JPH031075A - 液体窒素供給システムの結露防止構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、冷却を要する装置に液体窒素を供給する液体
窒素供給システムにおいて、液体窒素タンクと装置との
間のパイプラインの結露を防止する構造に関し、特に液
体窒素を連続供給しても問題が生じない液体窒素供給シ
ステムの結露防止構造に関する。

〈従来技術〉 従来の液体窒素供給システムにおいては、電気系のショ
ートの原因となる結露を防止するために、結露するであ
ろうと思われる箇所に断熱材を取り付けて、簡易的に保
冷を行っていた。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、従来の断熱材の使用による簡易的な保冷
による結露防止方法には、次の問題があった。

１５断熱材の継ぎ目より結露を生ずる。

２、液体窒素の連続供給を行った場合、断熱材に亀裂が
でき、その箇所から結露 が生ずる。

；）、冷却すべき装置の裏側に；家断熱材を取り付ける
ことができないため、その箇 所での結露を防止できない。

そこで、本発明の目的は、上記問題点をすべて解決でき
る液体窒素供給システムの結露防止構造を提供すること
である。

〈課題を解決するための手段〉 装置に液体窒素を供給するバイブライン表面での結露は
、極低温のベイブラインが水分を含んだ大気に直接触れ
るために生ずる。逆に言えば、バイブラインの表面が水
分を含んだ大気に直接触れないようにすれば、結露は生
じないということである。したがって、パイプラインの
結露の防止は、断熱材による保冷によらなくとも、極低
温のパイプラインと大気との直接の接触を断ち切ること
で実現できるはずである。

本発明はこの考えに基づいてなされたもので、その特徴
は、液体窒素タンクと装置との間のパイプラインの回り
にドライＮ、（窒素ガス）雰囲気を形成するドライＮ、
雰囲気形成装置を備えることにより、パイプラインをド
ライＮ２雰囲気中に置いて、パイプライン表面を大気か
ら遮断するようにした点にある。

上記ドライＮ、雰囲気形成装置はパイプラインの回りに
設けられた遮蔽部材を備え、この遮蔽部材とパイプライ
ンとの間にドライＮ、雰囲気を形成するようにするのか
望ましい。

また、上記ドライＮ、雰囲気形成装置をドライＮ、をパ
イプラインに向けて吹き付ける吹付装置によって形成す
るのが望ましい。

〈作用〉 上記ドライＮ２雰囲気形成装置によってパイプラインの
回りに水分を含まないドライＮ、雰囲気が形成され、こ
のドライＮ２雰囲気によってパイプライン表面が大気か
ら遮断されて、結露が防止される。

また、上記ドライＮ、雰囲気形成装置が遮蔽部材を備え
ている場合には、ドライＮ２雰囲気自体も大気から遮断
されるので、ドライＮ２雰囲気の中への水分の混入が防
止されて、乾燥状態が良好に保持され、かつドライＮ、
の拡散が防止されて、ドライＮ、の供給量を低減できる
。

また、上記ドライＮ、雰囲気形成装置を吹付装置によっ
て形成した場合には、場所を問わずドライＮ、雰囲気を
形成できるので、従来は結露の防止が不可能であった被
冷却装置の裏側等においても、結露が効果的に防止され
る。

〈実施例〉 以下、本発明を図示の実施例により詳細に説明する。

第１図は、本発明の結露防止構造を有する液体窒素供給
システムの一実施例のブロック図であり、■は液体窒素
タンク、２は液体窒素自動供給装置、３はパイプライン
、５は冷却すべき製造装置で、上記液体窒素自動供給装
置２と製造装置５を結ぶ直線状のパイプライン３には、
結露するであろうと思われる箇所に、ドライＮ、雰囲気
形成装置６を設けている。

第２図（ａＸｂ）は第１図に示したドライＮ、雰囲気形
成装置６の正面図および側面図である。同図において、
６１はドライＮ、の入口６２と出口６３とを有する遮蔽
部材としての密閉容器で、この容器６Ｉは、図示しない
ドライＮ、供給装置によって上記人口６２から送り込ま
れる低温のドライＮ。

を収容してパイプライン３の回りにドライＮ、雰囲気を
形成すると共に、このドライＮ、雰囲気を大気から遮蔽
する役目を果たす。この容器６１内に送り込まれたドラ
イＮ、は常時出口６２から排出され、乾燥度１００％の
ドライＮ、雰囲気が上記容器６１の内部に保持されるよ
うにしている。

したがって、上記構成によれば、上記容器６１内に形成
される乾燥度１００％のドライＮ２雰囲気によってパイ
プライン３が大気から完全に遮断されるので、極低温の
パイプラインの表面には結露が生じない。しかも、この
ドライＮ、雰囲気は容器６！によって大気から遮蔽され
ているので、人気中の水分が混入するおそれがない。ま
た、ドライＮ、は基本的には容器６１に収容されるので
、。

拡散が防止され、ドライＮ、の消費量が少なくなる。ま
た、低温のドライＮ、を使用しているので、バイブライ
ン３中の液体窒素への熱伝達を少なくできる。

なお、ドライＮ、はドライＮｔ供給装置と容器６１との
間に図示しない除湿装置を介在させて循環させてもよい
。

第３図（ａ）　（ｂ）は第２図に示したドライＮ２雰囲
気形成装置６の変形例で、Ｌ型のパイプライン３を使用
した場合のドライＮ、雰囲気形成装置の正面図および側
面図を示したものである。

第４図は装置の裏側での結露を防止するのに適したドラ
イＮ２雰囲気形成装置の実施例を示しており、このドラ
イＮ、雰囲気形成装置は、図示しない支持手段によって
支持され、パイプライン３の上下に配された１対のドラ
イＮ、吹付管６５，６５からなる。上記吹付管６５の先
端部分には複数の吹付口６６がパイプライン３に向けて
設けられている。このように、ドライＮ、吹付管６５．
６５は、パイプライン３の全周を取り囲む構造ではない
ので、従来の断熱材による結露防止方法では対処できな
かった装置の裏側等にも使用でき、その部分での結露を
防止できる。

Ｌ記構成において、図示しないドライＮ、供給装置から
吹付管６５に送り込まれたドライＮ、は吹付口６６から
パイプライン３および製造装置５の裏側部分に吹き付け
られる。ただし、この場合は、第２，３図に示した実施
例と異なり、パイプライン３の回りに形成されたドライ
Ｎ、雰囲気は大気にさらされているので、大気中の水分
が混入し易いため、パイプラインの回りに常にドライＮ
２が存するように、十分に換気をする必要がある。

なお、上記実施例では１対の吹付管６５をパイプライン
３の上下に配したが、この本数と位置に限るものではな
（、適宜変更できることは言うまでしない。

く効果〉 以上の説明より明らかなように、本発明によれば、液体
窒素タンクと装置との間のベイブラインの回りに水分を
含まないドライＮ、雰囲気を形成し、このドラ、イＮ、
雰囲気によってパイプラインと大気との間を遮断するの
で、大気中の水分がパイプラインに直接接触することが
なくなって、パイプラインの結露を効果的に防止できる
。また、従来とは全く異なり、断熱材を一切使用するこ
となく結露を防止する構造なので、断熱材の継ぎ目にお
ける結露、液体窒素を連続供給した場合に生じる断熱材
の割れ等、断熱材固存の問題とは本防止構造は無関係に
なる。したか−）で、パイプラインの下に精密機器、コ
ンピュータ等の電気系つまり水に弱いものがあっても、
安心して液体窒素供給システムを連続作動させることか
できる。また、安価な窒素を使用するので、結露の防止
が安価に行える。

なお、ドライＮ、雰囲気形成装置が遮蔽部材を備えてい
る場合には、ドライＮ、雰囲気を大気から遮断できるの
で、ドライＮ、雰囲気の中への水分の混入を防止して、
乾燥状態を良好に保持でき、またドライＮ、の消費量を
少なくできる。

また、ドライＮ、雰囲気形成装置を吹付装置によって形
成した場合には、従来は結露の防止が不可能であった装
置の裏側、狭隘な箇所等においてもドライＮ、雰囲気が
簡単に形成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の結露防止構造を備えた液体窒素供給シ
ステムのブロック図、第２図（ａ）　（ｂ）はドライＮ
、雰囲気形成装置の一実施例を示す正面図および側面図
、第３図（ａ）　（ｂ）は第２図に示した実施例の変形
例を示す正面図および側面図、第４図はドライＮ、雰囲
気形成装置の池の実施例を示す図である。 ｌ・・・液体窒素タンク、３・・・パイプライン、５・
・・製造装置、６・・・ドライＮ、雰囲気形成装置、６
１・・容器、６２・・・ドライＮ、入口、６３・・・ド
ライＮ。 出口、６５・・・ドライＮ、吹付管、６６・・・吹付口
。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）液体窒素タンクと装置との間のパイプラインの回
   りにドライＮ＿２雰囲気を形成するドライＮ＿２雰囲気
   形成装置を備えた液体窒素供給システムの結露防止構造
   。
2. （２）上記ドライＮ＿２雰囲気形成装置はパイプライン
   の回りに設けられた遮蔽部材を備え、この遮蔽部材とパ
   イプラインとの間にドライＮ＿２雰囲気を形成するよう
   にした請求項１に記載の液体窒素供給システムの結露防
   止構造。
3. （３）上記ドライＮ＿２雰囲気形成装置は、ドライＮ＿
   ２をパイプラインに向けて吹き付ける吹付装置からなる
   請求項１に記載の液体窒素供給システムの結露防止構造
   。