JPH03109764U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本考案によるブレード高
さ設定装置の一実施例を示す図であり、第１図は
その全体構成図、第２図は作動手順を示すフロー
チヤート、第３図はモニタ波形図、第４図は従来
のブレード高さ設定装置を示す全体構成図である
。 １……スピンドル軸、１ａ……フランジ部、２
……ダイシングブレード、３……本体、４……チ
ヤツクテーブル、５，６……空気軸受、７……摩
擦ブロツク、８……回転駆動部、８ａ……コイル
、８ｂ……マグネツト、１０……スピンドル構造
、１２…振動センサ、１３……センサホルダ、１
３ａ……貫通孔、１５……ボルト、１７……振動
伝達軸、１７ａ……フランジ部、１８……バネ、
２０……接触検知回路（基準高さ判別手段）、２
１……メモリ、２４……スピンドル上下駆動装置
、Ｗ……ワーク。

補正 平３．５．２２ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第１５頁第１１行目乃至第１２行目の「
第４図は……全体構成図である。」を削除します
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一端部にダイシングブレードを取付け、空気軸
   受により支持されて回転するスピンドル軸を備え
   たダイシング装置において、前記スピンドル軸に
   接触して振動を直接接触により検知するように設
   けられ、回転時にスピンドル軸の振動を直接検知
   する振動センサと、この振動センサからの信号に
   より前記ダイシングブレードの加工先端部がワー
   クテーブルのワーク支持面と同じ高さに設定され
   たか否かを判別する基準高さ判別手段とを設けた
   ことを特徴とするブレード高さ設定装置。