JPH03109751U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03109751U JPH03109751U JP1762990U JP1762990U JPH03109751U JP H03109751 U JPH03109751 U JP H03109751U JP 1762990 U JP1762990 U JP 1762990U JP 1762990 U JP1762990 U JP 1762990U JP H03109751 U JPH03109751 U JP H03109751U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- cutting
- tool mounting
- piezoelectric element
- contact signal
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
第１図乃至第４図は本考案の実施例になる微小
切込み切削装置に係り、第１図はその模式的構成
説明図、第２図は薄膜と膜厚と検出電圧関係説明
図、第３図は設定切込み量に対する実切削深さ関
係説明図、第４図ａと第４図ｂは切削工具の刃先
形状説明図、第５図と第６図とは従来例になる微
小切込み切削装置に係り、第５図はその模式的構
成説明図、第６図は接触点検出信号の出力状態を
示すグラフ図である。 １……工具台の溝部、２……シヤンク、３……
工具取付部、４……圧電素子、５…工具台、７…
…検出回路、８……電源装置、９……変位計、１
０……制御用ＣＰＵ、１３……切削工具、１３ａ
，１４ａ……電極、１４……被削材。
切込み切削装置に係り、第１図はその模式的構成
説明図、第２図は薄膜と膜厚と検出電圧関係説明
図、第３図は設定切込み量に対する実切削深さ関
係説明図、第４図ａと第４図ｂは切削工具の刃先
形状説明図、第５図と第６図とは従来例になる微
小切込み切削装置に係り、第５図はその模式的構
成説明図、第６図は接触点検出信号の出力状態を
示すグラフ図である。 １……工具台の溝部、２……シヤンク、３……
工具取付部、４……圧電素子、５…工具台、７…
…検出回路、８……電源装置、９……変位計、１
０……制御用ＣＰＵ、１３……切削工具、１３ａ
，１４ａ……電極、１４……被削材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 シヤンク及び工具取付部を有する工具台の軸方
向中間部に溝部が形成され、該溝部内に、印加電
圧に応じて工具取付部を切込み方向へ押圧する圧
電素子が設けられ、前記工具取付部は、切込み方
向へ撓み得る平行ばね構造を備える他、該工具取
付部に切込み量を検知する変位計を備えた微小切
込み用切削装置において、 前記工具取付部に、導電物質からなる薄膜を成
膜した切削工具を装着し、該切削工具と被削材と
の接触信号を検知する接触信号検知装置を配備す
ると共に、該接触信号検知装置からの出力信号と
前記変位計からの変位信号とに基づいて前記圧電
素子への印加電圧を制御する制御装置を配備して
なることを特徴とする微小切込み用切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1762990U JPH03109751U (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1762990U JPH03109751U (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109751U true JPH03109751U (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=31520814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1762990U Pending JPH03109751U (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03109751U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101333738B1 (ko) * | 2011-11-09 | 2013-11-28 | 한국생산기술연구원 | 별도의 선형이동유닛이 구비된 나노스테이지 |
| JP2016521213A (ja) * | 2013-04-04 | 2016-07-21 | マイクロルーション・インコーポレイテッドＭｉｃｒｏｌｕｔｉｏｎ Ｉｎｃ． | ファストライブツールシステム |
-
1990
- 1990-02-22 JP JP1762990U patent/JPH03109751U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101333738B1 (ko) * | 2011-11-09 | 2013-11-28 | 한국생산기술연구원 | 별도의 선형이동유닛이 구비된 나노스테이지 |
| JP2016521213A (ja) * | 2013-04-04 | 2016-07-21 | マイクロルーション・インコーポレイテッドＭｉｃｒｏｌｕｔｉｏｎ Ｉｎｃ． | ファストライブツールシステム |