出来る様にする手段を提
供することである。

別の目的は、蒸気状又は微細に分割された物質を生成す
るか又は処理する外被の壁を通る光路を設けることであ
る。

別の目的は、装置の壁を物質が塞ぐ様な装置に対する観
察ポートとして、観察ポートがこの様に塞がる状態がな
い状態にとＶまる様にする観察ポートを提供することで
ある。

この他の目的は一部分は明らかであろうし、−部分は以
下の説明から明らかになろう。

広義に見れば、この発明の１つの目的は、その内面が微
細に分割された物質で被覆される惧れのある外被の壁に
クリーン窓機構を提供することによって達成される。こ
の機構の第１の条件は、外被に対する観察通路を定める
為に、外被の壁を通る開口を設けることである。透明な
窓は観察通路の一番外側部分に配置する。全体的に環状
の内側及び外側の１組の壁が観察通路の外側部分の周り
を伸び、壁の間に環状ガス流高圧室を限定する。

高圧室の環状の内壁は多孔質材料で形成され、ガスが通
り抜けることが出来る様にする。窓は環状ガス流高圧室
の外側端に取付ける。環状ガス流高圧室及び窓が外被の
開口内に取付けられて、外被に対して周囲ガスが出入り
しない様に、開口を締切る。ガス供給手段を設けて、高
圧室にガスを供給し、多孔質の内壁を通って外被の内部
の観察通路へ入るガスの流れを誘起し、こうして窓に物
質が沈積することを実質的に防止する。

次に図面について以下の説明を読めば、この発明が十分
に理解されよう。

発明の詳細な説明 観察窓を綺麗に保つ様な構造を発明者が形成しようとし
た時に念頭にあった１つの目的は、観察窓の領域で、ガ
スが乱流として動き、渦を形成し、その結果、粒子状又
は蒸気状物質が逆流し、それが窓に沈積する傾向を避け
、並びに克服することである。この様な乱流とは対照的
に、この発明は、窓から離れた所に掃除用のガスの滑か
な一方向の流れを作ろうとするものである。窓に対する
ガスの流れの大が〜りな試験をした結果、この発明では
、第１図に示す様な装置を用いることによって、滑かで
一方向の流れが実現可能であることが判った。

次に第１図について説明すると、微細に分割された又は
蒸気状の物質の処理又は生成がその中で行なわれる外被
に対するクリーン窓を構成する装置が示されている。観
察装置１０が室又は槽１２の様な外被の上に取付けられ
る。観察装置１０は、槽壁の開口１４の上に取付けられ
る。カラー１６及びフランジ１８が、溶着部２０等によ
り、槽壁に永久的に取付けられる。下側フランジ２４及
び上側フランジ２６を持つスプール形部材２２をボルト
２８によってフランジ１８に取付ける。オリフィス板３
０をフランジ１８及びフランジ２４の間に取付けて、室
３２内でのガスの流れ、並びにスプール形部材２２の中
空の中心から室６０へのガスの流れを制御することが出
来る。

この代りに、このオリフィス板は省略してもよい。更に
その代りに、破線で４３に示した立下がりのカラーを持
つ４２に示す様なオリフィス板を用いてもよい。環状高
圧室３４がスプール形部材２２の側壁の間、即ち多孔質
の内壁３６と不浸透性外壁３８の間に形成される。不浸
透性側壁３８を通り抜けるガス入口管４０を介して、高
圧室３４にガスを供給することが出来る。

オリフィス板３０は制限オリフィス４２を持ち、これは
図面から明らかな様に、スプール形部材２２の中心開口
３２よりもかなり小さい直径を有する。０リング４４．
４６がフランジ１８とオリフィス板３０の間、並びにフ
ランジ２４とオリフィス板３０の間の封じとなる。第１
図に示した部品の寸法比は、実験で用いて成功を収め、
長期間、観察窓５０を綺麗な状態に保つことが出来ると
判った装置で実際に使われた部品の寸法比に対応する。

フランジ２６の同形の凹みに配置されたＯリング４８が
、フランジ２６と透明な窓部材５０の縁の間の封じとな
る。窓５０が、上側環状板５２と、上側環状板５２及び
フランジ２６の間を伸びる１組のボルト５４とによって
、所定位置に保持される。

この装置の動作について説明すると、ボート４０を介し
てガスを環状室３４に供給して、ガスが多孔質壁３６を
介して中心の室３２に入ることが出来る様にする。多孔
質の壁３６が中心の室３２の周りをぐるりと伸びている
から、ガスの流入は全ての方向から起る。室３２に入っ
た後、ガスがオリフィス板３０のオリフィス４２の中を
下向きに流れて、室３２から槽１２の内部へ連続した、
緩かな一方向のガスの流れを作る。槽１２は、その壁１
３の一部分だけが第１図に示されている。

壁１３によって限定された外被１２の中へのこのガスの
流れが、外被１２内にある処理室６０の中で発生される
か或いは処理される粒子状物質又は蒸気があるとしても
、その凝縮物が窓５０に沈積することを防止し、或いは
著しく少なくする。

ボート４０を介して高圧室３４へ、そしてそこから室３
２へ供給されるガスは、ガスによる噴霧化、又はプラズ
マ吹付は装置の動作で普通に使われる任意のガスであっ
てよく、典型的にはヘリウム・ガス又はアルゴン・ガス
又はそう云うガスの混合物であってよく、その割合は、
室３２が大気圧又は減圧で動作する場合に合わせて種々
変る。

例えば、この様な装置は、ガス室の圧力を１／３気圧乃
至１気圧以上にして動作させて成功を収めた。供給ガス
圧力は、装置内での圧力降下に打勝って、室３２へ、そ
してそこから槽１２への確実なガスの流れを作る位に高
くしなければならない。

オリフィス板３０又は４３に示す様な延長した管を使う
と、ガスの流れを少なくして、観察ボートを作用させる
ことが出来る。

別の形式の装置が第２図に示されている。第２図の装置
では、外被１１２の表面の壁１１３に対しである角度で
観察を行なうことが出来る様に、観察ボートが設計され
ている。第２図の装置の構造は第１図の装置と全く同様
であるが、若干の違いがあり、その違いを以下説明する
。この説明で、構造が第１図の場合と同様である部材に
ついては、同じ参照数字に１００を加えた参照数字を用
いている。例えば、第１図の窓は５０であるが、第２図
の窓は１５０である。第２図の構造を取付ける槽壁は１
１３であり、第１図の構造を取付ける槽壁は１３である
。全般的に説明すると、スプール形部材１２２で構成さ
れた観察機構１１０が設けられる。角度をつけた台部１
１６がスプール形部材１２２を所定位置に支持し、壁１
１３の開口１１４の上にこのスプール形部材を増付ける
。台１１６は溶接により、又はろう付け、結着等の任意
の便利な取付は手段により、壁１１２に取付けられる。

スプール形部材は、外壁１３１１１を持つ上側フランジ
１２６及び下側フランジ１２４と、その間を伸びる多孔
質内壁１３６とで構成される。内壁１３６が内側の室１
３２を取囲んでおり、この室に多孔質壁１３６を通る流
れによって、ガスが送出される。多孔質内壁１３６と外
壁１３８の間で、環状室１３４が、ガス入口ボート１４
０から供給されたガスを受取って分配する。

ボルト１２８がフランジ１２４を台１１６に係止する。

ボルト１５４がフランジ１２６を板１５２．１５３に係
止する。板１５２，１５３の間にレンズ１５０が保持さ
れている。

槽の内部を斜めに観察する点で、構造に若干の違いがあ
る。第２図の構造では、開口１５１が板１５２に偏心し
て配置されており、これは、壁１１２の内側の外被の内
部１６０を観察するのに一層有利な位置の視線がとれる
様にする為である。

構造のもう１つの違いは、フランジ１２４である。

内側の室１３２がフランジ１２４に対して偏心している
こと、又は逆に云えば、フランジ１２４がスプール形部
材１１２の他の要素、特に壁部材１３６．１３８に対し
て偏心して取付けられていることは明らかである。この
場合も、室１３２の偏心は、壁１１３によって囲まれた
槽内の密閉空間１８０を観察し易くする為であるが、こ
の様に偏心して取付けることは、この発明を実施するの
に不可欠ではない。

動作について説明すると、ガスが入口ポート１４０を介
して環状高圧室１３４に供給され、多孔質内壁１３６を
通って観察区域１３２へ流れる。

観察区域又は中心の室１３２への、並びにそこから開口
１１４を通って、壁１１２の内側にある外被１１２の内
部１６０へのガスの−様な流れが、蒸気又は微細な粒子
状の物質が外被１６０からレンズ１５０の下面へと上向
きに逆流するのを防止し、或いは著しく抑制して、少な
くする。

第３図には、この発明の装置の使い方が略図で示されて
いる。ある材料を処理する為の外被２２０が設けられて
おり、この処理によって、微細に分割された材料又はそ
の材料の蒸気が生成する。

この発明の窓機構２１０が、外被２２０の１つの壁２１
２に取付けられる。窓２１０を通して観察することによ
り、外被２２０内の処理ステーション２３０を観ｌＴｌ
１ｊすることが出来る。この処理は、壁２１４の封じ２
１６を通り抜けることを略図で示したプラズマ・トーチ
２３２によるものであってよい。

この代りに、窓２１０は、米国特許箱４，６５６．３３
１号に記載されている様な赤外線感知に関連して使うこ
とが出来る。

プラズマ２３４が溶融状態にある非常に微細に分割され
た材料を、モータ台２４２に支持された変速モータ２４
０から、軸２３８を介して回転出来る様に支持された回
転ドラム２３６に沈積することが出来る。プラズマ銃２
３２に対するガス及び粉末の供給は、この発明に関係が
ないので、図面に示してない。普通のゲージ２４４及び
流量制御弁２４６を備えたガス・タンク２４２から、ガ
ス入口ボート２４０を介してクリーン窓機構２１０にガ
スが供給される。ガスの流れは、ガス配管２４８に沿っ
て第３図に図式的に示したクリーン窓機構２１０のガス
入口ボート２４０へ流れる。

材料のプラズマ・トーチ処理は、前に説明した様な考え
られる多数の処理の内の１つに過ぎず、こう云う処理に
対して、この発明のクリーン窓は役に立つ観察又は感知
構造になる。この他の処理としては、例えば高強度溶融
処理全般、研削又は粉末化、或いは液体金属のガスによ
る噴霧化、又は第３図に示す回転面２３６の様な受は面
に対する沈積物の吹付けによる形成を含むことがある。

以上、蒸気又は微細に分割された物質を含む雰囲気を囲
い込んだ室に対して、外部から光学的なアクセスをする
為の構造と手段を全般的に説明した。構造についても、
この外被内で行なわれる処理についても、多数の代案が
考えられる。そう云う細部の若干は、次の例を考えれば
明らかになろう。

例１ 第１図について述べた様な窓構造を作った。同心の２つ
の円筒３６．３８は、長さが４．７５吋で、夫々の端に
フランジを溶接して、窓を炉壁の開口に取付けることが
出来る様にした。内側の円筒は公称孔度１０ミクロンで
厚さ１７１６吋の焼結３０４ステレンス鋼で構成された
。多孔質金属は、モット冶金部品番号１１００と呼ばれ
るシートとして求めた。この多孔質の金属シートを冷間
圧延し、突合せ継目溶接した。これが装置の内側円筒３
６を形成し、やはり３０４ステレンス鋼の外側円筒は内
径を５吋にして設けた。これによって、内側円筒３６と
外側円筒３８の間に３／１６吋の環状のすき間が得られ
た。１／４吋の管継手をバージφガス供給ボート４０と
して、外側円筒に溶接した。窓は、内径４．５吋で長さ
５吋（フランジの厚さを含む）の円筒形の延長管を用い
て動作させ、円筒形延長部は第１図のカラー４３の様に
下向きに伸びている。この装置は、延長管又はオリフィ
ス板を使わずに、動作に成功した。

窓の管の構成材料としてステンレス鋼であることが必要
ではなく、この他の材料も同じ様に使うことが出来る。

窓を形成する時、気密継手には溶接が好ましい。これは
、ろう付は又ははんだ付けでは、ろう付けのはんだが芯
状になったり、或いは多孔質金属のかなりの部分が塞が
るからである。

今述べた構造で行なわれる様に、上に述べた例での多孔
質金属の作用は、窓の室３２に対してガスの流れを一様
に分配して、渦の旋回及びガスのジェットが避けられる
様にすると共に、室のガス及び粒子を巻込まない様にす
ることである。更にその作用は、乱流とその結果として
の巻込みを最小限にすることである。上に述べた例の試
験では、多孔質金属による流れの制限が、圧力降下分配
器として作用し、ガスを１個所４０で導入しても、室３
２に全ての側から流れ込むことが出来る様にするのに役
立った。勿論、上の例で用いた様な多孔質金属は、非常
によく作用するが、これが唯一の多孔質材料ではないし
、この発明を実施するのに用い得る唯一の孔度でもない
。この他の多孔質材料及びこの他の孔度を用いても、上
に述べた様なりリーン窓構造を構成して動作させるのに
成功した。例えば、一連の目の細かいスクリーン又はス
クリーンの間に粒子の包みを置いても、多孔質材料とし
て作用し得る。

例１に述べた構造の試験から、この試験した設計は、窓
の室、並びに窓の室を通る光路に於ける乱流を避ける点
で非常に効果があることが判った。

室の実際の直径と、外被６０に用いるガスの圧力とに応
じて、室の長さを増減することが可能である。一般的に
、室３２の直径が大きければ大きい程、クリーン窓の満
足な動作にとって、４３に示す様な円筒形延長部の長さ
が長い方がよい。云い換えれば、直径が大きい場合、窓
の室の長さと直径との比を大きくすることが条件である
。１つの理由は、２種類の密度の異なる２種類の異なる
ガスを用いた場合、浮力によって反転が起る惧れがある
。この様な反転が起ると、外被６０内の粒子状物質が窓
に接近する惧れがある。この反転を避ける為、今述べた
長さと直径との比を大きくすべきである。この比が大き
い場合、室３２に対するガスの流量を一層少なくするこ
とが出来る場合が多い。

この様な反転の１つの源は、低温ガスが環状高圧室３４
及び室３２に入り込んで、外被６０内の高温ガスと混合
することである。一般的に、入って来るガスの温度を外
被のガスと大体同じにする二とが好ましいが、幾つかの
理由で、これは実際には出来ない場合が多い。

この反転が起るもう１つの源は、窒素又はアルゴンの様
な室の一層重い雰囲気に関連して、ヘリウムの様な一層
軽いガスを使うことである。一般的に、上に述べた比が
小さい場合、窓の直径を小さくすることが好ましい。こ
の様な構成は、浮力によって誘起される反転を減少する
傾向を持つ。

炉の外部の高さを低くしたい用途では、第１図の４３に
示す様なガス拡散環体を６０に示す様な外被の中に引込
めることが可能である。

外被の中でプラズマ・アーク溶融を実行するか、或いは
外被内で急速凝固プラズマ沈積を実施する様な装置に窓
を取付けた場合の実験による検査から、４　３ＣＦＭの
アルゴン又はＩ　　ＳＯＦＭのヘリウムをガスの流れと
して用いるのが、窓を綺麗に保つのに適切であることが
実証された。こう云う流れは、それに使う炉の作用に悪
影響を持たなかった。

第１図の４３に示す様な下向きに下降する長い円筒形の
延長部を持つ垂直向きの窓では、ヘリウム・ガスでガス
の流量を一層少なくすることが可能であると考えられる
。更に、蒸気又は粒子状物質の沈積を避は又は防止する
為のガス流量の増加は、直径が一層大きい窓では、ずっ
と大きくなると考えられる。

例２ 急速凝固プラズマ沈積（ＲＳ　Ｐ　Ｄ）処理を実施する
低圧槽内で使う為に、第１図に示す様なガス・パージ形
窓を作った。多孔質の内側管の直径は４．５吋であり、
外側管の内径は５．０吋であった。管の長さは約５吋で
あり、その頂部は厚さ１／４吋のサファイヤの窓により
、密閉した。延長円筒はＲ８ＰＤ槽内に約５吋人込んで
いた。管の軸線、従って管を通る光路は鉛直に対して約
６５＠に設定した。種々の材料を用い、トーチ・ガスの
組成及び沈積速度を種々変えて、この槽内でＲＳＰＤプ
ロセスを実施した。ある条件は、非常に汚い槽ガスを作
る様に選んだ。アルゴン及びヘリウムの両方のパージ・
ガスを使った。

アルゴンによるパージは、約２．４乃至２．８ＳＣＦＭ
の閾値流量で有効であった。この結果に基づいて、非常
に綺麗に運転する為には、２゜０　　ＳＣＦＭと云う少
ない流量でも有効であると推定される。この運転の有効
性は、運転が完了した後、窓を物理的に並びに目で検査
すると共に、試験中の窓の井戸部への室のガス及び煙の
浸透を観７１１１ｊすることによって行なった。全体的
な外観、並びにこう云う形状の窓を汚す外見的なメカニ
ズムは、例１について述べたプラズマ・アーク溶接設備
の場合と非常によく似ている。窓の室からの粒子状物質
の散乱を観測することにより、室のガスの流れを明確に
限定することが出来る。アルゴン・ガスの流れの場合、
閾値流量は、そのガスが窓に達する前に、粒子状物質を
持つ室のガスの渦を止めるのに必要な最低流量に基づい
ている。窓の室からの煙の流出は一方向であることが観
測された。

０．６　　ＳＣＦＭ未満の流量で、ヘリウムが有効に窓
の井戸部をパージした。これは前に述べた例１の実験と
一貫性がある。Ｒ８ＰＤ設備では、粒子状物質の窓の井
戸部に於ける安定な成層が非常に顕著であった。この証
拠に基づいて、パージやガスとして、ヘリウム・ガスを
使った場合でも、この窓は円筒形延長部なしでも、殆ん
ど同じ様によく作用すると考えられるというのが結論で
ある。

この結果は、パージ・ガスの流量を決定する上で浮力が
決定的であることを示す例１の結果と一致している。

室のガスに対するパージ番ガスの密度の差を最小限にす
る為に、ガスの密度を制御するのが有利であることが判
った。例２のＲ８ＰＤ動作では、室の圧力は、行なった
全ての運転で、約２５０トルに保った。

例２の装置のサファイヤ−レンズの代りに、石英又はパ
イレックスのレンズ、或いは実際には普通の窓硝子を用
いてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のクリーン窓の軸断面図、第２図は第
１図と同様であるが、観察に便利な様にある角度に取付
けた窓の垂直断面図、第３図はガス供給装置及びその他
の装置と一緒に使われる窓を示す略図である。 主な符号の説明 １２：槽（外被） １３：その壁 １４：開口 ３４：高圧室 ３６．３８：環状の壁 ４０：ガス入口管 ５０：窓

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、その内面を微細に分割された材料が塞ぐ様な外被の
   壁に使うクリーン窓機構に於て、 該外被の壁を通る、観察区域を定める開口と、前記区域
   の一番外側部分に配置された透明な窓と、 前記観察区域の外側部分の周りを伸びていて、その間に
   環状ガス流高圧室を構成する全体的に環状の内側及び外
   側の壁とを有し、 該環状の内側の壁は多孔質であり、 前記窓が前記観察区域の外側端に取付けられ、前記環状
   ガス流高圧室及び窓は前記外被の開口内に取付けられて
   、外被に対して周囲ガスが出入りしない様に前記開口を
   密閉し、更に、 前記高圧室にガスを供給して、前記多孔質の内側の壁を
   通って観察区域に入るガスの流れを誘起し、こうして前
   記窓の上に材料が沈積することを防止するガス供給手段
   を有するクリーン窓機構。 ２、前記窓が、窓硝子、パイレックス、硝子、石英、サ
   ファイア及び３硫化砒素で構成される群から選ばれる請
   求項１記載のクリーン窓機構。 ３、前記環状ガス流高圧室の下方にオリフィス板を設け
   て、前記窓に向う室のガスの逆流を制限した請求項１記
   載のクリーン窓機構。 ４、前記ガス流高圧室の下から前記外被内に伸びる下降
   カラーを設けた請求項１記載のクリーン窓機構。 ５、前記多孔質の内側の壁が多孔質媒質である請求項１
   記載のクリーン窓機構。 ６、前記多孔質の内側の壁によって誘起されるガスの流
   れが前記窓から一方向に遠ざかる向きである請求項１記
   載のクリーン窓機構。 ７、内側及び外側の壁が末端フランジに取付けられてい
   て、全体的にスプールの形をしている請求項１記載のク
   リーン窓機構。 ８、使われるパージ・ガスがヘリウム、アルゴン及びそ
   の混合物からなる群から選ばれる請求項１記載のクリー
   ン窓機構。 ９、多孔質の内側の壁が多孔質のステンレス鋼である請
   求項１記載のクリーン窓機構。