JPH03115944A - 非球面レンズの偏心測定装置 - Google Patents
非球面レンズの偏心測定装置Info
- Publication number
- JPH03115944A JPH03115944A JP25472689A JP25472689A JPH03115944A JP H03115944 A JPH03115944 A JP H03115944A JP 25472689 A JP25472689 A JP 25472689A JP 25472689 A JP25472689 A JP 25472689A JP H03115944 A JPH03115944 A JP H03115944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- lens
- aspherical
- eccentricity
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、非球面レンズにおける非球面軸の傾きを測定
するための非球面レンズの偏心測定装置に関するもので
ある。
するための非球面レンズの偏心測定装置に関するもので
ある。
［従来の技術］
非球面レンズの製作にあたり、これら製作されたレンズ
が所定の設計値通りに製作されたか否かを検査する必要
がある。
が所定の設計値通りに製作されたか否かを検査する必要
がある。
かかるレンズの検査を行なう装置として、特願昭６１１
２６８６６号に開示されている非球面レンズの偏心測定
装置が提案されている。この非球面レンズの偏心測定装
置は、被検レンズ保持用のレンズ受け部を有するととも
に、回転駆動自在に構成された回転レンズ支持部材と、
回転レンズ支持部材上の被検レンズの位置を前記回転レ
ンズ支持部材の回転軸に対し、垂直方向に移動調整する
ための機構部と、被検レンズにおける非球面の近軸曲率
中心の回転軸に対する偏心量を検出するための近軸偏心
測定部と、前記回転軸以外の軸を検出軸として前記レン
ズ受け部側とは反対側のレンズ面における非球面軸の回
転軸に対する傾き角を検出するための非球面軸測定部と
より構成されている。
２６８６６号に開示されている非球面レンズの偏心測定
装置が提案されている。この非球面レンズの偏心測定装
置は、被検レンズ保持用のレンズ受け部を有するととも
に、回転駆動自在に構成された回転レンズ支持部材と、
回転レンズ支持部材上の被検レンズの位置を前記回転レ
ンズ支持部材の回転軸に対し、垂直方向に移動調整する
ための機構部と、被検レンズにおける非球面の近軸曲率
中心の回転軸に対する偏心量を検出するための近軸偏心
測定部と、前記回転軸以外の軸を検出軸として前記レン
ズ受け部側とは反対側のレンズ面における非球面軸の回
転軸に対する傾き角を検出するための非球面軸測定部と
より構成されている。
この偏心測定装置では、被検レンズを前記回転支持部材
上に支持し、回転させて、被検レンズにおける前記レン
ズ受け部側とは反対側のレンズ面の近軸曲率中心の回転
軸に対する偏心量を前記近軸偏心測定部で検出しながら
偏心量がＯになるように前記被検レンズの移動調整機構
部により心調整する。この状態において、被検レンズに
おける前記レンズ受け部とは反対側のレンズ面における
非球面軸の回転角に対する傾き角を非球面軸測定部によ
り測定するようにしている。前記レンズ受け部が前記回
転レンズ支持部材の回転軸に対し、軸対称に加工されて
いる場合、上記心調整により、前記被検レンズの第１面
、第２面の近軸曲率中心を結ぶ軸は前記回転レンズ支持
部材の回転軸に完全に一致する。従って、上記非球面軸
測定部の測定により、非球面レンズの第１面、第２面の
それぞれ近軸曲率中心を結ぶ軸を基準として、非球面軸
の傾き角度が測定可能となる。
上に支持し、回転させて、被検レンズにおける前記レン
ズ受け部側とは反対側のレンズ面の近軸曲率中心の回転
軸に対する偏心量を前記近軸偏心測定部で検出しながら
偏心量がＯになるように前記被検レンズの移動調整機構
部により心調整する。この状態において、被検レンズに
おける前記レンズ受け部とは反対側のレンズ面における
非球面軸の回転角に対する傾き角を非球面軸測定部によ
り測定するようにしている。前記レンズ受け部が前記回
転レンズ支持部材の回転軸に対し、軸対称に加工されて
いる場合、上記心調整により、前記被検レンズの第１面
、第２面の近軸曲率中心を結ぶ軸は前記回転レンズ支持
部材の回転軸に完全に一致する。従って、上記非球面軸
測定部の測定により、非球面レンズの第１面、第２面の
それぞれ近軸曲率中心を結ぶ軸を基準として、非球面軸
の傾き角度が測定可能となる。
［発明が解決しようとする課題］
ところで、通常、非球面レンズは、レンズ枠に挿入され
た形で組み込まれて使用されることが一般的であり、レ
ンズ枠に挿入された際の、レンズ枠の中心軸に対する非
球面軸の傾き角度と横ずれ量を検査する必要がある。こ
こで、レンズ枠に挿入される際の非球面レンズの姿勢は
第２図に示すごとく、非球面レンズ２の外径部２ｄとレ
ンズ受け面２ｂ’ で決定される。すなわち、前記非球
面レンズ２の外径部２ｄと前記レンズ受け部２ｂ″で決
定される中心軸４′に対する、前記非球面レンズ２の非
球面２ａの非球面軸６の傾き角ε、Ａｓならびに、前記
非球面レンズ２の前記非球面２ａにおける前記中心軸４
からの横ずれ量δを検査すればよい。
た形で組み込まれて使用されることが一般的であり、レ
ンズ枠に挿入された際の、レンズ枠の中心軸に対する非
球面軸の傾き角度と横ずれ量を検査する必要がある。こ
こで、レンズ枠に挿入される際の非球面レンズの姿勢は
第２図に示すごとく、非球面レンズ２の外径部２ｄとレ
ンズ受け面２ｂ’ で決定される。すなわち、前記非球
面レンズ２の外径部２ｄと前記レンズ受け部２ｂ″で決
定される中心軸４′に対する、前記非球面レンズ２の非
球面２ａの非球面軸６の傾き角ε、Ａｓならびに、前記
非球面レンズ２の前記非球面２ａにおける前記中心軸４
からの横ずれ量δを検査すればよい。
しかしながら、前記特願昭６３−１２６８６６−
号明細書の非球面レンズ偏心測定装置においては、ｉＪ
記非球面レンズの外径部の振れ量を測定することができ
ないため、レンズ外径部とレンズ受け面で決定される中
心軸を基準として、非球面軸の横ずれ量ならびに非球面
軸の傾き角度を測定することができない。
記非球面レンズの外径部の振れ量を測定することができ
ないため、レンズ外径部とレンズ受け面で決定される中
心軸を基準として、非球面軸の横ずれ量ならびに非球面
軸の傾き角度を測定することができない。
本発明は上述した従来技術の欠点を克服し、非球面レン
ズの外径の振れ量を測定することを可能ならしめ、もっ
て、レンズの外径部とレンズ受け部レンズ受け面で決定
される中心軸を基準として、非球面軸の横ずれ量ならび
に非球面軸の傾き角度を測定する装置を提供するもので
ある。
ズの外径の振れ量を測定することを可能ならしめ、もっ
て、レンズの外径部とレンズ受け部レンズ受け面で決定
される中心軸を基準として、非球面軸の横ずれ量ならび
に非球面軸の傾き角度を測定する装置を提供するもので
ある。
［課題を解決するための手段］
本発明の非球面レンズ偏心測定装置は、被検レンズの保
持用のレンズ受け部を有すると共に回転駆動自在に構成
された回転レンズ支持部材と、この回転レンズ支持部材
上の被検レンズの位置を回転レンズ支持部材上の回転軸
に対し直交する方向に移動調整するための機構部と、被
検レンズにおける非球面の近軸曲率中心の回転軸に対す
る偏心量を検出するための近軸偏心測定部と、前記回転
軸以外の軸を検出軸として前記レンズ受け部側とは反対
側のレンズ面における非球面軸の回転軸に対する傾き角
を検出するための非球面軸測定部と、前記回転軸を含む
面に対して直交する検出軸を有し、前記回転軸に対する
被検レンズ外径の振れ量を検出するための外径振れ測定
部と、前記回転軸の回転角を検出するための回転角測定
部と、前記近軸偏心測定部、前記非球面軸測定部及び前
記外径振れ測定部と、前記回転角測定部の夫々測定値を
演算する演算部とにより構成されている。
持用のレンズ受け部を有すると共に回転駆動自在に構成
された回転レンズ支持部材と、この回転レンズ支持部材
上の被検レンズの位置を回転レンズ支持部材上の回転軸
に対し直交する方向に移動調整するための機構部と、被
検レンズにおける非球面の近軸曲率中心の回転軸に対す
る偏心量を検出するための近軸偏心測定部と、前記回転
軸以外の軸を検出軸として前記レンズ受け部側とは反対
側のレンズ面における非球面軸の回転軸に対する傾き角
を検出するための非球面軸測定部と、前記回転軸を含む
面に対して直交する検出軸を有し、前記回転軸に対する
被検レンズ外径の振れ量を検出するための外径振れ測定
部と、前記回転軸の回転角を検出するための回転角測定
部と、前記近軸偏心測定部、前記非球面軸測定部及び前
記外径振れ測定部と、前記回転角測定部の夫々測定値を
演算する演算部とにより構成されている。
第１図は本発明に係る非球面レンズ偏心測定装置１の概
念図を示すものであり、被検レンズ２として上面（第１
面）２ａが非球面、下面（第２面）２ｂが球面である非
球面レンズを測定する場合を例示している。
念図を示すものであり、被検レンズ２として上面（第１
面）２ａが非球面、下面（第２面）２ｂが球面である非
球面レンズを測定する場合を例示している。
この偏心測定装置ｌは、被検レンズ２を回転自在に保持
するための回転ホルダー（レンズ支持部材）３と、回転
ホルダー３の回転角を検出する回転角測定部９と、第１
面２ａの近軸曲率中心２Ｃの回転軸４に対する偏心量を
検出するための近軸偏心測定部５と、回転軸４に対する
第１面２ａの非球面軸６の傾き角を測定するための非球
面軸測定部７と、前記被検レンズ２の外径２ｄの回転軸
４に対する振れ量を検出するための外径振れ測定部７０
と、前記回転角検出部９、前記近軸偏心測定部５、前記
非球面軸測定部７、前記外径振れ測定部７ｏより、レン
ズの外径部２ｄとレンズ受け面２ｂ’ で決定される中
心軸４′に対する非球面軸６の傾き角ε１＾Ｓならびに
非球面軸の横ずれ量δを計算するための演算部１５とよ
り構成されている。また、回転ホルダー３における被検
レンズ２との接触部は回転軸４に対して同心加工してし
である。
するための回転ホルダー（レンズ支持部材）３と、回転
ホルダー３の回転角を検出する回転角測定部９と、第１
面２ａの近軸曲率中心２Ｃの回転軸４に対する偏心量を
検出するための近軸偏心測定部５と、回転軸４に対する
第１面２ａの非球面軸６の傾き角を測定するための非球
面軸測定部７と、前記被検レンズ２の外径２ｄの回転軸
４に対する振れ量を検出するための外径振れ測定部７０
と、前記回転角検出部９、前記近軸偏心測定部５、前記
非球面軸測定部７、前記外径振れ測定部７ｏより、レン
ズの外径部２ｄとレンズ受け面２ｂ’ で決定される中
心軸４′に対する非球面軸６の傾き角ε１＾Ｓならびに
非球面軸の横ずれ量δを計算するための演算部１５とよ
り構成されている。また、回転ホルダー３における被検
レンズ２との接触部は回転軸４に対して同心加工してし
である。
［作用］
」二記構成において、被検レンズ２を回転ホルダー３の
上に載せると、第２図に示すように、被検レンズ２のレ
ンズ受け面２ｂ’ は回転ホルダー３の回転軸４に対し
垂直となる。ここで、近軸偏心測定部５を介して第１面
２ａの近軸曲率中心２ｃの回転軸４に対する偏心量を検
出し、この偏心量がＯとなるように被検レンズ２の位置
を調整することにより、第１面２ａの曲率中心２ｃを回
転軸４の軸線上にほぼ一致させることができる。ここで
、非球面軸測定部７にて回転軸４に対する第１面２ａの
非球面軸６の傾き角度ε、ＡＳを、また外径振れ測定部
７０にて回転軸４に対するレンズ外径部２ｄの振れ量２
６′を測定する。
上に載せると、第２図に示すように、被検レンズ２のレ
ンズ受け面２ｂ’ は回転ホルダー３の回転軸４に対し
垂直となる。ここで、近軸偏心測定部５を介して第１面
２ａの近軸曲率中心２ｃの回転軸４に対する偏心量を検
出し、この偏心量がＯとなるように被検レンズ２の位置
を調整することにより、第１面２ａの曲率中心２ｃを回
転軸４の軸線上にほぼ一致させることができる。ここで
、非球面軸測定部７にて回転軸４に対する第１面２ａの
非球面軸６の傾き角度ε、ＡＳを、また外径振れ測定部
７０にて回転軸４に対するレンズ外径部２ｄの振れ量２
６′を測定する。
また、非球面軸６の傾き方向θ１、レンズ外径部２ｄの
振れ方向θ、は回転角測定部９により求めることができ
る。
振れ方向θ、は回転角測定部９により求めることができ
る。
これにより中心軸４′に対する非球面軸の横ずれ量δは
以下の式で求められる。
以下の式で求められる。
δ＝ −Ｒ，ｓ＋ｎε、 Ａ Ｓ ＣＯＳθ、−θ
、 ＋Ｒ，ｓｉｎ εＡＳ・・・・（１） ［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
、 ＋Ｒ，ｓｉｎ εＡＳ・・・・（１） ［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第３図、第４図には本発明に係る非球面レンズの偏心測
定装置１の実施例が示されている。
定装置１の実施例が示されている。
＝７＝
この実施例の偏心測定装置１は、回転レンズ支持部材３
、近軸偏心測定部５、非球面軸測定部７、外径振れ測定
部７ｏ、回転角測定部９および演算部１５を備えてなる
。
、近軸偏心測定部５、非球面軸測定部７、外径振れ測定
部７ｏ、回転角測定部９および演算部１５を備えてなる
。
このうち、近軸偏心測定部５は、その光学軸を回転レン
ズ支持部材３の回転軸４に一致させることができるよう
にＸ−Ｙステージ７１の上に搭載されている。この近軸
偏心測定部５は、被検レンズ２の第１面２ａの近軸曲率
中心２ｃに集光すべく光を投射し、第１面２ａにおける
反射光より回転軸４に対する近軸曲率中心２ｃの偏心量
δ を求める機能を有している。
ズ支持部材３の回転軸４に一致させることができるよう
にＸ−Ｙステージ７１の上に搭載されている。この近軸
偏心測定部５は、被検レンズ２の第１面２ａの近軸曲率
中心２ｃに集光すべく光を投射し、第１面２ａにおける
反射光より回転軸４に対する近軸曲率中心２ｃの偏心量
δ を求める機能を有している。
非球面軸測定部７は、２つの１軸移動ステージ７２．７
４と、回転ステージ７３に搭載されている。この非球面
軸測定部７は、被検レンズ２の第１面２ａの任意の測定
点Ｐに対しセットすることが可能である。なお、非球面
軸測定部７は、測定点Ｐを観察するための光学系と、測
定点Ｐの回転に伴う変位量Δ１を検出する機能との双方
を有する。
４と、回転ステージ７３に搭載されている。この非球面
軸測定部７は、被検レンズ２の第１面２ａの任意の測定
点Ｐに対しセットすることが可能である。なお、非球面
軸測定部７は、測定点Ｐを観察するための光学系と、測
定点Ｐの回転に伴う変位量Δ１を検出する機能との双方
を有する。
−
外径振れ測定部７０は、２つの互いに直交する方向に移
動可能なｌ軸移動ステージ７５．７６に搭載されており
、被検レンズ２の外径部２ｄの任意の測定点Ｑに対し、
セットすることが可能である。外径振れ測定部７０は、
測定点Ｑの回転に伴う変位量２６′を検出する機能を有
する。
動可能なｌ軸移動ステージ７５．７６に搭載されており
、被検レンズ２の外径部２ｄの任意の測定点Ｑに対し、
セットすることが可能である。外径振れ測定部７０は、
測定点Ｑの回転に伴う変位量２６′を検出する機能を有
する。
この外径振れ測定装置７０の具体的な構成を第５図に示
す。
す。
本装置は、被検レンズ２の外径部を投射する光源８１と
光源からの光を平行光にするコリメートレンズ８２、前
記光源の光束を受光する受光素子８４と、前記光［８］
と受光索子８４との間に位置するスリット８３と、前記
受光素子８４の受光量を電圧に変換するアンプ８５と、
前記アンプ８４の出力電圧を表示する表示器８６とから
なる。
光源からの光を平行光にするコリメートレンズ８２、前
記光源の光束を受光する受光素子８４と、前記光［８］
と受光索子８４との間に位置するスリット８３と、前記
受光素子８４の受光量を電圧に変換するアンプ８５と、
前記アンプ８４の出力電圧を表示する表示器８６とから
なる。
以上の構成・配置により、第６図に示すように、スリッ
ト８３の上にレンズ外径部の影ができる。
ト８３の上にレンズ外径部の影ができる。
従って、被検レンズ２の外径の中心軸が回転レンズ支持
部材３の回転軸に対し、偏心している場合、回転レンズ
支持部材３を回転させることにより、レンズの影が左右
に移動することになる。これにより受光素子の受け取る
光量が変化し、これに伴ってアンプ８５の出力電圧も変
化するので、この変化量から被検レンズ２の外径振れ量
が求められる。
部材３の回転軸に対し、偏心している場合、回転レンズ
支持部材３を回転させることにより、レンズの影が左右
に移動することになる。これにより受光素子の受け取る
光量が変化し、これに伴ってアンプ８５の出力電圧も変
化するので、この変化量から被検レンズ２の外径振れ量
が求められる。
演算部１５は、近軸偏心測定部５、非球面軸測定部７、
外径振れ測定部７０ならびに回転駆動部における回転角
測定部９からの出力値から、非球面軸の横ずれ量δと傾
き角ε、Ａｓを求めるようになされている。
外径振れ測定部７０ならびに回転駆動部における回転角
測定部９からの出力値から、非球面軸の横ずれ量δと傾
き角ε、Ａｓを求めるようになされている。
次に、」ユ記構成に基づき、非球面軸の横ずれ量δと傾
き角ε、Ａｓを求めるまでの作用について説明する。
き角ε、Ａｓを求めるまでの作用について説明する。
まず、被検レンズ２の輪帯状マーク２ 、ｊが施されて
いない場合は、近軸偏心測定部５で第１面２ａの近軸曲
率中心２Ｃの回転軸４に対する偏心量が検出され、この
偏心量がＯになるように心調整がなされる。
いない場合は、近軸偏心測定部５で第１面２ａの近軸曲
率中心２Ｃの回転軸４に対する偏心量が検出され、この
偏心量がＯになるように心調整がなされる。
この状態において、第４図に示すごとく、測定点ｌ）に
おける１つの変位ピーク点Ｐ１の回転軸４からのＸ座標
（距離）をＸｐ、、他方のピーク点Ｐ２の回転軸４に対
する対称点のＸ座標をＸｐ、’第１面２ａと回転軸４と
の交点をＸ。、第１面２ａの非球面軸３０と回転軸４と
の傾きをε、Ａｓ、非球面軸測定部７による検出値（変
位量）を△とすると解析幾何学上次の４つの式が成り立
つ。
おける１つの変位ピーク点Ｐ１の回転軸４からのＸ座標
（距離）をＸｐ、、他方のピーク点Ｐ２の回転軸４に対
する対称点のＸ座標をＸｐ、’第１面２ａと回転軸４と
の交点をＸ。、第１面２ａの非球面軸３０と回転軸４と
の傾きをε、Ａｓ、非球面軸測定部７による検出値（変
位量）を△とすると解析幾何学上次の４つの式が成り立
つ。
ｔａｎ（ε、Ａｓ＋Ｌ） ＝ｆ、’（Ｘｐ、）
（３）ｔａｎ（ε、 ＡＳ−０，） ＝ｆ、’
（Ｘｐ、’） （４）ｔａｎ ε、 Ａ
ｓ＝ｆ、 ’ （Ｘ、） （５）
［（ｒ＋ （ｘｐ＋’ ）−ｆｌ （ＸＩ）ｌ））ＣＯ
８εｌ Ａ ５−（Ｘｐ＋’ −Ｘｐ＋ ）ｓｉｎεｌ
Ａ Ｓ］”＋［（Ｘｐ＋ ’ Ｘｆ）＋ ２Ｘ
ｅ ）ｃｏｓ εｌ Ａ Ｓ ＋（ｆｌ （ｘｐ＋ ’
） 十Ｆ（Ｘｐ＋ ）−２ｆ、（Ｘ、））ｓｉｎε、
Ａｓ］’＝△、” （６）上記（３）
式よりｘｐ、を、 （４）式よりＸｐを、そして（５）
式によりＸ。を各々ε、Ａｓの関数として表わせるので
、これを（６）式に代入することによりε、八へが求め
られる。
（３）ｔａｎ（ε、 ＡＳ−０，） ＝ｆ、’
（Ｘｐ、’） （４）ｔａｎ ε、 Ａ
ｓ＝ｆ、 ’ （Ｘ、） （５）
［（ｒ＋ （ｘｐ＋’ ）−ｆｌ （ＸＩ）ｌ））ＣＯ
８εｌ Ａ ５−（Ｘｐ＋’ −Ｘｐ＋ ）ｓｉｎεｌ
Ａ Ｓ］”＋［（Ｘｐ＋ ’ Ｘｆ）＋ ２Ｘ
ｅ ）ｃｏｓ εｌ Ａ Ｓ ＋（ｆｌ （ｘｐ＋ ’
） 十Ｆ（Ｘｐ＋ ）−２ｆ、（Ｘ、））ｓｉｎε、
Ａｓ］’＝△、” （６）上記（３）
式よりｘｐ、を、 （４）式よりＸｐを、そして（５）
式によりＸ。を各々ε、Ａｓの関数として表わせるので
、これを（６）式に代入することによりε、八へが求め
られる。
さらに、外径振り測定部７０にて、回転軸４に対するレ
ンズ外径稜２ｄの振れ量２６′ を測定することにより
、先述したごとく非球面軸の横ずれ量δが求められる。
ンズ外径稜２ｄの振れ量２６′ を測定することにより
、先述したごとく非球面軸の横ずれ量δが求められる。
ｉ
なお、第７図（ａ）、（ｂ）に示すような、第１面２ａ
に第１面２ａの非球面軸３０を中心とする同心状の輪帯
状マーク２ｊが設けられている非球面レンズに適用でき
るように、第８図に示すように、非球面軸測定部７を、
被検レンズ２における輪帯状マーク２ｊの回転に伴う振
れ量Δを検出するための対物レンズ６０とテレビカメラ
６１及び画像処理部６２により構成してもよい。
に第１面２ａの非球面軸３０を中心とする同心状の輪帯
状マーク２ｊが設けられている非球面レンズに適用でき
るように、第８図に示すように、非球面軸測定部７を、
被検レンズ２における輪帯状マーク２ｊの回転に伴う振
れ量Δを検出するための対物レンズ６０とテレビカメラ
６１及び画像処理部６２により構成してもよい。
このように非球面軸測定部７を構成しておけば、本装置
１により、非球面軸の傾き角ε、ＡＳ、横ずれ量δがそ
れぞれ求められる。
１により、非球面軸の傾き角ε、ＡＳ、横ずれ量δがそ
れぞれ求められる。
即ち、第７図に示すごとく被検レンズ２における第１面
２ａに第１面２ａの非球面軸３０を中心とする同心状の
輪帯状マーク２ｊが設けられている場合、以下のように
して中心軸４′に対する非球面軸６の傾き角ε、Ａｓな
らびに非球面軸の横ずれ量δを求めることができる。
２ａに第１面２ａの非球面軸３０を中心とする同心状の
輪帯状マーク２ｊが設けられている場合、以下のように
して中心軸４′に対する非球面軸６の傾き角ε、Ａｓな
らびに非球面軸の横ずれ量δを求めることができる。
第８図に示すように、被検レンズ２を回転ホルダー３の
」二に載せ、非球面軸測定部７を介して、回転に伴う輪
帯状マーク２ｊの振れ量△を検出し１２ て、この振れ量がＯとなるように被検レンズ２の位置を
調整することにより、被検レンズ２の第１面１ａと非球
面軸の交点２ｈを、回転軸４の軸線上にほぼ一致させる
ことができる。ここで、近軸偏心測定部５により第１面
２ａの近軸曲率中心２Ｃの回転軸４に対する偏心量δ１
を、また外径振れ測定部７０にて、回転軸４に対するレ
ンズ外径稜２ｄの振れ量２δを測定する。
」二に載せ、非球面軸測定部７を介して、回転に伴う輪
帯状マーク２ｊの振れ量△を検出し１２ て、この振れ量がＯとなるように被検レンズ２の位置を
調整することにより、被検レンズ２の第１面１ａと非球
面軸の交点２ｈを、回転軸４の軸線上にほぼ一致させる
ことができる。ここで、近軸偏心測定部５により第１面
２ａの近軸曲率中心２Ｃの回転軸４に対する偏心量δ１
を、また外径振れ測定部７０にて、回転軸４に対するレ
ンズ外径稜２ｄの振れ量２δを測定する。
これより、中心軸４′に対する非球面軸の傾き角ε、Ａ
ｓは以下の式で求められる。
ｓは以下の式で求められる。
δ。
ε、 Ａｓ：＝ｓｔｎ −＝＝ （２）本実施例によ
れば、同一の装置で輪帯状マーク２Ｊが施されていても
、施されていなくても、非球面レンズにおける非球面軸
の傾き角ならびに横ずれ量を極めて正確に測定すること
ができる。
れば、同一の装置で輪帯状マーク２Ｊが施されていても
、施されていなくても、非球面レンズにおける非球面軸
の傾き角ならびに横ずれ量を極めて正確に測定すること
ができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
［発明の効果］
本発明の非球面レンズ偏心測定装置は、被検レンズの保
持用のレンズ受け部を有すると共に回転駆動自在に構成
された回転レンズ支持部材と、この回転レンズ支持部材
上の被検レンズの位置を回転レンズ支持部材上の回転軸
に対し直交する方向に移動調整するための機構部と、被
検レンズにおける非球面の近軸曲率中心の回転軸に対す
る偏心量を検出するための近軸偏心測定部と、前記回転
軸以外の軸を検出軸として前記レンズ受け部側とは反対
側のレンズ面における非球面軸の回転軸に対する傾き角
を検出するための非球面軸測定部と、前記回転軸を含む
面に対して直交する検出軸を有し、前記回転軸に対する
被検レンズ外径の振れ量を検出するための外径振れ測定
部と、前記回転軸の回転角を検出するための回転角測定
部と、前記近軸偏心測定部、前記非球面軸測定部及び前
記外径振れ測定部と、前記回転角測定部の夫々測定値を
演算する演算部とにより構成されているので、被検レン
ズのレンズ受け面を前記回転部材」−に支持し、回転さ
せて、被検レンズにおける前記レンズ受け側の面とは反
対側のレンズ面近軸曲率中心の回転軸に対する偏心量を
前記近軸偏心測定部で検出しながら、偏心量がＯになる
ように前記被検レンズの移動調整機構部により心調整を
行ない、この状態において、被検レンズにおける前記レ
ンズ受け部とは反対側における非球面軸の傾き角を非球
面軸測定部により、また、被検レンズの外径の振れ量を
外径振れ測定部により夫々測定し、かかる測定値から、
レンズの外径稜とレンズ受け面で決定される中心軸を基
準として、非球面軸の横ずれ量ならびに非球面の傾き角
度を演算により求めることができ、非球面レンズにおけ
る非球面軸の傾き角ならびに横ずれ量を極めて正確に測
定することができる。
持用のレンズ受け部を有すると共に回転駆動自在に構成
された回転レンズ支持部材と、この回転レンズ支持部材
上の被検レンズの位置を回転レンズ支持部材上の回転軸
に対し直交する方向に移動調整するための機構部と、被
検レンズにおける非球面の近軸曲率中心の回転軸に対す
る偏心量を検出するための近軸偏心測定部と、前記回転
軸以外の軸を検出軸として前記レンズ受け部側とは反対
側のレンズ面における非球面軸の回転軸に対する傾き角
を検出するための非球面軸測定部と、前記回転軸を含む
面に対して直交する検出軸を有し、前記回転軸に対する
被検レンズ外径の振れ量を検出するための外径振れ測定
部と、前記回転軸の回転角を検出するための回転角測定
部と、前記近軸偏心測定部、前記非球面軸測定部及び前
記外径振れ測定部と、前記回転角測定部の夫々測定値を
演算する演算部とにより構成されているので、被検レン
ズのレンズ受け面を前記回転部材」−に支持し、回転さ
せて、被検レンズにおける前記レンズ受け側の面とは反
対側のレンズ面近軸曲率中心の回転軸に対する偏心量を
前記近軸偏心測定部で検出しながら、偏心量がＯになる
ように前記被検レンズの移動調整機構部により心調整を
行ない、この状態において、被検レンズにおける前記レ
ンズ受け部とは反対側における非球面軸の傾き角を非球
面軸測定部により、また、被検レンズの外径の振れ量を
外径振れ測定部により夫々測定し、かかる測定値から、
レンズの外径稜とレンズ受け面で決定される中心軸を基
準として、非球面軸の横ずれ量ならびに非球面の傾き角
度を演算により求めることができ、非球面レンズにおけ
る非球面軸の傾き角ならびに横ずれ量を極めて正確に測
定することができる。
第１図は本発明に係る非球面測定装置の概念図、第２図
は本発明の原理説明を行なうための部分図、 １Ｆ）− 第３図は実施例の非球面測定装置の概略構成図、第４図
は実施例の非球面測定装置の作用を説明するための部分
拡大図、 第５図は外径振れ測定装置の構成図、 第６図は外径振れ測定装置に組み込まれたスリットの作
用を説明するための図、 第７図（ａ）は輪帯状マークを持つ非球面レンズの甲面
図、 第７図（ｂ）は輪帯状マークを持つ非球面レンズの側面
図、 第８図は輪帯状マークを持つ非球面レンズの場合の非球
面測定の原理を説明するための部分図である。 ］・・・・偏心測定装置 ２ ・・・非球面レンズ ２Ｃ・・・・曲率中心 ３・・・・回転レンズ支持部材 ４・・・・回転軸 ５・・・・近軸偏心測定部 ６・・・・非球面軸 ７・・・非球面軸測定部 ９・・・回転角測定部 １５・・・・演算部 ７０・・・・外径振れ測定部
は本発明の原理説明を行なうための部分図、 １Ｆ）− 第３図は実施例の非球面測定装置の概略構成図、第４図
は実施例の非球面測定装置の作用を説明するための部分
拡大図、 第５図は外径振れ測定装置の構成図、 第６図は外径振れ測定装置に組み込まれたスリットの作
用を説明するための図、 第７図（ａ）は輪帯状マークを持つ非球面レンズの甲面
図、 第７図（ｂ）は輪帯状マークを持つ非球面レンズの側面
図、 第８図は輪帯状マークを持つ非球面レンズの場合の非球
面測定の原理を説明するための部分図である。 ］・・・・偏心測定装置 ２ ・・・非球面レンズ ２Ｃ・・・・曲率中心 ３・・・・回転レンズ支持部材 ４・・・・回転軸 ５・・・・近軸偏心測定部 ６・・・・非球面軸 ７・・・非球面軸測定部 ９・・・回転角測定部 １５・・・・演算部 ７０・・・・外径振れ測定部
Claims (1)
- 被検レンズの保持用のレンズ受け部を有すると共に回転
駆動自在に構成された回転レンズ支持部材と、この回転
レンズ支持部材上の被検レンズの位置を回転レンズ支持
部材の回転軸に対し直交する方向に移動調整するための
機構部と、被検レンズにおける非球面の近軸曲率中心の
回転軸に対する偏心量を検出するための近軸偏心測定部
と、前記回転軸以外の軸を検出軸として前記レンズ受け
部側とは反対側のレンズ面における非球面軸の回転軸に
対する傾き角を検出するための非球面軸測定部と、前記
回転軸を含む面に対して直交する検出軸を有し、前記回
転軸に対する被検レンズ外径の振れ量を検出するための
外径振れ測定部と、前記回転軸の回転角を検出するため
の回転角測定部と、前記近軸偏心測定部、前記非球面軸
測定部及び前記外径振れ測定部と、前記回転角測定部の
夫々測定値を演算する演算部とにより構成されているこ
と特徴とする非球面レンズの偏心測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25472689A JP2735106B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 非球面レンズの偏心測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25472689A JP2735106B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 非球面レンズの偏心測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03115944A true JPH03115944A (ja) | 1991-05-16 |
| JP2735106B2 JP2735106B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=17268999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25472689A Expired - Fee Related JP2735106B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 非球面レンズの偏心測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2735106B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7440089B2 (en) * | 2005-03-18 | 2008-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of measuring decentering of lens |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP25472689A patent/JP2735106B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7440089B2 (en) * | 2005-03-18 | 2008-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of measuring decentering of lens |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2735106B2 (ja) | 1998-04-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3725817B2 (ja) | 非球面レンズの偏心測定方法及び偏心測定装置 | |
| TWI396837B (zh) | Method for determination of eccentricity | |
| KR20140078621A (ko) | 기판의 형상 변화 측정 방법 | |
| JP2735104B2 (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置及び測定方法 | |
| JP3127003B2 (ja) | 非球面レンズ偏心測定方法 | |
| JPH01277731A (ja) | 円筒状コネクタピン内に埋込まれた導波路の偏心度を測定する方法および装置 | |
| US6744510B2 (en) | Ellipsometer and precision auto-alignment method for incident angle of the ellipsometer without auxiliary equipment | |
| JPH03115944A (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置 | |
| JP3410896B2 (ja) | 非球面レンズの偏心測定方法および装置 | |
| JPH04268433A (ja) | 非球面レンズ偏心測定装置 | |
| JP2005214879A (ja) | 非球面偏心測定装置、非球面偏心測定方法、及びそれらに用いる非球面レンズ | |
| JPH07229811A (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置 | |
| JPH0875597A (ja) | 非球面偏心測定機 | |
| JP2005274510A (ja) | 偏心測定装置及び偏心測定方法 | |
| US7133225B1 (en) | Method of manufacturing an optical system | |
| JP2001174217A (ja) | 光学検査装置のアライメント方法およびその機構 | |
| JP3372322B2 (ja) | 非球面レンズ偏心測定装置および非球面レンズ偏心測定方法 | |
| JP4718208B2 (ja) | 偏心測定方法 | |
| JP2005003667A (ja) | 基準軸設定光学系、並びにこれを用いた偏心量測定機及び偏心測定方法 | |
| JPH11211611A (ja) | 偏心測定装置 | |
| JPH07229812A (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置および心取り装置 | |
| JPS6110739A (ja) | 光学レンズの光軸位置検出方法および装置 | |
| JPH0812126B2 (ja) | 非球面レンズ偏心測定装置 | |
| JPH09210845A (ja) | 非球面レンズの偏心測定方法及び偏心測定装置 | |
| JPH09304222A (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080109 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |