JPH03123244U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH03123244U JPH03123244U JP3310690U JP3310690U JPH03123244U JP H03123244 U JPH03123244 U JP H03123244U JP 3310690 U JP3310690 U JP 3310690U JP 3310690 U JP3310690 U JP 3310690U JP H03123244 U JPH03123244 U JP H03123244U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leak detector
- detector
- helium gas
- gas
- liquid nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 7
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例に係るヘリウムリーク
デイテクタの概略図、第２図は従来のヘリウムリ
ークデイテクタの概略図、第３図はデイテクタ本
体の外部に液体窒素冷却吸着材を設けた従来例の
ヘリウムリークデイテクタを示す概略図である。 １……コールドトラツプ、２……質量分析器、
３……油拡散真空ポンプ、４……油回転真空ポン
プ、６……多孔性吸着材、７……漏洩箇所、８…
…真空装置、９……ヘリウムガス供給容器、１０
……デイテクタ本体、１１……液体窒素。
デイテクタの概略図、第２図は従来のヘリウムリ
ークデイテクタの概略図、第３図はデイテクタ本
体の外部に液体窒素冷却吸着材を設けた従来例の
ヘリウムリークデイテクタを示す概略図である。 １……コールドトラツプ、２……質量分析器、
３……油拡散真空ポンプ、４……油回転真空ポン
プ、６……多孔性吸着材、７……漏洩箇所、８…
…真空装置、９……ヘリウムガス供給容器、１０
……デイテクタ本体、１１……液体窒素。
Claims (1)
- ヘリウムガスを検知する質量分析型の漏洩検知
器において、前記検知器に内蔵された液体窒素に
よるコールドトラツプ容器の真空部壁面の一部に
気体を吸着する吸着材を設置することを特徴とす
るヘリウムガス漏洩検知器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3310690U JPH03123244U (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3310690U JPH03123244U (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03123244U true JPH03123244U (ja) | 1991-12-16 |
Family
ID=31536493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3310690U Pending JPH03123244U (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03123244U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007335391A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Nan Ya Printed Circuit Board Corp | 燃料電池の流路板 |
| JP2008010385A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Nan Ya Printed Circuit Board Corp | 波状流路板を有する燃料電池モジュール |
-
1990
- 1990-03-29 JP JP3310690U patent/JPH03123244U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007335391A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Nan Ya Printed Circuit Board Corp | 燃料電池の流路板 |
| JP2008010385A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Nan Ya Printed Circuit Board Corp | 波状流路板を有する燃料電池モジュール |