JPH0310139U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例によるエアーシヤ
ワー室を示す図、第２図は、この考案の一実施例
によるエアーシヤワー室の機能を示すブロツク図
、第３図は、従来のエアーシヤワー室の機能を示
すブロツク図である。 図において、１……検知器、２……タイマー、
３……クリーン装置、４……ダストカウンタ、５
……前室側扉、６……クリーンルーム側扉である
。第１図の図中の矢印は空気の流れを示す。なお
、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 清浄な環境を維持する区域の前室に設けられた
   個室と、この個室に取り付けられた上記区域側扉
   及び上記前室側扉と、この前室側扉の開閉を検知
   する検知器と、この検知器からの信号により加圧
   された清浄な空気を上記個室内に所定の時間噴射
   し、循環させるように作用する装置からなるエア
   ーシヤワー室において、上記装置の所定の時間作
   動後、エアーシヤワー室内の塵埃の濃度を測定し
   、濃度がある基準以下であれば上記装置の動作を
   停止させ、また、濃度がある基準を越えていれば
   、再度所定の時間上記装置の動作を継続させるよ
   うに作用する塵埃測定器を備えたことを特徴とす
   るエアーシヤワー室。