JPH03100653U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH03100653U JPH03100653U JP886990U JP886990U JPH03100653U JP H03100653 U JPH03100653 U JP H03100653U JP 886990 U JP886990 U JP 886990U JP 886990 U JP886990 U JP 886990U JP H03100653 U JPH03100653 U JP H03100653U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- group
- revolving
- fixed
- support body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例である。磁気結合
自公転治具の平面図（裏面図）、第２図は、本考
案及び従来の自公転治具の側面図、第３図は、従
来の自公転治具の平面図（裏面図）、第４図は、
他の従来の自公転治具の平面図（裏面図）である
。 １，２１，３１……固定部、２……公転部（パ
レツト）、３……支持体、４……第１の磁石群、
５，２３，３２……自転部の連結部、６……第２
の磁石群、７……自転部、８……自転部の基板取
り付け部、９……基板、１０……真空室、１１…
…回転導入部、１２……ベアリング、１３……ス
パツタリングターゲツト、２２，２４……歯車、
３３……ベルト或はチエーン。
自公転治具の平面図（裏面図）、第２図は、本考
案及び従来の自公転治具の側面図、第３図は、従
来の自公転治具の平面図（裏面図）、第４図は、
他の従来の自公転治具の平面図（裏面図）である
。 １，２１，３１……固定部、２……公転部（パ
レツト）、３……支持体、４……第１の磁石群、
５，２３，３２……自転部の連結部、６……第２
の磁石群、７……自転部、８……自転部の基板取
り付け部、９……基板、１０……真空室、１１…
…回転導入部、１２……ベアリング、１３……ス
パツタリングターゲツト、２２，２４……歯車、
３３……ベルト或はチエーン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 支持体に固定され外周面に所定の間隔の第１の
磁石群を有する固定部と、 前記固定部に対向し、かつ前記支持体に回転自
在に取り付けられた公転部と、 前記公転部に回転自在に取り付けられ、前記公
転部の表面側に基板取り付け部、裏面側に前記固
定部の第１の磁石群と空隙を隔てて対向し外周面
に第２の磁石群を有する連結部を備えた自転部と
を具備し、 前記第１の磁石群と第２の磁石群との磁気結合
により回転動力を伝達することを特徴とする磁気
結合自公転治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP886990U JPH03100653U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP886990U JPH03100653U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03100653U true JPH03100653U (ja) | 1991-10-21 |
Family
ID=31512485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP886990U Pending JPH03100653U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03100653U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102691405B1 (ko) * | 2022-03-23 | 2024-08-05 | 플러스이엔지 주식회사 | 전동식 드럼 대차 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP886990U patent/JPH03100653U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102691405B1 (ko) * | 2022-03-23 | 2024-08-05 | 플러스이엔지 주식회사 | 전동식 드럼 대차 |