JPH0312436U - - Google Patents

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JPH0312436U
JPH0312436U JP7166189U JP7166189U JPH0312436U JP H0312436 U JPH0312436 U JP H0312436U JP 7166189 U JP7166189 U JP 7166189U JP 7166189 U JP7166189 U JP 7166189U JP H0312436 U JPH0312436 U JP H0312436U
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JP
Japan
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ink
ejection tube
ink ejection
tube
tip
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JP7166189U
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【図面の簡単な説明】
第１図ａ，ｂ，ｃ，ｄは本考案の一実施例の主
要部の構造及び動作を示す説明図、第２図は従来
のこの種インクマーカの一例の構造を示す説明図
、第３図ａ，ｂ，ｃは第２図に示すインクマーカ
の動作を示す説明図、第４図は第２図に示すイン
クマーカの問題点を示す説明図である。 ３ａ……管状芯棒、４……インク、５……イン
ク壷、８……インク射出管、なお図中同一符号は
同一または相当するものを示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハのスクライブ後に個々に分離したチツプ
    から不良チツプを選り分けることができるように
    、ウエハの状態で不良チツプにインクマークを付
    するインクマーカにおいて、 底部にインクを射出するためのインク射出管を
    有するインク壷と、 待機状態のときは、先端部が上記インク射出管
    内に嵌合挿入されていてインクの上記インク射出
    管内への流入を阻み、不良チツプにインクマーク
    を付するときは、上記インク射出管の軸方向に駆
    動され、先端部が一定時間上記インク射出管から
    抜き出され、インクが定量上記インク射出管内に
    流入すると、再び、先端部が上記インク射出管内
    に挿入され、中空部のエアが加圧されて上記イン
    ク射出管内のインクを射出する管状芯棒と、 信号に応じて上記管状芯棒を所定のプログラム
    に従つて駆動する駆動手段と、 信号に応じて上記管状芯棒の中空部のエアにパ
    ルス状の圧力を加え、上記インク射出管内のイン
    クを射出させる加圧手段とを備えたことを特徴と
    するインクマーカ。
JP7166189U 1989-06-21 1989-06-21 Pending JPH0312436U (ja)

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JPH0312436U true JPH0312436U (ja) 1991-02-07

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JP7166189U Pending JPH0312436U (ja) 1989-06-21 1989-06-21

Country Status (1)

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JP (1) JPH0312436U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0714252A (ja) * 1993-06-10 1995-01-17 Internatl Business Mach Corp <Ibm> ねじり剛性が高く軸方向たわみ剛性が低いドライブ・シャフト・システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0714252A (ja) * 1993-06-10 1995-01-17 Internatl Business Mach Corp <Ibm> ねじり剛性が高く軸方向たわみ剛性が低いドライブ・シャフト・システム

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