JPH03108628A - 振動梁型圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、検知要素として振動する梁を使用するディジ
タル出力の圧力センサに関する。

従来、振動梁を使用するセンサがいろいろ開発されてき
た。通常は、ディジタルパルスのある種のものが梁に働
く力又は圧力を表示するために使われている。

ある種のセンサは、米国特許明細書第３４７０４００号
及び同３４７９５３６号のように、圧電的感知技術を利
用している。その移動経路中に拘束されている軸支され
た梁の型式のものは、米国特許第３６４９８５７号に開
示されている。

振動する梁に関連する他の特許は、−射的に興味あるも
のとして、同じく第５６６４２５７号である。振動梁の
容ｆｊｋ感知技術が、米国特許第３１８７５７９号及び
５７６２２２３号中に例示されている。これらの両特許
には、感知用のコンデンサ板が、駆動コイルからの部材
の対向側にある。

梁の端での質量の加速のため罠、又は微小流量の衝撃の
ために横方向に屈曲する圧電梁が、米国特許第３３０４
７７３号に開示されている。容量感知手段を有する振動
梁を使用した加速度計が、米国特許第３５０５８６６号
に示゛されている。

１９７９年４月１７日に発行された米国特許第４１４９
４２２号は、プリテンシランを作り出すスプリング負荷
をかけて保持されており、かつ圧力負荷によってワイヤ
の固有振動数が変化するような細いワイヤを有する。振
動ワイヤ型の圧カセ／すを開示している。振動ワイヤに
負荷を与えるのに用いられるレバーは、枢軸移動を相対
的に自由に行なわしめるように断面わん曲結合上に装着
されている。

感知手段は、振動子からの電流がワイヤを通って流れ、
この電流が永久磁石からの磁場と反応してワイヤを動か
す。これは、反対のＥＭＦ　（起電力）を作り、電流発
生用の振動回路での正帰還がワ、イヤの振動を持続させ
る。このように、米国特許第４１４９４２２号に開示さ
れたセンサは、容量型の感知技術を利用していない。

この発明は、圧力センナに関し、特に、振動梁の固有振
動数に負荷を与えかつ形響を与える圧力センナに関する
。前記振動数が感知され、直接的なディジタル測定が出
来るディジタルパルスの形での出力、又は測定される圧
力の読み取りが用意される。

梁は、図示するように、枢軸的に装着されたレバーによ
って負荷を与えられ、該レバーは、梁へ負荷を与えてい
る間、これを不要な応力から隔離するのを助けている。

梁・＼の励起は、撮動子によって駆動されるコイルから
行なれ、感知手段はコンデンサである。このように、励
起と感知信号との間にはほとんど相互作用がなく、精度
を向上できる。

図示した特別の具体例では、励起コイルと取り出しコン
デンサ板は互いに一体に結合されて振動梁の同じ側に装
着されており、その結果として、これら結合体の装着や
シールドを容易にし、かつ駆動コイル、感知コンデンサ
および振動梁間の空間配置の整共鳴をより良く制御でき
、かつ取り出し部材上に装着されうる感知回路の構成部
品を有することで量の作用には不都合な影響をほとんど
与えない。

以下、本発明の具体ＮＫついて図面を参照して説明する
。Ｍ１図及び第２図に１本発明によるセンナの一般的な
配置が示され工いる。センナ集合体は１０で示されてお
り、外枠１１は種々の部品を装着するための基板を有し
ている。１２で示される枠の基嶺は平板で、枠は直立し
た壁１３．１４を有している。外枠１１の外面は、望ま
しくは厚さ約１５７ｍｍ（０，０６２インチ）のシリコ
ンゴムの被覆を施されていて、外部振動を弱めている。

壁１３は開口と、ベローズ１５．１６を装着するための
装着手段とを有している。

ベローズ１６は端部にカラー１７を有している。該カラ
ー＆主小さいリング状であり、該リングはクランプ２３
Ａの内部に一部はまり込み、かつクランプ２３Ａ内の凹
部に保持されている。クランプ２３Ａは、包括的に符号
２４で示され、枢軸動と負荷を与えるレバー部材の一部
を形成するタング２３に摺動的に取り付けられ、かつそ
れに沿りて摺動する。

タング２３はべｐ−ズ１５と１６間に延びている。ベロ
ーズ１５は、タング２３内の凹部に一部嵌め込まれてい
る端部リング１７Ａを有しているので、タング２３と接
続されている。べｐ−ズ１５と１６は、軸方向において
べｐ−ズを膨張させるような圧力からの負荷をタング２
３へ伝達する。タング２３は、クランプ２５Ａといっし
ょに摺動するような鳩尾端部を有している。

ベローズは、センサとして用いられる普通の設計のもの
であり、普段は図示のようＫ、静止又は平衡した位置に
おかれている。第１の圧力人口２０はベローズ１５に接
続されており、第２の圧力人口２１はベローズ１６に連
らなっている。ベローズは。

勿論、圧力を受けると軸に沿って膨張しようとし、タン
グ２３とクランプ２３Ａに接した内端な伸ばす。

このようにして、圧力差はタング２３の位置を変位させ
る。

クランプ２３Ａは、ベローズの移動方向を横切って、タ
ング２３に沿って摺動し、調節されるので、２７で示さ
れるピボットのようなヒンジの周りのベローズ１６の移
動は、ヒンジ２７の周りのベローズ１５の移動に関連し
て変位されることになる。タング２６に沿ったクランプ
２５Ａのこの移動は、一方のベローズ又は他方のベロー
ズからの力の調節を可能にするので１等しい圧力がベロ
ーズ１５と１６に供給されたときは、結果的に合成力（
モーメント）はゼロである。

レバー集合体２４は、平面図に示・されるように、枠１
１の基板壁１２に接した装着ブロック２５を有してのよ
うなピボットを通してブロック２５に接続されている。

ピボットは、実質的に薄い断面厚みを有し、ピボット軸
に沿ってブロック２５と部分３０を結合している。この
ようにレバー集合体は、装着部２５と枢軸動するレバー
部分３０を有している。レバー部分６０は枠の基板１２
と接しないから圧力差があると枢軸動する。適当なスペ
ーサがブロック２５の下に配置され、レバー部３０を基
板１２から離している。

レバー部分６０はヒンジ又はピボット部２７０周りに枢
軸動し、このピボット部は枢軸動に対してはほとんど抵
抗（ステイフネス）はないが、枢軸移動の面と平行な軸
の周りのレバー部３０のねじれに対して抵抗（ステイフ
ネス）が強固である。この抵抗は、ピボット軸に沿った
方向における加速に対しても、効果的である。レバー部
分は結合部３１によってタング２３と接続されている。

３５で示される負荷梁は、単一ブロックの磁気材料、好
ましくはインターナショナル、ニッケル、カンパニー社
製のＮｉ−８ｐａｎ　Ｃ，ａｌｌｏｙ　９０２．　　か
ら作られている。負荷梁３５は、中央の振動梁部分４２
を有し、部分４２は、それを支持するための第１と第２
の隔離部分４３と４４間に、これらと一体的に配置され
ている。

隔離部分４３は、振動梁部との接合部とは反対側の、３
６で示されるような外側端で、ブロック２５の一部を成
す支持把手３７に装着されている。隔離部分４３の外側
端は、ハウジングの基板１２とは別々に装着しても良い
。支持体３７への接続は固定的な接続で、はんだ付は又
は真ちゅう３う付けである。隔離部分４３の外側端は、
又、適当なキャップネジでビン止め又は固定されても良
い。

隔離部分４４の外側端は、負荷梁３５と対向する端にあ
り、枢軸レバー部分３０かも突出している支持部分４１
に、４０で示されるように装着されている。

装着する手段は適宜の方法でなされる。

センサー集合体は、少なくとも２つの軸上で加速度的に
平衡している一即ル、第１図に示すようなｒＹＪ軸又は
ｒＸＪ軸における加速にはほとんど、又は全く彪響、ξ
れない。何故ならば、ピボット軸のセンナ側のトルクモ
ーメントの和はベローズ側のトルクモーメントの和と同
じだからである。センナはｒＺＪ軸（第７図参照）では
平衡し℃ないので、ピボット軸の抵抗（ステイ７不ス）
の強さはこの軸に沿って供給される力から加速効果を有
効に減じている。

もし必要ならば、この軸の周りでトルクモーメントを平
衡させることも可能である。許容される範囲内で、各セ
ンナ集合体はいくらか異なったトルクモーメントを有す
る。加速に関連するこれらの許容誤差の影響は、第１図
の２７Ａで示されるように、軸の周りのトルクモーメン
トを等しくするようにピボット２７０近くの場所にはん
だのよ５な少量の物質を配置することによって最少限に
される。

振動梁部分４２は、このよ５＆Ｃ１支持部材３７と４１
間に、隔離部分４３と４４とＫよって支持されている。

したあｔって、梁部分４２は枢軸レバー部３ｏの移動に
よって作用される力を受けることになる。隔離部分４３
と４４は一対の薄い帯（ストラップ）を形成するよう（
、その中央部で変形させられている。

したがって、ベローズの偏向又は移動によってベローズ
）５と１６間のタング２６が移動すると、ピボット２７
の周りに枢軸レバー部３０をタング２３が枢軸動させる
。この移動は、振動梁部分４２の張力、圧縮応力又は負
荷に変化を与える。振動梁部分４２の負荷の変化は、振
動の共振周波数を変化させる。

共振周波数の変化は、圧力人口２０と２１．シたがって
ベローズ１５と１６における圧力の差に比例する。

一方の圧力入口は大気又は真空に通じているので、各圧
力の値が測定される。さらに、一方のベローズは省略す
ることが出来る。

ベローズ１５．１Ｂによって発生された圧力信号は、枢
軸レバー部３０を介し、そのリンク作用によって振動梁
部分４２の一端（自由端）に伝達されるので、数軸レバ
ー部３０は十分な機械的剛性を持てばよい。

梁は、共振周波数で制御されるＡＣ信号によって励起さ
れるコイルを使用することにより、共振状態に駆動又は
励起される。さらに、休止中は、梁は建前上は平衡して
いて、圧縮状態にもなげれば引張状態にもない。即ち、
支持構造又は梁にクリープ又は緩みがなく、安定度に寄
与している。

望ましくは梁の材料の憚性限界内で、梁は低応力で作動
されると良い。

隔離部４３と４４は、゛梁゛部分４２に垂直に延びたマ
ス（ｍａｓｓ　）　４５　Ａと４４Ａとｔ有し、そして
各々は隔離された分離スプリング４５Ｂと４５Ｃ及び４
４Ｂと４４Ｃを有している。これらの分離部材シま、振
動梁部分４２を端部の装着部分と非結合状態に保持して
おり、その結果、梁のｒＱＪを低下させるエネルギ損失
を減少させている。、１ぴゴ庇・カイ＆二用ｍｊｊ　（
ｒｄｄｊｉ　）い°、振動梁部４２及びマス４３Ａと４
４Ａ間の接合部で利用されていることに注目されるべき
である。

梁部分４２及び隔離部分４６と４４の設計において、使
用される広範囲の振動数を掃引せねばならない梁部７）
４２によって容易に駆動され５るような固有振動数を、
どの構成要素も有していないことが重要である。もしも
、他の要素が梁部分４２によって駆動されうるよ５な固
有振動数を有しているならば、梁部分４２は、特にその
固有振動数が梁の振動数と等しいか又は倍数（例えば、
１，２．３及び４倍）のとき、システムの中のそのよう
な要素を励起することになろう。

このような事態が発生すると、隔離部材の効果は減少し
て、梁のｒＱＪを減少させ、かつその振動数を変化させ
る。この結果として、与えられた応力に関しての梁の直
線性と平滑性とにおいて不連続性を生ずる。加えて、中
央の梁はその共振周波数と共振周波数の２倍で容易に駆
動されることが分る。何故ならば、梁の各半サイクルに
関して、振動梁部分４２の一端に引張り力が加わるから
である。梁は、その作動中、静止面内でその反対側へ偏
向する。

実際のところ、隔離部材を振動梁とよっては駆動されな
いような低い振動数にすることは不可能である。何故な
らば、ン巳＋：＋Ｊ腟１藏部身１ｒ年に長（かつ薄くし
なければならないからである。したがって、全体的なセ
ンナの大きさは太き（なり、装置は製作するのに困難で
あろう。上述したよ５Ｋ、振動梁部分が２次、３次又は
高調波で分離スプリングを駆動オることが可能である。

そして又、実際に、これらの分離スプリングを高い振動
数にして駆動されないようにし、かつ必要な低い振動数
分離を保たせることは不可能である。このようにして、
分離スプリングの振動数は、応力がかけられた振動数範
囲で振動梁部分４２と干渉しないような「窓」を持つよ
うに選択されなければならないことが理解されよう。

即ち、応力が振動梁部分４２にかけられたとき、その固
有振動数とこの２倍の振動数は、分離スプリング４３Ｂ
と４３Ｃ及び−４４Ｂと４４Ｃの共振周波数と一致して
はならない。最も広い「窓」は、これら各４個のスプリ
ングの基本的な分離スプリングの摂動数が、最大の応力
が生じたときに相当する振動梁部分の最も高い振動数よ
り太き（、かつ振動梁４２の固有振動数の２倍より低い
ように設定される。

梁部分４２の特定の例としては、概ね少な（とも約０．
０２５調（０，００１インチ）で、多くとも約０．２５
咽（ｏ、ｏｉｏインチ）の範囲内で、約ｏ、１２ｒｒｎ
　（０，００４フインチ）の厚さの梁部分を有する。

梁部分は、概ね少な（とも約２．５４ｍｍ（０，１０イ
ンチ）で、多くとも約１２．７圏（Ｏ，ＳＯインチ）の
範囲で、約６３５順（０，２５０インチ）の長さを有し
、かつ概ね少なくとも約５．０８　＋ｓ　（０，２０イ
ンチ）で多くとも約２．５４ｍ（０，１００インチ）の
範囲で、約１．０７＋＋ｎ（０，０４２インチ）の幅を
有している。

応力のかからない状態での困有温動数は、梁の厚さに比
例し、梁の長さの二乗に逆比例し、それは、Ｎｉ　−５
ｐａｎ　Ｃのような材料を用いた場合は、約１４．５　
ＫＨｚである。Ｎｉ　−５ｐａｎ　Ｃは優れたスプリン
グ特性を呈する組成であり、広い温度範囲（（わたり実
質的にゼｐの温度係数である。他の固有振動数も運択し
得るであろう。

振動数の変化は、レバー集合体２４にかかる力によって
発生される梁内の応力によって決定される。

−例をあげれば、この応力は、−気圧で、約１２．７間
（％インチ）径のベローズによって作ら、れた約ｉ、　
１３　ＫＳＩ　（２，５ボンド）である。振動梁部分４
２内の応力は、幅を変化させることによって梁部分の非
応力状態の振動数を変化させないで調節される。

−例として、応力はＮｉ　−５ｐａｎ　Ｃを用いて約７
０３．７　ｈ／ｌｒｉ　（１０，０００ｐｓｉ　）　　
に調節された。

この応力は、Ｎｉ　−５ｐａｎ　Ｃの許容強度に比して
非常に低（、その結果としてのヒステリシス誤差を非常
に低くするので、理想的である。加えて、振動数の長期
変化はない。その結果、振動梁部分４２の振動数変化は
約２３００Ｈｚであり、これは又、梁を圧縮又は引っ張
りのいずれかに置いたときの最大尺度の振動数の約１６
％である。このように、例えば、ゼロ気圧から１気圧ま
での変化は１４．５ＫＨｚから１６．８ＫＨ３までの共
振周波数変化を生ずる。

前述のように、分離スプリングに対する振動数は、１６
．８　ＫＨｚ　よりも太き（，１４，５ＫＨｚの二倍即
ち２９ＫＨｚよりも小さ（なるように、振動梁部分４２
に対するのと同様に調節される。実際に５分離スプリン
グの振動数は２２　ＫＨｚから２４　ＫＨｚまでが良（
作動することが見出された。スプリング４３Ｂと４３０
及び４４Ｂと４４０は普通の構成の場合、約８ｍ（０，
３１５インチ）の長さに対して約ｏ３關（０，０１２イ
ンチ）の厚さＫなる。

分離マス（４３Ａと４４Ａ）は、２６００Ｈｚの分離シ
ステム振動数を生ずるように調節される。そしてこの振
動数は、振動梁部分の振動数比に対する優れた分離シス
テムを実現し、したがってまた非常に低い伝達性を実現
する。

コイルと取り出し部の機械的構造は第１〜第４図に示さ
れている。図示のようＫ、セラミックの装着ブロック５
０がディスク部材５１上に装着されている。ディスク部
材は金属であり、通常の方法でブロック５０にろ５付け
されている。必要纜応じて。

ブロックはディスクにピン止めしても良い。

ディスク部材５１は枠体の基板（第２図参照）の凹所５
２内に嵌合されており、ブロック５ｏは枠体内に突出し
ている。ディスクは凹所５２内で回転されうるようにな
っており、所望の位置をとる。ディスクは次に、はんだ
付けされて、使用中に回転位置に正確に保持されるよう
Ｋする。ブロック５ｏは、アルミナ又はセラミクク材料
のような非磁性かつ非電導体材料で作られる。

図示のよ５に、ブロック５０は、振動梁部４２の平面に
接近し、かつ平行な面５３Ａを有する突出部５３を持っ
ている。ブロック５３は、分離部４３と４４の各端間に
嵌合している。プロ７り５３は、面５３Ａ（第３図参照
）の反対の面５７から内側に延びて作られた円筒状の凹
ｐｆｒ５４を有している。

心棒５５がこの凹所に装着されていて、導電性のエポキ
シ樹脂又ははんだによってブロック５３に固着されてい
る。心棒５５は磁性を有するステンレスで作られていて
、高い「ミュー（μ）」、すなわち高い透磁率の材料で
あることが望ましい。

心棒は円盤状の端５６を有しており、ブロック５３の面
５７とディスク５６との間には、５８で示されるコイル
がある。これは単独のコイルであり、梁を駆動するに必
要な磁力を生ずるための適宜の巻、数を有している。

振動梁部分４２に近接し、かつ面しているブロック５３
の面５３Ａ上には、コンデンサ板を形成する導電性のス
トリップ６１がセラミック材料上尾設置すられ、焼結さ
れる。コンデンサ板６１は第４図に示されている。他の
電気的部品がセラミックブロック５００表面に直接装着
されていて９種々の部品が導電性材料のストリップに設
けられたコンデンサ板に接続されている。そのような部
品については。

この明細書中で後述されている。

コイル５８に近接し、かつコンデンサ板６１に関しては
ブロック５３０反対側にあるブロック５３０表面５７は
、振動梁部分４２とコンデンサ板６１間で感知される容
量に影響しないように、コイル５８の電流からの干渉を
遮蔽するためメタライズされてもよい。

ディスク５１を回転することＫよって、コンデンサ板と
振動梁部分４２間の空間は組立のときに調節される。ブ
ロック５ｏと板又はディスク５１は、梁３５が配置され
たあとに取り付けられる。板６１と振動梁部分４２間の
空間は約０．１５項（０，００５インチ）である。

梁の振動部分４２は、板６１と結合して形成される可変
コンデンサの他方電極を形成し、この部分は接地される
。ブロック５０は、もし所望ならば、ビン５０Ａと接続
口５０Ｂを通して給電される回路な形成されてもよい。

第６図と第７図には、変形した構成が示されている。梁
３５．レバー集合体２４（特にピボット軸部分３０）及
びベローズの装着手段は実質的に同じである。装着ブロ
ック２５は、変形された駆動及び取り出しセンサ集合体
７４を装着するために変形されている。

軸７５は、第６図に示されるように、ブロック２５に設
けられている開口に装着されていて、振動梁部分４２に
関して、ネジ７６が軸７５の長さ方向の調節を行ってい
る。一方、軸７５はディスク７９に接続されていて、デ
ィスク７９はその外側にコイルを支持するように延びて
いるρツド７８を有している。ディスク７９はエポキシ
樹脂その他の接着材料で通常の方法によって軸７５の一
端に接続されている。

コイル８２が、ディスク７９の内面とセラミックの円盤
状の取り出し部材（ピックアップ）８４０表面８３との
間で、心棒７８に巻かれている。コイル心７８が、所望
の距離だけセラミックディスク８４内の凹所に延びてお
り、この心棒７８は、セラミックの取り出し体に固着さ
れて、コイルがコイル心に巻かれたあと両者を一体的に
、所定位置に支持する。

セラミックディスク８４は、第８図に陰影を付けて示す
ようＫ、導電性表面を有しており、それによって回路ま
たはその構成部品が梁の近くに装着されるようになって
いる。ディスク８４に装着されている部品は、適宜の接
続片８６を備えており、かつ板６１に対応するコンデン
サ板８５および厚膜コンデンサ８８を含むのが望ましい
。前記接続片８６は、厚膜ハイブリッド抵抗８７へ接続
され、一方、厚膜コンデンサ８Ｂは接続片８６にセメン
ト付けで電気的に接続されている。

適当な接点８７Ａと８８Ａが、コンデンサ８８と抵抗８
７の他端に接続される。図から分るように、ハイブリッ
ドコンデンサ８８と抵抗８７は、コンデンサ板８５に接
近して装着され、かつセラミックディスク部材から突出
しているので、振動梁部分４２はこれら２つの部品の間
に挾まれている。振動梁部分４２はコンデンサ板８５に
接近して配置され、かつ普通はそれに平行である。

作動にあたって、この発明のどちらの形においても、梁
は関連するコイルを励磁することによって振動させられ
る。磁束が発生され、振動梁部分４２を、その長さ方向
の面に垂直な方向で、両側へ偏向させる。心棒５５又は
７８はセラミックブロック５３又は８４を通ってかなり
の長さ延びており、磁場は梁部分４２と結合する。コン
デンサの容量変化が感知され、実際に駆動回路を制御し
て振動梁部を共振させると共に、振動数の出力を与える
。

圧力差の変化は、ピボット軸２７の周りにレバー部３０
を回動させることになるタング２３の移動を誘起し、そ
の結果、振動梁部分４２に加わる圧縮又は引張りの負荷
を変化させ、梁の共振周波数を変化させる。この変化は
、振動梁部分４２と、この梁部分に近接配置されたセン
ナに応じて、板６１か８５かのどちらかとの間に形成さ
れるコンデンサからの信号の周波数変化によって感知さ
れる。

この信号変化は、基準圧力の周波数に関連して圧力の差
を表わしている。好ましくは、梁はその基本振動数で駆
動されるが、コンデンサの取り出しく　ｐｉｃｋ　−ｏ
ｆｆ　）は、基本振動数の所望の高調波又は他の所望の
振動数に感応するように取り出しコンデンサを再配置す
ることを可能にする。

第９図は、本発明の振動梁から周波数出力は号を取り出
すための回路を簡単に図式化したものである。この回路
はいくつかの異った具体例をとり得る。第９図において
、振動梁部分４２は、上述したように分離部材４３と４
４間で支持されるように図示されている。６１で示され
るコンデンサ・ピックアップ電極（これは８５でもある
）は、振動梁部分４２から離れていて可変コンデンサを
形成している。

第９図の回路は、印加電圧端子９０．接地端子９１及び
出力端子９２を有する。印加電圧Ｖ十の電源（図示せず
）が印加電圧端子９０に接続されている。

端子９０と接地端子９１の間に抵抗９６とコイル５８（
又は８２）が接続されている。

直流が抵抗９３とコイル５８に流れると、心棒又は磁心
５４（又は７５）から定常磁場が作られる。コイル５８
を流れる直流によって作られる定常磁場は、必要ならば
永久磁石と置き換えてもよい。

端子９０と取り出し電極６１との間にはまた、バイアス
抵抗８８も接続されている（第７図では、セラミックデ
ィスクに装着されている）。バイアス抵抗８８は、抵抗
８８と電極６１とが接続される接続点９５に直流バイア
スを与える。その結果、振動梁部分４２と取り出し電極
６１とによって形成される可変コンデンサに生ずる電圧
は、直流と振動梁部分４２の振動の周波数との関数とな
る。

接続点９５から導かれる信号は、フィルターコンデンサ
８７（第７図）を通って増幅器９７へ与えられる。増幅
器９７の増幅出力は、回路の出力信号として出力端子９
２へ供給される。増幅器９７の出力は、フィードバック
コンデンサ９８を通って、抵抗９６と駆動コイル５８と
の接α点９４へ接続されている。

回路が作動させられると、コイル５８からの磁場は梁部
分４２を変位させる。梁部分４２と板６１との間のコン
デンサ容量は、バイアス抵抗８８とコンデンサ８７を通
って増幅器９７に供給される入力次影響を与える。増幅
器９７の出力は、コンデンサ９８に加わるフィードバッ
ク信号を変化させ、これはさらにコイル５８を通る電流
に影響を与える。

コイル５８を通る電流の変化は、Ｓ動梁部分４２を通る
磁場を変化させて、振動梁部分４２は再び変位する。振
動梁部分４２はこうしてその固有撮動数に励起され、増
幅器９７の出力はこの振動周波数で変化する。各構成部
品は、所望の周波数領域で発振を生ずるように、適宜な
位相調整ができるように選択される。

したがって、第９図の回路は、出力信号の周波数が梁部
分４２の振動周波数の関数であるよ、うな、時間変化の
ある出力信号を与える。この出力信号は、ディジタル又
はアナログ信号に変換されることができる。前記出力信
号は、その周波数を変化させる梁部分４２の引張り又は
圧縮力の表示を与え。

またそれは感知されるべき圧力の関数である。

増幅器９７のための実際の回路構成部品、及び出力端子
９２の信号をディジタル又はアナログ信号へ変換するた
めの他の構成部品は、第１図に模式的に示される如（装
着されることができる。あるいは、必要ならば、全ての
構成部品が、第４図に示される如く、ブロック５０上に
装着されてもよい。

外部ソースからの低周波数の振動（センナが航空機内で
使用されるときの航空機の振動のような）が出力信号に
低周波の発振を生じさせるならば、そのときは適当なフ
ィルタを使用してそのような不所望な発振を除去するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による感知手段を有する圧力センナの平
面図、第２＠は第１図の２−２線からみた正面図、第３
図は第２図の５−３線に沿った部分的断面図、第４図は
第３図の４−４線からみた正面図、第５図は第１図の５
−５線からみた一部断面図、第６図は本発明の変形の部
分的上部平面図、第７図は第６図の装置に使用されるコ
イルとピックアップ部材の、第６図の７−７線からみた
側面図、第８図は第７図の８−８線からみた正面図、第
９図は本発明のセンナに使用される駆動及び感知用回路
の概略図である。 １０・・・圧力センサ、　１２・・・枠体、　　１５．
１６・・・ペロ−ズ。 ２０．２１・・・圧力入口、 ２３・・・タンク、 ２７・・・ピボット、 ４２・・・振動梁、 ５８・・・コイル、 ６１・・・電極。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基体と、 　長手方向の軸を有する振動梁と、 上記基体に関連して上記振動梁の一端を装着する手段と
   、 上記基体に枢軸動可能に取付けられたレバー部材よりな
   るアクチエータと、 上記振動梁の上記基体への装着部とは反対側の、上記振
   動梁の端に作動的に結合されている上記アクチエータの
   第１の端と、 上記振動梁の長手方向軸に沿った方向において、上記ア
   クチエータから上記振動梁へ作用させる力を上記アクチ
   エータが変化させるように、圧力信号を上記アクチエー
   タの第２の端へ供給する手段と、 上記振動梁をその固有振動数で振動させるための駆動手
   段と、 上記振動梁の振動の振動数を検知するための振動数検知
   手段とを具備し、 上記駆動手段及び振動数検知手段が互いに相対的に固定
   され、かつ振動梁の同じ側で、基体上に一体的に結合さ
   れており、 上記駆動手段は上記振動梁の長手方向軸にほぼ垂直な長
   手方向軸を有する振動梁型圧力センサ。
2. （２）前記振動数検知手段は、前記振動梁の側面と実質
   上平行な面内に配置されたコンデンサ板である前記特許
   請求の範囲第１項記載の振動梁型圧力センサ。