JPH03100494U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03100494U JPH03100494U JP724590U JP724590U JPH03100494U JP H03100494 U JPH03100494 U JP H03100494U JP 724590 U JP724590 U JP 724590U JP 724590 U JP724590 U JP 724590U JP H03100494 U JPH03100494 U JP H03100494U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- space
- mounting plate
- vacuum chamber
- detection sensor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Description
第１図は平面図、第２図は断面図、第３図は外
観図、第４図は他の実施例を示す平面図、第５図
は、同、平面図である。 ２……バキユームテーブル、４……載置板、６
……小孔、８……側壁、１０……底壁、１２……
仕切板、１４……バキユーム室、１６……用紙、
１８……ハニカムコア、２０……通気孔、２２…
…吸気装置、２４……通気口、２６……物体検出
センサ、２８，３０……仕切板。
観図、第４図は他の実施例を示す平面図、第５図
は、同、平面図である。 ２……バキユームテーブル、４……載置板、６
……小孔、８……側壁、１０……底壁、１２……
仕切板、１４……バキユーム室、１６……用紙、
１８……ハニカムコア、２０……通気孔、２２…
…吸気装置、２４……通気口、２６……物体検出
センサ、２８，３０……仕切板。
Claims (1)
- 載置エリアの略全域にわたつて多数の孔６が透
設された載置板４の下方にバキユーム用の空間部
を設け該空間部を複数の互いに独立したバキユー
ム室１４に区画し、該各バキユーム室１４ごとに
コントローラに接続する吸気装置２２を配設し、
前記載置板４に前記各バキユーム室１４ごとに、
物体検出センサ２６を配設したことを特徴とする
バキユームテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP724590U JPH03100494U (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP724590U JPH03100494U (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03100494U true JPH03100494U (ja) | 1991-10-21 |
Family
ID=31510907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP724590U Pending JPH03100494U (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03100494U (ja) |
-
1990
- 1990-01-29 JP JP724590U patent/JPH03100494U/ja active Pending