JPH03124098U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のクリーンルームにおける精密
機器支持構造の一実施例を示す斜視図である。第
２図は第１図のクリーンルームにおける精密機器
支持構造の分解斜視図である。第３図は第１図の
支持脚を示す正面図である。第４図は第３図の支
持板を示す平面図である。第５図は第３図のボル
トを示す正面図である。第６図は第３図の−
線に沿う横断面図である。第７図乃至第１１図は
大重量体の主構造を溝形鋼、Ｌ形鋼、Ｉ形鋼、鉄
筋等により形成した状態を示す図であり、第７図
は大重量体の主構造を示す平面図である。第８図
は第７図の−線に沿う縦断面図である。第９
図は第７図の−線に沿う縦断面図である。第
１０図は外枠に補強材を配置した状態を示す平面
図である。第１１図は外枠を補強する４つのブロ
ツクを示す平面図である。第１２図は従来のクリ
ーンルームにおける精密機器支持構造を示す斜視
図である。 主要な部分の符号の説明、３１……基礎構造体
、３７……支持脚、６２……床、６３……流通空
間、６７……大重量体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) クリーンルームの基礎構造体上に、精密機
   器を支持する大重量体を配置してなるクリーンル
   ームにおける精密機器支持構造において、前記大
   重量体を、硬化材料に比重の大きな材料を添加し
   て小体積の大重量体とするとともに、この大重量
   体を、支持脚を介して前記基礎構造体に配置して
   なることを特徴とするクリーンルームにおける精
   密機器支持構造。 (2) 基礎構造体は床スラブとされており、この
   基礎構造体の上方に所定間隔を置いて床が形成さ
   れ、前記基礎構造体と前記床との曲が、清浄空気
   の流通、配管等が行なわれる流通空間とされてい
   る請求項１記載のクリーンルームにおける精密機
   器支持構造。