JPH03110189U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例１を示す構成図、第２
図は本考案の実施例２を示す構成図、第３図は従
来例を示す構成図である。 １，７……無停電電源装置、２……シーケンス
制御回路、３……オーブン電力制御回路、４……
真空ベルジヤー、５……オーブン、６……真空ポ
ンプ、８……停電検出回路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 少なくともライン電源と、無停電電源装置と、
   オーブン電源制御回路と、オーブンと、真空ベル
   ジヤーと、真空ポンプと、シーケンス制御回路と
   を有し、 前記真空ベルジヤーは、試料を設置するもので
   あり、 前記真空ポンプは、前記真空ベルジヤー内を真
   空排気するものであり、 前記オーブンは前記真空ベルジヤーを加熱する
   ものであり、 前記オーブン電力制御回路は、前記オーブンへ
   の電力制御を行うものであり、 前記シーケンス制御回路は、前記オーブン電力
   制御回路及び前記真空ポンプを駆動制御するもの
   であり、 前記ライン電源は、前記無停電電源装置、前記
   オーブン電力制御回路、前記真空ポンプにそれぞ
   れ電力供給するものであり、 前記無停電電源装置は、停電時に前記シーケン
   ス制御回路にのみ電力供給するものであることを
   特徴とする無停電排気装置。