JPH03101514U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03101514U JPH03101514U JP915590U JP915590U JPH03101514U JP H03101514 U JPH03101514 U JP H03101514U JP 915590 U JP915590 U JP 915590U JP 915590 U JP915590 U JP 915590U JP H03101514 U JPH03101514 U JP H03101514U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- gas
- corrosive gas
- furnace
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010790 dilution Methods 0.000 claims description 7
- 239000012895 dilution Substances 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Description
第１図ないし第２図は本考案の一実施例に係り
、第１図は実施例に係る腐食性ガス排気構造を備
えた縦型熱処理炉の縦断面図、第２図は希釈合流
部材の拡大断面図である。また、第３図は従来例
に係る排気構造を備えた縦型熱処理炉の縦断面図
である。 １……炉芯管、１２……排気ダクト、２８……
炉芯管用排気管、３０……希釈合流部材、３２…
…希釈ガス注入管、３３……ガス排出口。
、第１図は実施例に係る腐食性ガス排気構造を備
えた縦型熱処理炉の縦断面図、第２図は希釈合流
部材の拡大断面図である。また、第３図は従来例
に係る排気構造を備えた縦型熱処理炉の縦断面図
である。 １……炉芯管、１２……排気ダクト、２８……
炉芯管用排気管、３０……希釈合流部材、３２…
…希釈ガス注入管、３３……ガス排出口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 炉芯管に収容された基板を腐食性ガスの雰囲気
内で加熱するために、炉芯管内へ腐食性のガスを
供給し、炉芯管から排出される腐食性のガスを、
炉口周辺の大気を排気する排気ダクトへ排気する
腐食性ガス使用型基板熱処理炉の排気装置におい
て、 炉芯管に連通して、炉芯管からの腐食性ガスを
排出する炉芯管用排気管と、 炉芯管用排気管に連通し、かつ希釈ガスが供給
される希釈ガス注入管とも連通して、炉芯管から
排気された腐食性ガスに希釈ガスを合流する希釈
合流部材を備え、 希釈合流部材の排気側を排気ダクトに連通接続
することを特徴とする腐食性ガス使用型基板熱処
理炉の排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP915590U JPH03101514U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP915590U JPH03101514U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03101514U true JPH03101514U (ja) | 1991-10-23 |
Family
ID=31512760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP915590U Pending JPH03101514U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03101514U (ja) |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP915590U patent/JPH03101514U/ja active Pending