JPH0312236B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ガスを送るためのポンプ、特に真空
ポンプ等に関する。真空ポンプのような、ガスを
圧縮し、又は移送するポンプは、幅広く、産業
用、研究用に使用されている。特定用途により、
真空ポンプに要求される代表的な特徴は、長動作
寿命即ち耐久性、短時間に比較的大量のガスを移
送する高いポンプ能力、及び約10^-3torr以下の圧
力レベルまで下げてポンプを移送する能力であ
る。産業用では、ポンプ移送されるガス中のほこ
り、水又は水蒸気のような汚濁物による摩耗や詰
まりにポンプが強いことが望まれる。例えば、真
空ポンプは、フレオン又は他の冷媒が加えられる
前に、冷却システムを空にするために良く用いら
れる。このような用途では、ポンプ移送されるガ
スは、ポンプの潤滑油の効力をそこなう他の汚濁
物と同様に、水滴、水蒸気、ゴミを運び、その結
果摩耗を増加させ、リーク、特に前述した圧力レ
ベルのリークを起こす。

このような産業上に利用されてきた真空ポンプ
の１つの型は、米国特許第3782868号（1974年１
月）に示されたような回転翼ポンプである。回転
翼ポンプは、円筒室内で偏心ロータを使用してい
る。このロータは、室の表面と絶えず接触して、
ロータと円筒室壁との間に、ロータの回転につれ
て、交互に拡大、縮小するポンプ室を形成する一
対の放射方向に摺動可能な羽根を有している。こ
のようなポンプは、一般に、良く稼動している
が、回転羽根と室の間の連続高速摩耗のため、連
続的に、多量の潤滑油を必要とし、油に入り、潤
滑効率を下げる汚濁物の摩耗を受けてしまう。

ここで述べた圧力レベルでポンプ移送するため
に使用されてきた他の型のポンプは、通常回転ピ
ストンポンプと言われているものである。このポ
ンプは、ベースと共に回転し、振動羽根を備えた
偏心的に取り付けられた素子を使用している。偏
心して取り付けてあるために、振動レベルは十分
大きくて、剛体システムに取り付けるのが困難で
騒々しいだけでなく、駆動素子を傷つけ、ポンプ
寿命を短くしてしまう。

今までに知られてはいるが、ガスをポンプ移送
するものではない他の型のポンプは、ギヤロータ
ポンプと称するものである。この型のポンプは、
外側ギヤ型リング内で回転する内側のギヤ型ロー
タを使用している。内側ロータの歯は、外側ロー
タの表面と絶えず接触して各対の歯の間に、ロー
タが回転するにつれて交互に拡大、縮小するポン
プ室を形成する。このようなギヤロータポンプ
は、周知で特に油、水、他の液体をポンプ移送す
るのに使用されている。他のポンプ、即ち回転翼
ポンプと比較すると、比較的可動部品が少なく、
製造組立が容易で、ロータ間の回転速度差が小さ
く、摩耗が少ない。しかしながら、最近利用可能
なギヤロータポンプは、ガスのポンプ移送に使用
した時、いろいろな欠点を有している。例えば、
ギヤロータポンプは、潤滑用にはポンプ移送され
る油又は流体に依存しており、ガスをポンプ移送
する時必要とされる別の潤滑能力を持つていな
い。これは、ギヤロータポンプの通常の注入及び
排出口と組み合せられ、ポンプの可動部品間にガ
スをバイパスさせ、ポンプが低圧でガス移送する
のに使用されるのを防ぐ。

従つて、本発明の目的は、前述の欠点を受けな
いギヤロータ型ガスポンプを提供することであ
る。

本発明の他の目的は、注入、排出口を有し、摩
耗を減らすのに十分な潤滑を行ない、低圧でガス
移送を行なえるように可動表面間を密閉したギヤ
ロータ型真空ポンプを提供することである。

本発明のこれらの目的は、添付図面に示した本
発明の推奨実施例の詳細な説明で述べる。

説明用図面を参照すると、本発明は、ガス等を
ポンプで供給するギヤーロータポンプアセンブリ
２２を使用した２段真空ポンプ２０で実施され
る。各ポンプ段では、ロータアセンブリ２２は、
ポンプブロツク３０の両端の、軸方向に平行では
あるが、偏つた２つのロータ室の１つの中に取り
付けられたギヤ型内側ロータ２４とギヤ型外側ロ
ータリング２６を使用している。以下において、
第１と第２のポンプ段に関する参照数字は１又は
２例えばロータ室２８−１のようにそれぞれ使用
する。

ギヤロータアセンブリ２２とポンプブロツク３
０は、取付けブレード３４の一方の側で、カバー
３６内に取り付けられる。カバー３６は、作動中
ロータアセンブリとブロツクが浸される油槽を内
蔵している。ロータアセンブリ２２は、取付けプ
レート３４の他の側に取り付けられ、密封された
中心軸口４０を通してアセンブリを駆動するモー
タ３８によつて駆動される。

異なる回転位置にあるギヤロータエレメントを
示す第７図〜第１０図を参照すると、内側ロータ
２４−１は、外側ロータ２６−１内で偏心位置に
ある駆動軸４２に取付けられていることが解る。
モータ３８によつて、軸４２を介して内側モータ
２４−１が回転すると、内側及び外側ロータ歯４
４，４６が噛み合つて、外側ロータもロータ室２
８−１内で回転する。内側ロータ２４−１は、外
側ロータ２６−１より歯が１つ少ないので、内側
ロータの歯は、外側ロータの表面と常に接触し陰
影又は斜線部分で示すように各ロータ歯間にポン
プ４８−１を形成する。内側ロータ２４−１が回
転すると、ポンプ室４８−１は、第７図〜第１０
図の順で示すように、内側及び外側ロータの各回
転中、交互に拡大、縮小する。

本発明によればば、ギヤロータの原理の利点
は、ポンプ室が拡大している時の回転サイクル
中、各ポンプ室４８−１と連通するように比較的
大きな角度にわたつている細長いガス注入口５０
−１と、圧縮（縮小）サイクルの終りの直前及
び／または終りにポンプ室４８−１と連通するよ
うに位置し、相当小さい角度Ｂのひろがり持ち、
注入口５０−１から角度的に離れている排出口５
２−１を使用することによつて、ガス等をポンプ
で送るために使用できることである。注入口５０
−１、排出口５２−１は、ロータセツトの両側に
あるのが好ましく、第７図〜第１０図の鎖線で示
した注入口は実際には、ポンプ取付けプレート３
４（第２図参照）に設けられ、従つて、実際には
紙面よりも上方にある。平面図の正規の部分では
ないが、この注入口は、説明用に、そして注入、
排出口間の角度間隔をより良く説明するため第７
図〜第１０図で示されている。このことは、平面
図というよりも斜視図で、実際の装置及び注入
口、排出口を示している第２図を参照することに
よつてもつと明瞭に理解される。

ロータアセンブリ２２の相対的可動部分間の密
閉と同様に潤滑のために、ポンプ自体の回転によ
つて生ずる差圧を使用して、油がポンプ室４８−
１に入れられる。この点について本発明では、一
端が油槽と、他端が密閉雌口４０間で連通する取
り付け板のチヤンネル５４又は摩耗板５６の同様
のチヤンネル５４′を通して周囲の油槽から、油
がポンプ室へ吸引される。ポンプ室４８−１の拡
大中に生ずる吸引力によつて、油は、シヤフト部
分へ導から、そこから、ロータエレメント２４−
１と摩耗板５６間の小さな空間を通して注入口５
０−１へ、それからポンプ室４８−１へ導かれ
る。この潤滑油は、可動部分表面を被覆して、そ
れらの間を密閉し、比較的低圧でのポンプ作用を
可能にしている。換言すれば、油は注入口５０−
１を通してポンプ室４８−１のの一端に導かれ、
それからロータギヤの回転につれて、徐々にロー
タギヤ２４−１の長さ方向に沿つて動き、他端の
排出口５２−１を通して排出され、従つて、油は
潤滑と密閉を行うように、ロータアセンブリを通
してスパイラル状通路を移動する。

説明用の推奨実施例では本発明を示す添付図面
で詳細に説明すると、ポンプ２０は、コンパクト
で特にポータブルにするようにかなり軽量で、例
えば冷凍システム等の分野の装置のサービスに理
想的である。第１図に示されるように、ポンプ２
０は、運び回れるように、一例として取付け板３
４へ取けられたハンドル５８を有している。

このポンプは、取付け板３４を介したロータア
センブリ駆動軸４２とモータ３８の間の直接結合
によつて駆動される。いろいろな型のモータが使
用できるが、ポンプを多段速度で駆動できるの
で、従来のインダクシヨンモータに対抗するもの
として、ブラツシユ型モータがすぐれている。

本発明を実施するギヤロータポンプアセンブリ
のいろいろの素子は、複式即ち２段式ポンプを描
いている第２図に良く示されており、２組のギヤ
ポンプ素子２４−１，２６−１と２４−２，２６
−２が高いポンプ効率と低圧レベルを達成するよ
うに直列に接続されている。各組のロータエレメ
ントは、ポンプブロツク３０に設けられた一対の
円筒状ロータ室２８−１，２８−２の１つの中で
回転する。ポンプブロツクは、ワンピース構造で
も良いが、製造、加工コストを下げられるので、
第２図に示すような３つの別体の積み重ね構造が
良い。この構造では、中心の部材（第２ａ、第２
６図）は、ロータ室２８−１，２８−２を形成す
るように穴を設けた２つの両側の部材の間に取り
付けられる。内側ロータ２４−１と２４−２は、
ポンプブロツクの中心部材のシヤフト口６０を通
してロータ室間に延びる共通駆動軸４２によつて
回転駆動される。シヤフト４２の他端は、取付け
板３４のシヤフト口４０内のベアリング（図示せ
ず）を介してモータ３８まで延びている。

ロータエレメント２４−１，２６−１と２４−
２，２６−２は、ポンプブロツク３０の端面とほ
ぼ同一高さであるが、回転可能に十分な隙間をも
つて、かつ油密にそれぞれロータ室２８−１，２
８−２内に取り付けられる。取り付け板３４は、
アルミナ製であるのが望ましいので、ポンプブロ
ツク３０は、他の摩耗面又は被覆も使用できる
が、スチール製摩耗板によつて、取り付け板から
離すのが好ましい。ポンプブロツクの他端は、ス
チール製端部プレート６２によつて閉じられる。
端部プレート、ポンプブロツク、ロータエレメン
ト、摩耗板のアセンブリ全体は、図示しないボル
トによつて取付け板３４に固定される。前述した
ように、このアセンブリ全体は、ポンプハウジン
グ３６内の油槽に浸される。

ポンプが作動している時は、三日月形の細長い
注入口５０−１と連通した取付け板３４の空気注
入口６１に取り付けられたコンジツト又はホース
を通して、ガスが容器から吸引される。摩耗板５
６は、適合する三日月形の開口を有して、ポンプ
で送られる空気又は他のガスが第１段のロータ２
４−１と２６−１の間に形成された室４８−１に
入るようにしている。

第１段のポンプ室４８−１のポンピングシーケ
ンスを表している第７図〜第１０図を見てみる。
内側ロータ２４−１が図示の時計方向に回転する
と、それは内側ロータより１つの歯の多い外側ロ
ータ２６−１を、時計方向に、内側ロータより僅
かに遅い回転速度で駆動する。この内側ロータ２
４−１と外側ロータ２６−１の間のゆつくりした
回転速度差は、ギヤロータポンプの１つの利点で
ある。第７図において、ポンプ室４８−１を表し
ている陰影部分は、大きくなり始めて、注入口５
０−１からガスを吸引する。ロータエレメント間
のポンプ室４８−１は、一端が摩耗板５６で、他
端がロータ室の内面によつて閉じられている。こ
の注入口は、説明用に鎖線で示されているが、前
述したように、実際にはスペーサ板、取り付板の
一部であり、第７図の平面図の紙面より上方に位
置している。

ポンプが、時計方向への回転を続けると、注入
口（第７図）の前縁と連通し始める時、大きくな
り始めるポンプ室４８−１は、注入口の後縁（第
８図）との連通から外れていく時、拡大サイクル
を完了する。拡大サイクル中のこの連通に適合す
るように、細長い注入口５０−１は位置している
ので、その前縁（ロータ回転方向において）は、
縮小又は圧縮サイクルが完了する位置又は点から
３度程の角度離れ、内側ロータ２４−１の隣接歯
間の角度Ｃよりも大きい角度Ａ（第７図、第１０
図）のひろがりを持つている。この角度Ａは、
（180゜−Ｃ／２）を超えないことが望ましい。

注入口５０−１との連通が外れた後、内側ロー
タ２４−１の回転を続けると、ポンプ室４８−１
は縮小して、ポンプ室内のガスを圧縮する。ポン
プ室が排出口５２−１を連通するのは（第１０
図）ポンプ室がほぼ完全に縮小し、ガスの体積が
最小に圧縮された時だけである。排出口は、注入
口５０−１とは反対側のロータ室２８−１の端部
にあり、注入口から5゜と38゜の間（角度Ｄ）離れ
ているが好ましく、ロータ直径が小さくなればな
るほど、角度間隔は大きくする必要がある。排出
口５２−１は、注入口５０−１よりも小さく、そ
のスパンは、隣合う内側ロータ歯間の角度Ｃより
も小さい角度Ｂであり、角度Ｃの半分即ちＣ／２に 等しいか、それより小さいことが好ましい。この
排出口は、前述した範囲内で任意所望の断面形状
で良いが、図示の実施例は円形の排出口５２−１
を使用している。ポンプ室が排出口と連通すると
圧縮ガスは、第２のポンプ段の注入口５０−２と
直接連通する（第２図参照）口へ、急速に押しや
られる。

ポンプ段１と２の間のロータ素子の相対的大き
さを比較することによつて、１段目は、ポンプの
２段目よずつと大きいポンプ容量を持つているこ
とは明らかである。ガスの最初の排出中のような
第２段で処理できるよりもずつと大量のガスが第
１段によつて送られると、超過した量のガスは、
第２段の三日月形注入口５０−２と連通するバイ
パス口６３（第２ａ，２ｂ図）を通して逃げられ
るようになつている。ポンプブロツクの中心部材
にあけられた又は他の方法で形成されたバイパス
口６３は、大量のガスをポンプで送ることによつ
て生じた圧力で開放する第６図で示した型の例え
ばポペツト弁のような逃し弁によつていつもは閉
じられている。ガスは、ポンプブロツクから出て
行つた後、ハウジング３６の通気口６５を通して
大気中へ逃げられるようになつている。

第２図に示すように、第１段の排出口５２−１
は、第２段の細長い三日月形の注入口５０−２と
直結している。第２段のロータ室２８−２は、第
１段のものよりも狭く、ポンプブロツク３０を通
して延びる共通駆動軸４２によつて駆動される第
２段の外側ロータ２６−２と内側ロータ２４−２
を回転可能に収納する。ポンプブロツクの端部
は、第５図、第６図で良く解るように、第２のポ
ンプ段の排出口５２−２を形成する端部プレート
６２によつてカバーされる。第６図に示すよう
に、この排出口は、端部プレートの外側に取り付
けられたバネ附勢ポペツト弁６４によつて通常は
閉じられる。いろいろな形状のもので良いこのポ
ペツト弁は、コイルバネ６９と、これを覆う板又
はバネ保持具７１によつて口５２−２に対して、
常閉位置に保持され、これはガスや潤滑油が漏れ
てポンプ室へ入らないようにしている。他の型の
例えばフラツパ又はリード弁のような一方向弁
も、本発明から逸脱せずに使用できる。端部プレ
ートの排出口５２−２は円形であるが、プレート
内面に小さなくぼみ部６６が備えられ、これは、
第１段の排出口よりも僅かに早い圧縮サイクルで
はあるが、ほぼ圧縮サイクルが完了した時、第２
段のポンプ室４８−２と連通するように、ある角
度で排出口から延びている。これは、高い真空レ
ベル即ち低ガス圧がポンピングされるとき、第２
段からの排出を良くするためである。

従つて、ガスが第２のポンプ段の口５０−２に
入つた後の動作は、第１段と同じであり、口の形
状、位置も同様である。内側ロータ２４−２と外
側ロータ２６−２の間に形成されるポンプ室４８
−２は、注入口５０−２を通過する時最も大きく
なり、それから小さくなり、その結果ポンプ室は
圧縮サイクルの終わる直前又は終わりに端部プレ
ート６２の排出口５２−２と連通する。最初の大
量のガスの排出後、中間の圧力逃し弁の作動を必
要とするほどには、供給源にガスが残つていない
時には、ポンプで送られる全てのガスは第２段を
通り、端部プレート６２に取り付けられたバネ荷
重ポペツト弁を通つて出て行く。

ガス用ポンプとして、その使用を高め、比較的
低圧でガスを送ることのできる本発明の重要な点
は、本発明で実施される新規な潤滑と密閉システ
ムにある。前述したように、ポンプブロツク３０
とロータアセンブリ２２の全体は、ポンプハウジ
ング３６内の油槽に浸される。第２図に戻ると、
油の通路は、駆動軸口から接線方向に延びる取り
付け板３４又は摩耗板５６の直線状溝又はチヤン
ネル５４に沿つて設けられる。チヤンネル５４の
端部は、摩耗板の小さな開口６８を通して油槽と
連通する。即ち開口６８は、ポンプブロツク３０
の縁を超えて、それを囲む潤滑剤に直接到達でき
るようになつている。ポンプ室４８−１を拡大す
ることによつて得られる圧力差は、小口６８を通
し、チヤンネル５４に沿つてシヤフト口４０へ、
そこからロータエレメント２４−１，２６−１と
摩耗板５６の表面との間の小さな隙間を通して注
入口５０−１へ、そこからポンプ室へと油を吸引
する。この僅かな量の油が、内側ロータと外側ロ
ータの接触面を被覆し、それらの間の小さな隙間
を密閉して、それらの間からのガス漏れを少くし
て、より効率的な、低温レベルが達成される。油
はガスの流れと同方向に動くので、注入口５０−
１から、内側ロータ２４−１に沿つて排出口５２
−１へ動いて、第２段の潤滑及び密閉作用をする
ように第２段へ入つて行く。ロータが回転する
と、油は、各ポンプ段を通つてスパイラル状の通
路を通る。

この油密閉構造によれば、駆動軸４２の直径は
内側ロータ２４−１，２４−２の谷部分の小さな
直径よりもずつと小さいのが好ましい。これによ
り、相当広範囲に油膜の途切れのない領域が形成
され、これは、油膜で密閉されたとき、内側ロー
タの端部表面と、これに対向する端部プレート又
はロータ室の表面との間でガスがバイパスするの
を防止する助けをする。表面が非常に短かく、又
は狭いと十分広い油膜は形成されず、可動部品間
を、ガスがバイパス（時々“ブローバイ”又は
“リーク”と称する）してしまい、低温レベルを
得られるポンプ能力をそこねてしまう。最も良い
密閉構造を与えると信じられている駆動軸直径に
対する内側ロータの谷部分の小径の比率は２：１
と４：１の間である。

本発明によれば、隣り合うポンプ部品間の密閉
を良くし、密閉領域をひろげるために、注入口と
排出口は、外側ロータの谷部と内側ロータの谷部
分の間にあるのが好ましく、幅は、駆動軸４２と
注入、排出口の内側周縁との間の密閉領域を最大
にするように外側ロータの谷部分の大径と、内側
ロータの谷部分の小径との間の差（Ro−Ri）（第
９図）よりも小さいことが好ましい。さらに、本
発明の推奨実施例では、注入口と排出口はポンプ
室の両端にあり、これはそれらの間の間隔を大き
くして、注入、排出口間の“リーク”を減らすの
に役立つ。

補助の油口５３（第４図）が、ポンプブロツク
の第２段に設けられて、第１段からの油の多くが
中間のバイパス弁を通して排出される時、相当の
高圧状態で、潤滑と密閉を改善している。油は、
口５３を通して、外側ロータの回転によつて生ず
る圧力差と粘性によつて第２段へ吸引される。

潤滑及び密閉油をポンプ室へ導く他の技術は、
回転中、摩耗板５６の油を通す溝と連通する内側
および／または外側ロータの端部表面に一連の小
さなくぼみを設けることであり、この溝はポンプ
ブロツクの縁を超えて延びてポンプが浸されてい
る油槽と連通する。こうして、ロータは回転しな
がら、摩耗板の油供給チヤンネルを通過する時、
選択され又は予め測定された油供給源をピツクア
ツプする。このポケツトは、注入口５０−１でつ
くられた吸引力によつて油をポンプ室へ排出す
る。ポンプが停止した時、この構造のものは、シ
ステムの真空が、ポンプから油を吸引してシステ
ム又は供給源に引き戻すことを防いでいる。

本発明のギヤロータポンプ２０は、第１１図に
示された多段速度電気回路によつて制御されるの
が好ましい。多段速度ポンプスイツチ７０は、ポ
ンプ速度を変える高速及び低速位置７２，７４を
有している。例えば、高速は、初期の排出又は低
圧ポンピング中に使用する。スイツチ７０は、抵
抗７６，７８のどちらか一方又は両方を容量80と
直列に接続することによつてポンプ速度を変え
る。この抵抗容量結合は、トライアツク８２とダ
イアツク８４と並列であり、スイツチ位置７２と
７４における容量の異なる充電速度は、モータ３
８を附勢するトライアツクの異なるスイツチオン
時間を与える。オーバーヒートすなわち、高速作
動時間が長すぎて起こるオーバーヒートに対する
唯一の保護として、熱動スイツチ６８がスイツチ
７０と並列に接続され、オーバーヒートが起こる
と同時に作動して、抵抗７７を回路に接続して回
路の時定数を変化させ、冷却のためにポンプを低
速へ切り換える。

要するに前述した特徴について言えば、流体の
ような液体を送るためにのみ通常使用されるギヤ
ロータ型ポンプを非常な低圧で、分子レベルでさ
えもガスを送るために使用でき、このようなポン
プの使用で部品間の相対的速度を低くし、耐久
性、信頼性を向上させることができる。

本発明を推奨実施例に関して説明してきたが、
特許請求した本発明の範囲は、以上の説明から直
ちに明らかなもの、僅かの研究で明らかとなる等
価なものも含んでいる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明を実施するギヤロータポンプ
の斜視図、第２図は、第１図のギヤロータポンプ
の分解斜視図、第２ａ図は、第２図に示された３
体ポンプブロツクの中心部材の前面立面図、第２
ｂ図は、第２ａ図の線２ｂ−２ｂに沿つた水平断
面図、第３図は、第２図の線３−３に沿つた組立
てたギヤロータエレメントの立面図、第４図は、
第２図の線４−４に沿つた組立てたギヤーロータ
エレメントの立面図、第５図は、第２図の線５−
５に沿つたポンプ端部プレートの内面の立面図、
第６図は、第５図の線６−６に沿つた垂直断面
図、第７〜１０図は、部分的に本発明を実施する
ギヤロータポンプの動作を説明する組立てたギヤ
ロータエレメントの順次の垂直平面図、第１１図
は、本発明で使用される速度制御及び保護回路の
概略図、 ２０……真空ポンプ、２２……ギヤロータアセ
ンブリ、２４……ギヤ型ロータ、２６……ギヤ型
ロータリング、２８……ロータ室、３０……ポン
プブロツク、３４……取付け板、３６……カバ
ー、３８……モータ、４０……シヤフト口、４２
……駆動軸、４４，４６……ロータ歯、４８−１
……ポンプ室、５０−１……注入口、５２−１…
…排出口、５３……補助オイル口、５４……チヤ
ンネル、５６……摩耗板、５８……ハンドル、６
２……端部プレート、６３……バイパス口、６４
……ポペツト弁、６８……熱働スイツチ、７０…
…多段速度ポンプスイツチ、８２……トライアツ
ク、８４……ダイアツク。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 比較的低い圧力レベルで容器等からガスを排
   除するギヤロータ真空ポンプであつて、 それらの間に円筒形のロータ室を形成すると共
   に軸受孔が形成された第１及び第２の壁部と、 その内部軸表面に複数の歯を有する外部ロータ
   と、 前記軸受孔によつて支持された軸によつて、前
   記外部ロータ内で回転可能に軸支されると共に、
   その谷径部の小径は同軸の直径よりも十分に大き
   く前記軸の直径との比率は少くとも２：１であ
   り、その外部軸表面に前記外部ロータよりも一つ
   少ない数の歯を有し、前記外部ロータに対して回
   転する際に、前記外部ロータの内部軸表面とその
   外部軸表面とが、拡大及び縮小する少なくとも一
   つのポンプ室を形成する内部ロータと、 前記容器から前記ポンプにガスを流す通路を提
   供する真空接続部と、 前記第１の壁部に形成され、前記ポンプ室が拡
   大している際の大部分の間に、前記ポンプ室と連
   通するように前記真空接続部と前記ポンプ室との
   間に配置されると共に、前記内部ロータの隣合う
   歯の間隔よりも大きな角度範囲で延在しているガ
   ス注入口と、 前記第２の壁部に形成され、前記ポンプ室の縮
   小が完了する直前に前記ポンプ室と連通するよう
   に前記ガス注入口から軸方向に間隔をおいて配置
   されると共に、前記内部ロータの隣合う歯部の間
   隔よりも小さな角度範囲で延在し、これによつて
   前記ポンプを通して流れるガスが、前記ロータの
   回転に伴つて前記注入口と排出口との間を螺旋状
   に流れるガス排出口と、 油供給源に開口すると共に前記第１の壁の軸受
   孔に連通する油注入口とを有し、 前記油供給源の圧力は、前記ポンプの作動時に
   前記ガス注入口及び前記ポンプ室内の圧力よりも
   高く、これによつて前記ポンプの作動時において
   前記ポンプ室が拡大するときに前記油供給源と前
   記ガス注入口との間に圧力差が生じ、前記ガス注
   入口を通してガスが前記容器から前記ポンプ室内
   に引かれると同時に、油が前記油注入口を通して
   前記油供給源から前記軸受孔に引かれ、次いで同
   軸受孔から、前記内部ロータの端面と、同端面に
   近接す前記第１の壁の表面との間の狭い隙間を通
   して前記ガス注入口に引かれ、これによつて前記
   ポンプの作動時に油皮膜を収容する比較的大きな
   連続領域を形成して、前記内部ロータの端面と、
   同端面に近接する第１の壁部の表面との間でガス
   がバイパスしないようにし、更に前記油注入口と
   ガス排出口は、前記外部ロータの谷部分と前記内
   部ロータの谷部分の間にあり、それらの幅は、外
   部ロータの谷部分の大径と、内部ロータの谷部分
   の小径との差よりも小さく従つて、前記注入口及
   び排出口の内側周縁との間の密閉領域を最大にす
   るようにし、前記油が前記ガス注入口と前記ポン
   プ室と連通したときに前記ポンプ室内に浸入して
   前記内部ロータと前記外部ロータの接触面を覆
   い、前記接触面との間に油被覆を形成し、前記ポ
   ンプ室が拡大及び縮小している間に前記ポンプ室
   内を気密化して比較的低い圧力でのポンピングを
   可能にすることを特徴とするギヤロータポンプ。 ２ 前記軸の直径と前記内部ロータの谷径との比
   率は２：１から４：１であることを特徴とする請
   求の範囲第１項記載のギヤロータポンプ。 ３ 前記ガス注入口の先端は前記ガス排出口の最
   も接近した端に対して、5゜から38゜の角度間隔を
   おいて配置されていることを特徴とする請求の範
   囲第１項記載のギヤロータポンプ。 ４ 前記ガス注入口は、前記内部ロータの隣合う
   歯の間隔よりも大きな角度範囲で延在しているこ
   とを特徴とする請求の範囲第１項記載のギヤロー
   タポンプ。 ５ 前記ガス排出口は、前記内部ロータの隣合う
   歯の間隔よりも小さな角度範囲で延在しているこ
   とを特徴とする請求の範囲第１項記載のギヤロー
   タポンプ。 ６ 一方に形成された排出口が他方に形成された
   注入口と連通し、かつ一方に形成された排出口が
   大気と連通する一対のロータ室を有することを特
   徴とする請求の範囲第１項記載のギヤロータポン
   プ。 ７ 通常前記排出口を閉じるスプリング付勢され
   たバルブを有することを特徴とする請求の範囲第
   １項記載のギヤロータポンプ。 ８ 前記ロータギヤを回転させるモータと、予め
   決定された量のガスが排出された時に前記モータ
   を消勢する制御手段とを更に有することを特徴と
   する請求の範囲第１項記載のギヤロータポンプ。 ９ 前記制御手段は前記モータを制御する為に配
   置された温度検知手段を有することを特徴とする
   請求の範囲第８項記載のギヤロータポンプ。