JPH03106579A - ガルバノミラーによるレーザナンバリング装置 - Google Patents
ガルバノミラーによるレーザナンバリング装置Info
- Publication number
- JPH03106579A JPH03106579A JP1241828A JP24182889A JPH03106579A JP H03106579 A JPH03106579 A JP H03106579A JP 1241828 A JP1241828 A JP 1241828A JP 24182889 A JP24182889 A JP 24182889A JP H03106579 A JPH03106579 A JP H03106579A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- galvanometer
- mirror
- reflecting mirror
- numbering device
- Prior art date
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- Pending
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- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
ガルバノミラーによるナンバリング装置に係り、特に文
字列が横方向に長い場合に有効な該ナンバリング装置に
関し、 フォーカスずれを解消し、均質なドットを打つことが可
能なガルバノミラーによるナンバリング装置を提供する
ことを目的とし、 横軸（Ｘ軸）方向に長い文字列をレーザを用いて描画す
るレーザナンバリング装置において、該Ｘ軸方向に移動
可能なＸ軸駆動部（１１）に、第１の反射ミラー（１０
ａ ）と、縦軸（Ｙ軸）方向に反射方向を可変し得る
第２の反射ミラー（１０ ｂ ）（ガルパノミラー）を
有するＹ軸ガルバノメータ（６）とを設け、前記レーザ
（３）から発した光を平行先として前記第１の反射ミラ
ー（１０ａ）と前記第２の反射ミラー（１０ ｂ ）と
を介して前記Ｘ軸駆動部（１１）と前記Ｙ軸ガルバノメ
ータ〈６）とを作動させながら文字を描画することを構
或とする。
字列が横方向に長い場合に有効な該ナンバリング装置に
関し、 フォーカスずれを解消し、均質なドットを打つことが可
能なガルバノミラーによるナンバリング装置を提供する
ことを目的とし、 横軸（Ｘ軸）方向に長い文字列をレーザを用いて描画す
るレーザナンバリング装置において、該Ｘ軸方向に移動
可能なＸ軸駆動部（１１）に、第１の反射ミラー（１０
ａ ）と、縦軸（Ｙ軸）方向に反射方向を可変し得る
第２の反射ミラー（１０ ｂ ）（ガルパノミラー）を
有するＹ軸ガルバノメータ（６）とを設け、前記レーザ
（３）から発した光を平行先として前記第１の反射ミラ
ー（１０ａ）と前記第２の反射ミラー（１０ ｂ ）と
を介して前記Ｘ軸駆動部（１１）と前記Ｙ軸ガルバノメ
ータ〈６）とを作動させながら文字を描画することを構
或とする。
本発明はガルバノミラーによるナンバリング装置に係り
、特に文字列が横方向に長い場合に有効な該ナンバリン
グ装置に関する。
、特に文字列が横方向に長い場合に有効な該ナンバリン
グ装置に関する。
半導体を用いる電子工業界では半導体基板（ウェハー）
上に製造ロフト番号を第４図に示す如く刻印するために
５０〜１５０ Ｊ−φのスポットのレーザビームを所定
のウェハー表面に照射している。このレーザビーム照射
の方式としてはドット方式あるいはエングルーブ方式が
あるが所定の位置に刻印するためにＸ軸、Ｙ軸駆動とし
て通常ガルバノミラーが使用されている。
上に製造ロフト番号を第４図に示す如く刻印するために
５０〜１５０ Ｊ−φのスポットのレーザビームを所定
のウェハー表面に照射している。このレーザビーム照射
の方式としてはドット方式あるいはエングルーブ方式が
あるが所定の位置に刻印するためにＸ軸、Ｙ軸駆動とし
て通常ガルバノミラーが使用されている。
第３図はガルバノミラーを用いる従来のナンバリング装
置を説明するための概略図である。
置を説明するための概略図である。
第３図に示すように従来ウェハー１表面の所定位置（Ｘ
軸方向に長い）に文字列２を刻印する際、例えばＮｄ−
ＹＡＧレーザ３から第１の反射ミラー４ａにレーザを発
し、該ミラー４ａで反射された光を更に第２の反射ミラ
ー４ｂに照射し、該ミラー４ｂで反射させて行なう。こ
の場合第１の反射ミラー４ａはＸ軸方向に光を移動させ
るために軸固定のＸ軸ガルバノメータ５と接続され、一
方、Ｙ軸方向への光の移動は軸固定のＹ軸ガルバノメー
タ６と第２の反射ミラー４ｂが接続されていることによ
ってなされている。レーザによる文字列の陥画の際、第
５図に示すように例えばＡの如き一定の光の幅を使用し
てなされる。光強度がいずれか、Ｂ％又はＣにずれると
一定の文字描画がなされない。
軸方向に長い）に文字列２を刻印する際、例えばＮｄ−
ＹＡＧレーザ３から第１の反射ミラー４ａにレーザを発
し、該ミラー４ａで反射された光を更に第２の反射ミラ
ー４ｂに照射し、該ミラー４ｂで反射させて行なう。こ
の場合第１の反射ミラー４ａはＸ軸方向に光を移動させ
るために軸固定のＸ軸ガルバノメータ５と接続され、一
方、Ｙ軸方向への光の移動は軸固定のＹ軸ガルバノメー
タ６と第２の反射ミラー４ｂが接続されていることによ
ってなされている。レーザによる文字列の陥画の際、第
５図に示すように例えばＡの如き一定の光の幅を使用し
てなされる。光強度がいずれか、Ｂ％又はＣにずれると
一定の文字描画がなされない。
第２図に示したように文字列がＸ軸方向に長くなると反
射ミラーの軸が固定されているため反射ミラーを大きく
回転させる必要があり中心から入射光もそれにともなっ
て光軸が長くなり第６図に示すようにビーム焦点からの
距離がずれてレーザ印字品質が左右両端へ行く程悪くな
る。すなわち第３図に示した従来法での印字はＸ軸方向
に文字列が長いと左右両端で光のＦｏｃｕｓ （焦点〉
ボケによりビームエネルギーが弱くなり、規定のドット
径が得られなかったり、ドット形状が楕円形状になった
りするナンバリング品質の問題があった。
射ミラーの軸が固定されているため反射ミラーを大きく
回転させる必要があり中心から入射光もそれにともなっ
て光軸が長くなり第６図に示すようにビーム焦点からの
距離がずれてレーザ印字品質が左右両端へ行く程悪くな
る。すなわち第３図に示した従来法での印字はＸ軸方向
に文字列が長いと左右両端で光のＦｏｃｕｓ （焦点〉
ボケによりビームエネルギーが弱くなり、規定のドット
径が得られなかったり、ドット形状が楕円形状になった
りするナンバリング品質の問題があった。
ウェハー１と第２の反射ミラー４ｂとの間にレンズ９を
配設してビーム照射角度をウェハー面に対して垂直にす
る方式も用いられているがレンズの自体の均質性、レン
ズ外周部の歪、収差等により、上記と同様の問題も生じ
た。
配設してビーム照射角度をウェハー面に対して垂直にす
る方式も用いられているがレンズの自体の均質性、レン
ズ外周部の歪、収差等により、上記と同様の問題も生じ
た。
更に、Ｘ軸方向に文字列が長いとＸ軸ガルバノメータ５
の駆動範囲が２０〜３０印と大きいためもありガルバノ
メータ自体の振動による不安定性が生じる問題もあった
。
の駆動範囲が２０〜３０印と大きいためもありガルバノ
メータ自体の振動による不安定性が生じる問題もあった
。
本発明はフォーカスずれを解消し、均質なドットを打つ
ことが可能なガルバノミラーによるナンバリング装置を
提供することを目的とする。
ことが可能なガルバノミラーによるナンバリング装置を
提供することを目的とする。
上記課題は本発明によれば横軸（Ｘ軸〉方向に長い文字
列をレーザを用いて描画するレーザナンバリング装置に
おいて、 該Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸駆動部《１１》に、第１の
反射ミラー（１０ ａ ）と、縦軸（Ｙ軸）方向に反射
方向を可変し得る第２の反射ミラー（１０ｂ）（ガルバ
ノミラー）を有するＹ軸ガルバノメータ（６）とを設け
、前記レーザ（３〉から発した光を平行光として前記第
１の反射ミラー（１０ａ）と前記第２の反射ミラー（１
０ ｂ ）とを介して前記Ｘ軸駆動部（１１）と前記Ｙ
軸ガルバノメータ（６）とを作動させながら文字を描画
することを特徴とするガルバノミラーによるナンバリン
グ装置によって解決される。
列をレーザを用いて描画するレーザナンバリング装置に
おいて、 該Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸駆動部《１１》に、第１の
反射ミラー（１０ ａ ）と、縦軸（Ｙ軸）方向に反射
方向を可変し得る第２の反射ミラー（１０ｂ）（ガルバ
ノミラー）を有するＹ軸ガルバノメータ（６）とを設け
、前記レーザ（３〉から発した光を平行光として前記第
１の反射ミラー（１０ａ）と前記第２の反射ミラー（１
０ ｂ ）とを介して前記Ｘ軸駆動部（１１）と前記Ｙ
軸ガルバノメータ（６）とを作動させながら文字を描画
することを特徴とするガルバノミラーによるナンバリン
グ装置によって解決される。
〔作 用〕
従来はＸ軸方向への光照射を第１の反射ミラーの回転だ
けで行なっていたため特に左右両端は焦点がぼけたく一
定の光強度にならない〉が、本発明によれば、Ｘ軸方向
へ第２の反射ミラーをも移動し得るようにしたため文字
捕画の光強度をＸ軸方向において改善できる。
けで行なっていたため特に左右両端は焦点がぼけたく一
定の光強度にならない〉が、本発明によれば、Ｘ軸方向
へ第２の反射ミラーをも移動し得るようにしたため文字
捕画の光強度をＸ軸方向において改善できる。
本発明ではレーザとしては主にＮｄ−ＹＡＧレーザが用
いられる。またこのレーヂから出た光は例えばビームエ
キスパンダー等により平行光として第１の反射ミラーに
入射させビーム径の変化に対応し得るようにしている。
いられる。またこのレーヂから出た光は例えばビームエ
キスパンダー等により平行光として第１の反射ミラーに
入射させビーム径の変化に対応し得るようにしている。
またＸ軸駆動部の作動中のＸ軸方向への移動は約３００
ｗ／ ｓの速度が好ましい。
ｗ／ ｓの速度が好ましい。
本発明は文字列描画に用いられるが文字は勿論記号写も
含まれる。
含まれる。
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の１実施例を示す模式図である。
第１図はＸ軸用の反射ミラー（第１の反射ミラー）１０
ａとＹ軸ガルバノメータ６を固定して設けたＸ軸駆動部
１ｌが矢印の方向（Ｘ軸の方向）に移動可能に配設され
ている。
ａとＹ軸ガルバノメータ６を固定して設けたＸ軸駆動部
１ｌが矢印の方向（Ｘ軸の方向）に移動可能に配設され
ている。
Ｘ軸駆動部１１は通常用いられているリニアモー夕、エ
アベアリング（図示せず）等により高速で安定動作させ
ることが可能となる。Ｙ軸ガルバノメータ６のＸ軸方向
には従来と同様に第２の反射ミラー１０ｂが接続されて
いる。Ｎｄ−ＹＡＧレーザ３から発せられたビームは第
１の反射ミラー１０ａには常に平行に当たるようにビー
ムエキスパンダー（図示せず〉が設けられている。
アベアリング（図示せず）等により高速で安定動作させ
ることが可能となる。Ｙ軸ガルバノメータ６のＸ軸方向
には従来と同様に第２の反射ミラー１０ｂが接続されて
いる。Ｎｄ−ＹＡＧレーザ３から発せられたビームは第
１の反射ミラー１０ａには常に平行に当たるようにビー
ムエキスパンダー（図示せず〉が設けられている。
本実施例の装置はＸ軸方向に長い文字列２に対して使用
するものであり、１文字毎にＸ軸駆動部１１をリニアモ
ー夕等で移動させ、反射ミラー１０ａを所定位置にセッ
トし、その１つの文字の印字は、該Ｘ軸駆動部１１をＸ
軸方向に直線駆動させながら、Ｙ軸をガルパノミラー６
で駆動させて行う。この場合レーザは第１反射ミラー１
０ａに当たり反射されて、第２反射ミラー１０ｂで反射
されウェハー１の所定の文字を描くことになる。
するものであり、１文字毎にＸ軸駆動部１１をリニアモ
ー夕等で移動させ、反射ミラー１０ａを所定位置にセッ
トし、その１つの文字の印字は、該Ｘ軸駆動部１１をＸ
軸方向に直線駆動させながら、Ｙ軸をガルパノミラー６
で駆動させて行う。この場合レーザは第１反射ミラー１
０ａに当たり反射されて、第２反射ミラー１０ｂで反射
されウェハー１の所定の文字を描くことになる。
第２図は本発明の他の実施例を示す模式図である。
第２図では第１図で示したナンバリング装置においてＸ
軸駆動部に固定されたＸ軸固定ミラー（第１の反射ミラ
ー〉にガルバノメータを接続させＹ軸方向のみならずＸ
軸方向にもその回転範囲内で印字することができる。
軸駆動部に固定されたＸ軸固定ミラー（第１の反射ミラ
ー〉にガルバノメータを接続させＹ軸方向のみならずＸ
軸方向にもその回転範囲内で印字することができる。
第２図では、エングレーブタイブの文字を打刻する事が
可能である。本実施例では特に文字のみを記したが○、
→等の記号も用いられる。
可能である。本実施例では特に文字のみを記したが○、
→等の記号も用いられる。
以上説明したように本発明によれば印字の際、特にＸ軸
方向での焦点（フォーカス〉ずれが解消され、特に左右
両端で楕円形状ドットが無くなり、均質なビームドット
を対象物（ウエノ＼一等）に打つことが可能となる。
方向での焦点（フォーカス〉ずれが解消され、特に左右
両端で楕円形状ドットが無くなり、均質なビームドット
を対象物（ウエノ＼一等）に打つことが可能となる。
第１図は本発明の１実施例を示す模式図であり、第２図
は本発明の他の実施例を示す模式図であり、 第３図は従来の装置の１実施例を説明するための模式図
であり、 第４図はウェハーのＸ軸方向（平行）にナンバリングさ
れた例を示す図であり、 第５図はレーザビームの使用光強度部を示す図であり、 第６図は従来のガルバノミラ−（Ｘ軸）の光の拡がりを
示す図である。 ｌ・・・ウェハー ２・・・文字列、３・・・Ｎ
ｄ−ＹＡＧレーザ、 ４ａ，４ｂ・・・第１、第２反射ミラー５・・・Ｘ輪ガ
ルパノメー夕、 ６・・・Ｙ軸ガルバノメー夕、 １０ａ．１０ｂ−・・第１、第２反射ミラー、１１・・
・Ｘ軸駆動部、 １２・・・Ｙ軸ガルバノメータ。 実施例 第１図 ｌ ・・ウェハ ２・・文字列 ３・・・Ｎｄ−ＹＡＧレーザ ４ａ，４ｂ・・・第ｌ，第２反射ミラ ５・・・ Ｘ＠ガルバノメータ ６・・・ Ｙ乾ガルバノメータ 従来例 第３回 実 施 例 ２ ・・文字列 １０ａ．］Ｏｂ ．−＠１．第２７ｍミラー１１・・・
Ｘ配駆動部 １２・・ １′軸ガレゾメータ 第 ４ 図
は本発明の他の実施例を示す模式図であり、 第３図は従来の装置の１実施例を説明するための模式図
であり、 第４図はウェハーのＸ軸方向（平行）にナンバリングさ
れた例を示す図であり、 第５図はレーザビームの使用光強度部を示す図であり、 第６図は従来のガルバノミラ−（Ｘ軸）の光の拡がりを
示す図である。 ｌ・・・ウェハー ２・・・文字列、３・・・Ｎ
ｄ−ＹＡＧレーザ、 ４ａ，４ｂ・・・第１、第２反射ミラー５・・・Ｘ輪ガ
ルパノメー夕、 ６・・・Ｙ軸ガルバノメー夕、 １０ａ．１０ｂ−・・第１、第２反射ミラー、１１・・
・Ｘ軸駆動部、 １２・・・Ｙ軸ガルバノメータ。 実施例 第１図 ｌ ・・ウェハ ２・・文字列 ３・・・Ｎｄ−ＹＡＧレーザ ４ａ，４ｂ・・・第ｌ，第２反射ミラ ５・・・ Ｘ＠ガルバノメータ ６・・・ Ｙ乾ガルバノメータ 従来例 第３回 実 施 例 ２ ・・文字列 １０ａ．］Ｏｂ ．−＠１．第２７ｍミラー１１・・・
Ｘ配駆動部 １２・・ １′軸ガレゾメータ 第 ４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、横軸（Ｘ軸）方向に長い文字列をレーザを用いて描
画するレーザナンバリング装置において、該Ｘ軸方向に
移動可能なＸ軸駆動部（１１）に、第１の反射ミラー（
１０ａ）と、縦軸（Ｙ軸）方向に反射方向を可変し得る
第２の反射ミラー（１０ｂ）（ガルバノミラー）を有す
るＹ軸ガルバノメータ（６）とを設け、前記レーザ（３
）から発した光を平行光として前記第１の反射ミラー（
１０ａ）と前記第２の反射ミラー（１０ｂ）とを介して
前記Ｘ軸駆動部（１１）と前記Ｙ軸ガルバノメータ（６
）とを作動させながら文字を描画することを特徴とする
ガルバノミラーによるナンバリング装置。 ２、前記第１の反射ミラーにＸ軸ガルバノメータを接続
させて該第１の反射ミラーをＸ軸方向に反射方向を可変
し得るようにせしめたことを特徴とする請求項１記載の
ガルバノミラーによるナンバリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1241828A JPH03106579A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | ガルバノミラーによるレーザナンバリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1241828A JPH03106579A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | ガルバノミラーによるレーザナンバリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03106579A true JPH03106579A (ja) | 1991-05-07 |
Family
ID=17080100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1241828A Pending JPH03106579A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | ガルバノミラーによるレーザナンバリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03106579A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007125677A1 (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Phoeton Corp. | シールド導体層の切断方法及びレーザ加工装置 |
| JP2011240403A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Aflair Inc | 自走式ガルバノスキャナを搭載したレーザ加工機 |
| CN104766532A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-07-08 | 上海电机学院 | 一种以废旧光驱制备教学演示用的激光打印机装置 |
| CN106077947A (zh) * | 2016-07-05 | 2016-11-09 | 温州大学 | 一种斜锥圆台的等速椭圆轨迹激光精密加工方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60106686A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-12 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | レ−ザ・マ−キング装置 |
-
1989
- 1989-09-20 JP JP1241828A patent/JPH03106579A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60106686A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-12 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | レ−ザ・マ−キング装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007125677A1 (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Phoeton Corp. | シールド導体層の切断方法及びレーザ加工装置 |
| JP2011240403A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Aflair Inc | 自走式ガルバノスキャナを搭載したレーザ加工機 |
| CN104766532A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-07-08 | 上海电机学院 | 一种以废旧光驱制备教学演示用的激光打印机装置 |
| CN106077947A (zh) * | 2016-07-05 | 2016-11-09 | 温州大学 | 一种斜锥圆台的等速椭圆轨迹激光精密加工方法 |
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