JPH03113353A - 平面状材料の物性量測定システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、平面状材料の坪量（単位面積当りの重量）、
水分量及び厚さを同時に測定する装置に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

平面状材料（紙、プラスチックシート、セラミックシー
ト等）の製造途中に於て、その材料の坪量、水分量及び
厚さをリアルタイムで正確に測定することは、品質の一
定した製品を得るために非常に重要なことである。

第９図に基づいて、製紙工程における従来の紙の坪量、
水分量及び厚さの測定方法を説明する。抄紙ｌは、その
幅が６ｍあり、紙面に垂直な方向に分速１０００ｍで移
動している。○フレーム５には、各々、抄紙ｌの上下に
、坪量測定器２．２−１水分量測定器３．３−及び厚さ
測定器４，４−が、水平（第９図で左右の方向）に移動
することが出来るように構成されている。坪量測定器に
はβ線が、水分量測定器にはマイクロ波または赤外線、
厚さ測定には赤外線が、使用されるのが一般的である。

これら三対の測定器２．２−．３．３−．４．４−から
なる測定器群は、抄紙の端から端まで移動して、β線お
よび赤外線の透過量とマイクロ波の透過量または共振特
性を測定する。この共振特性を正確に測定するために、
上下一対の測定器間の相対位置は抄紙のどの位置に於い
ても正確に深持されなければならない。−方、β線は人
体に危険であるので、坪量測定器２゜２−は厚い防護壁
で囲まれている。そのためこの測定器は、相当重くなり
、測定器群の総重量は、５０Ｋｇにもなる。この様な重
い測定器群を、正確に位置制御を行いかつ前述の相対位
置を正確に保ちつつ、なるべく短時間に、抄紙ｌの端か
ら端まで移動させるためには、移動系、制御系及び工作
精度に高度なものが要求される。その結果、これらの測
定器群を用いた測定システムは、非常に高価なものとな
っていた。

しかも、これらの測定器群は例え高速度で移動すること
が出来たとしても、その移動速度には自ずから限界があ
る（現状では毎秒１．０ｃｍ）。従って、第１Ｏ図に示
すように、測定器群が横幅６ｍの抄紙１の左端Ｂから右
端Ａまで移動する１分間の間に、抄紙Ｉはｌ０００ｍも
移動してしまっている。そのため、坪量は坪量測定器２
，２−によって直線す上のみが、水分量は水分量測定器
３，３−によって直線ｍ上のみが、そして厚さは厚さ測
定器４，４−によって直線Ｃ上のみが測定されるだけで
、これらの直線が通らない点についての物性量は測定不
可能である。従って、この測定方法は平面状材料の任意
の点の物性量を測定する方法には程遠いものであフた。

さらに、この測定システムは、走行ベルト、走行ケーブ
ル等の機械的摩耗に伴う保守、点検及び測定精度の維持
などに年間数百万円もの費用を要していた。

ところで、本出願人は、測定部位に対応する部分に凸部
を設けたマイクロ波空洞共振器を提案し、平面状材料の
坪量と水分量が、その平面状材料の上下に設置したこの
一対のマイクロ波空洞共振器によって、正確にしかもリ
アルタイムで測定される発明を出願している（特開昭６
２−１２４４４９号）。

さらに、本出願人は、この新規なマイクロ波空洞共振器
を平面状材料の移動線に垂直に複数個設置して、これら
複数のマイクロ波空洞共振器を電子的に選択することに
よって、従来のように測定器を機械的に移動させる事な
く、平面状材料の所望の位置の坪量と水分量を正確にか
つリアルタイムで測定することを可能とした発明を出願
している（特開昭６２−１６９０４１号）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

特開昭６２−１６９０４１号の発明によって、抄紙がど
んなに高速で移動していても、複数のマイクロ波空洞共
振器を電子的に選択することによフて、任意の位置の坪
量と水分量を瞬時にかつ正確に測定することが可能にな
ったが、これによってもまだ厚さをも含めた三種類の物
性量（坪量、水分量、厚さ）を同時に測定する事はでき
なかった。

一方、第９図の測定システムによれば、一応三種類の物
性量を同時に測定することはできるが、前述したように
任意の位置での物性量をリアルタイムで測定することは
不可能である。

しかも、三種類の測定器２，２−．３．３−および４゜
４−からなる測定器群が抄紙の端に位置する場合には、
物性量によっては測定できないものがある。

例えば、第１Ｏ図のＢ点で示される抄紙１の左端に測定
器群が位置する場合、直線Ｃおよび直線ｍより左側に位
置する点の厚さおよび水分量は測定できない。この測定
器群の幅は８０ｃｍもあるので、この物性量がｉＭＩＪ
定できない領域の存在は抄紙の幅６ｍに対しては無視す
ることが出来ない。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、移動する平面状材料の一面に配置され、光を
通す貫通孔を設けた突起部をその中心部に有し、その突
起部の外側に光源を備え、側壁部にアンテナを有する一
方の円筒状光通過型マイクロ波空洞共振器と、 移動する前記平面状材料の他面に配置され、光を通す貫
通孔を設けた突起部をその中心部に有し、その突起部の
外側に光検出器を備え、側壁部にアンテナを有し、前記
光源からの光が前記光検出器に入射する様な位置に配置
した、他方の円筒状光通過型マイクロ波空洞共振器とを
備え、このように構成した上下一対の前記マイクロ波光
通過型空洞共振器を２紹以上前記平面状材料の同一移動
線上で重ならないように配置し、前記各アンテナと前記
各光検出器とを電子的に選択する手段を、 備えた平面状材料の物性量測定システムによって、前述
の問題点を解決した。

この物性量測定システムに使用されるマイクロ波空洞共
振器には、その突起部に形成された貫通孔を光が通過す
るように、光学系が組み込まれている。

また、本発明は、中心部に突起部を有し、側壁部にアン
テナを有する一対の円筒状マイクロ波空洞共振器を、移
動する平面状材料の上下に前記突起部が各々相対するよ
うに配置し、 光源および光検出器を、その光源から発して前記平面状
材料を透過した光がその光検出器に入射するような位置
に配置し、 上下の前記突起部が相対する前記平面状材料の部分と、
前記光が照射される前記平面状材料の部分とが、前記移
動する平面状材料の同一移動線上に存在する様に配置し
、 この様に構成された上下一対の前記マイクロ波空洞共振
器並びに上下一対の前記光源および前記光検出器を、各
々、２組以上前記子面状材料の同一移動線上で重ならな
いように配置し、 前記各アンテナと前記各光検出器とを電子的に選択する
手段を、 設けた平面状材料の物性量測定システムによっても、前
述の問題点を解決した。

この物性量測定システムでは、マイクロ波空洞共振器と
光学系が別々に形成されている。

さらに、本発明は、移動する平面状材料の一面に設置し
た、中心部に突起部を有し、側壁部に少なくとも１本の
アンテナを有する円筒状マイクロ波空洞共振器と、 前記平面状材料の他面で、前記円筒状マイクロ波空洞共
振器の位置に対応させて配置した、前記円筒状マイクロ
波空洞共振器の横断面と同一の形状の金属板とを備え、 光源および光検出器を、その光源から発して前記平面状
材料を透過した光がその光検出器に入射するような位置
に配置し、 前記突起部が相対する前記平面状材料の部分と、前記光
が照射される前記平面状材料の部分とを、前記移動する
平面状材料の同一移動線上に位置する様に構成し、 この様に構成された、前記マイクロ波空洞共振器および
前記金属板の対並びに前記光源および前記光検出器の対
とを、各々、２組以上前記子面状材料の同一移動線上で
重ならないように配置し、前記各アンテナと前記各光検
出器とを電子的に選択する手段を、 設けた前記平面状材料の物性量測定システムによっても
前記問題点を解決した。

この物性量測定システムでは、マイクロ波空洞共振器と
光学系が別々に形成されているが、一対のマイクロ波空
洞共振器の一方はそのマイクロ波空洞共振器の横断面と
同一の形状の金属板に置き換えられている。

また、本発明は、移動する平面状材料の一面に配置し、
光を通す貫通孔を設けた突起部を中心部に有し、その貫
通孔の外側に光源を設置し、アンテナを側壁部に有する
、複数個の円筒状光通過型マイクロ波空洞共振器と、 前記平面状材料の曲面で、各々の円筒状マイクロ波光通
過型空洞共振器の位置に対応させて配置し、前記空洞に
対応した位置に開口を有する、前記円筒状マイクロ波空
洞共振器の横断面と同一の形状の金属板と、 前記各開口の外側に設置した光検出器と、前記各アンテ
ナと前記各光検出器とを電子的に選択する手段とを、 備えた前記平面状材料の物性量測定システムによっても
前記問題点を解決した。

この物性量測定システムは、基本的には、光通過型マイ
クロ波空洞共振器と外側に光検出器を設けた金属板と膜
構成されている。

さらに、本発明は、移動する平面状材料の一面において
その平面状材料の同一移動線上で重ならないように配置
し、中心部に突起部を有し、側壁部にアンテナを有する
複数の円筒状マイクロ波空洞共振器と、 前記平面状材料の他面で、各々の円筒状マイクロ波空洞
共振器の位置に対応させて配置し、２個の開口を有する
前記円筒状マイクロ波空洞共振器の横断面と同一の形状
の金属板とを備え、前記一方の各開口と他方の各開口の
外側に、光源および光検出器とを、その光源から発した
光が前記突起部で反射してその光検出器に入射する様な
位置に配置し、 前記各アンテナと前記各光検出器とを電子的に選択する
手段を備えた、 前記平面状材料の物性量測定システムによっても前記問
題点を解決した。

この物性量測定装置は、基本的には、光通過型マイクロ
波空洞共振器と光源および光検出器を備えた金属板とか
ら構成されている。

〔作用〕

本発明の物性量測定システムにおいては、複数個のマイ
クロ波空洞共振器が平面状材料を横断して固定されてい
て、各マイクロ波空洞共振器の位置における平面状材料
のマイクロ波の共振特性は、各マイクロ波空洞共振器の
アンテナに接続されているＰＩＮダイオードに対する電
圧制御またはマルチプレクサに於けるチャンネル選択に
よって読み出される。また、マイクロ波の共振特性によ
って坪量および水分量が測定されたその平面状材料の同
じ場所について、近赤外レーザ光によってその厚さが測
定され、マイクロ波の共振特性と同様な方法で各位置の
厚さが測定される。

〔実施例〕

本発明の平面状材料の物性量測定システムにより、抄紙
の坪量、水分量及び厚さを測定する例を説明する。

本発明の物性量測定システムの第一の実施例を説明する
。第１図に示されるように、この物性量測定システムは
、抄紙ｌの移動線と垂直の方向に設置されたＯフレーム
５に、第２図に示された円筒状の光通過型マイクロ波空
洞共振器６，６−を抄紙ｌの上下に各々２５個固定させ
ている。

第８図に示されるように、電圧同調波発振器２２からの
マイクロ波は、２５分割器２１により分割されて上側の
光通過型マイクロ波空洞共振器６のアンテナｌＯに、各
々、加えられる。この場合分割器２１を使−用せずに２
５個の電圧同調発振器２２を各々の光通過型マイクロ波
空洞共振器６のアンテナ１０に接続させても良い。電圧
同調発振器２２のチューニング電圧を変化させて光通過
型マイクロ波空洞共振器６のアンテナ１０に周波数が変
化するマイクロ波を与え、抄紙ｌによるマイクロ波の吸
収特性を下側の光通過型マイクロ波空洞共振器６−に設
けたアンテナ１３により検知する。検知された信号はダ
イオード２５を介してマルチプレクサ２３に与えられる
。この吸収特性を得るために必要な時間は、１個のマイ
クロ波空洞共振器当り１ｍｓである。従って、２５個の
マイクロ波空洞共振器全ての共振特性を得るのには僅か
２５ｍ５　Ｌ／か必要としない。２５個のマイクロ波空
洞共振器の内から１個のマイクロ波空洞共振器を選択す
ることは、各マイクロ波空洞共振器６−の受信アンテナ
に接続されている各マルチプレクサ２３にによって行わ
れる。これによりそのマイクロ波空洞共振器と計測器２
４が接続される。マルチプレクサ２３に代えてＰＩＮダ
イオードに対する電圧制御を用いてこれのチャンネルを
切り替えることによって、各マイクロ波空洞共振器の受
信アンテナを電子的に切り替えることも出来る。

抄紙が存在しない場合と抄紙を挿入した場合とのマイク
ロ波の共振周波数と共振ピーク電圧の変化量による、抄
紙の坪量と水分量の測定方法の詳細は、本出願人の特許
出願（特開昭６２−２３８４４７号）を参照されたい。

本発明の第一実施例の物性量測定システムに用いる光通
過型マイクロ波空洞共振器６，６−の構造を第２図によ
り説明する。この円筒状の外径３５ｍｍの光通過型マイ
クロ波空洞共振器６，６−には、その中心部に直径１Ｏ
ＩＴＩＩＴｌの凸部１１が設けられている。この凸部１
１により電界がこの共振器の中心部に集中するので、こ
の中心部近傍の被測定物の物性量の測定は、従来の直方
体型空洞共振器に比べて、極めて精度良く行うことが出
来る。この凸部を設けたマイクロ波空洞共振器の詳細に
ついては、本出願人の特許出願（特開昭６２−１２４４
４９号）を参照されたい。

この光通過型マイクロ波空洞共振器６，６−の中心部に
は、内径５ｍｍの貫通孔１２が形成されていて、上側の
光通過型マイクロ波空洞共振器６の上部にはレンズ７と
レーザダイオード８が、下側の光通過型マイクロ波空洞
共振器６−にはレンズ７とフォトダイオード９が設けら
れている。レーザダイオード８が発した近赤外のレーザ
光は、レンズ７によって平行ビームになされ、抄紙１上
でマイクロ波が透過する面積内のある部分を透過する。

これにより、マイクロ波による坪量、水分量の測定とレ
ーザ光による厚さの測定が抄紙の同じ部分について行わ
れる事になる。抄紙１を透過したレーザ光は、下側の光
通過型マイクロ波空洞共振器６−の貫通孔１２、レンズ
７を介してフォトダイオード９に入射する。２５個のフ
ォトダイオード９は電子的に選択されて、検出された各
フォトダイオードの検知信号は計測器２４に送られる。

この様にして、抄紙ｌの移動線１９に垂直な方向に並置
された２５！ＩＩの光通過型マイクロ波空洞共振器６．
６−を電子的に選択してマイクロ波空洞共振器によるマ
イクロ波の共振特性と赤外光の透過量を知ることが可能
となる。これによって、任意の位置のこれらの３種類の
物性量を瞬時に読み出す事が出来る。

次に、マイクロ波空洞共振器と光学系が分離している本
発明の物性量測定システムの第二の実施例を、第３図Ａ
及び第４図を用いて説明する。

第３図Ａに示す実施例では、レーザダイオード８、レン
ズ７及びフォトダイオード９からなる光学系が、抄紙１
の移動線１９上で円筒状のマイクロ波空洞共振器６，６
−から離れた位置に配置されていて、２５個のマイクロ
波空洞共振器１５．１５−と光学系は、各々、第４図の
Ｏフレーム５に固定されている。光学系の中心を通過し
た抄紙の点が対応するマイクロ波空洞共振器の凸部の中
心を通過するように、マイクロ波空洞共振器１５．１５
−と光学系はそれらの中心が抄紙ｌの同一移動線１９に
位置するように配置されている。そして、両者の測定の
サンプリング間隔を抄紙ｌの移動速度に応じて変化させ
、マイクロ波空洞共振器１５，１５−と光学系が抄紙の
同一の点を測定する様にする。この実施例の場合にも、
先の実施例と同様に、マイクロ波空洞共振器１５．１５
−によってマイクロ波の共振特性が、そして光学系によ
って近赤外のレーザ光の透過が測定され、２５個のマイ
クロ波空洞共振器１５，１５−及び光学系によって得ら
れたこれらの測定値の各々が電子的に選択されて計測器
２４に送られる。しかし、マイクロ波空洞共振器１５．
１５−によるマイクロ波の検出は、光学系により近赤外
光の透過が検出された抄紙の位置がマイクロ波空洞共振
器１５，１５−の凸部１１を通過する瞬間に行われる。

この測定システムを上からみた第３図Ａの切断線Ａ−Ａ
−で見た断面図が、第４図に示されている。この実施例
のマイクロ波空洞共振器１５．１５−の凸部１１には、
レーザ光を通す空洞を設ける必要が無いので、マイクロ
波空洞共振器１５．１５−の製造コストは安くなる。

次に、本発明の物性量測定システムの第三の実施例を第
５図Ａ、Ｂにより説明する。第５図Ａに示される実施例
の物性量測定システムは、第二の実施例の物性量測定シ
ステムの下側のマイクロ波空洞共振器１５を一枚の金属
板１４に置き換えたものである。

この金属板１４は、上側のマイクロ波空洞共振器１５の
横断面と同一の形状をしており、抄紙１の上部にある２
５個のマイクロ波空洞共振器１５の各々と共振するよう
に配置される。マイクロ波はアンテナ１０から供給され
、抄紙ｌによるマイクロ波の吸収特性は受信アンテナ１
３により検知される。２５個のマイクロ波空洞共振器の
各々は、第一の実施例と同様にして電子的に選択され所
望の位置の物性量が測定される。

第５図Ｂの物性量測定システムの金属板１４は、その周
辺に周端部２０が形成されている。これにより、このシ
ステムにおいては第５図Ａのシステムに比較して、マイ
クロ波が外部に漏れる率が少なくなる。

本発明の物性量測定システムの第四の実施例を第６図Ａ
、Ｂにより説明する。第６凹入に示される実施例の物性
量測定システムは、第一の実施例の物性量測定システム
の下側の光通過型マイクロ波空洞共振器を一枚の金属板
Ｉ４に置き換えたものである。

この金属板１４は、上側の光通過型マイクロ波空洞共振
器６の横断面と同一の形状をしており、抄紙１の上部に
ある２５個の光通過型マイクロ波空洞共振器６の各々と
共振するように配置される。この金属板１４には、光通
過型マイクロ波空洞共振器６の凸部１１の貫通孔１２の
延長上に、開口１６が設けられている。その先にレンズ
７およびフォトダイオード９を配置して、レーザダイオ
ード８から発して抄紙１を透過したレーザ光が検知され
るように構成されている。これらの光透過型マイクロ波
空洞共振器６、金属板１４、レーザダイオード８および
フォトダイオード９は、ここでは図示されてていないＯ
フレームに固定されている。マイクロ波はアンテナ１０
から供給され、抄紙１によるマイクロ波の吸収特性は受
信アンテナ１３により検知される。２５個の光通過型マ
イクロ波空洞共振器の各々は、第一の実施例と同様にし
て電子的に選択され所望の位置の物性量が測定される。

第６図Ｂの物性量測定システムの金属板１４は、その周
辺に周端部２０が形成されている。これにより、このシ
ステムにおいては第５図Ａのシステムに比較して、マイ
クロ波が外部に漏れる率が少なくなる。

最後に、第７図Ａ、Ｂに基づいて、本発明の第五の実施
例を説明する。この実施例は、第二実施例の下側のマイ
クロ波空洞共振器を一枚の金属板１４に置き換えたもの
である。

この金属板１４は、上側のマイクロ波空洞共振器１５の
横断面と同一の形状をしており、抄紙ｌの上部にある２
５＠のマイクロ波空洞共振器１５の各々と共振するよう
に配置される。金属板１４には開口１７，１８が設けら
れていて、レーザダイオード９より発したレーザ光がレ
ンズ７を介して抄紙ｌを透過し、マイクロ波空洞共振器
１５の凸部１１の頂部に到達しそこで反射して、再度抄
紙ｌを透過してレンズ７を介してフォトダイオード８に
入射するように構成されている。これらのマイクロ波空
洞共振器１５、金属板１４、レーザダイオード８および
フォトダイオード９は、ここでは図示されてていないＯ
フレームに固定されている。マイクロ波はアンテナ１０
から供給され、抄紙ｌによるマイクロ波の吸収特性は受
信アンテナ１３により検知される。２５個のマイクロ波
空洞共振器の各々は、第一の実施例と同様にして電子的
に選択され所望の位置の物性量が測定される。

第７図Ｂの物性量測定システムの金属板１４は、その周
辺に周端部２０が形成されている。これにより、このシ
ステムにおいては第７図Ａのシステムに比較して、マイ
クロ波が外部に漏れる率が少なくなる。

本発明の平面状材料の物性量測定システムは、以上述べ
た実施例に限定されないことは言うまでもない。平面状
材料は、抄紙、プラスチックシート、セラミックシート
に限らず、粉粒体等平面状にする事が出来るものであれ
ば何でも良い。

本明細書の実施例に於いては、吸収によりマイクロ波の
共振特性を測定しているが、反射によってそれを測定し
てもよい。その場合には、送信アンテナと受信アンテナ
は別々に設けず、マイクロ波が与えられるアンテナから
同時に反射波を検知する。

光通過型マイクロ波空洞共振器、マイクロ波空洞共振器
及び光学系は、必ずしも平面状材料の移動線１９に垂直
に配置する必要はなく、第３図Ｂに示すように、それら
の各々が平面状材料の同一移動線１９上で重ならない限
り、それに対して斜めに配置しても良い。

〔発明の効果〕

本発明は、次のような効果を有する。

本発明の物性量測定システムは、平面状材料を横断して
複数個の光学系を備えたマイクロ波空洞共振器が固定さ
れていて、各マイクロ波空洞共振器のアンテナと光検出
器を電子的に選択することによって、各マイクロ波空洞
共振器の位置での平面状材料の３種類の物性量を測定す
るので、各物性量が瞬時に測定される。従って、従来の
測定方法のように、測定器群が平面状材料を横断するの
に１分以上も掛かって、その間に平面状材料がｌｏｏｏ
ｍも移動してしまうと言うことがなく、平面状材料の任
意の位置の３種類の物性量を瞬時に測定することが出来
る。しかも３種類の物性量が別々の領域について測定さ
れていた従来の測定装置とは異なり、同一の領域につい
て３種類の物性量を測定することが出来る。

また、従来の測定器群が３種類の測定器を８０ｃｍの幅
に組み合わせているので、同時に測定する３種類の物性
量が、各々、平面状材料の異なった位置について測定さ
れているのとは異なり、平面状材料の同一点について３
種類の物性量が同時に測定出来る。しかも本発明の光学
系を備えたマイクロ波空洞共振器の直径は小さく出来る
ので、測定領域を局所化させることが出来る。さらに、
従来の測定方法では測定器の位置によっては測定不可能
であった平面状材料の端の部分の物性量も正確に測定す
ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第一の実施例の物性量測定システム
を示し、 第２図は、第一の実施例の物性量測定システムを構成す
る一対のマイクロ波空洞共振器の断面図を示し、 第３図Ａ、Ｂは、本発明の第二の実施例の物性量測定シ
ステムを示す上面図で、 第４図は、第二の実施例の物性量測定システムを構成す
る一対のマイクロ波空洞共振器と光学系の断面図を示し
、 第５図Ａ、Ｂは、第三の実施例の物性量測定システムを
構成する一対のマイクロ波空洞共振器と光学系の断面図
を示し、 第６図Ａ、Ｂは、第四の実施例の物性量測定システムを
構成するマイクロ波空洞共振器の断面図を示し、 第７図Ａ、Ｂは、第五の実施例の物性量測定システムを
構成するマイクロ波空洞共振器と光学系の断面図を示し
、 第８図は、本発明の物性量測定システムを構成するマイ
クロ波空洞共振器の回路構成図で、第９図は、従来の坪
量、水分量および厚さ測定システムを示し、 第１θ図は、第９図の測定システムにより測定される物
性量の抄紙の位置を示す。 １：抄紙　　　　　　　　２：坪量測定器３：水分量測
定器　　　　４：厚さ測定−器５：０フレーム ６６−二元通過型マイクロ波空洞共振器７：レンズ　　
　　　　　８：レーザダイオ−９°フオトダイオード　
　ｌＯ：送信アンテナ１１、突起部　　　　　　　１２
：貫通孔１３：受信７シテナ　　　　　　１４：金属板
１５．１５−：マイクロ波空洞共振器 １６．１７．１８：開口　　　　１９：移動線２０：周
端部　　　　　　２ｔ：分割器２２：ｌｉ圧同調発振器
　　２３：マルチブレクサ２４：測定器　　　　　　　
２５ニダイオードド

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）移動する平面状材料の一面に配置され、光を通す
   貫通孔を設けた突起部をその中心部に有し、その突起部
   の外側に光源を備え、側壁部にアンテナを有する一方の
   円筒状光通過型マイクロ波空洞共振器と、 移動する前記平面状材料の他面に配置され、光を通す貫
   通孔を設けた突起部をその中心部に有し、その突起部の
   外側に光検出器を備え、側壁部にアンテナを有し、前記
   光源からの光が前記光検出器に入射する様な位置に配置
   した、他方の円筒状光通過型マイクロ波空洞共振器とを
   備え、 このように構成した上下一対の前記マイクロ波光通過型
   空洞共振器を２組以上前記平面状材料の同一移動先上で
   重ならないように配置し、前記各アンテナと前記各光検
   出器とを電子的に選択する手段を、 備えた前記平面状材料の物性量測定システム。
2. （２）中心部に突起部を有し、側壁部にアンテナを有す
   る一対の円筒状マイクロ波空洞共振器を、移動する平面
   状材料の上下に前記突起部が各々相対するように配置し
   、 光源および光検出器を、その光源から発して前記平面状
   材料を透過した光がその光検出器に入射するような位置
   に配置し、 上下の前記突起部が相対する前記平面状材料の部分と、
   前記光が照射される前記平面状材料の部分とが、前記移
   動する平面状材料の同一移動線上に存在する様に配置し
   、 この様に構成された上下一対の前記マイクロ波空洞共振
   器並びに上下一対の前記光源および前記光検出器を、各
   々、２組以上前記平面状材料の同一移動線上で重ならな
   いように配置し、前記各アンテナと前記各光検出器とを
   電子的に選択する手段を、 設けた前記平面状材料の物性量測定システム。
3. （３）移動する平面状材料の一面に設置した、中心部に
   突起部を有し、側壁部に少なくとも１本のアンテナを有
   する円筒状マイクロ波空洞共振器と、前記平面状材料の
   他面で、前記円筒状マイクロ波空洞共振器の位置に対応
   させて配置した、前記円筒状マイクロ波空洞共振器の横
   断面と同一の形状の金属板とを備え、 光源および光検出器を、その光源から発して前記平面状
   材料を透過した光がその光検出器に入射するような位置
   に配置し、 前記突起部が相対する前記平面状材料の部分と、前記光
   が照射される前記平面状材料の部分とを、前記移動する
   平面状材料の同一移動線上に位置する様に構成し、 この様に構成された、前記マイクロ波空洞共振器および
   前記金属板の対並びに前記光源および前記光検出器の対
   とを、各々、２組以上前記平面状材料の同一移動線上で
   重ならないように配置し、 前記各アンテナと前記各光検出器とを電子的に選択する
   手段を、 設けた前記平面状材料の物性量測定システム。
4. （４）移動する平面状材料の一面に配置し、光を通す貫
   通孔を設けた突起部を中心部に有し、その貫通孔の外側
   に光源を設置し、アンテナを側壁部に有する、複数個の
   円筒状光通過型マイクロ波空洞共振器と、 前記平面状材料の他面で、各々の円筒状マイクロ波光通
   過型空洞共振器の位置に対応させて配置し、前記空洞に
   対応した位置に開口を有する、前記円筒状マイクロ波空
   洞共振器の横断面と同一の形状の金属板と、 前記各開口の外側に設置した光検出器と、 前記各アンテナと前記各光検出器とを電子的に選択する
   手段とを、 備えた前記平面状材料の物性量測定システム。
5. （５）移動する平面状材料の一面においてその平面上材
   料の同一線上で重ならないように配置し、中心部に突起
   部を有し、側壁部にアンテナを有する複数の円筒状マイ
   クロ波空洞共振器と、前記平面状材料の他面で、各々の
   円筒状マイクロ波空洞共振器の位置に対応させて配置し
   、２個の閉口を有する前記円筒状マイクロ波空洞共振器
   の横断面と同一の形状の金属板とを備え、前記一方の各
   開口と他方の各開口の外側に、光源および光検出器とを
   、その光源から発した光が前記突起部で反射してその光
   検出器に入射する様な位置に配置し、 前記各アンテナと前記各光検出器とを電子的に選択する
   手段を備えた、 前記平面状材料の物性量測定システム。
6. （６）前記金属板が周端部を有していることを特徴とす
   る請求項（３）、（４）または（５）に記載の物性量測
   定システム。
7. （７）前記光源および前記光検出器の各前面にレンズを
   設けたことを特徴とする請求項（１）〜（６）の何れか
   に記載の物性量測定システム。
8. （８）前記光が近赤外光であることを特徴とする請求項
   （１）〜（７）の何れかに記載の物性量測定システム。
9. （９）マイクロ波により前記平面状材料の坪量と水分量
   を測定し、前記光により前記平面材料の厚さを測定する
   ことを特徴とする請求項（１）〜（８）の何れかに記載
   の物性量測定システム。