JPH03115016A - ワーク搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 完成した半導体装置等のワーク 搬送機構に関し、 の収納容器への 該ワークの収納容器に対する収納方向を必要に応じて自
動的に回転させることによって生産性の向上を図ること
を目的とし、 ベース上を一方向に移動できる摺動台に該ベースと平行
する面で自在に回転できる如くに装着した載置台上のワ
ークを、該摺動台と共に所定距離だけ移動させるワーク
搬送機構を、上記摺動台がベース上を上記所定距離を移
動する間に、上記載置台上のワークを載置台と共に所定
角度だけ回転させる着脱可能なゼネバ機構を備えて構成
する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は完成した半導体装置等のワークを収納容器に搬
送する移送工程に係り、特にワークの収納容器に対する
収納方向を必要に応じて自動的に回転させることによっ
て生産性の向上を図ったワーク搬送機構に関する。

最近の電子技術分野では、半導体装置等ワークの小型化
や高集積度化の進展につれてプリント基板等にこれらの
ワークを搭載するのに殆どの場合自動機が使用されてい
るが、ワークマガジンとして自動機に装着される収納容
器に対するワークの収納方向は顧客や作られる装置等に
よって異なった要求をされる場合が多い。

〔従来の技術〕

第３図は従来のワーク搬送機構を説明する概念図である
。

なお図では、理解し易くするため試験や検査が終了した
半導体装置を所定の収納容器に収容する場合の一例を説
明する。

図で、固定されたベース１の表面にはストライブ状の突
出するアリの如きガイド２が装着されてド方向に円滑に
移動できる摺動台３は、その一端で該ガイド２に沿う方
向に所定路Ａ１ｌ７！（例えば２２−程度）だけ動作で
きるシリンダ４のピン４ａと接続されて図示Ａのように
往復動できると共に、他端側には図示されない試験装置
で検査された半導体装置（以下ワークとする）５の良品
を収容する載置台３ａが形成されている。

なお図では、実線で示す摺動台３すなわち載置台３ａの
位置Ｐ１がワーク５を上記試験装置から受は取る位置で
あり、破線で示す載置台３ａ“の位置Ｐ２が該ワーク５
を載置台３ａから取り出して所定の収納容器に移送する
位置を示している。

一方図のアーム６は、上記Ｐ２に位置する載置台３ａ′
上のワーク５の上面を先端部６ａに設けた図示されない
真空吸着手段等で吸引キャッチした後回のＲ方向に回転
して所定の位置に該ワーク５を移動させるものであり、
該アーム６で移動されるワーク５はＸ−Ｙテーブル７上
にセットされた収納容器８の所定位置（例えば図ではＢ
ｅＩ域）に移送された後、該アーム６の上記真空吸着手
段を解除することによって該領域Ｂに収容できるように
なっている。

シーケンス的には、先ず良品としてのワーク５が図示さ
れない自動ハンドリング装置によって矢印Ｃの如く図示
２１点に位置する載置台３ａ上に載置される。

この状態でシリンダ４によって該載置台３ａが２８点に
移動すると、アーム６に繋がる真空吸着手段が動作し該
アーム６の先端部６ａが該ワーク５の表面を吸引キャッ
チする。

そこで該アーム６をＲ方向に一定した角度だけ回転させ
て該ワーク５を移送するが、この間に図示されない制御
部からの信号で二次元方向に移動するＸ−Ｙテーブル８
によって該収納容器７の各ワーク収容位置が順次上記ア
ーム６によるワーク５の移送位置に位置するように構成
されているため、結果的に該収納容器７にはワーク５が
整列した状態で収容されることになる。

この場合、ワーク５上に表示されている極性マーク５ａ
から明らかな如くワーク５の上記収納容器７に対する収
容方向は常に一定している。

しかし顧客によっては、上記収納容器７を平面的に見た
円内図■の如く該収納容器７に対するワーク５の収容方
向を所定角度例えば９０度回転させた状態で納入しなけ
ればならない場合がある。

二の場合を図■では、ワーク５の９０度右回転を極性マ
ーク５ａの前述の位置Ｐ＋からＰ、への移動で表わして
いる。

そこでかかる要求に対処するため、搬送機構の途中に独
立した該ワーク５の回転機構を特別に付加したり、全部
のワーク５を一旦収納容器７に収容した後それぞれのワ
ーク５をマニュアル作業で回転する等の手段を講じてい
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のワーク搬送機構では、ワークの回転機構を付加す
る場合には移送機構としての小型化やシンプル化を阻害
すると言う問題があり、また−旦収納容器に収容してか
らマニュアル作業でそれぞれのワークを回転する場合に
は作業工数がかかると共にリード変形や静電破壊等の二
次的な不良を誘起する危険が生ずると言う問題があった
。

〔課題を解決するための手段］ 上記問題点は、ベース上を一方向に移動できる摺動台に
該ベースと平行する面で自在に回転できる如（に装着し
た載置台上のワークを、該摺動台と共に所定距離だけ移
動させるワーク搬送機構が、上記摺動台がベース上を上
記所定距離を移動する間に、上記載置台上のワークを載
置台と共に所定角度だけ回転させる着脱可能なゼネバ機
構を備えているワーク搬送機構によって解決される。

〔作　用〕

摺動台と一体化した従来の載置台に回転機構を付与する
と、搬送機構部としての大きさを変えることなくワーク
の回転が実現できる搬送機構部を容易に構成することが
できる。

本発明では、摺動台に立てた軸を中心軸として回転する
！！２置台を該摺動台に装着し、該摺動台のベースに対
する移動を利用した着脱自在なゼネバ機構で上記載置台
を摺動台に対して９０度回転させるようにしている。

従って、特別な回転機構部を付与することなくＦｉｓｔ
台すなわちワークを必要に応じて回転させることができ
て、ワークの収納容器に対する収納方向を変えることが
できる。

〔実施例］ 第１図は本発明の動作原理を説明する図であり、第２図
は本発明になるワーク搬送機構を説明する構成図である
。

変形したゼネバ機構を示す第１図で、（イ）は移動前を
示しく口）は移動中をまた（ハ）は移動後を示している
。

図（イ）で、９は中心９ａで回転する正方形の角形ブロ
ックであり、該ブロック９の一対角線上には所定幅の溝
９ｂが形成されている。

また該角形ブロック９の下側（図面裏側）には図示矢印
←方向に移動できるベース板１０が配置されており、特
に該ベース板１０の上記角形ブロック９の溝９ｂに対応
する位置には政情９ｂと円滑に摺動するピン１０ａが配
設されている。

そこで該ベース板１０を例えば上記矢印一方向に移動さ
せると、それにつれて上記角形ブロック９が回転するこ
とになる。

例えば上記ベース１０板がしたけ移動する場合を例とす
ると、該ベース板１０のピン１０ａを該ベース板１０の
移動方向と直行する方向でブロック９の回転中心９ａか
らＬ／２だけ離れた位置に配設すると、該ベース板１０
がＬだけ移動した時に上記角形ブロック９は丁度９０度
回転することになる。

なお（ロ）は該角形ブロック９が４５度回転したときを
示しまた（ハ）は９０度回転した時を表わしている。

従って、ベースＦｉ、１０のピン１０ａの位置によって
該ベース板１０の移動距離りに対する角形ブロック９の
回転角度を変えることができる。

実施例を示す第２図で（Ａ）　、　（Ｂ）　、　（Ｃ）
がワークを回転させる場合を、また（Ｄ）　、　（Ｅ）
はワークを回転させない場合をそれぞれ示しており、特
に（Ａ）、（Ｄ）がワークを受は取る時点、　（Ｃ）　
、　（Ｅ）は該ワークを取り出す時点であり、また（Ｂ
）はその途中の状態を表わしている。

なお図では、理解し易くするためワークを右側に９０度
回転させる場合について説明する。

図（＾）で固定されたベース１１の表面には、ストライ
ブ状の突出するアリの如きガイド１２が固定されている
と共に、該ガイド１２部分を除く該ガイド１２の図面手
前側顛域の所定位置にはピン１３が該ガイド１２形成面
側に突出するように例えば螺子込み手段で着脱可能に装
着されている。

また該ガイド１２と嵌合する溝１４ａで該ガイドに沿っ
て円滑に摺動できる摺動台１４は、その一端で第３図同
様のシリンダ４のピン４ａと連結されて図示Ａのように
所定路Ｍ（例えば２２ｍｍ程度）だけ往復動できると共
に、他端例の上記溝１４ａ上には図示ａｘａ’で切断し
た円内図１８に示す如く該摺動台１４の上面に突出する
固定された軸１５が設けられ、更に該軸１５には該軸１
５を中心として回転できるほぼ角型の回転板１６が回転
自在に取り付けられまた該回転板１６の上面には載置台
１７が中心軸を合わせて固定されている。

この回転板１６には、上記ピン１３がその直径方向で円
滑に摺動できる幅の少なくとも１個の溝１６ａが、コー
ナ近傍から該回転板１６の回転中心に向けて形成されて
おり、特に政情１６ａは摺動台１４換言すれば載置台１
７がワークを受は取る位置（第３図で説明したＰ３位置
）に在る図示の状態で上記ピン１３が丁度政情１６ａの
開口部側端部に位置すると共に該摺動台１４がガイド１
２に沿ってＡ１方向に所定距離（図の場合には２２ｍｍ
）だけ移動したときに上記ピン１３が政情１６ａに沿っ
て移動しながらその壁面を押圧して該回転板１６を丁度
９０度図示ｒ方向に右回転できるようになっている。

このことは、該回転板１６と一体化した載置台１７がｒ
方向に９０度何回転ることを意味しており、結果的に該
載置台１７上のワーク５も同様に回転することになる。

更に該摺動板１４の上記軸１５の装着面上には、該軸１
５に上記回転板１６を図示のように取り付けた時の該回
転板１６のほぼ周辺に沿う近傍位置に、該摺動板１４の
上記溝１４ａに到達しない深さの溝１４ｂが形成されて
おり、他方破線で示す如く政情１４ｂに円滑に挿入でき
る厚さの矩形状のストッパ１８が別に用意されている。

そこで上記ピン１３を装着しまた上記ストッパ１８を装
着しない状態で、第３図で説明したように良品としての
ワーク５を図示矢印Ｃの如く載置台１７上に載置した後
シリンダ４を動作させて摺動台１４をＡ、方向に移動さ
せると、例えば所定距離の半分程度（ｌ１ｍ−位）移動
した時点では図（Ｂ）に示す如く載置台１７上のワーク
５は該摺動台１４に対してほぼ４５度ｒ方向に右回転し
た状態となる。

その後膣摺動台１４が所定距離だけ移動した時点では、
図（Ｃ）のように載置台１７上のワーク５が該摺動台１
４に対して９０度右回転している。

このことは、ワーク５上の極性マーク５ａの位置が該摺
動台１４の移動方向に対して変化することから確認する
ことができる。

そこで、第３図で説明した如くアーム６の先端部６ａで
ワーク５を吸引キャッチした後該アーム６をＲ方向に所
定角度だけ回転させて該ワーク５をＸ−Ｙテーブル７上
の収納容器８に収容すると、結果的に該収納容器８の各
収容位置におけるワーク５の該収納容器８に対する収容
方向を第３図の場合に比べて９０度右回転させることが
できる。

なお、図ではワーク５を右回転させるためにベース１１
に立てるピン１３を摺動台１４の移動方向Ａ１に対する
右側の領域に配置しているが、該ピン１３を摺動台１４
の移動方向＾、に対する左側のベース１１の対応する位
置に配置すると載置台１７すなわちワーク５を左回転さ
せることができる。

また図（＾）に示す状態で、ピン１３を外して除去する
と共にストッパ１８を摺動台１４の溝１４ｂに挿入して
装着すると、図（ロ）に示す状態とすることができる。

この場合には、シリンダ４を動作させて摺動台１４を図
（Ｃ）のようにＡ＋力方向所定距離だけ移動させても回
転板１６が上記ストッパ１８でガイドされるため、載置
台１７ひいてはワーク５が回転することがない。

図（Ｅ）はこの状態を表わしたものである。

従って図（Ｃ）で説明した如くアーム６によって該ワー
ク５を収納容器８に収容しても該ワーク５の収納容器８
に対する収容方向が回転することがない。

（発明の効果〕 上述の如く本発明により、ワークの収納容器に対する収
納方向を顧客要求に合わせて自動的に回転させて生産性
の向上を図ったワーク搬送機構を提供することができる
。

なお本発明の説明にめ当たってはワークを９０度何回転
せる場合について行っているが、ベース上に装着するピ
ンの位置および回転板に形成する溝の方向を変えること
によってワークの回転角度を０〜１５０度の範囲内で自
由に変えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の動作原理を説明する図、第２図は本発
明になるワーク搬送機構を説明する構成図、 第３図は従来のワーク搬送機構を説明する概念図、 である。図において、 ４はシリンダ、　　　４ａはピン、 ５は半導体装置（ワーク）、５ａは極性マーク、６はア
ーム、　　　　６ａは先端部、 ７はＸ−Ｙテーブル、８は収納容器、 ９は角形ブロック、　９ａは中心、 ９ｂは溝、　　　　　　　１０はベース板、１０ａはピ
ン、 １１はベース、 １３はピン、 １４ａ、　１４ｂは溝、 １６は回転板、 １７は載置台、 をそれぞれ表わす。 １２はガイド、 １４は摺動台、 １５は軸、 １６ａは溝、 １８はストッパ、 鍜 ビ１ 本命明にな６ワ フ搬区機構１詭明す３構へ図 ￥２図（ｔの１） （［）） 本ηだｑ目にな・６１フ′ り砿機嘴と説−明する構成゛図 第２図 （’ｆの２）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ベース（１１）上を一方向に移動できる摺動台（１４）
   に該ベース（１１）と平行する面で自在に回転できる如
   くに装着した載置台（１７）上のワーク（５）を、該摺
   動台（１４）と共に所定距離だけ移動させるワーク搬送
   機構が、 上記摺動台（１４）がベース（１１）上を上記所定距離
   を移動する間に、上記載置台（１７）上のワーク（５）
   を載置台（１７）と共に所定角度だけ回転させる着脱可
   能なゼネバ機構を備えていることを特徴としたワーク搬
   送機構。