JPH03127341U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH03127341U JPH03127341U JP3654790U JP3654790U JPH03127341U JP H03127341 U JPH03127341 U JP H03127341U JP 3654790 U JP3654790 U JP 3654790U JP 3654790 U JP3654790 U JP 3654790U JP H03127341 U JPH03127341 U JP H03127341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- photomask
- image
- sprocket
- width direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の一実施例に係るフイルム露光
装置の説明図、第2図イおよびロは第1図の要部
の説明図であり、同図イはスプロケツトと押さえ
ローラのフイルム幅方向での側断面図、同図ロは
同図イの押さえローラによつて押さえ込まれるフ
イルムの部分の説明図、第3図イおよびロは本考
案の他の実施例の要部の説明図であり、同図イは
スプロケツトと押さえローラのフイルム幅方向で
の側断面図で、同図ロは同図イの押さえローラに
よつて押さえ込まれるフイルムの部分の説明図で
ある。 F……フイルム、M……フオトマスク、10…
…照射部、11……ランプ、20……投影レンズ
、30……フイルム送り機構、31……スプロケ
ツト、310……スプロケツトの歯、311……
露光側の縁、32……押さえローラ、320……
押圧部分、33……スプロケツト、34……押さ
えローラ、35,36……補助ローラ、37……
巻き出しリール、38……巻き取りリール、39
……昇降ローラ、43……ロータリーエンコーダ
、50……ステージ。
装置の説明図、第2図イおよびロは第1図の要部
の説明図であり、同図イはスプロケツトと押さえ
ローラのフイルム幅方向での側断面図、同図ロは
同図イの押さえローラによつて押さえ込まれるフ
イルムの部分の説明図、第3図イおよびロは本考
案の他の実施例の要部の説明図であり、同図イは
スプロケツトと押さえローラのフイルム幅方向で
の側断面図で、同図ロは同図イの押さえローラに
よつて押さえ込まれるフイルムの部分の説明図で
ある。 F……フイルム、M……フオトマスク、10…
…照射部、11……ランプ、20……投影レンズ
、30……フイルム送り機構、31……スプロケ
ツト、310……スプロケツトの歯、311……
露光側の縁、32……押さえローラ、320……
押圧部分、33……スプロケツト、34……押さ
えローラ、35,36……補助ローラ、37……
巻き出しリール、38……巻き取りリール、39
……昇降ローラ、43……ロータリーエンコーダ
、50……ステージ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 帯状のフイルムの長さ方向に沿つてフオトマス
クのパターンの像を順次に投影して露光するフイ
ルム露光装置であつて、 照射部と、 照射部からの光が照射される位置に配置された
フオトマスクと、 フオトマスクの像を投影する投影レンズと、 フオトマスクの像の投影位置にフイルムをステ
ツプ送りするフイルム送り機構と を具備し、 フイルム送り機構は、 フイルムの幅方向の両側のパーフオレーシヨン
に係合するスプロケツトと、 このスプロケツトにフイルムが係合するように
フイルムを押さえ込む押さえローラとを含み、 フイルムの幅方向の両側のパーフオレーシヨン
を共に係合および押さえ込み可能なように、スプ
ロケツトの歯と押さえローラの押圧部分との組が
フイルム幅方向に二組設けられ、かつ押圧部分は
スプロケツトの歯の露光側の縁より外側でフイル
ムを押さえ込む位置に設定されてなる ことを特徴とするフイルム露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3654790U JPH03127341U (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3654790U JPH03127341U (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03127341U true JPH03127341U (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=31542874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3654790U Pending JPH03127341U (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03127341U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58156939A (ja) * | 1982-03-12 | 1983-09-19 | Citizen Watch Co Ltd | 露光装置 |
-
1990
- 1990-04-06 JP JP3654790U patent/JPH03127341U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58156939A (ja) * | 1982-03-12 | 1983-09-19 | Citizen Watch Co Ltd | 露光装置 |