JPH03100440A - 粒子測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は粒子測定装置、特に測定セル中の流体に含まれ
る微粒子にレーザ光を照射し、粒子からの散乱光を受光
することによって粒子を検出するとともに前記レーザ光
の照射あるいは散乱光の受光のためのセル窓を有する粒
子測定装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来、このような装置では、粒子を含む測定セル中の流
体にレーザ光を照射し、粒子からの散乱光強度が粒子径
に依存することを利用して散乱光強度から粒子径を算出
していた。

まず、従来の装置を第２図〜第４図を用いて説明する６ 第２図においてレーザ光源ｌから放出されたレーザ光は
、レンズ２によって測定領域５に集光される。測定すべ
き粒子を含む流体は測定領域５内側を通過する。

レーザ光は測定セル窓３を通過し、測定領域５内に入射
する。測定領域５内を粒子が通過すると、粒子はレーザ
光を散乱する。

流体中の粒子で散乱された光は、セル窓６を介してレン
ズ７で集光され、スリット８に結像される。

なお、セル窓３および６は測定セル４によって支持され
ている。

スリット８を通過した光は光電子像倍管９に到達し、電
気信号に変換される。前置増幅器ｌＯによって増幅され
た電気信号は、粒径解析装置１１で公知のアナログ法や
光子計測法によって解析され、その散乱光強度から粒子
径が算出される。

［発明が解決しようとする課題１ ところで、測定すべき粒子を含む流体は、装置の用途に
より変更される可能性がある。したがって、流体の屈折
率はその物質により変化する。流体の屈折率が変化した
場合には、第３図のような平行平面ガラス板を使用した
測定セル窓３１では、投光系の焦点位置と受光系のスリ
ットの共役点のずれが起きてしまう。

この理由は、流体の屈折率により屈折角が変化するから
である。つまり、窓３１と流体の屈折率をｎ２、ｎ３と
するとスネルの法則によってｎ３・ｓｉｎθ３＝ｎ２・
ｓｉｎθ２ であるが、ｎ３が変化すれば上式を満足する流体側の屈
折角θ３も当然変化する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）測定セル中の流体に含まれる微粒子にレーザ光を照
   射し、粒子からの散乱光を受光することによって粒子を
   検出するとともに前記レーザ光の照射あるいは散乱光の
   受光のためのセル窓を有する粒子測定装置において、 前記セル窓の材質として、流体側には測定セル内で使用
   される流体について耐食性の良好な第１の光学材料を、
   また、測定セル外側には使用するレーザ光の波長におけ
   る屈折率が前記第１の光学材料とほぼ等しい第２の光学
   材料を用い、前記第１および第２の光学材料を接合して
   前記セル窓を構成することを特徴とする粒子測定装置。 ２）前記第１の光学材料の流体との境界面および測定セ
   ル外側のセル窓表面をそれぞれ測定セル中のレーザ光集
   光点を曲率中心として有する球面から構成したことを特
   徴とする請求項第１項に記載の粒子測定装置。 ３）前記第１および第２の光学材料の接合面を平面とし
   たことを特徴とする請求項第１項または第２項に記載の
   粒子測定装置。