JPH0310194A - 位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は例えば半導体製造装置等で使用されるマスク
、レチクル、ウェハ等を高精度に位置決めする位置決め
装置の改良に関する。

（従来の技術） 一般に、例えば半導体製造装置等で使用されるマスク、
レチクル、ウェハ等を高精度に位置決めする位置決め装
置として、マスク、レチクル、ウェハ等を複数の駆動テ
ーブルによって複数の方向に高精度に変位させる構成に
したものが知られている。この種のものとして、同一の
水平面上に大小の枠体を配設し、一方の枠体を基板上に
Ｘ方向に、また他方の枠体をＸ方向と直交するＹ方向に
それぞれ変位可能に装着させてＸテーブルおよびＹテー
ブルをそれぞれ形成させるとともに、Ｘテーブルまたは
Ｙテーブルによって形成される小枠体の内部に水平面と
直交するＺ方向の回動軸を中心として回動変位するθテ
ーブルを配設し、マスク、レチクル、ウェハ等をこれら
のＸテーブル。

Ｙテーブル、θテーブルによってＸ方向、Ｙ方向および
２方向の回動軸を中心とする回動方向にそれぞれ微小変
位させるようにしたものが開発されている。この場合、
θテーブルの下方に基板の板面を含むＸ−Ｙ平面と直交
するＺ方向に変位可能に、かつＸ、Ｙ方向に沿って配置
された第１．第２の回動軸を中心にそれぞれ傾動可能な
２・チルトテーブルを配設し、θテーブルをこの２・チ
ルトテーブルに対して面方向に移動自在に装着させるこ
とにより、θテーブルを２＃チルトテーブルの動作に追
従させ、θテーブル上のマスク、レチクル、ウェハ等を
Ｘ−Ｙ平面と直交する２方向に変位可能に、かつＸ、Ｙ
方向に沿って配置された第１．第２の回動輪を中心にそ
れぞれ傾動可能にしたものもある。

ところで、上記構成のものにあってはθテーブルは２・
チルトテーブル上に例えば３箇所以上に配設された複数
の鋼球を介して下側から支持されているだけであり、こ
のθテーブルに作用する下向きの力はθテーブルの自重
のみである。そのため、例えばθテーブルのＺ方向の移
動を案内する案内部材とθテーブルとの摺動面間に作用
する摩擦力がθテーブルに作用する下向きの力よりも大
きい場合には例えばＺ・チルトテーブルが下向きに移動
する際にθテーブルが案内部材との摺動面間の摩擦力に
よって下降途中で係止されるおそれがあるので、θテー
ブルをＺ・チルトテーブルの動作に正確に追従させるこ
とが困難になり、位置決め精度が悪くな、る問題があっ
た。

（発明が解決しようとする課題） Ｚ・チルトテーブル上に例えば３箇所以上に配設された
複数の鋼球を介してθテーブルを下側から支持させた構
成の場合にはθテーブルのＺ方向の移動を案内する案内
部材とθテーブルとの摺動面、間に作用する摩擦力がθ
テーブルに作用する下向きの力よりも大きくなり、θテ
ーブルを２・チルトテーブルの動作に正確に追従させる
ことが困難になるおそれがあるので、位置決め精度が悪
くなる問題があった。

この発明は上記事情に着目してなされたもので、基板の
板面を含む平面と直交する方向に移動可能に、かつ直交
する２方向に配置された第１．第２の回動輪を中心にそ
れぞれ傾動可能に装着された第１のテーブルの動作時に
この第１のテーブル上に面方向に移動自在に支持された
第２のテーブルを正確に追従させることができ、位置決
め精度の向上を図ることができる位置決め装置を提供す
ることを目的とするものである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 請求項第（１）項の発明は基板と、この基板上に離間対
向配置された第１のテーブルと、この第１のテーブルと
前記基板との間に配設され、前記第１のテーブルを前記
基板の板面を含む平面と直交する方向に移動可能に、か
つ前記基板平面と平行な平面内の回動軸を中心に傾動可
能に駆動する駆動機構と、前記第１のテーブルの上に離
間対向配置された第２のテーブルと、この第２のテーブ
ルと前記第１のテーブルとの間に配設され、前記第２の
テーブルを前記第１のテーブルに対して面方向に移動自
在に支持する支持機構と、前記第２のテーブルが第１の
テーブルの面方向以外の方向に移動することを防止する
移動方向規制手段とを具備したものである。

また、請求項第（２）項の発明は請求項第（１）項の発
明の移動方向規制手段を上端部が第２のテーブルに固定
され、下端部が第１のテーブルの下側に延出された支持
ロッドと、前記第１゜第２の両テーブルの相対動作時に
前記支持ロッドと前記第１のテーブルの接触を避ける逃
げ部と、前記支持ロッドの下側延出部に設けられ、前記
第１、第２のテーブルと支持機構との接触部位間に予圧
を発生させる予圧発生部とを備えたものによって形成さ
せたものである。

さらに、請求項第（３）項の発明は請求項第（１）項の
発明の移動方向規制手段を第１．第２の両テーブルの各
対向面にそれぞれ磁石を装着し、前記第１．第２の両テ
ーブル間の支持機構を形成する鋼球を前記第１．第２の
両テーブルの各磁石によって吸引させる磁気吸着機構に
よって形成させたものである。

また、請求項第（４）項の発明は請求項第（１）項の発
明の移動方向規制手段を基板上に固定されたスタンドと
、このスタンドの上端部に一端部が固定され、他端部に
第２のテーブルの上側位置まで延出された延出部が形成
された支持アームと、この支持アームの延出部を前記第
２のテーブルに圧接させる方向に付勢する付勢手段と、
前記支持アームの延出部に装着され、空気噴出用のノズ
ルを備えたエアパッドと、このエアパッドのノズルに連
結させた空気供給機構と、前記第２のテーブルの移動時
□には前記エアパッドのノズルから空気を噴出させ、前
記第２のテーブルの移動停止時には前記エアパッドのノ
ズルからの空気の噴出を停止させる空気供給制御手段と
を備えたものによって形成させたものである。

さらに、請求項第（５）項の発明は基板上に進退可能に
装着され、進退方向に沿って高さ寸法が徐々に変化する
傾斜面が上面に形成されたくさび状のスライダと、前記
基板上に離間対向配置されたテーブル側に装着され、前
記スライダの傾斜面に当接するローラとを備えた高さ調
整機構が前記基板とテーブルとの間の少なくとも３箇所
に配置され、前記各スライダの進退動作にともない前記
テーブルを前記基板の板面を含む平面と直交する方向に
移動可能に、かつ前記基板平面と平行な平面内の回動輪
を中心に傾動可能に駆動する駆動機構が配設された位置
決め装置において、前記ローラにおける前記スライダの
傾斜面との当接面に前記ローラの中心位置を中心とする
円弧面を形成したものである。

また、請求項第（６）項の発明は基板上に進退可能に装
着され、進退方向に沿って高さ寸法が徐々に変化する傾
斜面が上面に形成されたくさび状のスライダと、前記基
板上に離間対向配置されたテーブル側に装着され、前記
スライダの傾斜面に当接するローラとを備えた高さ調整
機構が前記基板とテーブルとの間の少なくとも３箇所に
配置され、前記各−スライダの進退動作にともない前記
テーブルを前記基板の板面を含む平面と直交する方向に
移動可能に、かつ前記基板平面と平行な平面内の回動軸
を中心にそれぞれ傾動可能に駆動する駆動機構が配設さ
れた位置決め装置において、前記各高さ調整機構のロー
ラとこのローラの支軸との間に前記ローラの中心位置を
中心として回転可能な自動調芯軸受を配設するとともに
、前記テブル側に前記支軸を軸方向に移動可能に軸支す
る幀受部を設けたものである。

（作　用） 請求項第（１）項の発明では第２のテーブルが第１のテ
ーブルの面方向以外の方向に移動することを防止する移
動方向規制手段を設けることにより、第１のテーブルが
面方向以外の方向に移動する動作時にこの移動方向規制
手段によって第１のテーブルの動きに第２のテーブルを
正確に追従させ、位置決め精度の向上を図るようにした
ものである。

また、請求項第（２）項の発明では支持ロッドの上端固
定部とこの支持ロッドの下側延出部の予圧発生部との間
で第１．第２の両テーブルを面方向のみの相対動作を可
能な状態に挟持させ、第１のテーブルおよび移動方向規
制手段の重量を支持ロッドを介して第１のテーブルに伝
達させることにより、第１のテーブルが面方向以外の方
向に下向きに移動する際に第２のテーブルの移動を案内
する案内部材と第２のテーブルとの摺動面間に作用する
摩擦力が第１のテーブルの自重による下向きの力よりも
大きくなった場合であっても、第２のテーブルが下降途
中で係止されることを防止して第１のテーブルの動きに
第２のテーブルを正確に追従させ、位置決め精度の向上
を図るとともに、第１．第２の両テーブルの相対動作時
には逃げ部によって支持ロッドと第１のテーブルの接触
を避けることにより、第１．第２−の両テーブルの相対
動作が不能になることを防止するようにしたものである
。

さらに、請求項第（３）項の発明では第１゜第２の両テ
ーブル間の支持機構を形成する鋼球を第１．第２の両テ
ーブルの各磁石によって吸引させることにより、第２の
テーブルが第１のテーブルの面方向以外の方向に移動す
ることを防止して第１のテーブルが面方向以外の方向に
移動する動作時にこの第１のテーブルの動きに第２のテ
ーブルを正確に追従させ、位置決め精度の向上を図るよ
うにしたものである。

また、請求項第（４）項の発明では第２のテーブルが第
１のテーブルの面方向に移動する相対動作時にはエアパ
ッドのノズルからの空気の噴出圧力によって第２のテー
ブルからエアパッドを離間させ、第１．第２の両テーブ
ル間の面方向の相対動作を円滑化させ、エアの噴出力に
より第２のテーブルには常に上から第１のテーブルに押
し付けられる力が働くととともに、第２のテーブルの移
動停止時にはエアパッドのノズルからの空気の噴出を停
止させ、付勢手段によって支持アームの延出部を第２の
テーブルに圧接させることにより、第１．第２のテーブ
ルと支持機構との接触部位間に予圧を発生させ、第２の
テーブルが第１のテーブルの面方向以外の方向に移動す
、ることを防止して第１のテーブルが面方向以外の方向
に移動する動作時にこの第１のテーブルの動きに第２の
テーブルを正確に追従させ、位置決め精度の向上を図る
ようにしたものである。

さらに、請求項第（５）項の発明では高さ調整機構の各
スライダの進退動作時にスライダの傾斜面に沿ってロー
ラの円弧面を転動させることにより、スライダの傾斜面
とローラの中心点との間の間隔を一定に保ち、スライダ
の傾斜面とローラとの間の片当りを防止してテーブルを
基板の板面を含む平面と直交する方向に移動する際の位
置決めを正確に行なわせるようにしたものである。

また、請求項第（６）項の発明では高さ調整機構の各ス
ライダの進退動作時に各高さ調整機構のローラとこのロ
ーラの支軸との間の自動調芯軸受によってスライダの傾
斜面とローラの中心点との間の間隔を一定に保ち、スラ
イダの傾斜面とローラとの間の片当りを防止するととも
に、テーブルの傾動時にはテーブル側の軸受部によって
支軸を軸方向に移動させ、ローラ間の距離変化にともな
いスライダの傾斜面上でローラが滑ることを防止してテ
ーブルを基板の板面を含む平面と直交する方向に移動す
る際の位置決めを正確に行なわせるようにしたものであ
る。

（実施例） 以下、この発明の第１の実施例を第１図乃至第４図を参
照して説明する。

第３図は例えば半導体製造装置のレチクルテーブルとし
て使用される位置決め装置全体の概略構成を示すもので
、１は矩形厚板によって形成された基板である。この基
板１の上面には離間対向配置された一対の支持台２，２
が突設されている。

これらの支持台２．２には対向面上縁部に沿って各一対
のＸテーブル案内３，３がそれぞれ設けられている。ま
た、一対の支持台２．２間には略矩形枠状のＹテーブル
５がＸテーブル案内３，３に沿ってＹ軸方向に移動可能
に支持されている。この場合、基板１の上面には正逆回
転可能な例えばＤＣサーボモータによって形成されるＹ
テーブル駆動モータ４が固定されている。さらに、Ｙテ
ーブル５の下面には外方向に向けて突設された角棒状の
Ｘ軸摩擦駆動バー６が固定されており、このＸ軸摩擦駆
動バー６がＹテーブル駆動モータ４の回転軸４ａに上方
から直角に圧接されている。このＹ軸摩擦駆動、バー６
は基板１の上面に配設された図示しない摩擦駆動機構に
よるプリロードを受けて回転軸４ａに圧接されており、
Ｘ軸摩擦駆動バー６と回転軸４ａとの間の滑りが防止さ
れている。そのため、Ｙテーブル駆動モータ４の回転軸
４ａの回転が摩擦圧接部を介してＸ軸摩擦駆動バー６に
伝達され、このＸ軸摩擦駆動バー６の直進運動に変化さ
れるようになっている。そして、このＸ軸摩擦駆動バー
６の直進運動によってＹテーブル５がＸテーブル案内３
．３に沿って第３図中に符号Ａで示す座標のＹ軸方向に
変位されるようになっている。なお、このＹテーブル５
の変位は図示しないＹ軸センサによって検出され、この
検出結果に基いてＹテーブル５の位置がフィードバック
制御されるようになっている。

・また、Ｙテーブル５の枠内にはＹテーブル５より小さ
い略矩形枠状のＸテーブル７が配置されている。これら
の大小のＹ、Ｘテーブル５．７は同一の水平面上に設け
られており、Ｙテーブル５とＸテーブル７との間にはＸ
テーブル７をＹテーブル５に対してＹ軸方向と直交する
Ｘ軸方向へ案内する４つのＸテーブル案内８・・・が設
けられている。

さらに、Ｘテーブル７の下面には外方向に向けて突設さ
れた角棒状のＸ軸摩擦駆動バー９が固定されている。ま
た、Ｙテーブル５の下面には正逆回転可能な例えばＤＣ
サーボモータによって形成されるＸテーブル駆動モータ
１ｏが固定されており、Ｘ軸摩擦駆動バー９がこのＸテ
ーブル駆動モータ１０の回転軸１０ａに上方から直角に
圧接されている。この場合、Ｘ軸摩擦駆動バー９もＸ軸
摩擦駆動バー６と同様に基板１の上面に配設された図示
しない摩擦駆動機構によるプリロードを受けて回転軸１
０ａに圧接され、滑りが防止されており、Ｘテーブル駆
動モータ１０の回転軸１０ａの回転が摩擦圧接部を介し
てＸ軸摩擦駆動バー９に伝達され、このＸ軸摩擦駆動バ
ー９の直進運動に変化されてＸテーブル７がＸテーブル
案内８・・・に沿って座標ＡのＸ軸方向に変位されるよ
うになっている。このＸテーブル７の変位は図示しない
Ｘ軸センサによって検出され、この検出結果に基いてＸ
テーブル７の位置がフィードバック制御されるようにな
っている。

さらに、Ｘテーブル７の枠内には大小のＹ、Ｘテーブル
５，７と同一の水平面上にθテーブル（第２のテーブル
）１１が配置されている。このθテーブル１１の略中央
部にはレチクル（またはマスク）１４を載置する載置台
１１ａが設けられている。この載置台１１ａには図示し
ない真空圧源に連結された吸着口１１ｂ・・・が形成さ
れており、真空吸引力によってレチクル１４を吸着固定
できるようになっている。また、θテーブル１１はＸテ
ーブル７に固定された３つのθテーブル案内１３・・・
を介してこのＸテーブル７に微小な回動変位が可能に装
着されている。この場合、θテーブル１１の外周部位に
は少なくとも３箇所に半径が等しい円弧部１１ｃが形成
されており、これらの円弧部１１ｃがθテーブル案内１
３・・・を介してＸテーブル７に支持されている。さら
に、Ｘテーブル７には正逆回転可能な例えばＤＣサーボ
モータによって形成されるＺテーブル駆動モータ１２が
固定されており、この２テーブル駆動モータ１２によっ
てθテーブル１１がＹ、Ｘテーブル５．７と同一の水平
面と直交するＺ軸方向の回動軸を中心に微小に回動駆動
されるようになっている。

また、θテーブル１１の下方には肉厚の略矩形枠状の２
・チルトテーブル（第１のテーブル）１５が配設されて
いる。この２−チルトテーブル１５は後述するＺ・チル
ト駆動機構１６によってＺ軸方向に移動可能に、かつＸ
軸およびＹ軸方向に平行な回動輪を中心に微小な回動、
いわゆる傾動可能に支持されている。さらに、このＺ・
チルトテーブル１５の上面には第１図および第２図に示
すように所定位置で転勤自在な複数の鋼球１５ａ・・・
が配設されており、これらの鋼球１５ａ・・・、を介し
てθテーブル１１を支持する支持機構１５ｓが形成され
ている。また、これらの鋼球１５ａ・・・はθテーブル
１１およびＺ・チルトテーブル１５の両方に接してＺ・
チルトテーブル１５の変位をθテーブル１１に伝えるよ
うになっている。したがって、θテーブル１１は下方の
Ｚ・チルトテーブル１５の動きに追従して基板１に対し
て上下動および傾動するとともに、Ｚ・チルトテーブル
１５上で鋼球１５ａ・・・を介してＺ軸方向の回動軸を
中心に回動可能になっている。なお、θテーブル１１の
回動動作時には鋼球１５ａ・・・が軸受として機能し、
θテーブル１１の回動動作がＺ・チルトテーブル１５に
伝達されることが防止されている。

一方、Ｚ・チルト駆動機構１６には基板１上の３箇所に
配置された高さ調整機構１６ａ、１６ｂ。

１６ｃが設けられている。これらの高さ調整機構１６ａ
、１６ｂ、１６ｃは例えば２−チルトテーブル１５の矩
形枠体の一辺両端位置とこの矩形枠体の対向辺の中央位
置とにそれぞれ配置されている。さらに、各高さ調整機
構１６ａ、１６ｂ。

１・６Ｃには基板１上に進退可能に装着されたくさび状
のスライダ１９とＺ・チルトテーブル１５側に装着され
たカムフォロワ１５ｂとが設けられている。このスライ
ダ１９は基板１上に固定された正逆回転可能な例えばＤ
Ｃサーボモータによって形成されるＺ・チルト駆動モー
タ１７の回転軸１７ｂの回転動作にともない基板１上で
進退駆動されるようになっている。この場合、２・チル
ト駆動モータ１７の回転軸１７ｂの外周面には雄ねじ部
が形成されているとともに、スライダ１９にはこの雄ね
じ部に螺合する雌ねじ状の螺合部が形成されており、こ
れらの雄ねじ部と螺合部とにより、Ｚ・チルト駆動モー
タ１７の回転軸１７ｂの回転動作がスライダ１９の直線
的な進退動作に変換されるようになっている。

また、スライダ１９の上面には進退方向に沿って高さ寸
法が徐々に変化する傾斜面１８が形成されており、この
傾斜面１８にカムフォロワ１５ｂが当接されている。そ
して、Ｚ・チルトテーブル１５は各高さ調整機構１６ａ
、１６ｂ、１６ｃのスライダ１９とカムフォロワ１５ｂ
とを介して基板１上に支持されている。さらに、各高さ
調整機構１６ａ、１６ｂ、１６ｃの２−チルト駆動モー
タ１７はそれぞれ別個に制御されており、各スライダ１
９が同時に、或いは別個に基板１上を移動できるように
なっている。ここで、各高さ調整機構１６ａ、１６ｂ、
１６ｃの２−チルト駆動モータ１７の回転軸１７ｂが例
えば同時に同方向に回転駆動された場合には各スライダ
１９が同時に同距離移動され、各スライダ１９の移動動
作にともない２・チルトテーブル１５がＺ軸方向に平行
移動されるようになっている。また、各高さ調整機構１
６ａ、１６ｂ、１６ｃの２−チルト駆動モータ１７が別
個に駆動されることにより、各スライダ１９の移動量に
応じて例えば第４図に示すようにＺ・チルトテーブル１
５が基板１の板面方向（水平面方向）に対してＸ輔また
はＹ軸方向に平行な回動軸を中心に傾動され、この２・
チルトテーブル１５の傾動動作に追従してθテーブル１
１が鋼球１５ａ・・・を介して傾動されるようになって
いる。

さらに、θテーブル１１とＺ・チルトテーブル１５との
間にはθテーブル１１がＺ・チルトテーブル１５の面方
向以外の方向に移動することを防止する移動方向規制手
段２ｏが設けられている。

この移動方向規制手段２ｏには４つのＴバー２１・・・
が設けられている。これらのＴバー２１には第１図およ
び第２図に示すように板材によって形成された連結部材
２２とこの連結部材２２の上面中央に突設された円柱状
の支持ロッド２３とが設けられている。また、θテーブ
ル１１の四隅には支持ロッド２３の挿通孔２４がそれぞ
れ形成されている。さらに、Ｚ・チルトテーブル１５の
四隅にはθテーブル１１の各挿通孔２４と対応する位置
に支持ロッド２３との接触を逃げる適宜の大きさの矩形
穴２５がそれぞれ形成されている。これらのＺ・チルト
テーブル１５の矩形穴２５は支持ロッド２３の外径寸法
よりも充分に大きく形成されている。また、各Ｔバー２
１の支持ロッド２３の先端にはねじ部２６が形成されて
おり、この支持ロッド２３のねじ部２６が下側からＺ・
チルトテーブル１５の各矩形穴２５およびθテーブル１
１の各挿通孔２４内に挿通され、θテーブル１１の上面
側で固定ねじ２７によってねじ止めされている。さらに
、各Ｔバー２１の連結部材２２の上面両端部には予圧発
生部２８がそれぞれ設けられている。これらの予圧発生
部２８は例えばワンポイントボールベアリング２８ａに
よって形成されている。このワンポイントボールベアリ
ング２８ａは例えば皿ばね等のように剛性が高いばね部
材を介して連結部材２２に取付けられている。そして、
８Ｔバー２１の取付は時には各Ｔバー２１のワンポイン
トボールベアリング２８ａ、２８ａは下側からＺ・チル
トテーブル１５の下面に圧接されており、この状態で、
各Ｔバー２１の上端部のねじ止め部とワンポイントボー
ルベアリング２８ａ。

２８ａとの間でθテーブル１１、各鋼球１５ａ・・・Ｚ
・チルトテーブル１５が一体的に挟持され、θテーブル
１１とＺφチルトテーブル１５との間の面方向以外の相
対運動が拘束されるようになっている。また、例えばθ
テーブル１１がＺ・チルトテーブル１５に対してＸ軸方
向、Ｙ軸方向に変位したり、Ｚ軸方向の回動輪を中心と
する回動方向に変位するθテーブル１１とＺ・チルトテ
ーブル１５との間の面方向の相対運動時にはθテーブル
１１とＺ・チルトテーブル１５との間の各鋼球１５ａ・
・・の転動動作およびＺ・チルトテーブル１５の下面に
沿う各Ｔバー２１のワンポイントボールベアリング２８
ａ・・・の転動動作によってθテブル１１をＺ・チルト
テーブル１５に沿って円滑に移動させることができる。

さらに、このθテーブル１１と２・チルトテーブル１５
との間の面方向の相対運動時にはＺ・チルトテーブル１
５に対してθテーブル１１と各Ｔバー２１・・・カ一体
的に移動するようになっており、Ｚ・チルトテーブル１
５の四隅の矩形穴２５の範囲内で各Ｔバー２１・・・の
支持ロッド２３およびθテーブル１１がＸ軸方向、Ｙ軸
方向および回動方向に自由に移動可能になっている。

そこで、上記構成のものにあっては移動方向規制手段２
０の各Ｔバー２１の上端部のねし止め部とワンポイント
ボールベアリング２８ａ、２８ａとの間でθテーブル１
１、各鋼球１５ａ・・・　２・チルトテーブル１５を一
体的に挟持させ、θテーブル１１がＺ・チルトテーブル
１５の面方向以外の方向に移動することを防止するよう
にしたので、２＠チルトテーブル１５がＺ軸方向に変位
されたり、Ｘ軸またはＹ軸方向に平行な回動軸を中心に
傾動される場合のようにθテーブル１１がＺ・チルトテ
ーブル１５の面方向以外の方向に移動する動作時には各
Ｔバー２１を介してＺ・チルトテーブル１５および各Ｔ
バー２１・・・の自重をθテーブル１１に下向きの力と
して作用させることができる。そのため、例えばＺ・チ
ルトテーブル１５が下向きに移動する際にθテーブル１
１のＺ方向の移動を案内するθテーブル案内１３・・・
とθテーブル１１０円弧部１１ｃとのｊｔｌ動面間に作
用する摩擦力がθテーブル１１の自重による下向きの力
よりも大きくなった場合であっても、従来のようにθテ
ーブル１１が下降途中で係止されることを防止すること
ができるので、θテーブル１１を２・チルトテーブル１
５の動作に正確に追従させることができ、位置決め精度
の向上を図ることができる。

また　Ｚ　１１チルトテーブル１５の四隅にはθテーブ
ル１１の各挿通孔２４と対応する位置に支持ロッド２３
との接触を逃げる矩形穴２５をそれぞれ形成し、これら
の矩形穴２５内に支持ロッド２３を挿通させたので、θ
テーブル１１と２・チルトテーブル１５との面方向の相
対動作時にはこれらの逃げ部２５・・・によって支持ロ
ッド２３とＺ・チルトテーブル１５との接触を避けるこ
とができ、θテーブル１１とＺ・チルトテーブル１５と
の相対動作が不能になることを防止することができる。

また、第５図はこの発明の第２の実施例を示すものであ
る。

これは、θテーブル１１がＺ・チルトテーブル１５の面
方向以外の方向に移動することを防止する移動方向規制
手段２０としてθテーブル１１およびＺ・チルトテーブ
ル１５の各対向面にそれぞれ永久磁石３０．３１を装着
し、θテーブル１１と２・チルトテーブル１５との間の
支持機構１５５を形成する鋼球１５ｇ・・・をθテーブ
ル１１およびＺ・チルトテーブル１５の各永久磁石３０
゜３１によって吸引させる磁気吸着機構３２によって形
成させたものである。この場合、例えばθテーブル１１
がＺ・チルトテーブル１５に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向
に変位したり、Ｚ軸方向の回動軸を中心とする回動方向
に変位するθテーブル１１と２・チルトテーブル１５と
の間の面方向の相対運動時にはθテーブル１１とＺ・チ
ルトテーブル１５との間の各鋼球１５ａ・・・の転動動
作によってθテーブル１１を２・チルトテーブル１５に
沿って円滑に移動させることができる。

したがって、この場合にはθテーブル１１とＺ・チルト
テーブル１５との間の支持機構１５ｓを形成する鋼球１
５ａ・・・をθテーブル１１およびＺ・チルトテーブル
１５の各永久磁石３０．３１によって吸引させることに
より、θテーブル１１が２０・チルトテーブル１５の面
方向以外の方向に移動することを防止することができる
。そのため、Ｚ・チルトテーブル１５がＺ軸方向に変位
されたり、Ｘ軸またはＹ軸方向に平行な回動輪を中心に
傾動される場合のようにθテーブル１１がＺ・チルトテ
ーブル１５の面方向以外の下向きに移動する際にθテー
ブル１１のＺ方向の移動を案内するθテーブル案内１３
・・・とθテーブル１１の円弧部１１Ｃとの摺動面間に
作用する摩擦力がθテーブル１１の自重による下向きの
力よりも大きくなった場合であっても、従来のようにθ
テーブル１１が下降途中で係止されることを防止するこ
とができるので、θテーブル１１をＺ・チルトテーブル
１５の動作に正確に追従させることができ、位置決め精
度の向上を図ることができる。また、この第２の実施例
ではθテーブル１１およびＺ・チルトテーブル１５の各
永久磁石３０．３１の吸引力によって支持機構１５８を
形成する鋼球１５ａ・・・を保持させることができるの
で、リテーナ等の鋼球１５ａ・・・の保持機構を省略す
ることができる。

そのため、第１の実施例のように複数のＴバー２１とワ
ンポイントボールベアリング２８ａ。

２８ａとを設ける場合に比べて部品点数を低減すること
ができ、構成の簡略化を図ることができる。

さらに、Ｚ・チルトテーブル１５と基板１との間の間隙
を小さくすることができるので、位置決め装置全体を薄
く、小形化することができる。

さらに、第６図乃至第９図はこの発明の第３の実施例を
示すものである。

これは、θテーブル１１がＺ・チルトテーブル１５の面
方向以外の方向に移動することを防止する移動方向規制
手段２０として第６図に示すように基板１上に固定され
たスタンド４１を３箇所に設け、各スタンド４１の上端
部に一端部が固定された支持アーム４２の他端部にθテ
ーブル１１の上側位置まで延出された延出部４３を形成
させるとともに、この支持アーム４２の固定端部側と延
出部４３との間に切欠部４４を形成して延出部４３をθ
テーブル１１に圧接させる方向に付勢する切欠ばね状の
付勢手段を形成し、さらに支持アム４２の延出部４３に
第７図に示すように空気噴出用のノズル４５を備えたエ
アバッド４６を装着したものである。この場合、エアバ
ッド４６にはクランプ板４７とこのクランプ板４７の支
持部材４８とが設けられている。そして、クランプ板４
７の中央にノズル４５が形成されている。また、支持部
材４８には円柱状の支持ロッド４８ａの下端部にフラン
ジ部４８ｂが形成されており、このフランジ部４８ｂに
クランプ板４７が固定されている。

さらに、この支持ロッド４８ａの内部にはノズル４５に
連結されたエア供給路４８ｃが形成されている。このエ
ア供給路４８ｃの上端部にはエア供給管４９の一端部が
連結されている。また、このエア供給管４９の他端部は
スタンド４１および支持アーム４２にそれぞれ形成され
たエア供給通路５０に連結されている。さらに、このエ
ア供給通路５０は例えばニアコンプレッサ等の適宜の空
気供給源５１に連結されている。そして、これらの空気
供給源５１、エア供給通路５０、エア供給管４９．１ア
共給路４８ｃによってノズル４５への空気供給機構５２
が形成されている。また、この空気供給機構５２の空気
供給源５１は空気供給制御手段５３に接続されており、
この空気供給制御手段５３によってθテーブル１１とＺ
・チルトテーブル１５との面方向の相対動作時にはエア
バッド４６のノズル４５から高圧空気を噴出させ、θテ
ーブル１１とＺ・チルトテーブル１５との面方向の相対
動作の停止時にはエアバッド４６のノズル４５からの空
気の噴出を停止させるように動作が制御されている。

さらに、エアバッド４６の支持ロッド４８ａと支持アー
ム４２の延出部４３との間には自動調心装置５４が装着
されている。この自動調心装置５４は支持ロッド４８ａ
側に装着された球状体５４ａと延出部４３側に装着され
た軸受部５４ｂとによって形成されている。そして、θ
テーブル１１がいかなる姿勢をとる場合であってもこの
自動調心装置５４によってθテーブル１１とエアノくラ
ド４６のクランプ板４７との間が平行状態で保持される
ようになっている。

そこで、上記構成のものにあっては空気供給制御手段５
３によって空気供給源５１の動作を制御させ、θテーブ
ル１１とＺφチルトテーブル１５との面方向の相対動作
時にはエアバッド４６のノズル４５から高圧空気を噴出
させるようにしたので、エアバッド４６のノズル４５か
らの空気の噴出圧力によって第９図に示すようにエアバ
ッド４６のクランプ板４７をθテーブル１１から離間さ
せ、このエアバッド４６のノズル４５からの空気の噴出
圧力によってθテーブル１１の浮上りを防止することが
できる。そのため、例えばθテーブル１１がＺ・チルト
テーブル１５に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向に変位したり
、Ｚ軸方向の回動輪を中心とする回動方向に変位するθ
テーブル１１とＺ・チルトテーブル１５との間の面方向
の相対運動時にはエアバッド４６のクランプ板４７とθ
テーブル１１との間を非接触状態で保持させることがで
きるので、θテーブル１１とＺ−チルトテ−プル１５と
の間の各鋼球１５ａ・・・の転動動作によってθテーブ
ル１１を２−チルトテーブル１５に沿って円滑に移動さ
せることができる。

また、θテーブル１１と２−チルトテーブル１５との面
方向の相対動作の停止時にはエアパッド４６のノズル４
５からの空気の噴出を停止させ、支持アーム４２の延出
部４３に形成される切欠ばね状の付勢手段によって第８
図に示すように支持アーム４２の延出部４３をθテーブ
ル１１に圧接させ、支持アーム４２の延出部４３に形成
される切欠ばね状の付勢手段によってＺ・チルトテーブ
ル１５．θテーブル・１１と支持機構１５Ｓの各鋼球１
５ａ・・・との接触部位間に予圧を発生させるようにし
たので、θテーブル１１が２・チルトテーブル１５の面
方向以外の方向に移動することを防止することができる
。そのため、Ｚ・チルトテーブル１５がＺ軸方向に変位
されたり、Ｘ軸またはＹ軸方向に平行な回動輪を中心に
傾動される場合のようにθテーブル１１がＺ・チルトテ
ーブル１５の面方向以外の下向きに移動する際にθテー
ブル１１のＺ方向の移動を案内するθテーブル案内１３
・・・とθテーブル１１の円弧部１１ｃとの摺動面間に
作用する摩擦力がθテーブル１１の自重による下向きの
力よりも大きくなった場合であっても、従来のようにθ
テーブル１１が下降途中で係止されることを防止するこ
とができるので、θテーブル１１をＺ・チルトテーブル
１５の動作に正確に追従させることができ、位置決め精
度の向上を図ることができる。

さらに、エアバッド４６の支持ロッド４８ａと支持アー
ム４２の延出部４３との間に自動調心装置５４を装着し
、θテーブル１１がいかなる姿勢をとる場合であっても
この自動調心装置５４によってθテーブル１１とエアバ
ッド４６のクランプ板４７との間を平行状態で保持させ
るようにしたので、例えば第９図に示すようにエアパッ
ド４６のクランプ板４７をθテーブル１１から離間させ
た場合であってもθテーブル１１のクランプ状態を常に
安定化させることができ、信頼性の向上を図ることがで
きる。

また、第１θ図乃至第１２図はこの発明の第４の実施例
を示すものである。

これは、第１の実施例の２・チルト駆動機構１６の高さ
調整機構１６ａ、１６ｂ、１６ｃの構成を変更したもの
である。すなわち、この実施例では第１０図に示すよう
に２・チルトテーブル１５の下面にそれぞれローラ６１
によって形成された３個のカムフォロワ１５ｂを配設し
、第１１図に示すようにこれらの各ローラ６１の下方に
高さ調整機構１６ａ、１６ｂ、１６ｃの各スライダ１９
をそれぞれ対向配置させるとともに、第１２図に示すよ
うに各ローラ６１におけるくさび状のスライダ１９の傾
斜面１８との当接面にローラ６１の中心位置を中心Ｏと
する半径Ｒの円弧面６２を形成したものである。この場
合、３個のカムフォロワ１５ｂを形成する各ローラ６１
の支軸６３はＺ・チルトテーブル１５の下面に突設され
た軸受部材６４に取付けられている。

そこで、上記構成のものにあっては各ローラ６１におけ
るくさび状のスライダ１９の傾斜面１８との当接面にロ
ーラ６１の中心位置を中心Ｏとする半径Ｒの円弧面６２
を形成したので、各高さ調整機構１６ａ、１６ｂ、１６
ｃの２−チルト駆動モータ１７を別個に駆動させること
により、各スライダ１９の移動量を適宜変化させ、各ス
ライダ１９の移動量に応じて第１２図に示すようにＺ・
チルトテーブル１５を基板１の板面方向（水平面方向）
に対してＸ軸またはＹ軸方向に平行な回動輪を中心に傾
動させた際に、スライダ１９の傾斜面１８とローラ６１
の中心点Ｏとの間の間隔Ｒを常に一定に保つことができ
る。そのため、例えば各ローラ６１におけるくさび状の
スライダ１９の傾斜面１８との当接面をこの傾斜面１８
に平行な円筒面によって形成し、Ｚ・チルトテーブル１
５を水平位置に保持させた状態で各ローラ６１とスライ
ダ１９の傾斜面１８との当接面が面接触する場合のよう
にＺ・チルトテーブル１５を基板１の板面方向（水平面
方向）に対してＸ軸またはＹ軸方向に平行な回動輪を中
心に傾動させた際にスライダ１９の傾斜面１８とローラ
６１との間が片当りすることを防止することができるの
で、Ｚ・チルトテーブル１５を基板１の板面を含む平面
と直交する方向に移動する際の位置決めを正確に行なわ
せることができる。

さらに、第１３図乃至第１６図はこの発明の第５の実施
例を示すものである。

これは、第４の実施例のＺ・チルト駆動機構１６の高さ
調整機構１６ａ、１６ｂ、１６ｃの構成をさらに変更し
たものである。すなわち、この実施例では第１３図に示
すようにＺ・チルトテーブル１５の下面の３個のカムフ
ォロワ１５ｂを形成する各ローラ７１°におけるくさび
状のスライダ１９の傾斜面１８との当接面をこの傾斜面
１８に平行な円筒面７１ａによって形成し、各ローラ７
１とスライダ１９の傾斜面１８との当接面を面接触させ
るとともに、各高さ調整機構１６ａ。

１６ｂ、１６Ｃのローラ７１とこのローラ７１の支軸７
２との間に第１４図に示すようにローラ７１の中心位置
を中心Ｏとして回転可能な自動調芯軸受７３を配設し、
さらにＺ・チルトテーブル１５側に支軸７２を軸方向に
移動可能に軸支するリニア・ボールブツシュ（軸受部）
７４を設けたものである。この場合、ローラ７１の支軸
７２の内端部側には大径なローラ取付は部７２ａが設け
られている。そして、自動調芯軸受７３はこのローラ取
付は部７２ａとローラ７１との間に配設されている。さ
らに、この自動調芯軸受７３は例えばローラ取付は部７
２ａ側の内輪７３ａとローラ７１側の外輪７３ｂとの間
に多数の円柱状のころ７３ｃ・・・が複列に配設される
とともに、外輪７３ｂの内面（軌道面）が球面によって
形成された自動調芯ラジアルころ軸受によって形成され
ている。また、リニア・ボールブツシュ７４はＺ・チル
トテーブル１５の下面に突設された支持アーム７５の先
端部に形成された取付は孔７６内に嵌着されたガイドリ
ング７４ａとこのガイドリング７４ａに内包された多数
のボール７４ｂ・・・とによって形成されており、この
ガイドリング７４ａが多数のボール７４ｂ・・・を介し
てローラ７１の支軸７２に装着されている。さらに、支
軸７２の両端部には固定ナツト７７がそれぞれ螺着され
ており、この支軸７２の外端部側の固定ナツト７７とロ
ーラ取付は部７２ａとの間でＺ・チルトテーブル１５側
がこの支軸７２に沿って軸方向に移動可能になっている
。

そこで、上記構成のものにあっては各高さ調整機構１６
　ａ、　　１６　ｂ、　　１６　ｃのローラ７１とこの
ローラ７１の支軸７２との間にローラ７１の中心位置を
中心０として回転可能な自動調芯軸受７３を配設し、さ
らにＺφチルトテーブル１５側に支軸７２を軸方向に移
動可能に軸支するリニア・ボールブツシュ７４を設けた
ので、各高さ調整機構１６ａ、１６ｂ、１６ｃのＺ１１
チルト駆動七−タ１７を別個に駆動させることにより、
各スライダ１９の移動量を適宜変化させ、各スライダ１
９の移動量に応じて第１３図に示すようにＺ・チルトテ
ーブル１５を基板１の板面方向（水平面方向）に対して
Ｘ軸またはＹ軸方向に平行な回動軸を中心に傾動させた
際に、各高さ調整機構１６ａ。

１６ｂ、１６ｃのローラ７１とこのローラ７１の支軸７
２との間の自動調芯軸受７３によってスライダ１９の傾
斜面１８とローラ７１の中心点Ｏとの間の間隔を一定に
保つことができる。そのため、Ｚ・チルトテーブル１５
の傾動時にスライダ１９の傾斜面１８とローラ７１との
間が片当りすることを防止することができるので、Ｚ・
チルトテーブル１５のＺ方向の位置決めを正確に行なわ
せることができる。

さらに、Ｚ・チルトテーブル１５の傾動時にはＺ・チル
トテーブル１５側のリニア中ボールブツシュ７４によっ
て支軸７２を軸方向に移動させ、ローラ７１．７１間の
距離変化にともないスライダ１９の傾斜面１８上でロー
ラ７１が滑ることを防止したので、Ｚ・チルトテーブル
１５の傾動時に２−チルトテーブル１５が水平状、聾で
保持されている基準位置から横方向に位置ずれすること
を防止することができ、位置決め精度の向上を図ること
ができる。

なお、この第５の実施例のＺ・チルトテーブル１５にお
ける傾動時の横方向の位置ずれ防止効果について第１５
図および第１６図に示す上記第５の実施例の高さ調整機
構１６ａ、１６ｂ、１６ｃのモデルと、第１７図乃至第
１９図に示すＺ・チルトテブル１５側に支軸７２を固定
的に軸支させた構成の高さ調整機構１６ａ、１６ｂ、１
６ｃのモデルとを対比させながら説明する。

まず、第１７図乃至第１９図のモデル中で、８１は剛性
の固定ロッド（左右のローラ７１．７１間を結ぶ仮の連
結ロッドと対応する）　、８２　ａ　。

８２ｂはロッド８１の両端部にそれぞれ２本の固定ビン
８３．８３によって強固に固定されたこる（左右のロー
ラ７１．’７１と対応する）、８４ａ。

８４ｂは上下動作する左右１対の昇降部材（左右のスラ
イダ１９．１９と対応する）をそれぞれ示すものである
。さらに、このモデルでは第１７図がロッド８１を基準
の水平位置で保持させた状態、第１８図が基準の水平位
置から右側の昇降部材８４ｂを上昇させてロッド８１を
傾動させた状態、第１９図が右側の昇降部材８４ｂの高
さに合せて左側の昇降部材８４ａを上昇させてロッド８
１を水平姿勢に戻した状態をそれぞれ示すものである。

そして、このモデルでは第１８図に示すようにロッド８
１を傾動させた場合には左側のころ８２ａが昇降部材８
４ａの面上をδｌ　−ｒθだけ左に転がるとともに、右
側のころ８２ｂは昇降部材８４ｂの面上をδ２−Ｌ−Ｌ
ｃｏｓθだけ左方向に移動する。そのため、ロッド８１
を基準の水平位置から傾動位置まで移動させることによ
り、右側のころ８２ｂは昇降部材８４ｂの面上を滑るこ
とになる。さらに、この傾動位置から第１９図のように
左側の昇降部材８４ａを上昇させてロッド８１を水平姿
勢に戻した場合には右側のころ８２ｂが昇降部材８４ｂ
の面上をδｌ　−ｒθだけ右に転がるとともに、左側の
こる８２ａは昇降部材８４ａの面上を左方向に滑りなが
ら移動する。そのため、ロッド８１を第１７図に示す基
準の水平位置（初期状１！３）から第１８図に示す傾動
状態を経て第１９図に示す水平姿勢に戻した位置まで移
動させた場合にはロッド８１の中心点０１は初期状態よ
りΔＸだけずれることになる。したがって、このロッド
８１のＺ方向の移動中の中心点０□のずれ量ΔＸはＺ・
チルトテーブル１５のＺ方向の移動中の蛇行動作となっ
て現われるので、Ｚ・チルトテーブル１５の位置決め精
度の向上を図るうえで問題となる。

これに対し、第１５図および第１６図のモデル中で、９
１は伸縮自在なロッド（左右のローラ７１゜７１間を結
ぶ仮の連結ロッドと対応する）９２ａ、９２ｂはロッド
９１の両端部にそれぞれ２本の固定ビン９３．９３によ
って強固に固定されたこる（左右のローラ７１．７１と
対応する）、９４ａ、９４ｂはころ９２ａ、９２ｂを回
転自在に軸支する軸受（左右のローラ７１；　　７１の
自動調芯軸受７３．７３と対応する）　　９５ａ。

９５ｂは上下動作する左右１対の昇降部材（左右のスラ
イダ１９．１９と対応する）をそれぞれ示すものである
。さらに、このモデルではｉ１５図の点線位置がロッド
９１を基準の水平位置で保持させた状態、同図中、実線
で示す位置が基準の水平位置から右側の昇降部材９５ｂ
を上昇させてロッド９１を傾動させた状態、第１６図が
右側の昇降部材９５ｂの高さに合せて左側の昇降部材９
５ａを上昇させてロッド９１を水平姿勢に戻した状態を
それぞれ示すものである。

そして、このモデルでは第１５図中に点線で示すロッド
９１の基準の水平位置から右側の昇降部材９５ｂを上昇
させる動作時には軸受９４ａ。

９４ｂ内でころ９２ａ、９２ｂが回転しながら第１５図
の実線に示すロッド９１の傾動位置まで移動する。この
ロッド９１の傾動動作中、昇降部材９５ａ、９５ｂの面
上で軸受９４ａ、９４ｂの滑りは発生しないので、ロッ
ド９１の長さが伸びた状態に変形する。さらに、この傾
動位置から第１６図のように左側の昇降部材９５ａを上
昇させてロッド９１を水平姿勢に戻した場合も同様に軸
受９４ａ、９４ｂ内でころ９２ａ、９２ｂが回転しなが
ら第１５図の実線に示すロッド９１の傾動位置から第１
６図の実線に示す水平姿勢まで移動する。このロッド９
１の移動中も昇降部材９５ａ。

９５ｂの向上で軸受９４ａ、９４ｂの滑りは発生しない
ので、ロッド９１の長さが縮む状態に変形する。したが
って、このモデルではＺ方向の移動中、ロッド９１の中
心点ｏ２のずれが発生しないので、２・チルトテーブル
１５の蛇行動作を防止することができ、Ｚ・チルトテー
ブル１５の位置決め精度の向上を図ることができる。

なお、この発明は上記各実施例に限定されるものではな
い。例えば、第１の実施例のＴバー２１を４本に限定さ
れるものではなく、θテーブル１１とＺ・チルトテーブ
ル１５とを安定に挟持できるＩδ成であれば適宜の本数
であってもよい。また、上記各実施例では下側のＺ・チ
ルトテーブル１５の動作を上側のθテーブル１１に伝達
する構成のものを示したがこれらを逆に配置する構成に
してもよい。さらに、基板１は必ずしも水平状態で配置
させる必要はない。また、第１の実施例のＴバー２１に
はワンポイントボールベアリング２８ａの代わりに静圧
式の予圧機構をもうけてもよい。

また、第２の実施例の永久磁石３０．３１の代わりに電
磁石を用いる構成にしてもよい。

さらに、第３の実施例では移動方向規制手段２０として
基板１上に固定されたスタンド４１を３箇所に設け、こ
れらのスタンド４１にそれぞれクランプ機構を設ける構
成のものを示したが、クランプ機構の数は格別に限定さ
れるものではない。

また、この第３の実施例では支持アーム４２の固定端部
側と延出部４３との間に切欠部４４を形成して切欠ばね
状の付勢手段を形成した構成のものを示したが、切欠ば
ね状の付勢手段の代わりに板ばねを用いる構成にしても
よい。

さらに、その他この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形実施できることは勿論である。

［発明の効果］ 請求項第（１）項の発明によれば移動方向規制手段によ
って第２のテーブルが第１のテーブルの面方向以外の方
向への移動を防止したので、第１のテーブルが面方向以
外の方向に移動する動作時にこの第１のテーブルの動き
に第２のテーブルを正確に追従させ、位置決め精度の向
上を図ることができる。

また、請求項第（２）項の発明によれば支持ロッドの上
端固定部とこの支持ロッドの下側延出部の予圧発生部と
の間で第１．第２の両テーブルを面方向のみの相対動作
を可能な状態に挟持させ、第１のテーブルおよび移動方
向規制手段の重量を支持ロッドを介して第１のテーブル
に伝達させるようにしたので、第１のテーブルが面方向
以外の方向に下向きに移動する際に第２のテーブルの移
動を案内する案内部材と第２のテーブルとの摺動面間に
作用する摩擦力が第１のテーブルの自重による下向きの
力よりも大きくなった場合であっても、第２のテーブル
が下降途中で係止されることを防止して第１のテーブル
の動きに第２のテーブルを正確に追従させ、位置決め精
度の向上を図ることができるとともに、第１．第２の両
テーブルの相対動作時には逃げ部によって支持ロッドと
第１のテーブルの接触を避けるようにしたので、第１、
第２の両テーブルの相対動作が不能になることを防止す
ることができる。

さらに、請求項第（３）項の発明によれば第】１．第２
の両テーブル間の支持機構を形成する鋼球を第１．第２
の両テーブルの各磁石によって吸引させるようにしたの
で、第２のテーブルが第１のテーブルの面方向以外の方
向に移動することを防止することができ、第１のテーブ
ルが面方向以外の方向に移動する動作時にこの第１のテ
ーブルの動きに第２のテーブルを正確に追従させ、位置
決め精度の向上を図ることができる。

また、請求項第（４）項の発明によれば第２のテーブル
が第１のテーブルの面方向に移動する相対動作時にエア
パッドのノズルからの空気の噴出圧力によって第２のテ
ーブルがらエアパッドを離間させるようにしたので、第
１．第２の両テーブル間の面方向の相対動作を円滑化さ
せることができるとともに、第２のテーブルの移動停止
時にはエアパッドのノズルからの空気の噴出を停止させ
、付勢手段によって支持アームの延出部を第２のテーブ
ルに圧接させるようにしたので、第１゜第２のテーブル
と支持機構との接触部位間に予圧を発生させ、第２のテ
ーブルが第１のテーブルの面方向以外の方向に移動する
ことを防止して第１のテーブルが面方向以外の方向に移
動する動作時にこの第１のテーブルの動きに第２のテー
ブルを正確に追従させ、位置決め精度の向上を図ること
ができる。

さらに、請求項第（５）項の発明によれば高さ調整機構
の各スライダの進退動作時にスライダの傾斜面に沿って
ローラの円弧面を移動させるようにしたので、スライダ
の傾斜面とローラの中心点との間の間隔を一定に保ち、
スライダの傾斜面とローラとの間の片当りを防止するこ
とができ、テーブルを基板の板面を含む平面と直交する
方向に移動する際の位置決めを正確に行なわせることが
できる。

また、請求項第（６）項の発明によれば高さ調整機構の
各スライダの進退動作時に各高さ調整機構のローラとこ
のローラの支軸との間の自動調芯軸受によってスライダ
の傾斜面とローラの中心点との間の間隔を一定に保ち、
スライダの傾斜面とローラとの間の片当りを防止すると
ともに、テーブルの傾動時にはテーブル側の軸受部によ
って支軸を軸方向に移動させ、ローラ間の距離変化にと
もないスライダの傾斜面上でローラが滑ることを防止す
るようにしたので、テーブルを法板の板面を含む平面と
直交する方向に移動する際の位置決めを正確に行なわせ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図はこの発明の第１の実施例を示すもの
で、第１図は予圧発生機構を示す要部の縦断面図、第２
図は予圧発生機構の分解斜視図、第３図は位置決め装置
全体の概略構成を示す分解斜視図、第４図はＺ方向駆動
機構の概略構成を示す縦断面図、第５図はこの発明の第
２の実施例を示す要部の縦断面図、第６図乃至第９図は
この発明の第３の実施例を示すもので、第６図はエアパ
ッドの支持アームの取付は状態を示す斜視図、第７図は
同縦断面図、第８図はθテーブルの移動停止時の状態を
示す要部の縦断面図、第９図はθテーブルの移動中の状
態を示す要部の縦断面図、第１０図乃至第１２図はこの
発明の第４の実施例を示すもので、第１０図はＺ・チル
トテーブル下面のローラの配設状態を示す平面図、第１
１図は高さ調整機構の概略構成を示す側面図、第１２図
は高さ：Ａ整機構のスライダの傾斜面とローラとの接合
部分を示す側面図、第１３図乃至第１６図はこの発明の
第５の実施例を示すもので、第１３図は高さ２Ｉ整機構
の概略構成を示す側面図、第１４図は要部の縦断面図、
第１５図および第１６図は高さ調整機構の動作を説明す
るためのモデルを示すもので、第１５図はこのモデルを
傾動位置に移動させた状態を示す概略構成図、第１６図
はこのモデルを水平姿勢に戻した状態を示す概略構成図
、第１７図乃至第１９図はこの発明の第５の実施例と対
比させるためのモデルを示すもので、第１７図はこのモ
デルを基準の水平位置に保持させた状態を示す概略構成
図、第１８図はこのモデルを傾動位置に移動させた状態
を示す概略構成図、第１９図はこのモデルを水平姿勢に
戻した状態を示す概略構成図である。 １・・・基板、１１・・・θテーブル（第２のテーブル
）　１５・・・２・チルトテーブル（第１のテーブル）
　　１５ａ・・・鋼球、１５ｓ・・・支持機構、２０・
・・移動方向規制手段。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板と、この基板上に離間対向配置された第１の
   テーブルと、この第１のテーブルと前記基板との間に配
   設され、前記第１のテーブルを前記基板の板面を含む平
   面と直交する方向に移動可能に、かつ前記基板平面と平
   行な平面内の回動軸を中心に傾動可能に駆動する駆動機
   構と、前記第１のテーブルの上に離間対向配置された第
   ２のテーブルと、この第２のテーブルと前記第１のテー
   ブルとの間に配設され、前記第２のテーブルを前記第１
   のテーブルに対して面方向に移動自在に支持する支持機
   構と、前記第２のテーブルが第１のテーブルの面方向以
   外の方向に移動することを防止する移動方向規制手段と
   を具備したことを特徴とする位置決め装置。
2. （２）移動方向規制手段は上端部が第２のテーブルに固
   定され、下端部が第１のテーブルの下側に延出された支
   持ロッドと、前記第１、第２の両テーブルの相対動作時
   に前記支持ロッドと前記第１のテーブルの接触を避ける
   逃げ部と、前記支持ロッドの下側延出部に設けられ、前
   記第１、第２のテーブルと支持機構との接触部位間に予
   圧を発生させる予圧発生部とを備えたものであることを
   特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の位置決め装
   置。
3. （３）移動方向規制手段は第１、第２の両テーブルの各
   対向面にそれぞれ磁石を装着し、前記第１、第２の両テ
   ーブル間の支持機構を形成する鋼球を前記第１、第２の
   両テーブルの各磁石によって吸引させる磁気吸着機構に
   よって形成されたものであることを特徴とする特許請求
   の範囲第（１）項記載の位置決め装置。
4. （４）移動方向規制手段は基板上に固定されたスタンド
   と、このスタンドの上端部に一端部が固定され、他端部
   に第２のテーブルの上側位置まで延出された延出部が形
   成された支持アームと、この支持アームの延出部を前記
   第２のテーブルに圧接させる方向に付勢する付勢手段と
   、前記支持アームの延出部に装着され、空気噴出用のノ
   ズルを備えたエアパッドと、このエアパッドのノズルに
   連結させた空気供給機構と、前記第２のテーブルの移動
   時には前記エアパッドのノズルから空気を噴出させ、前
   記第２のテーブルの移動停止時には前記エアパッドのノ
   ズルからの空気の噴出を停止させる空気供給制御手段と
   を備えたものであることを特徴とする特許請求の範囲第
   （１）項記載の位置決め装置。
5. （５）基板上に進退可能に装着され、進退方向に沿って
   高さ寸法が徐々に変化する傾斜面が上面に形成されたく
   さび状のスライダと、前記基板上に離間対向配置された
   テーブル側に装着され、前記スライダの傾斜面に当接す
   るローラとを備えた高さ調整機構が前記基板とテーブル
   との間の少なくとも３箇所に配置され、前記各スライダ
   の進退動作にともない前記テーブルを前記基板の板面を
   含む平面と直交する方向に移動可能に、かつ前記基板平
   面と平行な平面内の回動軸を中心に傾動可能に駆動する
   駆動機構が配設された位置決め装置において、前記ロー
   ラにおける前記スライダの傾斜面との当接面に前記ロー
   ラの中心位置を中心とする円弧面を形成したことを特徴
   とする位置決め装置。
6. （６）基板上に進退可能に装着され、進退方向に沿って
   高さ寸法が徐々に変化する傾斜面が上面に形成されたく
   さび状のスライダと、前記基板上に離間対向配置された
   テーブル側に装着され、前記スライダの傾斜面に当接す
   るローラとを備えた高さ調整機構が前記基板とテーブル
   との間の少なくとも３箇所に配置され、前記各スライダ
   の進退動作にともない前記テーブルを前記基板の板面を
   含む平面と直交する方向に移動可能に、かつ前記基板平
   面と平行な平面内の回動軸を中心に傾動可能に駆動する
   駆動機構が配設された位置決め装置において、前記各高
   さ調整機構のローラとこのローラの支軸との間に前記ロ
   ーラの中心位置を中心として回転可能な自動調芯軸受を
   配設するとともに、前記テーブル側に前記支軸を軸方向
   に移動可能に軸支する軸受部を設けたことを特徴とする
   位置決め装置。