JPH0310128A - 高温炉内における温度と放射率の同時測定方法 - Google Patents

高温炉内における温度と放射率の同時測定方法

Info

Publication number
JPH0310128A
JPH0310128A JP14472889A JP14472889A JPH0310128A JP H0310128 A JPH0310128 A JP H0310128A JP 14472889 A JP14472889 A JP 14472889A JP 14472889 A JP14472889 A JP 14472889A JP H0310128 A JPH0310128 A JP H0310128A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
emissivity
radiometer
radiation source
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14472889A
Other languages
English (en)
Inventor
Kunitoshi Watanabe
渡辺 国俊
Tatsuo Hyodo
兵頭 竜男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Steel Corp filed Critical Nippon Steel Corp
Priority to JP14472889A priority Critical patent/JPH0310128A/ja
Publication of JPH0310128A publication Critical patent/JPH0310128A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高温炉内など大きな背光雑温の存在する環境
における、放射を利用した温度と放射率の同時測定方法
に関する。
〔従来の技術〕
鉄鋼プロセスにおける加熱炉内や連続焼鈍炉内などにお
いて,放射を利用して温度を測定する場合に、次の2つ
の要因により大きな影響を受ける。
第1は、炉壁などからの反射光が測定対象物体で反射さ
れて温度計に入射する、いわゆる背光雑音であり,第2
は、物体の材質および表面性状に起因する放射率変動で
ある。
背光雑音とは,測定対象以外の物体からの放射光が、測
定対象表面で反射して温度計に入る光をいう。この背光
雑音源の温度が、測定対象の温度に比べて充分低い場合
は問題ないが、そうでない場合には測定誤差の要因とな
る。
背光雑音対策の従来技術は、背光雑音を遮蔽する方法お
よび遮蔽装置を持たず背光雑音を定量的に測定して補償
する方法に分けられる。このうち。
背光雑音を遮蔽する方法として、水冷遮蔽板を用いる方
法と、非水冷遮蔽板を用いる方法がある。
一方、第2の要因として挙げた測定対象物の放射率変動
については、放射率変動が小さいときや、変動量が把握
できるときは、あらかじめ放射率を測定しておくこと、
により正確な測温が可能になる。
しかし、放射率が、温度、材質などによって大きく変動
し、その変動量が予測できないときは、測温誤差を生じ
る。
第6図は、背光雑音を遮蔽し、かつ、放射率変動に対処
できる測温システムの例である。これにおいて41は放
射計、42は黒体放射源、43は測定対象を示し、温度
が既知の黒体放射源42と放射計41が、図に示すよう
に測定対象の法線Nに対して角度0で鏡面対象的に配置
されている。
いま、TI、T2.T4をそれぞれ測定対象、黒体放射
源および周囲壁の表面温度とし、周囲壁を温度T4の黒
体とすると、その面の放射輝度はLb(T4)で、測定
面である程度拡散的に反射される。したがって、Lb(
T4)の一部が放射計41により検出される。同様に、
黒体放射源42の放射輝度Lb(T2)は、θ方向のみ
に向うわけではなく、一部は散乱して放射計で検出され
、その放射輝度L2は次式で表わすことができる。
L2=ε・Lb(TI)+(1−ε)・P−Lb(T2
)+(1−ε)・(1−P)・Lb(T4)  ・・・
(1)ここで ε  :測定対象の放射率 Lb(T) :温度Tの黒体放射輝度 b  :鏡面反射係数 とする。
(1)式のPは鏡面反射係数とよばれる測定面での鏡面
的反射の程度を表わす係数であり、測定面の表面性状、
検出波長、iiI!I定面から黒体放射源を見込む立体
角、傾斜角の関数である。Pは0〈P≦Iの値をとり、
装置の幾何学的配置と光学的特性で定まり、温度や放射
率には依存しない。いま、かりに放射計から光を出した
ものとすると、測定点0で反射した光のうち、黒体放射
源に到達する光の割合がPとなる。
また、(1)式において、右辺第一項は測定面自体から
の放射輝度、第2項は黒体放射源からの放射のうち、測
定面で反射して検出される部分である0次に、黒体放射
源の温度をT3に変更したときの検出値をLlとすると
、次式で示される。
Ll=ε・Lb(TI)+(1−t)f’Lb(T3)
+(1−t)(1−P)Lb(r4)  ”・(2)そ
こで(1)、 (2)式の両辺を辺々差し引いて整理す
ると、次式を得る。
t =1−(L2 Ll)/(P・<Lbcr2)−t
b(T3)))         ・・・(3)さらに
、(2)式をLb(TI)について解くと次式が得られ
る。
Lb(TI)= (Ll/ε)−(1−ε)・P−Lb
(T3)/ε−(1−ε)・(i−p)・Lb(T4)
/ε・・・(4) つまり、(3)式より放射率Cが求まり、それを(4)
式に代入することにより測定対象の温度T1が求まる。
また、(4)式かられかるように、鏡面反射係数Pが1
.0となるように黒体放射源を十分に大きくすれば、周
囲壁の温度T4の影響、すなわち、背光雑音の影響をう
けない。
第7図は、第6図と同様に、背光雑音を遮蔽し、かつ、
放射率変動に対処できる測温システムの例である。これ
において、51.52は放射計。
53は水冷遮蔽板、54は背光雑音源、55は測定対象
物56は凹面ミラーを示す。放射計51および52は、
平面的に90度ずらされており、同一場所を注目するよ
うに配置されている。これらの放射計51および52で
検出される放射輝度LL、L2は、それぞれ次の(5)
 、 (6)式で表わされる。
LL= i −Lb(TI)            
        ・・・(5)L2= i −Lb(T
l)<1 +P(1−t 1)>          
            ・” (6)ここで、(6)
式のPは(1)式と同様の鏡面反射係数である。
さて、(6)式を(5)式で辺々割って整理すると次式
が得られる。
ε=1−(L2/LL−1)/P          
     ・・・(7)また、(5)式を変形すると、 Lb(TI)=LL/ E             
    ・・・(8)を得る。
つまり、(7)式から放射率εが求まり、それを(8)
式に代入することにより測定対象の温度T1が求まる。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで、第6図に示した測温法においては、2つの高
価な黒体放射源が必要であり、その保守も困難である。
また、光が測定対象上で散乱するために、その散乱する
全光束をとらえるためには黒体放射源のサイズが大きく
なり、製作も困難になり、さらにその放射率が1.0で
あることが要求される等、実用上の問題は多い。
第7図に示した測温法においては、(5) 、 (6)
式のLl、L2の測定には背光雑音が含まれていてはな
らないので、背光雑音遮蔽のために水冷遮蔽板を用いる
。しかし、この方法は測定対象が停止していたり、その
移動速度が遅い場合には、対象物が冷却されてしまうと
いう問題がある。さらに、遮蔽板の周囲温度が高くなる
と、遮蔽板の冷却水の漏水事故も起こり得る。また、測
定対象の温度が常温付近の低温の場合には、遮蔽板の温
度を0℃以下の低温にする必要が生じ、現実性を欠く場
合が多い。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、無視できない背光雑音が存在し、かつ、放射
率変動が考えられる環境において、背光雑音対策のため
の水冷遮蔽板を用いることなく、温度と放射率を同時測
定する。
本測温法の構成を第1図に示す。これにおいて。
11および12は放射計、13は既知放射源。
14は測定対象であり、平面的に90度ずらした放射計
11および12が、それぞれ測定対象物の法線Nに対し
て、角度θ方向から同一標的を注目するように配置され
ている。放射計11には、測定対象からの自発光成分だ
けが入射する。このためには水冷板を用いず、鏡面対象
方向の炉壁に、必要な大きさの窓を開けるなどの工夫を
施す。
方、放射計12の鏡面対象方向には、既知放射源13を
配置する。この既知放射源13は炉壁などのようにil
’l定対象と同程度の温度であり、第7図により示した
測温法のように測定対象の冷却の問題は生じない。また
、炉壁に貼りつけるだけでよいので大きく製作すること
も簡単であり、容易に鏡面反射係数Pを1.0と見なす
ことができる。
第1図において、既知放射源13内で放射光が達する範
囲をゾーンBとするとき、測定対象と壁との間隔をでき
るだけ小さくし、既知放射源13を充分に広くし、ある
いは、熱源の近く等の温度勾配のあるところを避けるな
どして、その中の温度および放射率が均一と見なせるよ
うにする。ここでは、ゾーンB内の温度をT2とし、放
射率をε2とする。また、標的を含み、その中の温度お
よび放射率が標的におけるそれぞれの値T1およびε1
と同一であると見なせる範囲をゾーンAとする。
ゾーンAの見かけの放射輝度をLA、ゾーンBの見かけ
の放射輝度をLBとすると、ε2≠1.0という前提の
もとで測定対象と既知放射源の間の相互反射を考慮する
ことにより次式が成り立つ。
巳=ε1・Lb(Tl)+ε2・団         
   ・・・(9)LBt2・Lb (T2)+ t 
1・巳            ・・・(10)ここで
、放射計11の出力をLlとすると放射計11には測定
対象からのみ入射するのでL1= i 1−Lb(TI
)                        
 ・・・(11)と表わされる。また、放射計12の出
力をL2とすると、L2=LAなので(9) 、 (1
0)式よりL2=<t 1−Lb(TI)+(1−ε1
)・E2・Lb(T2))/<1−(1−ε1)・(1
−ε2)〉・・・(12) が得られる。
ここで、LL、L2およびT2を測定し、E2を既知と
すると、(11)、(12)式より温度と放射率は次式
で正しく求められる。
Lb(Tl)=L1((1−t 2)L2+ i 2・
tbff2)>/(LL+ε2<Lb(T2) −L2
>3  ・・(13)ε1=(LL+ε2<Lb(T2
)−L2>)/<(1−ε2)L2+ε2・Lb(T2
))   ・・・(14)第6図に示した測温法ではt
 2=1.Oである必要があった。しかし本測温法にお
いてはε2≠1.0を前提に相互反射を考慮しているの
で、できる限り1.0に近いものを選定すれば良い。第
2図に、測定対象の温度を1000℃、放射率を0.3
.放射源の温度を950℃とし、ε2を0.94に設定
したときに、実際の放射率が0.94でなかった場合の
測温誤差の計算例を示す。たとえば、実際の放射率が0
.90であったときの測温誤差がわずか1℃程度である
本測温法では、放射計11に背光雑音が入射するのを防
ぐために窓を開ける必要があり、その窓の大きさは測定
対象の反射特性により決まる。確実に背光雑音の入射を
防ぐには窓を十分に大きく開ければ良いが、測定対象が
窓近傍で冷却されてしまうため、できる限り窓は小さく
しなければならない。もし、測定対象にゆらぎがあれば
光軸にずれが生じ、背光雑音の影響を受けることが考え
られる。そのような場合には光軸のずれを監視し、正し
く光軸が形成されているときのみ、(11)、(12)
式のLlとL2の放射輝度を用いて温度と放射率の同時
測定演算を行い、光軸がずれているときは同時測定演算
は行わずに(14)式から求められた最新の放射率計算
値を用いて、(12)式のL2のみの放射輝度を用いて
温度のみ測定すればよい。
第3図は光軸を監視する装置である。これにおいて、2
1は放射計、22は)Ie−Neレーザ、23および2
4はハーフミラ−25は集光レンズ。
26はバンドパスフィルタ、27は位置信号を出せる受
光素子である。ハーフミラ−23には放射計の検出光は
透過し、かつ、It e −N eレーザ22の光は透
過しないものを選定する。また、ハーフミラ−24には
透過率50%のものを選定し、バンドパスフィルタ26
にはHe−Neレーザ22の光のみを通すものを選定す
る。図においてtie−Neレーザ22から出た光はハ
ーフミラ−24を透過し、ハーフミラ−23で反射して
測定対象へと向かう。
測定対象がそのレーザ光に垂直であれば、レーザの光は
さらに測定対象上で反射し、ハーフミラ−23および2
4で反射したのちに受光素子27に入光する。もし測定
対象がゆらぎなどのためにレーザ光に垂直でなかったら
受光素子には入光しない。したがって、この装置を用い
ることにより測定対象のゆらぎを監視できる。レーザ光
と放射計の光軸を合わせておけば、放射計の光軸がずれ
て背光雑音が入射しく11)式が成り立たない場合に、
前述のように演算を行わなければその影響を免れること
ができる。
〔実施例〕
第4図に本発明を御飯様で実施する装置を示した。これ
において、31および32は放射計。
33は測定対象、34Cよ窓、35はカーボン繊維。
36はカーボン繊維の表面温度測定用の熱電対。
37は光軸監視装置である。この図に示すように、放射
計31は測定対象の法線と入射軸とが一致するように設
置されており、炉壁には窓34が設けられている。その
大きさは、鋼板からの反射光の立体角dΩを含む大きさ
とする。このとき放射計1に入射する背光雑音は無視で
きる。すなわち、炉外の温度は鋼板のそれに比較して数
100℃低いので、背光雑音のエネルギーは無視できる
程小さくなる。たとえば、板の温度を1000℃とすれ
ば、既知放射源の温度が約630℃で、S/N比は10
0となる。問題は(12)式の考え方である。放射源と
して実用的なのは、炉壁そのものを放射源とすることで
ある。幸い、カーボン繊維は第5図に示すように非常に
放射率が高い。これを炉壁に貼りつけ、その表面温度を
熱雷対で測定し、これを既知放射源とすれば、放射計3
2には(12)式の放射輝度が検出される。
〔発明の効果〕
以上、本発明の方法によれば、高温炉内など大きな背光
雑音が存在し、かつ、水冷遮蔽板の設置が許されない環
境において、正しく温度と放射率を同時測定することが
できる。また、光軸監視システムは本測定法に限らず、
−船釣に物体の位置変動の監視等にも用いることができ
るのは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による測定法の原理を説明するための説
明図、第2図は既知放射源の放射率見込み誤差の計算結
果を示したグラフ、第3図は光軸監視装置の構成を示す
ブロック図、第4図は本発明を御飯様で実施する装置の
構成を示したブロック図、第54はカーボン繊維の分光
対重を示したグラフ、第6図および第7図は従来より行
なわれている温度と放射率の同時測定法を説明するため
の説明図である。 11.12,21,27,31,32,41,51,5
2 :放射計13.42 :放射源    14,33
,43,55 :測定対象22:レーザ      2
3,24,56 :ミラー2S:集光レンズ    2
6:バンドパスフイルタ27:受光素子     34
:窓 35:カーボン繊維   36:熱電対37:光軸監視
装置   53:水冷遮蔽板54:背光雑音源

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)測定対象の表面の法線に対し、2台の放射計、放
    射源および窓を鏡面対象的に配置した測温システムにお
    いて; 前記放射計の一方には前記測定対象からの自発光分の放
    射だけを入射させ、他方には該測定対象物からの放射、
    該測定対象物からの放射であって前記放射源で反射され
    さらに該測定対象物表面で反射されたもの、および、該
    放射源からの放射であって該測定対象物表面で反射され
    たものを入射させ、各放射計の出力に所定の演算を施す
    ことにより、温度と放射率を同時に測定することを特徴
    とする高温炉内における温度と放射率の同時測定方法。
  2. (2)さらに、測定を行なう際に前記放射計に入射する
    光軸を監視し、放射計、測定対象および放射源の間で所
    定の光路が形成され、正しい測定値が得られたときのみ
    前記演算を行ない、異常測定を防止することを特徴とす
    る前記特許請求の範囲第(1)項記載の高温炉内におけ
    る温度と放射率の同時測定方法。
JP14472889A 1989-06-07 1989-06-07 高温炉内における温度と放射率の同時測定方法 Pending JPH0310128A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14472889A JPH0310128A (ja) 1989-06-07 1989-06-07 高温炉内における温度と放射率の同時測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14472889A JPH0310128A (ja) 1989-06-07 1989-06-07 高温炉内における温度と放射率の同時測定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0310128A true JPH0310128A (ja) 1991-01-17

Family

ID=15368946

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14472889A Pending JPH0310128A (ja) 1989-06-07 1989-06-07 高温炉内における温度と放射率の同時測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0310128A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6351818B1 (en) 1998-03-11 2002-02-26 Nec Corporation External interface circuit
JP2007055760A (ja) * 2005-08-25 2007-03-08 Aiho Corp 搬送装置
WO2008013004A1 (fr) * 2006-07-27 2008-01-31 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Procédé de mesure de température et dispositif de mesure de température de plaques d'acier, et procédé de contrôle de température de plaques d'acier
WO2022210927A1 (ja) * 2021-03-30 2022-10-06 株式会社オリジン 半田付け装置及び半田付け製品の製造方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6351818B1 (en) 1998-03-11 2002-02-26 Nec Corporation External interface circuit
JP2007055760A (ja) * 2005-08-25 2007-03-08 Aiho Corp 搬送装置
WO2008013004A1 (fr) * 2006-07-27 2008-01-31 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Procédé de mesure de température et dispositif de mesure de température de plaques d'acier, et procédé de contrôle de température de plaques d'acier
US20090287360A1 (en) * 2006-07-27 2009-11-19 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) Temperature measuring method and temperature measuring device of steel plate, and temperature control method of steel plate
US8812168B2 (en) 2006-07-27 2014-08-19 Kobe Steel, Ltd. Temperature measuring method and temperature measuring device of steel plate, and temperature control method of steel plate
WO2022210927A1 (ja) * 2021-03-30 2022-10-06 株式会社オリジン 半田付け装置及び半田付け製品の製造方法
JP2022154729A (ja) * 2021-03-30 2022-10-13 株式会社オリジン 放射型温度計、半田付け装置、温度測定方法及び半田付け製品の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4172383A (en) Method and an apparatus for simultaneous measurement of both temperature and emissivity of a heated material
US4435092A (en) Surface temperature measuring apparatus for object within furnace
US4979134A (en) Method for measuring surface temperature of semiconductor wafer substrate, and heat-treating apparatus
US5738440A (en) Combined emissivity and radiance measurement for the determination of the temperature of a radiant object
EP0335224B1 (en) Radiation thermometry
US5326173A (en) Apparatus and method for remote temperature measurement
US4823291A (en) Radiometric measurement of wafer temperatures during deposition
Lafargue-Tallet et al. Active thermo-reflectometry for absolute temperature measurement by infrared thermography on specular materials
Bgasheva et al. Laser‐pulse melting of calcium oxide and some peculiarities of its high‐temperature behavior
CA2030572A1 (en) Silicon wafer temperature measurement by optical transmission monitoring
EP0708318A1 (en) Radiance measurement by angular filtering for use in temperature determination of radiant object
JPH0310128A (ja) 高温炉内における温度と放射率の同時測定方法
JPS6049849B2 (ja) 物体の表面温度と放射率の測定装置
JPS6114529A (ja) 光フアイバを使用いた温度計測方法
US4884896A (en) Production line emissivity measurement system
JPS6186621A (ja) 放射率と温度の同時測定方法及びその装置
Maldague et al. Dual imager and its applications to active vision robot welding, surface inspection, and two-color pyrometry
Claggett et al. Radiation and infrared pyrometers
JPH05507356A (ja) 物体の温度測定方法及び装置並びに加熱方法
JPH0521412B2 (ja)
US3376748A (en) Method and apparatus for radiation pyrometry
RU61284U1 (ru) Устройство для лазерной термической обработки материалов
Tsai A summary of lightpipe radiation thermometry research at NIST
KR0174651B1 (ko) 고온기체 진단장치의 실시간 성능평가 시스템
JPS6221953Y2 (ja)