JPH03117167U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH03117167U JPH03117167U JP2609990U JP2609990U JPH03117167U JP H03117167 U JPH03117167 U JP H03117167U JP 2609990 U JP2609990 U JP 2609990U JP 2609990 U JP2609990 U JP 2609990U JP H03117167 U JPH03117167 U JP H03117167U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- fluid passage
- center plate
- plunger
- switching valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
Landscapes
- Multiple-Way Valves (AREA)
Description
第1図は本考案に係るガスクロマトグラフ用切
換弁の一実施例を示す断面図、第2図a,bは要
部拡大断面図で、aはプランジヤによる流体通路
の閉止状態、bはガス圧による開成状態を示す図
、第3図はガスクロマトグラフ用切換弁の従来例
を示す断面図である。 2……センタープレート、3〜6……ダイヤフ
ラム、7,8……空気圧受入室、20〜23……
プレート、25A……第1流路、25B……第2
流路、25C……第3流路、26……プランジヤ
収納孔、27……連通溝、28……凹部、30…
…Oリング、31……環状溝、32……Oリング
、D1〜Dn,E1〜En……プランジヤ、A1
〜An……流体通路。
換弁の一実施例を示す断面図、第2図a,bは要
部拡大断面図で、aはプランジヤによる流体通路
の閉止状態、bはガス圧による開成状態を示す図
、第3図はガスクロマトグラフ用切換弁の従来例
を示す断面図である。 2……センタープレート、3〜6……ダイヤフ
ラム、7,8……空気圧受入室、20〜23……
プレート、25A……第1流路、25B……第2
流路、25C……第3流路、26……プランジヤ
収納孔、27……連通溝、28……凹部、30…
…Oリング、31……環状溝、32……Oリング
、D1〜Dn,E1〜En……プランジヤ、A1
〜An……流体通路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 センタープレートを挟んで設けたダイヤフラム
をガス圧によつて弾性変形させることにより前記
センタープレートに形成した流体通路を開き、プ
ランジヤによつて前記ダイヤフラムを押圧するこ
とにより前記流体通路を閉鎖するようにしたガス
クロマトグラフ用切換弁において、 前記センタープレートのダイヤフラムが接する
面に前記プランジヤと同軸の環状溝を設け、この
環状溝に前記ダイアフラムに弾性的に当接するO
リングを嵌着したことを特徴とするガスクロマト
グラフ用切換弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2609990U JPH03117167U (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2609990U JPH03117167U (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03117167U true JPH03117167U (ja) | 1991-12-04 |
Family
ID=31529010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2609990U Pending JPH03117167U (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03117167U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06185650A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-07-08 | Protein Technologies Inc | Dnaシーケンス又はペプチド配列を同時合成する弁マトリックス |
| JP2001519878A (ja) * | 1997-04-04 | 2001-10-23 | ロボバルブ アクチエボーラグ | ダイヤフラムバルブ |
| JP2007285416A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Hitachi Metals Ltd | 遮断弁装置及びこれを組み込んだ質量流量制御装置 |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP2609990U patent/JPH03117167U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06185650A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-07-08 | Protein Technologies Inc | Dnaシーケンス又はペプチド配列を同時合成する弁マトリックス |
| JP2001519878A (ja) * | 1997-04-04 | 2001-10-23 | ロボバルブ アクチエボーラグ | ダイヤフラムバルブ |
| JP2007285416A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Hitachi Metals Ltd | 遮断弁装置及びこれを組み込んだ質量流量制御装置 |