JPH0311688B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0311688B2 JPH0311688B2 JP58096699A JP9669983A JPH0311688B2 JP H0311688 B2 JPH0311688 B2 JP H0311688B2 JP 58096699 A JP58096699 A JP 58096699A JP 9669983 A JP9669983 A JP 9669983A JP H0311688 B2 JPH0311688 B2 JP H0311688B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric device
- holder
- device chip
- chip
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1064—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices
- H03H9/1071—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the SAW device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はインタデイジタル・トランスジユーサ
電極によつて圧電基板表面或はバルク内に励起し
た波動を利用する弾性表面波（SAW）或はすべ
り波（BSW）共振器若しくはフイルアタの如き
圧電デバイスのチツプを収納固定する保持器に関
する。
電極によつて圧電基板表面或はバルク内に励起し
た波動を利用する弾性表面波（SAW）或はすべ
り波（BSW）共振器若しくはフイルアタの如き
圧電デバイスのチツプを収納固定する保持器に関
する。
従来SAWデバイス等は励起した波動が圧電基
板のアンタデイジタル・トランスジユーサ電極を
付着した面のみを伝搬するものであることから第
１図に示す如くSAWデバイス・チツプ１を収納
固定する為の保持器ベース２のチツプ支持面３に
SAWデバイスの電極非付着面を接着剤４で固定
した上で前記ベース２を気密貫通するリード線
５，５の頂部と前記SAWデバイス・チツプ１表
面に付着したインタデイジタル・トランスジユー
サ電極６とをボンデイング・ワイヤ７，７……に
よつて電気的に接続し、然る後に前記ベース２の
圧電デバイス・チツプ支持台底部周辺に広がるフ
ランジ８表面に形成したプロジエクシヨンと称す
る環状の突条９上に封止蓋１０の周縁を当接せし
め図示を省略した電極で押圧通電して前記突条９
を押しつぶしつつ前記封止蓋１０周縁と接合せし
めるのが一般的であつた。
板のアンタデイジタル・トランスジユーサ電極を
付着した面のみを伝搬するものであることから第
１図に示す如くSAWデバイス・チツプ１を収納
固定する為の保持器ベース２のチツプ支持面３に
SAWデバイスの電極非付着面を接着剤４で固定
した上で前記ベース２を気密貫通するリード線
５，５の頂部と前記SAWデバイス・チツプ１表
面に付着したインタデイジタル・トランスジユー
サ電極６とをボンデイング・ワイヤ７，７……に
よつて電気的に接続し、然る後に前記ベース２の
圧電デバイス・チツプ支持台底部周辺に広がるフ
ランジ８表面に形成したプロジエクシヨンと称す
る環状の突条９上に封止蓋１０の周縁を当接せし
め図示を省略した電極で押圧通電して前記突条９
を押しつぶしつつ前記封止蓋１０周縁と接合せし
めるのが一般的であつた。
しかしながら斯る製造工程を経ることによつて
前記フランジ８と前記ベース本体、即ち圧電デバ
イス・チツプ１の支持面３を含む台座部分との境
界に歪が発生しこれが前記支持面３を湾曲させる
ことが判明している。
前記フランジ８と前記ベース本体、即ち圧電デバ
イス・チツプ１の支持面３を含む台座部分との境
界に歪が発生しこれが前記支持面３を湾曲させる
ことが判明している。
そしてこの湾曲は前記プロジエクシヨン９を押
圧する電極を除去してもかなり残留する如く見え
る。このことはSAW共振子チツプの封止工程終
了后その共振周波数が当初より低下するものが多
いことから間接的に推測されることである。
圧する電極を除去してもかなり残留する如く見え
る。このことはSAW共振子チツプの封止工程終
了后その共振周波数が当初より低下するものが多
いことから間接的に推測されることである。
このような問題を解決する為には前記フランジ
８に発生した歪が前記ベース本体に伝達しないよ
うにすればよい。
８に発生した歪が前記ベース本体に伝達しないよ
うにすればよい。
そこで本発明に於いては第３図及び第４図に示
す如く前記フランジ８と前記ベース本体部分との
境界に沿つて切り欠き溝１１を設ければよいこと
が直ちに理解されよう。
す如く前記フランジ８と前記ベース本体部分との
境界に沿つて切り欠き溝１１を設ければよいこと
が直ちに理解されよう。
斯くすることによつて前記フランジ８のプロジ
エクシヨン９を押しつぶすことによつて前記フラ
ンジ８に生じた歪は前記切り欠き溝１１に集中し
前記ベース本体側、特に圧電デバイス・チツプ支
持面３には事実上伝達されることがない。
エクシヨン９を押しつぶすことによつて前記フラ
ンジ８に生じた歪は前記切り欠き溝１１に集中し
前記ベース本体側、特に圧電デバイス・チツプ支
持面３には事実上伝達されることがない。
尚、前記切り欠き溝は必ずしもベースの表面側
にのみ設ける必然性はなくベース裏面の適所に設
けてもほヾ同等の効果を有する。
にのみ設ける必然性はなくベース裏面の適所に設
けてもほヾ同等の効果を有する。
而してこれら切り欠き溝はプレスにてベースを
製造する際同等に成形することができるのでベー
スのコストに格別の影響を与えることもない。
製造する際同等に成形することができるのでベー
スのコストに格別の影響を与えることもない。
本発明は以上説明した如く構成するものである
から簡単かつコスト上昇を招くことなくSAW共
振器等の圧電デバイス共振周波数を安定化する上
で著しい効果を発揮する。
から簡単かつコスト上昇を招くことなくSAW共
振器等の圧電デバイス共振周波数を安定化する上
で著しい効果を発揮する。
第１図及び第２図は夫々従来の圧電デバイスの
製造工程を示す断面図、第３図及び第４図は夫々
本発明に係る圧電デバイス・チツプ保持器の構造
を示す平面図及びＡ−Ａ断面図、第５図は本発明
に係る保持器の他の実施例を示す図である。 １……圧電基板（チツプ）、２……保持器（ベ
ース）、３……圧電デバイス・チツプ支持台、６
……インタデイジタル・トランスジユーサ電極、
８……フランジ、９……プロジエクシヨン（環状
部分）、１０……封止蓋、１１，１２……切り欠
き溝。
製造工程を示す断面図、第３図及び第４図は夫々
本発明に係る圧電デバイス・チツプ保持器の構造
を示す平面図及びＡ−Ａ断面図、第５図は本発明
に係る保持器の他の実施例を示す図である。 １……圧電基板（チツプ）、２……保持器（ベ
ース）、３……圧電デバイス・チツプ支持台、６
……インタデイジタル・トランスジユーサ電極、
８……フランジ、９……プロジエクシヨン（環状
部分）、１０……封止蓋、１１，１２……切り欠
き溝。
Claims (1)
- １ 圧電基板表面に付着したインタデイジタル・
トランスジユーサ電極によつて前記圧電基板表面
或はバルク内に励起した波動を利用する圧電デバ
イス・チツプを収納固定する保持器に於いて、前
記保持器の金属ベースの前記圧電デバイス・チツ
プ支持台とその周辺底部に広がるフランジ外周縁
近傍であつて前記圧電デバイス・チツプを封止す
る封止蓋周縁と気密接合する環状部分との境界適
所に該境界に沿つて切り欠き溝を設けたことを特
徴とする圧電デバイス・チツプの保持器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9669983A JPS59221024A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 圧電デバイス・チツプの保持器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9669983A JPS59221024A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 圧電デバイス・チツプの保持器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221024A JPS59221024A (ja) | 1984-12-12 |
| JPH0311688B2 true JPH0311688B2 (ja) | 1991-02-18 |
Family
ID=14172008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9669983A Granted JPS59221024A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 圧電デバイス・チツプの保持器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59221024A (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54181839U (ja) * | 1978-06-12 | 1979-12-22 | ||
| JPS56105927U (ja) * | 1980-01-16 | 1981-08-18 |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP9669983A patent/JPS59221024A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59221024A (ja) | 1984-12-12 |
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