JPH0312207A

JPH0312207A - ポンプ濾過装置および半導体エッチング装置

Info

Publication number: JPH0312207A
Application number: JP2122813A
Authority: JP
Inventors: Daryl J Yane; デリル・ジェー・イエン
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1989-05-12
Filing date: 1990-05-11
Publication date: 1991-01-21
Anticipated expiration: 2017-04-08
Also published as: JP3273606B2; EP0397522A3; EP0397522A2; DE69020956T2; US5021151A; DE69020956D1; EP0397522B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野］本発明は、ポンプ濾過装置に関し、特に腐食性化学品の
ためのポンプ濾過装置、さらには該装置を用いた半導体
エツチング装置に関する。

本発明は特に化学的なエツチングを行う半導体ウェハー
に用いられる種々の流体の濾過に好適に用いられる。し
かし本発明はこれに限定されるものではなく、高温に保
持される特に腐食性の化学流体を濾過する必要がある他
の分野にも同様に適用される。

〔従来技術〕

半導体ウェハーをエツチングするために用いられる装置
は、それらの製造工程において一般にエツチング溶液を
含むタンクと、該タンク内に保持されるウェアバスケッ
トを含む上部開放型化学浴を有している。このウェアバ
スケットの上部からエツチング溶液が溢流し、エツチン
グ工程はこのウェアバスケット内で行われる。このエツ
チングプロセスから得られた廃棄物はウェアバスケット
内の溶液または化学品の上部を浮遊し、次いで溢流して
タンク内に流入する。タンク内の化学品はフィルタを通
ってポンプ輸送され、そしてフィルタで濾過された化学
品は次いでウェアバスケットに戻され、再使用される。

このような化学品としては、適当な慣用的なエツチング
またはクリーニング流体が挙げられ、具体的には硫酸、
塩酸、硝酸、リン酸、水酸化ナトリウムまたは水酸化カ
リウムが挙げられる。

このような化学品の濾過システムは、浴槽に隣接して流
体をカートリッジに通過させるためのポンプと、濾過カ
ートリッジとを有するものがほとんどである。このタイ
プのシステムは、浴槽をポンプに、該ポンプをフィルタ
に、さらに該フィル夕をウェアバスケットに結合するた
めの配管や取付は部品を存し、このような取付は部品お
よび配管はテフロン（登録商標）のようなＰＶＤＦ、ま
たはＰＴＦＥのような耐腐食性のプラスチック材料で作
成される必要がある。このような取付は部品および配管
を用いるための問題点は、高温の腐食性化学品が配管お
よび取付は部品を軟化させ、そのために取付は部品のジ
ヨイント部で漏れを起こすことである。

他の公知のシステムとしては、浴槽内に直接配置された
一体的な没水ポンプと、フィルタユニットとを用いたも
のがあるが、このユニットはガス駆動される二重動作ベ
ローポンプ組立体を用いており、この組立体はその構造
が複雑で、高価である。このユニットは同様に破損し易
い多くのバルブを用いており、これらの部品に欠陥があ
ると、エツチングシステムが不能になり、そしてユニッ
ト全体を移動し、分解して不良な構成部材を交換する必
要がある。

［発明が解決しようとする課題］したがって、前述の困難その他を克服し、よりよい、そ
してより多くの利益を全体として与える新しい改善され
た腐食性化学品の濾過装置を開発することが望まれてい
た。

〔課題を解決するための手段〕

本発明によれば、新しい改良されたポンプ濾過ユニット
が提供される。すなわち、本発明の一態様によれば、こ
のユニットはプラスチック材料から作られたインペラ、
フィルタおよび一体プラスチックハウジングを有するポ
ンプからなる。このハウジングは、ポンプインペラを収
容するポンプ室とフィルタを収容するフィルタ室とを含
む。このフィルタ室はポンプ室と離間されて設けられて
いる。さらにこのハウジングは、ポンプインペラおよび
フィルタによって作用される流体をハウジング内に流入
させるための入口ポートとポンプインペラおよびフィル
タによって作用された後の流体を該ハウジングから流出
させるための出口ポートとを有する。

本発明の他の態様によれば、耐高温腐食流体のポンプ濾
過装置が提供される。特にこの態様によれば、この装置
は、インペラ、フィルタおよびハウジングを有するポン
プを含む。このハウジングはポンプインペラを収容する
ポンプ室と、該ポンプ室と離間させて設けられたフィル
タを収容するフィルタ室とを有する。入口ポートは流体
を該ハウジングおよびそのポンプ室内に流入させる。ポ
ンプ室とフィルタ室の間の通路は流体をポンプ室出口か
らフィルタ室人口に流通させる。ハウジング内の出口ポ
ートは、流体をフィルタ室およびハウジングから流出さ
せる。

本発明のさらに他の態様によれば、高温腐食流体のため
のポンプ濾過組立体が提供される。特にこの態様によれ
ば、該組立体は、ポンプ室と、該ポンプ室と離間されて
設けられたフィルタ室と、該ポンプ室とフィルタ室の間
に延長される通路と、入口および出口とを有するハウジ
ングを含む。この組立体はさらに、ポンプ室内に配置さ
れた、インペラを有するポンプと、該インペラの一端に
固着されたインペラシャフトスリーブと該インペラの駆
動シャフトとを有する。このポンプ室は、ハウジング入
口と連通ずる入口およびハウジング内の通路と連通ずる
出口を有する。フィルタは、ハウジング通路と連通ずる
入口およびハウジング出口と連通ずる出口とを有するフ
ィルタ室内に配置されている。

本発明のさらに他の態様によれば、半導体エツチング装
置が提供される。この態様によれば、この装置は、高温
に維持された腐食性流体を保持する浴槽と、該浴槽内に
配置され、該腐食性流体を保持するように適合されたウ
ェアバスケットと、該浴槽内に同様に配置されたポンプ
濾過ユニットとを有している。該ユニットは一体構成さ
れた耐腐食、耐高温ハウジングからなる。該ハウジング
はポンプ室と、該ポンプ室から離間されたフィルタ室と
、流体を該ハウジング内に流入させるためのハウジング
内の入口ポートと、該ハウジングから流体を流出させる
ための出口ポートと、該ポンプ室とフィルタ室の間に流
体を流通させるための流体通路とを含んでいる。該ポン
プ室内にはボンプインペラが収容されており、該インペ
ラは耐腐食、耐高温材料から作られている。フィルタ室
内にはフィルタが収容されている。ポンプの出口ポート
とウェアバスケットを有する濾過ユニットとはパイプで
連通されている。

〔発明の作用、効果）本発明の第１の効果は、新しい改良されたポンプ濾過ユ
ニットを提供することである。本発明の他の効果は、高
温腐食性流体を取扱うことができるポンプ濾過ユニット
を提供することである。

本発明のさらに他の効果は、ポンプのインペラ部分とフ
ィルタの両方を保持する一体構成のプラスチックハウジ
ングを提供することである。このハウジングは高温で保
持される腐食性流体の浴槽またはバス内に配置すること
ができる。

本発明のさらに他の効果は、腐食性流体の浴槽とポンプ
およびフィルタを連結するための配管や取付は部分を用
いる必要性をなくした、高温腐食流体のためのポンプ濾
過ユニットを提供することである。

本発明のさらに他の効果は、腐食性流体を保持するため
の浴槽、該浴槽内に保持されるウェアバスケットおよび
同様に該浴槽内に保持される一体構成のポンプ濾過ユニ
ットを含む半導体エツチング装置を提供することである
。

本発明のさらに他の効果は、腐食性流体を保持する浴槽
から選択的に脱着可能なトップウオールを含む半導体エ
ツチング装置を提供することである。このトップウオー
ルは、浴槽内のウェアバスケットと一体構成のポンプお
よび濾過ハウジングを正しく配置させるために開口され
ている。

本発明のさらに他の効果は、プラスチックインペラとこ
れに固着されたプラスチックインペラシャフトスリーブ
とを有するポンプ濾過ユニットを提供することである。

このインペラシャフトスリーブはポンプモータの駆動シ
ャフトが腐食性流体と接触するのを保護する。この装置
はさらにインペラ内に埋め込まれた駆動プレートを有し
、この駆動プレートにモータ駆動シャフトが固着されて
いる。

本発明のさらに他の効果は、互いに選択的に固着するこ
とができる２つの部分を含むインペラを提供することで
ある。これらの各インペラには少なくとも１つのインペ
ラベーンが設けられている。

本発明のさらに他の効果は、本発明の以下の詳細な説明
を読み、理解すれば当業者にとっては明らかになるであ
ろう。

〔実施例〕

以下、図面を参照し、本発明をさらに詳細に説明する。

なお、これらの図面は本発明の好ましい実施態様を示す
ためのものであり、本発明はこれらにより限定されない
。

第６図は、ウェアバスケットＣとともに浴槽Ｂ内に配置
されたポンプ濾過ユニットＡとからなる半導体エツチン
グシステムを示すものである。この浴槽は、腐食性の化
学溶液または流体りを保持し、この溶液または流体りは
ウェアバスケットＣのトップを溢流して部分的にユニッ
トＡを包み込んでいる。ウェアバスケットＣおよびユニ
ットＡはトップウオール已によって浴槽内の正しい位置
に保持されており、またヒータＦがウェアバスケットの
下部に設けられている。このポンプ濾過ユニットは半導
体エツチング装置に関連して述べられているが、腐食性
の環境からある成分を分離する必要があったり、または
配管および取付は部品を用いることができないために、
一体向なハウジングが必要な多くの他の環境において同
様に通用することができる。

次に、第１Ａ図を参照すれば、ユニッｌ−Ａは一体ハウ
ジング部材ｌＯからなり、このハウジング部材１０内に
は離間して設けられたポンプ室１２とフィルタ室１４と
を有する。図示した実施態様においては、これらの画室
は離間されたサイド・パイ・サイドの配列でハウジング
ＩＯ内の長手方向に延びて設けられている。浴槽Ｂと面
接触しているハウジングの下面には入口ポート１６が設
けられている。また該ハウジングの前面１７（第２図参
照）には出口ボー）１Ｂが設けられている。

この出口ポート１８は適当なパイプと連結するためのね
じ部１９を有することが好ましい。ポンプを作動させる
際のキャビテーションの問題を除去するためにハウジン
グ１０に設けられる入口ポート１６のサイズは大きい方
が好ましい。

ハウジング１０内には入口ポート１６に隣接してシリン
ダ部材２２が締結されており、このシリンダ部材はねじ
切りされた外周２４を有し、この外周２４は入口ポート
１６に隣接したハウジング上に設けられている適当なね
じ切り部２６と協同している。シリンダ部２２には、該
シリンダ部がハウジング上の正しい位置に選択的にねじ
込まれるように適当なスパナレンチ開口部２８が設けら
れている。

シリンダ部の中央部を通って長く延びる孔３２が設けら
れており、この孔によって入口ポート１６からポンプ室
人口３４に流体が流通するようになっている。この孔３
２は適当な量の流体を入口３４に送り込むことができる
ような適当なサイズを有している。次に第３図を参照す
れば、ポンプ室人口３４から離れてポンプ室出口３６が
設けられ、これは孔３８と連通している。この孔３８は
ポンプ室出口３６からフィルタ室１４のフィルタ人口４
２に延びている。ハウジング内にはまたフィルタ室入口
から離間してフィルタ室出口４４が設けられ、この出口
４４は孔４６と連通し、該孔４６は出口ポート１８に導
かれている。このようにして、流体は入口ポート１６を
通ってポンプ室１２に到り、そしてそこからフィルタ室
に流れることができる。フィルタ室を通過した後、流体
は出口ポート１８から流出することができる。

ポンプ室１２内にはインペラ５０が位置している。第５
図を参照すれば、このインペラは実質的にシリンダ形状
をした第１インペラ部５２からなり、そして前面５４を
有している。この前面５４上には少なくとも１個のイン
ペラベーン５６が位置している。好ましい実施態様にお
いては適当なサイズおよび矩形状の４つのインペラベー
ンが用いられる。しかしながら、適当なサイズおよび形
の他の適当なインペラベーンが、該インペラ５０が作動
するポンプ環境の必要性に応じて設けることができる。

第１インペラ部５２の後面５８上にはねじ切りされた開
口部６０が設けられている。

この後面５８上のねじ切りされた開口部の外側半径方向
にはシール部材６４を保持するスロット６２が設けられ
ている。このシール部材６４としてはＯ−リングを用い
ることができる。

インペラ５０は、同様に適当なシリンダ形状を有する第
２インペラ部７０を有する。第４図を参照すれば、この
部分７０はその後面７２に少なくとも１つのインペラベ
ーン７４を有する。図示された態様では、一定サイズお
よび形状の４つのインペラベーン７４が後面に設けられ
ている。しかしインペラが作動する特定の環境における
必要性に応じて所望のサイズおよび形状の適当な数のベ
ーンを用いることができる。第２インペラ部７０の前面
７６上にはねじ切りされた減少した直径の軸部７８が設
けられ、この軸部７８は第１イブペラ部５２のねじ切り
開口部６０に協同するように適合され、これら２つの部
分が互いに結合可能になっている。換言すれば、協同す
るねじ切りされたこれらの部分は２つの部分５２および
７０を互いに締着させるための締付は手段として作用す
る。

第２インペラ部が第１インペラ部にねじ込まれた場合、
軸部の前面８０が第１インペラ部内に設けられたスロッ
ト８２に接続される。駆動プレートまたはナツト８４が
スロット８２内に位置するように適合されている。

またシャフトスリーブ８６の一端には第２インペラ部７
０が固着されており、このシャフトスリーブ８６はその
内部を通って長さ方向に延びる孔８８を有している。こ
の孔８８は、第２インペラ部７０および軸前面８０を通
り、さらに孔８９を通って長さ方向に延長されている。

再び第１図（第１Ｂ図）を参照すれば、モータ９０がハ
ウジング１０の上面９１に固着されている。ポンプ室１
２から上端面９１にハウジングを通って長さ方向に延び
るように、シャフトスリーブ８６を収容するための孔９
２が設けられている。

上面９１からはカウンター孔９４が拡がっている。

モータ９０は、そのモータシャフト９６が孔８８を通っ
て延びるように、ハウジング１０上に位置している。シ
ャフト９６の自由端にはねじ切りされた軸９７が設けら
れており、このねじ切りされた軸９７は駆動プレート８
４（第５図参照）内に設けられたねじ切り開口部９日と
係合し得るように適当な寸法を有している。

インペラ内に駆動プレート８４を設ける利点は、インペ
ラおよびそのシャフトスリーブ８６のプラスチック材料
が若干軟化する高温におけるインペラの積極的な回転を
確実にする。ハウジング１０、インペラ５０およびスリ
ーブ８６は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）
のような耐腐食性の耐熱プラスチック材料から作られる
ことが好ましい。しかし、他の適当な材料を用いること
もできる。

シリンダ部材２２を用いる理由の１つは、入口ポート１
６を通り、ハウジング１０の前部を通ってインペラ５０
を脱着することができるからである。適当なスパナレン
チを用いてシリンダ部材２２を脱着すると、該インペラ
は駆動シャフトまたはモータシャフト９６から脱着され
る。

インペラ５０の第２インペラ部７０は上部から下部への
積極的なサクションを得るためには下部の第１インペラ
部５２よりも効果的であることが注目される。換言すれ
ば後面７２上のインペラベーン７４は、インペラ５０の
作用によって孔９８から流体が押し上げられることを阻
止するためには前面５４上のインペラベーン５６よりも
効果的である。これは、前部ベーン５６の前面が直線状
のエツジを有しているのに対し、後部ベーン７４の前面
が角度を有していることに関係していることが注目され
る。

インペラ５０は遠心ポンプタイプであることが好ましい
、モータ９０はポンプ濾過ユニットＡが作動する環境に
適したサイズの小馬力モータでよい。

第１Ｂ図を参照すれば、ポンプ９０とハウジング１０の
間にポンプアダプタプレート１１０が設けられている。

アダプタプレート１１０は、ハウジング１０とプレート
１１０の間をシールする適当なシール部材１１４を収容
するための環状グループ１１３を有する前面１１２を有
している。同様に後面１１６上にはポンプ９０とプレー
ト１１Ｏの間をシールするための適当なシール部材１１
８を系合させるためのグループ１１７が設けられている
。プレート１１０をポンプ９０のモータハウジング１２
４に固着させるためのファスナ１２２を収容するような
適当な寸法の孔１２０が、プレート１１０を通って長さ
方向に延長し設けられている。また孔１２６が孔１２０
と離間して延長されており、そしてこれをハウジング内
の開口部１３０に延長することによりハウジング１０に
ポンプアダプタプレート１１０を固着させるためのファ
スナ１２８を系合させている。

孔１３２は、シャフトスリーブ８６の端部を系合させる
ためのアダプタプレートｌｔｏの中央部を通って長さ方
向に延びている。アダプタプレートの前面１１２上には
フランジ部１３４が設けられ、このフランジ部はハウジ
ングの上面９１のカウンター孔部９４前に延びている。

プレートｌｌＯの外周からその中央開口部１３０の内側
半径方向に延びてガス出口チャンネル１３６が設けられ
ており、このガス出口チャンネル１３６は、適当なガス
出口管１３９がねじ込まれた外端部１３Ｂを有している
（このチャンネル１３６は第１Ａ図では明確のために位
置をずらして示されている）、管１３９は中性ガス、例
えば窒素または二酸化炭素を開口部１３０からシャフト
スリーブ８６の外周に送るために用いられている。

このようにしてガスは、モータハウジング１２４内を上
方に向かって流れるとともに、孔９８を流下することが
できる。このガスは、流体りからの腐食性蒸気がモータ
ハウジング１２４内に保持された電気モータに入り、汚
染することを防止するために用いられる。

化学品りからの腐食性の蒸気による汚染および腐食から
電気モータを保護する他の慣用的な方法として、エツチ
ング溶液からの有害な腐食性蒸気がモータハウジング内
に入ることを防止するために、中性ガスがポンプによっ
て送られる適当な慣用的なボンネット（図示せず）を用
いてもよい。

ハウジング１０の上面９１上にはモータ９０から離れた
位置にキャップ１４２が設けられており、このキャンプ
１４２はフィルタ室１４の上端に近接している。キャッ
プ１４２は、フィルタ室１４の周りのハウジング壁の上
端に設けられた適当なねじ切り部１４６と協同する下部
ねじ切り部１４４を有している。このキャップ１４２は
、フランジ部１４７によって許容される限り、フィルタ
室内の下方までねじ切りすることができる。該キャップ
がハウジング１０上に固着されると、それらの間にスロ
ット１４８が形成される。このスロット内には適当なシ
ールエレメント１４９が配置される。このエレメント１
４９としては、フィルタ室１４が外気と通じるのを阻止
するようにシールするＯ−リングシールなどを用いるこ
とができる。

フィルタ室内には適当なフィルタエレメント１５０が設
けられている。このフィルタエレメントは、濾過される
べき腐食性流体が該フィルタの外周からその中心に向か
って内部に半径方向に流入し、次いでその中央の長く延
びた開口部１５２を出てフィルタ室出口４４に流出する
中空のセンターフィルタを用いることができる。該フィ
ルタは、ポンプ輸送される流体の腐食作用に耐えるため
にＰＴＦＥ　（ポリテトラフルオロエチレン）のような
適当なプラスチック材料から作られることが好ましい、
該フィルタは、膜状のものが好ましく、そして０．２μ
までの濾過能力を有しているものが好ましい。

上記フィルタは、閉止された上端１５４と減少した半径
の下方または出口端１５５を有している。

この出口端はハウジング１０の適当な形状部１５６内に
かたく嵌合するように寸法が合わせられている。適当な
シール部材１５８を保持するための出口端１５５内には
グループ１５７が設けられている。このようにしてフィ
ルタ１５０はハウジング１０内のその出口端に正しく保
持され、流体がそこを通って流れるようにフィルタ室壁
から離間されている。

図面に示された実施態様においては、フィルタ１５０は
、ポンプがフィルタ内に、加圧流体を送り込むことがで
きるようにポンプインペラ５０の下流に配置されている
。これはフィルタがミクロンサイズのため必要である。

しかしながら、反対の配置、すなわちポンプによって流
体をフィルタを通して吸い込む形式も異なるタイプのフ
ィルタ、および異なるタイプのポンプとともに用いるこ
とができる。しかし半導体エツチング分野においては、
ポンプによって流される不純物（小さなプラスチック片
のような）を濾過することができるようにフィルタの上
流側に配置させる方が有利である。

第２図、第６図を再び参照すれば、ハウジング１０の出
口ポート１８からパイプの第１部分１６０が延びており
、このパイプ第１部分１６０は出口ポートのねじ切り部
１９内にねじ切られているねじ切り第１端部を有してい
る。該パイプ第１部分１６０は第２部分１６２に連結さ
れている。これらのパイプ部分１６０．１６２はヒータ
コイルＦ内に半径方向に延長されており、そしてコイル
からワイヤバスケットＣ内に軸方向に延長されている。

パイプ部材１６４はシールされた端部を有しており、第
２部分１６２と流体連結されている。

これらのパイプには同様に複数のスロット１６６が設け
られており、これらのスロットを通して清浄化された流
体がワイヤバスケットＣ内に放出される。上述のように
パイプ１６０はヒータニレメン）Ｆから軸方向およびそ
の内部に半径方向に延びている。このヒータエレメント
Ｆは流体りを適当な温度に加熱するために用いられてい
る。この温度はｌＯＯ°Ｃ程度の高温、または１５０°
Ｃでもよい。

フィルターユニットＡとウェアバスケットＣは上部壁部
Ｅによって浴槽Ｂ内に正しく保持されている。ウェアバ
スケットＣ内に保持された流体はその上端部１７２を溢
流すると、該流体は上部壁Ｅ上を流れ、そしてその中に
設けられた適当な開口部１７４を通って流下する。この
ようにして流体は再びハウジングＡに入り、そしてその
中で清浄化される。

ウェアバスケットＣ内にはスタンド１７６が配置されて
おり、このスタンド１７６は、ウェアバスケットＣ内で
流体によってエツチングされる必要があるチップ（図示
せず）または微小電子回路を保持している。

本発明は好ましい実施態様について説明されたが、その
自明の変形および改良が本明細書を読み本発明を理解す
れば当業者にとって容易に行われる。本発明はこのよう
な変形および改良をすべて含むように解釈されるべきで
あり、換言すれば本発明の特許請求の範囲またはその均
等の範囲内でそのようなすべての変形および改良が含ま
れるべきである。

【図面の簡単な説明】第１Ａ図は、本発明によるポンプ濾過装置部分の断面を
示す前立面図、第１Ｂ図は、それに沿って第１Ａ図が示
される軸に対して実質的に４５゜の角度の軸に沿った第
１Ａ図の装置の一部分の一部破断断面図、第２図は、第
１Ａ図の装置のｎ−■線に沿った断面図、第３図は、第
１図の装置の■−■線に沿った断面図、第４図は、第１
図の装置のｒＶ−ｒＶ線に沿った断面図、第５図は、第
１図の装置のインペラおよびインペラスリーブの一部破
断拡大展開透視図、第６図は、第１図のポンプ濾過装置
を用いた半導体エツチングシステムの縮小部分断面図で
ある。Ａ・・・濾過ユニット、Ｂ・・・浴槽、Ｃ・・・ウェア
バスケット、Ｄ・・・腐食性化学品または流体、Ｅ・・
・上部壁、ｌＯ・・・一体ハウジング部材、１２・・・
ポンプ室、１４・・・フィルタ室、１５・・・下面、１
６・・・入口ポート、１日・・・出口ポート、２２・・
・シリンダ部材、２４・・・ねじ切り外周部、３２・・
・孔、３８・・・連通孔、４４・・・フィルタ室出口、
５０・・・インペラ、５２・・・第１インペラ部、５４
・・・前面、５６・・・第１インペラベーン、６０・・
・ねじ切り開口部、７０・・・第２インペラ部、７４・
・・第２インペラベーン、８６・・・シャフトスリーブ
、８８・・・孔、９０・・・モータ、９２・・・孔、９
６・・・モータシャフト、１１０・・・アダプタプレー
ト、１２２．１２８・・・ファスナー（第１および第２
）、１２４・・・モータハーシジング、１２８・・・フ
ァスナー　１３４・・・フランジ部、１３６・・・ガス
出ロチカンネル、１４２・・・キャップ、１４９・・・
フィルタエレメント、１５０・・・フィルタエレメント
、１５２・・・開口部。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）プラスチックで作られたインペラを有するポンプ
と、フィルタと、１個のプラスチックハウジングとを有
し、該プラスチックハウジングは、前記ポンプインペラを収
容するポンプ室と、前記ポンプ室から離間させて設けら
れた前記フィルタを収容するフィルタ室と、流体を前記
ハウジング内に流入させ、前記ポンプインペラおよび前
記フィルタを経由させるための、前記ハウジング内の入
口ポートと、前記ポンプインペラおよび前記フィルタを
経由させた後に前記ハウジングから流体を流出させるた
めの、前記ハウジング内の出口ポートとを有するポンプ
濾過装置。
（２）前記ハウジングがポリテトラフルオロエチレンの
ような、高温腐食性流体に耐える材料からなる請求項（
１）記載のポンプ濾過装置。
（３）前記ポンプはさらに一端を前記インペラに固定さ
れているインペラスリーブを有し、そして前記インペラ
および前記スリーブはポリテトラフルオロエチレンのよ
うなプラスチック材料からなる請求項（２）記載のポン
プ濾過装置。
（４）前記ハウジングが、前記ポンプ室、前記フィルタ
室および前記入口ポートと前記出口ポートが設けられて
いる前記材料の固体ブロックからなる請求項（２）記載
のポンプ濾過装置。
（５）前記ハウジング内に選択的にねじ込まれているシ
リンダ部材を有し、該シリンダ部材は、前記入口ポート
に隣接して前記ハウジング内に選択的にねじ込まれるよ
うに、その外周がねじ込まれており、かつ該シリンダ部
材は、前記入口ポートと前記ポンプ室の間を連通させる
ためにこれらを通して長さ方向に延びる孔を有している
請求項（４）記載のポンプ濾過装置。
（６）前記ハウジングはさらに、前記ポンプ室と前記フ
ィルタ室の間に通路を有し、かつ前記通路は流体を前記
ポンプ出口から前記フィルタ入口へ流通させるものであ
る請求項（１）記載のポンプ濾過装置。
（７）前記ポンプ室の開放端を実質的に閉止するような
適当な径のシリンダ部を有しているポンプアダプタプレ
ートをさらに有している請求項（１）記載のポンプ濾過
装置。
（８）ポンプモータハウジングを前記ポンプアダプタプ
レートに締付けるための少なくとも第１のファスナと前
記ポンプアダプタプレートを前記ハウジングに固定させ
るための少なくとも第２のファスナをさらに有している
請求項（７）記載のポンプ濾過装置。
（９）前記フィルタ室の開放端上に選択的に固着可能な
フィルタキャップをさらに有している請求項（１）記載
のポンプ濾過装置。
（１０）インペラを有するポンプと、フィルタと、ハウ
ジングとを有し、該ハウジングは、前記ポンプインペラ
を収容するポンプ室と、前記ポンプインペラから離間さ
せて前記フィルタを収容するフィルタ室と、流体を前記
ハウジングおよび前記ポンプ室内に流入させるための入
口ポートと、流体を前記ポンプインペラ出口から前記フ
ィルタ入口に流入させるための前記フィルタ室と前記ポ
ンプ室の間の通路と、流体を前記フィルタ室および前記
ハウジングから流出させるための出口ポートを有してい
るポンプ濾過装置。
（１１）前記ハウジングは耐腐食耐高温材料からなる請
求項（１０）記載のポンプ濾過装置。
（１２）前記ポンプは、前記インペラーに連結されたイ
ンペラシャフトスリーブをさらに有し前記インペラーお
よび前記シャフトスリーブは耐腐食耐高温材料からなる
請求項（１０）記載のポンプ濾過装置。
（１３）前記ポンプは、駆動シャフトが流体にさらされ
ないための前記インペラシャフトスリーブを通って延長
される駆動シャフトと、該流体にさらされないように前
記インペラ内に埋め込まれ、前記駆動シャフトが前記駆
動プレートの一端に固定される駆動プレート等をさらに
有している請求項（１２）記載のポンプ濾過装置。
（１４）外側方向に延長される少なくとも１つのインペ
ラベーンを前面に有する実質的なシリンダー形状体を有
する第１部分、外側方向に延長される少なくとも１つの
インペラを有する後面を有する実質的なシリンダー形状
体を有してなる第２部分と、前記第１部分および第２部
分を互いに固定する手段とを有し、前記駆動プレートは
前記第１部分および第２部分内に埋め込まれて請求項（
１３）記載のポンプ濾過装置。
（１５）前記固定手段が前記第１および第２部分に設け
られる協同ねじ切り部を含む請求項（１４）記載のポン
プ濾過装置。
（１６）前記インペラシャフトスリーブにガスを送出す
る手段をさらに有している請求項（１３）記載のポンプ
濾過装置。
（１７）ポンプ室、前記ポンプ室から離間されたフィル
タ室、前記ポンプ室と前記フィルタ室の間に延長される
通路、入口および出口を含むハウジングと、前記ポンプ室に配置されるインペラ、前記インペラに一
端を固定されたインペラシャフトスリーブ、および前記
インペラの駆動シャフトを含み、前記ポンプ室は前記ハ
ウジング入口に連通する入口および前記ハウジング内の
前記通路に連通する出口とを有しているポンプと、前記フィルタ室内に配置されたフィルタとを有し、前記
フィルタ室は前記ハウジング通路に連通する入口および
前記ハウジング出口に連通する出口を有する高温腐食流
体甲のポンプ濾過装置。
（１８）前記ポンプインペラは、少なくとも１つのイン
ペラブレードを前面を有する第１部分と、少なくとも１
つのインペラブレードを有する後面を有する第２部分と
、前記第１および第２部分を固定する手段とを有する請
求項（１７）記載の装置。
（１９）前記ハウジングおよび前記ポンプインペラはポ
リテトラフルオロエチレンのようなプラスチック材料か
らなる請求項（１７）記載の装置。
（２０）高温に維持される腐食性流体を保持する浴槽と
、前記浴槽内に配置され、前記腐食性流体を保持するよ
うに適合されたウェアバスケットと、前記浴槽内に配置
されたポンプ濾過ユニットと、前記ポンプ室内に収容さ
れた、耐腐食耐高温材料からなるポンプインペラと、前
記フィルタ室内に収容されたフィルタと、前記ポンプ濾
過ユニットの出口ポートを前記ウェアバスケットと連通
させるパイプとを有し、前記ポンプ濾過ユニットは、ポンプ室と、前記ポンプ室
から離間されたフィルタ室と、流体を前記ハウジング内
に流人させるための前記ハウジング内の入口ポートと、
前記ハウジングから流体を流出させるための出口ポート
と、前記ポンプ室および前記フィルタ室の間に流体を流
通させるための前記ハウジング内の流体通路とを含む一
体耐腐食、耐高温ハウジングからなる、半導体エッチン
グ装置。
（２１）前記ハウジングおよび前記ポンプインペラはポ
リテトラフルオロエチレンのようなプラスチック材料か
らなる請求項（２０）記載の装置。
（２２）前記浴槽および前記ウェアバスケットはポリテ
トラフルオロエチレンのようなプラスチック材料からな
る請求項（２１）記載の装置。
（２３）前記出口ポートは、前記パイプのねじ切りされ
た端部を適合させるためにねじ切りされている請求項（
２０）記載の装置。
（２４）前記浴槽内に適合し、複数の内部壁に接触する
開口トップウォールを有し、前記トップウォールは前記
ウェアバスケットと前記ポンプ濾過ユニットとを適合す
るための適当な開口部を有している請求項（２０）記載
の装置。
（２５）前記トップウォールは、前記ウェアバスケット
から前記浴槽に流体を循環させるための開口部をさらに
有している請求項（２０）記載の装置。
（２６）前記ウェアバスケットの下方に配置されるヒー
タコイルをさらに有している請求項（２０）記載の装置
。
（２７）前記パイプは、前記ポンプ濾過ユニットから濾
過された流体を前記ヒータコイル内に導く第１部分と、
前記第１部分から流体を前記ウェアバスケット内に導く
、前記第１部分に連結された第２部分と、前記ウェアバ
スケット内に適合され、前記ウェアバスケット内に加熱
された濾過流体を分散させるための前記第２部分に連結
されている第３部分とを有している請求項（２６）記載
の装置。