JPH0310539U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る平行割出装置の要部縦断
面図、第２図はその装置を備えるボンデイング装
置の正面図、第３図は平行度検出器の１例を示す
４個の圧電素子の平面図、第４図及び第５図はそ
れぞれ従来例を示す要部縦断正面図である。 １……ボンデイングツール、１ａ……ボンデイ
ングツールの圧着面、２……ツールホルダ、３…
…ツールホルダの支軸、５……自在ブロツク、１
０……球面軸受、１５……押圧ブロツク、２０…
…位置決め手段、３０……ボンデイングステージ
、３１……平行度検出器、３３……圧電素子、３
５……制御手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ボンデイングツールを保持するツールホルダと
   、ツールホルダを一体に組み付けた自在ブロツク
   と、自在ブロツクを介してツールホルダの支軸を
   傾動自在に支持する球面軸受と、球面軸受を備え
   た押圧ブロツクと、押圧ブロツクに組み込まれ、
   球面軸受で支持したツールホルダの支軸をＸ−Ｙ
   方向へ傾動して位置決めする位置決め手段と、ボ
   ンデイングステージ上へ着脱自在に載置される平
   行度検出器と、平行度検出器からの検出信号を受
   けて位置決め手段を駆動制御する制御手段とを具
   備して成り、 平行度検出器は同一平面内に配列され、ボンデ
   イングツールの圧着面に当接する複数の圧電素子
   を備え、各圧電素子から出力される電圧の差圧に
   基づき、ツールホルダの支軸を位置決め制御する
   ように構成したことを特徴とするボンデイング装
   置の平行割出装置。