JPH03120500A - 多孔コリメータ及びその製造方法 - Google Patents
多孔コリメータ及びその製造方法Info
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- JPH03120500A JPH03120500A JP1257733A JP25773389A JPH03120500A JP H03120500 A JPH03120500 A JP H03120500A JP 1257733 A JP1257733 A JP 1257733A JP 25773389 A JP25773389 A JP 25773389A JP H03120500 A JPH03120500 A JP H03120500A
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- partition plates
- septa
- collimator
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-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/025—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using multiple collimators, e.g. Bucky screens; other devices for eliminating undesired or dispersed radiation
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Nuclear Medicine (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、シンチレータ用の多孔コリメータ及びその製
造方法に関する。
造方法に関する。
(従来の技術)
近時、病気の診断において、X線写真、X線CT像、ラ
シ゛オアイソトープ(RI )によるシンチグラム、超
音波像、ポジトロンCT像、サーモグラム、核磁気共鳴
(NMR)映像等を用いた画像診断の果す役割が大きな
比重を占めている。このうち、RIによるシンチグラム
は、体内のRIを画像として抽出させたものである。こ
のようなシンチグラムを得るための装置としてシンチカ
メラ(8cinticamera)がある。このシンチ
カメラは、大型円型シンチレータと多数の光電子増倍管
、コンビエータなどで体内に与えられた放射能を検出し
ている。そして、できるだけ目的の臓器からの放射線で
検知するためにシンチレータには、ハニカム状の多孔コ
リメータが連設されている。
シ゛オアイソトープ(RI )によるシンチグラム、超
音波像、ポジトロンCT像、サーモグラム、核磁気共鳴
(NMR)映像等を用いた画像診断の果す役割が大きな
比重を占めている。このうち、RIによるシンチグラム
は、体内のRIを画像として抽出させたものである。こ
のようなシンチグラムを得るための装置としてシンチカ
メラ(8cinticamera)がある。このシンチ
カメラは、大型円型シンチレータと多数の光電子増倍管
、コンビエータなどで体内に与えられた放射能を検出し
ている。そして、できるだけ目的の臓器からの放射線で
検知するためにシンチレータには、ハニカム状の多孔コ
リメータが連設されている。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、このような多孔コリメータは、正六角形の穴
が規則正しく例えば2000〜4000個配列されてお
り、材質は鉛を主成分としている。これらの穴の軸線は
、焦線と直交するように設定されている。これらの穴は
、断面が正六角形のテーパピンを立て、そこで溶融した
鉛を流し込み、鉛が固化した後にテーパピンを引抜くこ
とにより得られる。そして、穴の境界部をなすセプタの
厚さは、分解能を向上させるには、より薄い(0,21
)以下であることが望ましい。しかしながら、セプタの
厚さを0.2mm+以下にすると、鋳造の際に湯がまわ
らなかつたり、ピンを引抜く際に、穴が変形したり、セ
プタが破損したりする。しかも、1個所でも不良個所が
存在すると製品として使えず、かつ遇させる貫通穴を有
する格子状のセプタ部を形成する第1及び第2の隔壁板
のうちいずれか一方に設けられたスリット状の溝穴lこ
他方を挿通させ、組立精度を向上させて分解能を高める
ようにしたものである。
が規則正しく例えば2000〜4000個配列されてお
り、材質は鉛を主成分としている。これらの穴の軸線は
、焦線と直交するように設定されている。これらの穴は
、断面が正六角形のテーパピンを立て、そこで溶融した
鉛を流し込み、鉛が固化した後にテーパピンを引抜くこ
とにより得られる。そして、穴の境界部をなすセプタの
厚さは、分解能を向上させるには、より薄い(0,21
)以下であることが望ましい。しかしながら、セプタの
厚さを0.2mm+以下にすると、鋳造の際に湯がまわ
らなかつたり、ピンを引抜く際に、穴が変形したり、セ
プタが破損したりする。しかも、1個所でも不良個所が
存在すると製品として使えず、かつ遇させる貫通穴を有
する格子状のセプタ部を形成する第1及び第2の隔壁板
のうちいずれか一方に設けられたスリット状の溝穴lこ
他方を挿通させ、組立精度を向上させて分解能を高める
ようにしたものである。
また、本発明の多孔コリメータの製造方法は、上記第1
及び第2の隔壁板をプレス打抜き加工により成形するこ
とζこより、生産性を向上させるようにしたものである
。
及び第2の隔壁板をプレス打抜き加工により成形するこ
とζこより、生産性を向上させるようにしたものである
。
(実施例)
以下、本発明の一実施例を第1図乃至第6図を参照して
詳述する。
詳述する。
この実施例の多孔コリメータの製造方法は、厚さ0.0
5m −1mで5%ニオブを含有する鉛製のシート状部
材から長さ200〜400ta及び幅45〜50s+の
第1の隔壁板(1)・・・をプレス打抜きする第1打抜
工程(第1図参照)と、同じく冷間圧延により得られた
厚さ1III11〜1.5簡のシート状部材から長さ2
00〜500 M及び幅35〜40tmの第2の隔壁板
(2)・・・をプレス打抜きする第2打抜工程(m2図
参照)と、第1打抜工程にて得られた第1の隔壁板(1
)・・・に幅が0.1m++〜0.2mのスリット状の
溝穴(3)・・・をその長手方向が幅方向とほぼ一致す
るようにプレス打抜きする第3打抜工程と、第1及び第
2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・が挿入される数
100本の第1及び第2の案内溝(4)・・・、(5)
・・・が内側面にワイヤ放電加工により形成された四角
形をなす箱枠(6)を形成する箱枠形成工程(第3図参
照)と、第1の隔壁板(1)・・・の溝穴(3)・・・
化第2の隔壁板(2)を貫通させて格子状ζこ係合・交
差させ一辺が0.5〜2.0−の正方形をなす穴(7)
−・・を形成する隔壁板組合せ工程(第4図参照)と、
箱枠(6)の内壁面ζこ設けられている案内溝(4)・
・・、(5)・・・に上記隔壁板組合せ工程番こて組合
せられた第1及び第2の隔壁板(1)・・・、(2)・
・・の両端部を挿入する箱組工程(第5図参照)とから
なっている。しかして、第3打抜工程化では、第3図に
示すよう化、打抜かれた溝穴(3)・・・の長手方向は
、第6図に示す多孔コリメータ(8)の2000〜40
00個ハニカム状1こ配列されてなる穴(7)・・・の
軸線(92・・・の傾きに対応して、角度i91. #
2.・・・ずつ次第に傾斜角が小さくなるように傾斜し
ている。また、第1の隔壁板(1)・・・の両端部が挿
入される第1の案内溝(4)・・・の長手方向は、箱枠
(6)の開口縁部に直交するように、つまり、箱枠(6
)の高さ方向と一致するように設けられている。他方、
第2の隔壁板(2)・・・の長手方向の両端部が挿入さ
れる第2の案内溝(5)・・・は、溝穴(3)・・・の
傾斜角191.θ2・・・と対応して傾いて刻設されて
いる。
5m −1mで5%ニオブを含有する鉛製のシート状部
材から長さ200〜400ta及び幅45〜50s+の
第1の隔壁板(1)・・・をプレス打抜きする第1打抜
工程(第1図参照)と、同じく冷間圧延により得られた
厚さ1III11〜1.5簡のシート状部材から長さ2
00〜500 M及び幅35〜40tmの第2の隔壁板
(2)・・・をプレス打抜きする第2打抜工程(m2図
参照)と、第1打抜工程にて得られた第1の隔壁板(1
)・・・に幅が0.1m++〜0.2mのスリット状の
溝穴(3)・・・をその長手方向が幅方向とほぼ一致す
るようにプレス打抜きする第3打抜工程と、第1及び第
2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・が挿入される数
100本の第1及び第2の案内溝(4)・・・、(5)
・・・が内側面にワイヤ放電加工により形成された四角
形をなす箱枠(6)を形成する箱枠形成工程(第3図参
照)と、第1の隔壁板(1)・・・の溝穴(3)・・・
化第2の隔壁板(2)を貫通させて格子状ζこ係合・交
差させ一辺が0.5〜2.0−の正方形をなす穴(7)
−・・を形成する隔壁板組合せ工程(第4図参照)と、
箱枠(6)の内壁面ζこ設けられている案内溝(4)・
・・、(5)・・・に上記隔壁板組合せ工程番こて組合
せられた第1及び第2の隔壁板(1)・・・、(2)・
・・の両端部を挿入する箱組工程(第5図参照)とから
なっている。しかして、第3打抜工程化では、第3図に
示すよう化、打抜かれた溝穴(3)・・・の長手方向は
、第6図に示す多孔コリメータ(8)の2000〜40
00個ハニカム状1こ配列されてなる穴(7)・・・の
軸線(92・・・の傾きに対応して、角度i91. #
2.・・・ずつ次第に傾斜角が小さくなるように傾斜し
ている。また、第1の隔壁板(1)・・・の両端部が挿
入される第1の案内溝(4)・・・の長手方向は、箱枠
(6)の開口縁部に直交するように、つまり、箱枠(6
)の高さ方向と一致するように設けられている。他方、
第2の隔壁板(2)・・・の長手方向の両端部が挿入さ
れる第2の案内溝(5)・・・は、溝穴(3)・・・の
傾斜角191.θ2・・・と対応して傾いて刻設されて
いる。
かくして、上記実施例の多孔コリメータの製造方法によ
り製造された多孔コリメータ(8)は、第1図乃至第6
図に示すように、外形がほぼ正方形をなすタングステン
又は船台金製の箱枠−6)と、この箱枠(6)の内壁面
に設けられた°第1及び第2の案内溝(4)・・・、(
5)・・・に両端部が挿入され溝穴(3)・・・を介し
て格子状に保合・交差することにより一辺が0.5〜2
.0mの正方形をなす穴(7)・・・を形成する第1及
び第2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・とからなっ
ている。
り製造された多孔コリメータ(8)は、第1図乃至第6
図に示すように、外形がほぼ正方形をなすタングステン
又は船台金製の箱枠−6)と、この箱枠(6)の内壁面
に設けられた°第1及び第2の案内溝(4)・・・、(
5)・・・に両端部が挿入され溝穴(3)・・・を介し
て格子状に保合・交差することにより一辺が0.5〜2
.0mの正方形をなす穴(7)・・・を形成する第1及
び第2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・とからなっ
ている。
このような本実施例の多孔コリメータ(8)は、第1及
び第2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・の厚さ、つ
まり、セプタの厚さが、0.2m以下であり、かつ、溝
穴(3)・・・により第2の隔壁板(2)・・・の傾斜
角01.θ2.・・・を正確番こ設定できるので、多孔
コリメータ(8)の穴(7)・・・の軸線(9)・・・
が確実に焦線(F)に直交し、高分解能の多孔コリメー
タ(8)を得ることができる。また、組立て時、あるい
は、完成後に破損しても、破損した隔壁板(2)・・・
のみを交換すればよく、補修・管理保守が容易となる利
点を有する。
び第2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・の厚さ、つ
まり、セプタの厚さが、0.2m以下であり、かつ、溝
穴(3)・・・により第2の隔壁板(2)・・・の傾斜
角01.θ2.・・・を正確番こ設定できるので、多孔
コリメータ(8)の穴(7)・・・の軸線(9)・・・
が確実に焦線(F)に直交し、高分解能の多孔コリメー
タ(8)を得ることができる。また、組立て時、あるい
は、完成後に破損しても、破損した隔壁板(2)・・・
のみを交換すればよく、補修・管理保守が容易となる利
点を有する。
また、本実施例の多孔コリメータの製造方法は、第1及
び第2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・の外形をプ
レス打抜きするとともに、第1の隔壁板(1)・・・へ
の溝穴(3)・・・の穿設をプレス打抜きにより行い、
かつ、溝穴(3)・・・を介して第1及び第2の隔壁板
(1)・・・、(2)・・・を組合わせるようにしてい
るので、加工能率が従来の鋳造法あるいはワイヤ放電加
工法(WEDM)を用いる場合に比べて、飛開的に向上
することはもとより、製造歩留も高くなる結果、製造コ
スト低減も可能となる。さらに、第1及び第2の隔壁板
(1)・・・、(2)・・・の板厚を0.05 w程度
にまで薄くすること可能であるので、打抜用パンチの折
れ、欠けが−はとんどなくなり7、パンチ寿命が長(な
る。しかし、この場合、溝穴(3)・・・の幅は広いほ
どパンチの破損を防止できるので、第2の隔壁板(2)
・・・の板厚は、第゛lの隔壁板(1)・・・の板厚よ
り厚いことが好ましい。ちなみに、第1の隔壁板(1)
・・・の板厚を0.08■とすると、第2の隔壁板(2
)・・・の板厚は、0.12−程度が好ましい。
び第2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・の外形をプ
レス打抜きするとともに、第1の隔壁板(1)・・・へ
の溝穴(3)・・・の穿設をプレス打抜きにより行い、
かつ、溝穴(3)・・・を介して第1及び第2の隔壁板
(1)・・・、(2)・・・を組合わせるようにしてい
るので、加工能率が従来の鋳造法あるいはワイヤ放電加
工法(WEDM)を用いる場合に比べて、飛開的に向上
することはもとより、製造歩留も高くなる結果、製造コ
スト低減も可能となる。さらに、第1及び第2の隔壁板
(1)・・・、(2)・・・の板厚を0.05 w程度
にまで薄くすること可能であるので、打抜用パンチの折
れ、欠けが−はとんどなくなり7、パンチ寿命が長(な
る。しかし、この場合、溝穴(3)・・・の幅は広いほ
どパンチの破損を防止できるので、第2の隔壁板(2)
・・・の板厚は、第゛lの隔壁板(1)・・・の板厚よ
り厚いことが好ましい。ちなみに、第1の隔壁板(1)
・・・の板厚を0.08■とすると、第2の隔壁板(2
)・・・の板厚は、0.12−程度が好ましい。
なお、上記実施例の多孔コリメータにおいて、第1及び
第2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・は、プレス打
抜加工により形成しているが、例えばワイヤ放電加工(
WEDM)や通常の放電加工(BDM)など他の加工法
を用いてもよい。さらに、第7図に示すように、箱枠用
)の一方の開口部に正方形状でアルミニウム(A)>m
の端板Qlを嵌合・固定し、この端板α〔に設けられた
案内溝aυ・・・に、第1及び第2の隔壁板(1)・・
・、(2)・・・の下端部を挿入させるようにしてもよ
い。こうすることにより、端板a1がない場合に比べて
、組立精度及び剛性が向上し、分解能の向上に寄与する
。また、上記実施例の多孔コリメータは、穴(7)・・
・の軸線+9J・・・が焦線(F)に直交する単焦点形
のものを例示しているが、穴の軸線がすべて互に平行形
の多孔コリメータ1ζも適用できる。
第2の隔壁板(1)・・・、(2)・・・は、プレス打
抜加工により形成しているが、例えばワイヤ放電加工(
WEDM)や通常の放電加工(BDM)など他の加工法
を用いてもよい。さらに、第7図に示すように、箱枠用
)の一方の開口部に正方形状でアルミニウム(A)>m
の端板Qlを嵌合・固定し、この端板α〔に設けられた
案内溝aυ・・・に、第1及び第2の隔壁板(1)・・
・、(2)・・・の下端部を挿入させるようにしてもよ
い。こうすることにより、端板a1がない場合に比べて
、組立精度及び剛性が向上し、分解能の向上に寄与する
。また、上記実施例の多孔コリメータは、穴(7)・・
・の軸線+9J・・・が焦線(F)に直交する単焦点形
のものを例示しているが、穴の軸線がすべて互に平行形
の多孔コリメータ1ζも適用できる。
さらに、上記実施例の多孔コリメータの製造方法におい
て、第1及び#X2の隔壁板(1)・・・、(2)・・
・の交差部分に、接着剤を塗布して、振動により組立精
度が低下しないような剛性を付与するようにしてもよい
。さらにまた、第1の隔壁板(1)・・・の外形と溝穴
(3)・・・とを同時にプレス打抜きしてもよい。
て、第1及び#X2の隔壁板(1)・・・、(2)・・
・の交差部分に、接着剤を塗布して、振動により組立精
度が低下しないような剛性を付与するようにしてもよい
。さらにまた、第1の隔壁板(1)・・・の外形と溝穴
(3)・・・とを同時にプレス打抜きしてもよい。
さらに、本発明の多孔コリメータの製造方法は、第8図
及び第9図に示すように、溝穴の代わりに、一端部が櫛
状に入路した平行溝αト・・あるいは放射溝αト・・を
有する隔壁板Q4)、 (Isをプレス打抜きにより形
成する場合にも適用できる。
及び第9図に示すように、溝穴の代わりに、一端部が櫛
状に入路した平行溝αト・・あるいは放射溝αト・・を
有する隔壁板Q4)、 (Isをプレス打抜きにより形
成する場合にも適用できる。
本発明の多孔コリメータは、セプタの厚さが0.21以
下であり、かつ溝穴により多孔コリメータの穴の軸線を
設計通りに設定できるので、高分解能の多孔コリメータ
を得ることができる。才た、組立て時、あるいは、完成
後に、破損しても、破損した隔壁板のみを交換すればよ
く、保守が容易になる利点を有する。
下であり、かつ溝穴により多孔コリメータの穴の軸線を
設計通りに設定できるので、高分解能の多孔コリメータ
を得ることができる。才た、組立て時、あるいは、完成
後に、破損しても、破損した隔壁板のみを交換すればよ
く、保守が容易になる利点を有する。
また、本実施例の多孔コリメータの製造方法は、第1及
び第2の隔壁板の外形をプレス打抜きするとともに、第
1の隔壁板への溝穴の穿設をプレス打抜きにより行い、
かつ、溝穴を介して第1及び第2の隔壁板を組合わせる
ようにしているので、加工能率が、従来の鋳造法あるい
はワイヤ放電加工法(WEDM)を用いる場合に比べて
飛躍的に向上する。また、これと相俟って、製造歩留も
高くなることにより、製造コスト低減にも寄与する。
び第2の隔壁板の外形をプレス打抜きするとともに、第
1の隔壁板への溝穴の穿設をプレス打抜きにより行い、
かつ、溝穴を介して第1及び第2の隔壁板を組合わせる
ようにしているので、加工能率が、従来の鋳造法あるい
はワイヤ放電加工法(WEDM)を用いる場合に比べて
飛躍的に向上する。また、これと相俟って、製造歩留も
高くなることにより、製造コスト低減にも寄与する。
笛1図乃至第6図は本発明の一実施例の多孔コリメータ
及びその製造方法の説明図、第7図は本発明の一実施例
の多孔コリメータの説明図、第8図及び第9図は本発明
の他の実施例の多孔コリメータの製造方法の説明図であ
る。 (1)・・・第1の隔壁板、(2)・・・第2の1Ii
ii壁板。 (3)・・・溝穴、(6)・・・箱枠 (7)・・・穴。
及びその製造方法の説明図、第7図は本発明の一実施例
の多孔コリメータの説明図、第8図及び第9図は本発明
の他の実施例の多孔コリメータの製造方法の説明図であ
る。 (1)・・・第1の隔壁板、(2)・・・第2の1Ii
ii壁板。 (3)・・・溝穴、(6)・・・箱枠 (7)・・・穴。
Claims (3)
- (1)一端部から他端部に向かって放射線を案内通過さ
せ所定位置に集光させる多数の貫通穴が連設された多孔
コリメータにおいて、上記放射線を遮蔽する材質からな
る枠体と、上記枠体により形成された空間にて上記貫通
穴を形成するように格子状に設けられたセプタ部とを具
備し、上記セプタ部は、ほぼ等間隔に並設された複数の
第1の隔壁板と、これらの第1の隔壁板に格子状に交差
する複数の第2の隔壁板とからなり、これら第1の隔壁
板と第2の隔壁板とは、上記放射線を遮蔽する材質から
なり、かつ、少なくともいずれか一方の隔壁板に設けら
れた複数のスリット状の溝穴に他方の隔壁板が挿通され
ていることを特徴とする多孔コリメータ。 - (2)放射線を遮蔽する材質からなる枠体と、上記枠体
により形成された空間に上記放射線を案内通過させる多
数の貫通穴を形成するように格子状に設けられたセプタ
部とからなり、上記セプタ部は、ほぼ等間隔に並設され
た複数の第1の隔壁板と、これらの第1の隔壁板に格子
状に交差する複数の第2の隔壁板とからなる多孔コリメ
ータの製造方法において、上記第1の隔壁板及び上記第
2の隔壁板をプレス打抜きにより成形する成形工程と、
この成形工程にて成形された上記第1の隔壁板及び上記
第2の隔壁板を組合せ上記セプタ部を形成するセプタ部
形成工程と、このセプタ部形成工程にて形成されたセプ
タ部を上記枠体に組込む箱組工程とを具備することを特
徴とする多孔コリメータの製造方法。 - (3)成形工程にては、第1の隔壁板及び第2の隔壁板
のうち少なくともいずれか一方に複数のスリット状の溝
穴を穿設するとともに、セプタ部形成工程にては上記一
方の隔壁板に穿設された溝穴に他方の隔壁板を挿通させ
ることにより上記セプタ部を形成することを特徴とする
請求項(2)記載の多孔コリメータの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1257733A JPH03120500A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 多孔コリメータ及びその製造方法 |
| US07/538,763 US5099134A (en) | 1988-05-27 | 1990-06-15 | Collimator and a method of producing a collimator for a scintillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1257733A JPH03120500A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 多孔コリメータ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120500A true JPH03120500A (ja) | 1991-05-22 |
Family
ID=17310342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1257733A Pending JPH03120500A (ja) | 1988-05-27 | 1989-10-04 | 多孔コリメータ及びその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5099134A (ja) |
| JP (1) | JPH03120500A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001137234A (ja) * | 1999-10-02 | 2001-05-22 | Koninkl Philips Electronics Nv | X線吸収用のグリッド |
| JP2008501975A (ja) * | 2004-06-09 | 2008-01-24 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 散乱防止格子 |
| JP2011064625A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Shimadzu Corp | 核医学診断装置およびそれに設けられるコリメータの製造方法 |
| JP2012081265A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | General Electric Co <Ge> | X線用ハイブリッド型コリメータ及びその製造方法 |
| JP2012177655A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 2次元コリメータモジュール、x線検出器、x線ct装置、2次元コリメータモジュールの組立て方法、および2次元コリメータ装置の製造方法。 |
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