JPH03120502A - カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents

カラーフィルタおよびその製造方法

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JPH03120502A
JPH03120502A JP1259085A JP25908589A JPH03120502A JP H03120502 A JPH03120502 A JP H03120502A JP 1259085 A JP1259085 A JP 1259085A JP 25908589 A JP25908589 A JP 25908589A JP H03120502 A JPH03120502 A JP H03120502A
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JP
Japan
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light shielding
shielding parts
parts
resist
boundary faces
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Pending
Application number
JP1259085A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Hiramoto
平本 廣幸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Stanley Electric Co Ltd
Original Assignee
Stanley Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はカラーフィルタおよびその製造方法に関し、例
えば液晶表示装置に用いることによりカラー表示を可能
とするカラーフィルタおよびその製造方法に関する。
[従来の技術] カラー表示できる液晶表示装置の1種としてカラーフィ
ルタを用いるものがある。その代表的構造を第4図に示
す、1対のガラスの基板11.12間に封止部材13を
用いて液晶14を封入している。下側基板12上には遮
光部(遮光膜>15が形成され、所定パターンの窓16
を画定している。この窓16上にカラー表示用染色層(
カラーフィルタ層)17.18.19が作成されている
たとえば、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色の染
色層であり、3つの染色層が1単位となって合成色を表
示する1画素を形成する。染色層17.18.19の上
を有機系染色層保護膜21が覆い、その上に下側基板1
2の全カラー表示用染色層17.18.1つに共通の電
極であるインジウム錫酸化物(ITO)製の透明電f!
22が設けられ、パターニングされている。さらに、そ
の透明電極22の上に表面保護膜27が設けられている
。上側基板11には薄膜トランジスタ24を形成してい
る。
遮光部15はブラックマトリクスまたはブラックマスク
とも呼ばれ、不要な光が透過することを防止して、表示
コントラストを上げるためのものである。遮光部15に
は、クロムCr、モリブデンMO、アルミニウムAjそ
の他の金属が用いられる。
に、微細なパターンになればなる程、遮光部の占める面
積は増してくるので、その影響は大きくなる。
本発明の目的は簡単な方法で作成でき遮光部の光反射が
少なく表示が見やすい液晶表示装置のカラーフィルタお
よびその製造方法を提供することである。
[課題を解決するための手段] 透明性基板の表面上のブラックマトリクスとなる遮光部
を形成する部分を粗面化し、この粗面化した部分に遮光
部を形成する。その後、染色層を形成する。
[発明が解決しようとする課題] 遮光部15を形成するCr、Mo等の金属は反射率が大
きい、また、これらの材料を用いた遮光部は表示面の約
半分の面積を占めているため、全体としてガラス基板上
の金属の鏡面反射が大きくなり、明るい場所では表示が
見えにくくなる。特[作用] 透明基板と遮光部との境界面を粗面化することにより、
その上に形成される遮光部のCr等の金属を散乱面とし
て鏡面反射をなくし、表示を見え易くすることができる
[実施例] 第1図に本発明の1実施例によるカラーフィルタを示す
、ガラス基板12上には遮光部15が形成され、ガラス
基板12と遮光部15との境界面26は粗面化されてい
る。遮光部15は所定パターンの窓16を画定し、この
窓16上にカラー表示用染色層17.18.19が作成
されている。
たとえば、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色の染
色層であり、3つの染色層が1単位となって合成色を表
示する1画素を形成する。染色層17.18.19の上
を有機系染色層保護膜21が覆い、その上に下側基板1
2の全カラー表示用染色N117.18.19に共通の
電極であるインジウム錫酸化物(ITO)製の透明なf
!22が設けられ、パターニングされている。さらに、
その上に保護膜27が設けられている。このように構成
したカラーフィルタを下側に配置し、第4図と同様にし
て第2図の液晶表示装置が構成される。
このようなカラーフィルタは、たとえばだお3次(A)
〜(H)に示される以下の手順で作製される。
ガラス基板12の表面で遮光部15を形成する部分を粗
面化する。¥1面化する方法としては、次の方法がある
■第3図(A)に示すように、フォトリングラフ工程を
用いて、非租面化部分をレジスト31でパターニングし
て、覆う。
■第3図(B)に示すように、レジスト31で覆われて
いない部分26を弗酸等の酸処理で溶解するか、または
サンドプラスターにより研磨粉等を吹き付けて粗面化す
る。
■第3図(C)に示すように、レジストを除去し洗浄を
行う。
これ以降の第3図(D>から(H)までの工程は従来技
術と同様である。すなわち第3図(D)に示すように、
スパッタリングによりCr、M。
等の金属薄膜を全面に形成し、フォトリングラフ工程に
より粗面化された部分(格子状)26に遮光部15を形
成する。ここで、金属薄膜15は下面のみならず上面も
散乱面となる0次に、遮光部15の窓部分16に、第3
図(E)に示すように、フォトリングラフ工程を用いた
染色法などによりRGBのカラー染色層17.18.1
9を形成する。第3図(F)に示すように、カラー染色
層17.18.19を覆らて有機系のカラー染色層保護
層21を全面にコートする。材料は、たとえばアクリル
系、シリコン系の樹脂である0次に第3図(G)に示す
ように、ITO等の透明電極22を保護[121上にス
パッタリング、蒸着などにより形成し、これをフォトリ
ソグラフ工程を用いてパターニングして、共通電極を形
成する。その上に第3図(H)に示すように、表面保護
層として8102  膜を形成する0以上のようにして
、第1図のカラーフィルタの構造が得られる。
[発明の効果] 遮光部(ブラックマトリクス)を有する液晶表示装置に
おいて、透明基板と遮光部との境界面を粗面化すること
により、遮光部wp散乱面として反射を低くし、表示を
見えやすくすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の1実施例によるカラーフィルタの断
面図、 第2図は、第1図のカラーフィルタを用いた液晶表示装
置の断面図、 第3図(A)−(H)は、第1図のカラーフィルタの製
造プロセスを説明するための断面図、第4図は、従来技
術による液晶表示装置の断面図である。 符号の説明 11.12      基板 13         封止部材 14         液晶 15         遮光膜 16窓 17.18.19   染色層 1 2 4 6 7 有機系保護膜 透明電極 PT 境界面 保1iIJII

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)、透明基板と、該透明基板上に形成され、ブラッ
    クマトリクスを構成する遮光部と、該透明基板上の、該
    遮光部以外の部分に形成された染色層とを含み、該透明
    基板の該遮光部との境界面が粗面化されていることを特
    徴とするカラーフィルタ。
  2. (2)、透明基板の表面でブラックマトリクスとなる遮
    光部を形成する部分を粗面化する工程と、該粗面化した
    部分に遮光部を形成する工程と、該遮光部が形成されて
    いない部分に染色層を形成する工程と を含むカラーフィルタの製造方法。
JP1259085A 1989-10-04 1989-10-04 カラーフィルタおよびその製造方法 Pending JPH03120502A (ja)

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JPH0980476A (ja) * 1995-09-12 1997-03-28 Nec Corp アクティブマトリックス基板とその製造方法
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