JPH0311685A - マイクロ波導入窓 - Google Patents
マイクロ波導入窓Info
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- JPH0311685A JPH0311685A JP14506289A JP14506289A JPH0311685A JP H0311685 A JPH0311685 A JP H0311685A JP 14506289 A JP14506289 A JP 14506289A JP 14506289 A JP14506289 A JP 14506289A JP H0311685 A JPH0311685 A JP H0311685A
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- JP
- Japan
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- microwave
- dielectric plate
- gasket
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- window
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Electromagnetism (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、マイクロ波を応用したプラズマ処理装置やマ
イクロ波レーザ装置に用いられるマイクロ波導入窓に関
するものである。
イクロ波レーザ装置に用いられるマイクロ波導入窓に関
するものである。
（従来の技術）
従来、マイクロ波を応用したプラズマ処理装置やマイク
ロ波レーザ装置に用いられるマイクロ波導入窓は、導波
管内に湿気や雨等が侵入することを防止するためや、マ
イクロ波及びミリ波帯電子管の入出力回路の真空封じ等
に用いられている。
ロ波レーザ装置に用いられるマイクロ波導入窓は、導波
管内に湿気や雨等が侵入することを防止するためや、マ
イクロ波及びミリ波帯電子管の入出力回路の真空封じ等
に用いられている。
この様なマイクロ波導入窓は、第５図に示した様に構成
されている。即ち、雲母、ガラス、テフロン等の薄い誘
電体板２が、２つの導波管３ａ、３ｂに設けられたチョ
ーク・フランジ４ａ、４ｂの間に挟み込まれてマイクロ
波導入窓１が構成されている。また、前記誘電体板２の
外側には、気密性を保持するためにガスケット５が設け
られ、さらに、チョーク・フランジ４ａにはチョーク溝
６が形成されている。
されている。即ち、雲母、ガラス、テフロン等の薄い誘
電体板２が、２つの導波管３ａ、３ｂに設けられたチョ
ーク・フランジ４ａ、４ｂの間に挟み込まれてマイクロ
波導入窓１が構成されている。また、前記誘電体板２の
外側には、気密性を保持するためにガスケット５が設け
られ、さらに、チョーク・フランジ４ａにはチョーク溝
６が形成されている。
この様な構成を有するマイクロ波導入窓１においては、
チョーク溝６の作用によって、マイクロ波はこのフラン
ジ接続面において、その反射が極小の状態で大気側から
低圧力側に導入される。
チョーク溝６の作用によって、マイクロ波はこのフラン
ジ接続面において、その反射が極小の状態で大気側から
低圧力側に導入される。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上述した様な従来のマイクロ波導入窓に
おいては、以下に述べる様な解決すべき課題があった。
おいては、以下に述べる様な解決すべき課題があった。
即ち、チョーク・フランジ４ａに設けられたチョーク溝
６は、２つの導波管３ａ。
６は、２つの導波管３ａ。
３ｂの接続部分Ａを等偏向に短絡状態とするもので、薄
い誘電体板２は実質的に無損失であるから、ガスケット
５を配設しなければ、チョーク・フランジ４ａ、４ｂの
接続面は無損失、無反射となり、連続した導波管と同様
となる。
い誘電体板２は実質的に無損失であるから、ガスケット
５を配設しなければ、チョーク・フランジ４ａ、４ｂの
接続面は無損失、無反射となり、連続した導波管と同様
となる。
しかし、実際は、気密性を保持するためにガスケット５
は不可欠で、このガスケット５部分で損失が不可避的に
発生する。また、マイクロ波の導入窓部分での損失を増
大させるだけでなく、条件によっては低圧力側にあるガ
スケットにおいてマイクロ波部分放電を生じ、マイクロ
波がこの部分で全反射されてしまい、窓としての機能が
失われるという欠点があった。これは、薄い誘電体板が
挿入されたフランジ接続面全体には、マイクロ波電界が
定在波となって浸透しており、そのため、ゴムの様な柔
かい弾力性のあるガスケット５が誘電体板２の外側に挿
入されると、いわゆるｔａｎδ損がガスケット５に発生
するためである。
は不可欠で、このガスケット５部分で損失が不可避的に
発生する。また、マイクロ波の導入窓部分での損失を増
大させるだけでなく、条件によっては低圧力側にあるガ
スケットにおいてマイクロ波部分放電を生じ、マイクロ
波がこの部分で全反射されてしまい、窓としての機能が
失われるという欠点があった。これは、薄い誘電体板が
挿入されたフランジ接続面全体には、マイクロ波電界が
定在波となって浸透しており、そのため、ゴムの様な柔
かい弾力性のあるガスケット５が誘電体板２の外側に挿
入されると、いわゆるｔａｎδ損がガスケット５に発生
するためである。
本発明は、以上の欠点を解決するために提案されたもの
で、その目的は、いかなる場合でもガスケットにマイク
ロ波電界がかからない構造とすることにより、ｔａｎδ
損を無くした、無損失のマイクロ波導入窓を提供するこ
とにある。
で、その目的は、いかなる場合でもガスケットにマイク
ロ波電界がかからない構造とすることにより、ｔａｎδ
損を無くした、無損失のマイクロ波導入窓を提供するこ
とにある。
［発明の構成］
（課題を解決するだめの手段）
本発明は、大気圧より低圧雰囲気中にマイクロ波電力を
導入するために設けられ、前記２つのガス系統を分離し
、且つ、マイクロ波を無損失で導入することができるよ
うに、一対のフランジの間に低損失の誘電体板を配設し
、前記誘電体板の外側にガスケットを設けたマイクロ波
導入窓において、誘電体板からなる窓部分の周辺部に金
属被膜を形成し、また、一対のフランジの内、大気圧側
のフランジ部の接合面に、導電性のシー！・利を配設し
たことを特徴とするものである。
導入するために設けられ、前記２つのガス系統を分離し
、且つ、マイクロ波を無損失で導入することができるよ
うに、一対のフランジの間に低損失の誘電体板を配設し
、前記誘電体板の外側にガスケットを設けたマイクロ波
導入窓において、誘電体板からなる窓部分の周辺部に金
属被膜を形成し、また、一対のフランジの内、大気圧側
のフランジ部の接合面に、導電性のシー！・利を配設し
たことを特徴とするものである。
（作用）
本発明のマイクロ波導入窓によれば、誘電体板の窓部分
の周辺部に金属被膜を施すことにより、ガスケットにマ
イクロ波電界が印加されないようにすることができ、ｔ
ａｎδ損を防止することができる。また、大気圧側の金
属被膜とフランジとの間に導電性のシート材を配設する
ことにより、金属被膜とフランジ部との電気的接触を良
好なものとすることができる。
の周辺部に金属被膜を施すことにより、ガスケットにマ
イクロ波電界が印加されないようにすることができ、ｔ
ａｎδ損を防止することができる。また、大気圧側の金
属被膜とフランジとの間に導電性のシート材を配設する
ことにより、金属被膜とフランジ部との電気的接触を良
好なものとすることができる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図に基づいて
具体的に説明する。なお、第５図に示した従来型と同一
の部相には同一の符号を付して、説明は省略する。
具体的に説明する。なお、第５図に示した従来型と同一
の部相には同一の符号を付して、説明は省略する。
本実施例においては、第１１図（Ａ）に示した様に、２
つの導波管（例えば、マイクロ波発振器側導波管とレー
ザ発振器側導波管）３ａ、３ｂのチョーク・フランジ４
ａ、４ｂの間に、石英等から成るマイクロ波損失の少な
い薄い誘電体板１０が配設されている。また、この薄い
誘電体板１０には、第１図（Ｂ）に示した様に、ａｘｂ
のマイクロ波窓部分１０ａの周辺部ＩＣ１ｂに、金属被
膜１１が施されている。さらに、第１図（Ｃ）に示した
様に、一対のチョーク・フランジ４ａ、４ｂの内、大気
圧側のフランジ部４ａの接合面に、導電性のシート材で
ある導電性の接着剤イ＼１きの金属テラ１２等が、大気
側から誘電体板−ガスケットフランジ部と順に接着させ
押付けられている。
つの導波管（例えば、マイクロ波発振器側導波管とレー
ザ発振器側導波管）３ａ、３ｂのチョーク・フランジ４
ａ、４ｂの間に、石英等から成るマイクロ波損失の少な
い薄い誘電体板１０が配設されている。また、この薄い
誘電体板１０には、第１図（Ｂ）に示した様に、ａｘｂ
のマイクロ波窓部分１０ａの周辺部ＩＣ１ｂに、金属被
膜１１が施されている。さらに、第１図（Ｃ）に示した
様に、一対のチョーク・フランジ４ａ、４ｂの内、大気
圧側のフランジ部４ａの接合面に、導電性のシート材で
ある導電性の接着剤イ＼１きの金属テラ１２等が、大気
側から誘電体板−ガスケットフランジ部と順に接着させ
押付けられている。
なお、金属被膜１１を形成する方法としては、金属蒸着
やスパッタリング等の技術を適用することができる。
やスパッタリング等の技術を適用することができる。
この様な構成を有する本実施例のマイクロ波導入窓にお
いては、２つの導波管３ａ、３ｂはそれぞれチョーク・
フランジ４ａ、４ｂに気密に接続されているので、石英
ガラス等の薄い誘電体板１０とガスケット５によって、
両側の導波管が気密に分離されている。また、第１図（
Ｂ）に示した様に、マイクロ波窓部分１０ａの周辺部１
０ｂに、金属被膜１１が施されているので、マイクロ波
はスムーズにこの窓部分を通過し、且つ、ガスケラ１−
５は効果的にマイクロ波遮蔽されるので、ガスケラト５
部分でのｔａｎδ損は皆無となる。さらに、第１図（Ｃ
）に示した様に、一対のチョーク・フランジ４ａ、４ｂ
の内、大気圧側のフランジ部４ａの接合面に、導電性の
接着剤伺きの金属テラ１２等を張付けたことにより、金
属被膜部１１とフランジ部４ａ、４ｂとの電気的接触を
良好なものとすることができ、マイクロ波の透過特性も
良好なものとなる。
いては、２つの導波管３ａ、３ｂはそれぞれチョーク・
フランジ４ａ、４ｂに気密に接続されているので、石英
ガラス等の薄い誘電体板１０とガスケット５によって、
両側の導波管が気密に分離されている。また、第１図（
Ｂ）に示した様に、マイクロ波窓部分１０ａの周辺部１
０ｂに、金属被膜１１が施されているので、マイクロ波
はスムーズにこの窓部分を通過し、且つ、ガスケラ１−
５は効果的にマイクロ波遮蔽されるので、ガスケラト５
部分でのｔａｎδ損は皆無となる。さらに、第１図（Ｃ
）に示した様に、一対のチョーク・フランジ４ａ、４ｂ
の内、大気圧側のフランジ部４ａの接合面に、導電性の
接着剤伺きの金属テラ１２等を張付けたことにより、金
属被膜部１１とフランジ部４ａ、４ｂとの電気的接触を
良好なものとすることができ、マイクロ波の透過特性も
良好なものとなる。
さらに、金属テープ１２等による電気的接触の確保は大
気側で行なわれており、真空側においては、ガスケット
が直接に導電性被膜を施された誘電体板に接しているの
で、気密性を充分に保持することができる。
気側で行なわれており、真空側においては、ガスケット
が直接に導電性被膜を施された誘電体板に接しているの
で、気密性を充分に保持することができる。
この様に、誘電体板１０のマイクロ波窓部分の周辺部に
金属被膜を施すと、マイクロ波電界の様な高周波電界が
導体中に浸透する深さδは大幅に低減される。即ち、一
般にマイクロ波電界の様な高周波電界が導体中に浸透す
る深さδは、次式で与えられる。
金属被膜を施すと、マイクロ波電界の様な高周波電界が
導体中に浸透する深さδは大幅に低減される。即ち、一
般にマイクロ波電界の様な高周波電界が導体中に浸透す
る深さδは、次式で与えられる。
δ−ｆ７７Ｔ７ア
δ：導電率
ω：角周波数
μ：透磁率
従って、例えば、金属被膜として金メツキを施したとす
ると、金の体積抵抗率ρは、ρ＝２．４ｘ１０’（Ω・
ｃｍ）であるから、マイクロ波周波数ｆをｆ （＝ω／
２π）＝２．４５ＧＨｚとすると、μ−μｏ＝４πｘ１
０−７（Ｈ／ｍ）となるので、浸透する深さδは１．６
μｍとなる。
ると、金の体積抵抗率ρは、ρ＝２．４ｘ１０’（Ω・
ｃｍ）であるから、マイクロ波周波数ｆをｆ （＝ω／
２π）＝２．４５ＧＨｚとすると、μ−μｏ＝４πｘ１
０−７（Ｈ／ｍ）となるので、浸透する深さδは１．６
μｍとなる。
そのため、金属被膜を施された誘電体板とフランジ部と
の作用によって、ガスケットに印加されるマイクロ波電
界は充分に遮蔽されることになり、ガスケット部でのｔ
ａｎδ損を皆無とすることができ、ｔａｎδ損による発
熱や、放電の発生による反射等を除去することができる
。さらに、第１図（Ｃ）に示した様に、誘電体板」二の
金属被膜とフランジ部との間に、その電気的接触を良好
とするために導電性のシート材を設けた場合には、さら
に、マイクロ波の遮蔽効果は向」ニする。
の作用によって、ガスケットに印加されるマイクロ波電
界は充分に遮蔽されることになり、ガスケット部でのｔ
ａｎδ損を皆無とすることができ、ｔａｎδ損による発
熱や、放電の発生による反射等を除去することができる
。さらに、第１図（Ｃ）に示した様に、誘電体板」二の
金属被膜とフランジ部との間に、その電気的接触を良好
とするために導電性のシート材を設けた場合には、さら
に、マイクロ波の遮蔽効果は向」ニする。
なお、第２図は、上記の様な構成を有するマイクロ波導
入窓２２をマイクロ波レーザ装置に適用した例を示した
ものである。即ち、レーザ発振部２１には、マイクロ波
導入窓２２を介して、マイクロ波発振器２３が接続され
ている。マイクロ波発振器２３で放出されたマイクロ波
電力は、マイクロ波導入窓２２及び導波管２４を通って
レーザ発振部２１に導入される。なお、レーザ発振部２
１は、導波管放電部２５、マイクロ波導入部２６、マイ
クロ波出射部２７、熱交換部２８及び送風部２９を循環
風洞３０で接続して構成されている。
入窓２２をマイクロ波レーザ装置に適用した例を示した
ものである。即ち、レーザ発振部２１には、マイクロ波
導入窓２２を介して、マイクロ波発振器２３が接続され
ている。マイクロ波発振器２３で放出されたマイクロ波
電力は、マイクロ波導入窓２２及び導波管２４を通って
レーザ発振部２１に導入される。なお、レーザ発振部２
１は、導波管放電部２５、マイクロ波導入部２６、マイ
クロ波出射部２７、熱交換部２８及び送風部２９を循環
風洞３０で接続して構成されている。
また、前記導波管放電部２５の軸方向両端部には、半透
過ミラー３１ａと全反射ミラー３１ｂとが配設され、光
共振器が構成されている。
過ミラー３１ａと全反射ミラー３１ｂとが配設され、光
共振器が構成されている。
この様に、本発明のマイクロ波導入窓を適用したマイク
ロ波レーザ装置においては、以下に述べる様にしてレー
ザ光を得ることができる。即ち、レーザ発振部２１には
、本発明のマイクロ波導入窓２２を介してマイクロ波発
振器２３よりマイクロ波電力が供給され、導波管放電部
２５内においてマイクロ波グロー放電３２が形成される
。なお、レーザ発振部２１の内部は、始め、真空排気装
置（図示せず）によって排気された後、レーザガス供給
装置（図示せず）より、一定ガス圧力までレザガスが充
填されている。また、一対のミラ３１ａ、３１ｂで構成
された光共振器を往復する光が、マイクロ波グロー放電
３２で励起されたレーザガス中を通る時に増幅され、位
相の揃ったレザ光３３となって外部に放出される。
ロ波レーザ装置においては、以下に述べる様にしてレー
ザ光を得ることができる。即ち、レーザ発振部２１には
、本発明のマイクロ波導入窓２２を介してマイクロ波発
振器２３よりマイクロ波電力が供給され、導波管放電部
２５内においてマイクロ波グロー放電３２が形成される
。なお、レーザ発振部２１の内部は、始め、真空排気装
置（図示せず）によって排気された後、レーザガス供給
装置（図示せず）より、一定ガス圧力までレザガスが充
填されている。また、一対のミラ３１ａ、３１ｂで構成
された光共振器を往復する光が、マイクロ波グロー放電
３２で励起されたレーザガス中を通る時に増幅され、位
相の揃ったレザ光３３となって外部に放出される。
また、上述した様なマイクロ波レーザ装置におけるレー
ザ出力特性を第３図に示した。即ち、本発明のマイクロ
波導入窓を用いたマイクロ波レーザ装置においては、レ
ーザ出力特性は従来例と比較して大幅に向」ニする。こ
こで、従来例のレーザ出力が極端に小さいのは、マイク
ロ波導入窓部分での放電によって、マイクロ波をレーザ
発振部に導入できなくなるためである。
ザ出力特性を第３図に示した。即ち、本発明のマイクロ
波導入窓を用いたマイクロ波レーザ装置においては、レ
ーザ出力特性は従来例と比較して大幅に向」ニする。こ
こで、従来例のレーザ出力が極端に小さいのは、マイク
ロ波導入窓部分での放電によって、マイクロ波をレーザ
発振部に導入できなくなるためである。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、第４図（Ａ）（Ｂ）に示した様に、誘電体板として
、全面に金属被膜を形成した円盤状石英ガラス１３を用
い、パイトン等で構成された０リング１４を真空シール
に用いた場合も、同様に導電性のシート材１２を大気圧
側の金属被膜とフランジ部との間に設けることにより、
同様の効果が得られる。また、本発明はマイクロ波レザ
装置ばかりでなく、マイクロ波プラズマ処理装置等のマ
イクロ波導入窓としても用いることができる。
く、第４図（Ａ）（Ｂ）に示した様に、誘電体板として
、全面に金属被膜を形成した円盤状石英ガラス１３を用
い、パイトン等で構成された０リング１４を真空シール
に用いた場合も、同様に導電性のシート材１２を大気圧
側の金属被膜とフランジ部との間に設けることにより、
同様の効果が得られる。また、本発明はマイクロ波レザ
装置ばかりでなく、マイクロ波プラズマ処理装置等のマ
イクロ波導入窓としても用いることができる。
［発明の効果］
以上述べた様に、本発明によれば、誘電体板からなる窓
部分の周辺部に金属被膜を形成し、また、一対のフラン
ジの内、大気圧側のフランジ部の接合面に、導電性のシ
ート材を配設するという簡単な手段によって、ガスケッ
ト部分のｔａｎδ損を無くした、無損失のマイクロ波導
入窓を提供することができる。
部分の周辺部に金属被膜を形成し、また、一対のフラン
ジの内、大気圧側のフランジ部の接合面に、導電性のシ
ート材を配設するという簡単な手段によって、ガスケッ
ト部分のｔａｎδ損を無くした、無損失のマイクロ波導
入窓を提供することができる。
第１図（Ａ）〜（Ｃ）は本発明のマイクロ波導入窓の一
実施例を示すもので、（Ａ）及び（Ｃ）は断面図、（Ｂ
）は斜視図、第２図はマイクロ波レーザ装置に本発明の
マイクロ波導入窓を適用した場合の概略図、第３図は本
発明のマイクロ波導入窓を用いたマイクロ波レーザ装置
の性能を従来例と比較したものであり、第４図は本発明
の他の実施例を示すもので、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は
断面図、第５図は従来のマイクロ波導入窓の一例を示す
断面図である。 １・・・マイクロ波導入窓、２・・・誘電体板、３ａ。 ３ｂ・・・導波管、４ａ、４ｂ・・・チョーク・フラン
ジ、５・・・ガスケット、６・・・チョーク溝、１０・
・・誘電体板、１０ａ・・・マイクロ波窓部分、１０ｂ
・・・周辺部、１１・・・金属被膜、１２・・・金属テ
ープ、１３・・・円盤状石英ガラス、１４・・・０リン
グ、２１・・・レーザ発振部、２２・・・マイクロ波導
入窓、２３・・・マイクロ波発振器、２４・・・導波管
、２５・・・導波管放電部、２６・・・マイクロ波導入
部、２７・・・マイクロ波出射部、２８・・・熱交換部
、２９・・・送風部、３０・・・循環風洞、３１ａ・・
・半透過ミラー、３１ｂ・・・全反射ミラー、３２・・
・マイクロ波グロー放電、３３・・・レザ光。
実施例を示すもので、（Ａ）及び（Ｃ）は断面図、（Ｂ
）は斜視図、第２図はマイクロ波レーザ装置に本発明の
マイクロ波導入窓を適用した場合の概略図、第３図は本
発明のマイクロ波導入窓を用いたマイクロ波レーザ装置
の性能を従来例と比較したものであり、第４図は本発明
の他の実施例を示すもので、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は
断面図、第５図は従来のマイクロ波導入窓の一例を示す
断面図である。 １・・・マイクロ波導入窓、２・・・誘電体板、３ａ。 ３ｂ・・・導波管、４ａ、４ｂ・・・チョーク・フラン
ジ、５・・・ガスケット、６・・・チョーク溝、１０・
・・誘電体板、１０ａ・・・マイクロ波窓部分、１０ｂ
・・・周辺部、１１・・・金属被膜、１２・・・金属テ
ープ、１３・・・円盤状石英ガラス、１４・・・０リン
グ、２１・・・レーザ発振部、２２・・・マイクロ波導
入窓、２３・・・マイクロ波発振器、２４・・・導波管
、２５・・・導波管放電部、２６・・・マイクロ波導入
部、２７・・・マイクロ波出射部、２８・・・熱交換部
、２９・・・送風部、３０・・・循環風洞、３１ａ・・
・半透過ミラー、３１ｂ・・・全反射ミラー、３２・・
・マイクロ波グロー放電、３３・・・レザ光。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 大気圧より低圧雰囲気中にマイクロ波電力を導入するた
めに設けられ、前記２つのガス系統を分離し、且つ、マ
イクロ波を無損失で導入することができるように、一対
のフランジの間に低損失の誘電体板を配設し、前記誘電
体板の外側にガスケットを設けたマイクロ波導入窓にお
いて、 前記誘電体板からなる窓部分の周辺部に金属被膜を形成
し、また、前記一対のフランジの内、大気圧側のフラン
ジ部の接合面に、導電性のシート材を配設したことを特
徴とするマイクロ波導入窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14506289A JPH0311685A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | マイクロ波導入窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14506289A JPH0311685A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | マイクロ波導入窓 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0311685A true JPH0311685A (ja) | 1991-01-18 |
Family
ID=15376500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14506289A Pending JPH0311685A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | マイクロ波導入窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0311685A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8294071B2 (en) * | 2007-04-25 | 2012-10-23 | Hitachi, Ltd. | Microwave irradiation apparatus |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP14506289A patent/JPH0311685A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8294071B2 (en) * | 2007-04-25 | 2012-10-23 | Hitachi, Ltd. | Microwave irradiation apparatus |
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