JPH03129103A - サーボアクチュエータ - Google Patents
サーボアクチュエータInfo
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- JPH03129103A JPH03129103A JP26745989A JP26745989A JPH03129103A JP H03129103 A JPH03129103 A JP H03129103A JP 26745989 A JP26745989 A JP 26745989A JP 26745989 A JP26745989 A JP 26745989A JP H03129103 A JPH03129103 A JP H03129103A
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- Japan
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- piston
- servo actuator
- signal
- displacement
- electro
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は航空機の姿勢制御等に用いるサーボアクチュエ
ータにに関する。より詳しくは、複数のサーボアクチュ
エータを並列作動させるシステムにおいてサーボアクチ
ュエータ間のフォースファイトを減少できるようにした
ものである。
ータにに関する。より詳しくは、複数のサーボアクチュ
エータを並列作動させるシステムにおいてサーボアクチ
ュエータ間のフォースファイトを減少できるようにした
ものである。
更に本発明は並列作動するサーボアクチュエータの安定
性補償を向上させるものである。
性補償を向上させるものである。
また、単独で作動させるサーボシステムに用いた場合に
も安定性の補償が行えるサーボアクチュエータに関する
。
も安定性の補償が行えるサーボアクチュエータに関する
。
従来用いられる電油サーボアクチュエータにおいては、
電気信号を油圧信号に変換する電油変換手段、該電油変
換手段により作動されるアクチュエータ、該アクチュエ
ータの出力部材の位置を検出し位置電気信号を発信する
位置検出器、該位置検出器からの位置信号と指令信号と
を比較して偏差信号を発信する加算器、該加算器からの
偏差信号を増幅して前記電油変換手段へ入力する増幅器
からなる電油サーボアクチュエータからなっている。
電気信号を油圧信号に変換する電油変換手段、該電油変
換手段により作動されるアクチュエータ、該アクチュエ
ータの出力部材の位置を検出し位置電気信号を発信する
位置検出器、該位置検出器からの位置信号と指令信号と
を比較して偏差信号を発信する加算器、該加算器からの
偏差信号を増幅して前記電油変換手段へ入力する増幅器
からなる電油サーボアクチュエータからなっている。
特に航空機等においては、サーボシステムの信頼性を確
保するため、並列に設けた複数のサーボアクチュエータ
を共通する一つの制御対象に連結し、同じ一つの指令信
号をサーボ増幅器に入力して、1台のサーボアクチュエ
ータが故障したときにも、他のサーボアクチュエータに
より正常に作動させることが行われている。
保するため、並列に設けた複数のサーボアクチュエータ
を共通する一つの制御対象に連結し、同じ一つの指令信
号をサーボ増幅器に入力して、1台のサーボアクチュエ
ータが故障したときにも、他のサーボアクチュエータに
より正常に作動させることが行われている。
この場合に、個々のコンポーネントゲインのバラツキや
、零点のずれ、取付誤差等の影響により、各々のサーボ
アクチュエータの出力に誤差が生じる。その結果、負荷
がなくても両サーボアクチュエータ間に互いに他方のサ
ーボアクチュエータから外力が加わる現象、いわゆるフ
ォースファイトが生じる。
、零点のずれ、取付誤差等の影響により、各々のサーボ
アクチュエータの出力に誤差が生じる。その結果、負荷
がなくても両サーボアクチュエータ間に互いに他方のサ
ーボアクチュエータから外力が加わる現象、いわゆるフ
ォースファイトが生じる。
このフォースファイトを防止する対策、すなわち剛性調
整機構として、従来から、 a)シリンダ室の差圧を検出し、この差圧を電油圧サー
ボバルブのコントロールバルブの軸力として帰還する方
法、 b)シリンダ室間の漏れ量を強制的に増加する方法、 等が提案されている。
整機構として、従来から、 a)シリンダ室の差圧を検出し、この差圧を電油圧サー
ボバルブのコントロールバルブの軸力として帰還する方
法、 b)シリンダ室間の漏れ量を強制的に増加する方法、 等が提案されている。
しかしながら、
a)のシリンダ室の差圧を帰還する方法は、コストが高
く、製造公差が極めて大きい、等の問題がある。
く、製造公差が極めて大きい、等の問題がある。
一方、b)のシリンダ室間の漏れ量を増加する方法は、
パワーロスが発生する、 等の問題点がある。
パワーロスが発生する、 等の問題点がある。
サーボシステムの安定性補償機構としては、従来から、
a)電気的フィルタによる補償
b)油圧的に両シリンダ間の差圧を微分し、両シリンダ
間の漏洩量を制御する方法、 等が提案されている。
間の漏洩量を制御する方法、 等が提案されている。
しかしながら、
a)の電気的フィルタによる補償方法は、信頼性が低い
、 という問題がある。
、 という問題がある。
また、b)の油圧的に差圧を微分し両シリンダ間の漏洩
量を制御する方法は、作動油中の異物によるバイパスパ
ルプの固着や、作動油中に混入したエアによる安定性の
劣化等があり、信頼性が極めて低く、また、コストが高
い、 等の問題がある。
量を制御する方法は、作動油中の異物によるバイパスパ
ルプの固着や、作動油中に混入したエアによる安定性の
劣化等があり、信頼性が極めて低く、また、コストが高
い、 等の問題がある。
本発明は従来技術に付随する問題点に鑑み、信頼性が高
く、低コストで、製造公差が小さく、パワーロスが極め
て少ない等の特徴を備えた剛性調整機構および安定性補
償機構を具備したサーボアクチュエータを提供するもの
である。
く、低コストで、製造公差が小さく、パワーロスが極め
て少ない等の特徴を備えた剛性調整機構および安定性補
償機構を具備したサーボアクチュエータを提供するもの
である。
本発明はサーボアクチュエータのピストンロッドの変形
量を機械的に帰還して剛性調整または安定性補償を行な
うようにしたことを特徴とするサーボアクチュエータに
より、上記課題を達成する。
量を機械的に帰還して剛性調整または安定性補償を行な
うようにしたことを特徴とするサーボアクチュエータに
より、上記課題を達成する。
本発明においては、電気信号を油圧信号に変換する電油
変換手段、該電油変換手段により作動されるアクチュエ
ータ、該アクチュエータの出力部材の位置を検出し位置
電気信号を発信する位置検出器、該位置検出器からの位
置信号と指令信号とを比較して偏差信号を発信する加算
器、該、加算器からの偏差信号を前記電油変換手段へ入
力する電油サーボアクチュエータにおいて、該サーボア
クチュエータのピストンロッド部の外力に伴なう変形量
を機械的に検出し、機械的変位増幅機+Mにより増幅し
て、この変位を位置検出装置に帰還するようにしたこと
を特徴とするサーボアクチュエータとすることが好まし
い。
変換手段、該電油変換手段により作動されるアクチュエ
ータ、該アクチュエータの出力部材の位置を検出し位置
電気信号を発信する位置検出器、該位置検出器からの位
置信号と指令信号とを比較して偏差信号を発信する加算
器、該、加算器からの偏差信号を前記電油変換手段へ入
力する電油サーボアクチュエータにおいて、該サーボア
クチュエータのピストンロッド部の外力に伴なう変形量
を機械的に検出し、機械的変位増幅機+Mにより増幅し
て、この変位を位置検出装置に帰還するようにしたこと
を特徴とするサーボアクチュエータとすることが好まし
い。
また、機械的変位増幅機構は実施例に示すようにリンク
機構で構成することが好ましい。
機構で構成することが好ましい。
本発明においては、フォースファイト等の外力を、ピス
トンロッドの変形量によって検出し、これをリンク等の
機械的1曽幅機溝によって増幅し、アクチュエータの位
置検出器の検出部ロッドと検出ポイントとの相対変位量
として帰還することによって、外部荷重の作用方向と逆
方向に検出部ロッドを作動させ、このようにして外力を
帰還して、アクチュエータの等価剛性を低下させるとと
もに安定性をも増大させることが可能となる。
トンロッドの変形量によって検出し、これをリンク等の
機械的1曽幅機溝によって増幅し、アクチュエータの位
置検出器の検出部ロッドと検出ポイントとの相対変位量
として帰還することによって、外部荷重の作用方向と逆
方向に検出部ロッドを作動させ、このようにして外力を
帰還して、アクチュエータの等価剛性を低下させるとと
もに安定性をも増大させることが可能となる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第1図は、本発明の第1実施例の断面図である。
シリンダ型アクチュエータは、円筒状をしたシリンダ1
4と、シリンダ14内に摺動可能に装着されたピストン
ヘッド13からなり、ピストンヘッド13に筒状のピス
トン7が連結され、ピストン7の端部(ロッドエンド)
9は制御対象(図示せず)に連結可能である。
4と、シリンダ14内に摺動可能に装着されたピストン
ヘッド13からなり、ピストンヘッド13に筒状のピス
トン7が連結され、ピストン7の端部(ロッドエンド)
9は制御対象(図示せず)に連結可能である。
電気信号を油圧信号に変換する電油変換手段4は、シリ
ンダ型アクチュエータ15のシリンダ室15a、15b
に連結している。
ンダ型アクチュエータ15のシリンダ室15a、15b
に連結している。
ピストンヘッド13はシリンダ14に摺動可能に密封状
に嵌合され、シリンダ室15a、15bが形成されてお
り、ピストンヘッド13の両側にシリンダ室15a、1
5bの作動油圧が作用する。
に嵌合され、シリンダ室15a、15bが形成されてお
り、ピストンヘッド13の両側にシリンダ室15a、1
5bの作動油圧が作用する。
16.17はシールである。
シリンダ型アクチュエータ15の左端部には、LVDT
(線形可変差動変圧器)5が設けられている。LVD
T5は、復調器3に接続しており、復調器3は、加算器
1に接続している。
(線形可変差動変圧器)5が設けられている。LVD
T5は、復調器3に接続しており、復調器3は、加算器
1に接続している。
加算器1はサーボ指令信号を受け、そのサーボ指令信号
と復調器3からの信号の差の偏差を出力し、増幅器2に
入力する。増幅器2は、偏差を増幅して電油変換手段4
へ入力する。
と復調器3からの信号の差の偏差を出力し、増幅器2に
入力する。増幅器2は、偏差を増幅して電油変換手段4
へ入力する。
上記構成により、バイアス指令信号を受けると、増幅器
2により増幅された信号が電池変換手段4に入力さ、れ
、ピストンヘッド13を移動させる。
2により増幅された信号が電池変換手段4に入力さ、れ
、ピストンヘッド13を移動させる。
ピストン7の内部には、円筒状をしたスリーブ12がピ
ストン7と同軸状に設けられ、スリーブ12の根元側端
部はピストン7の内周に固着されている。
ストン7と同軸状に設けられ、スリーブ12の根元側端
部はピストン7の内周に固着されている。
ピストン7とスリーブ12の間にピストンロッドの変形
量を機械的に検出、増幅し、LVDT5へ帰還するため
の機械的変位増幅機構が設けられている。以下その構造
を説明する。
量を機械的に検出、増幅し、LVDT5へ帰還するため
の機械的変位増幅機構が設けられている。以下その構造
を説明する。
スリーブ12の先端部12aは、第2図に示すように斜
めに形成され、この傾斜部12aに対向する周面には矩
形状の開口12bが形成されている。
めに形成され、この傾斜部12aに対向する周面には矩
形状の開口12bが形成されている。
前述したピストン7のロッドエンド9近傍に形成された
環状四部にはアーマチュア10が一体的に取着されてい
る。
環状四部にはアーマチュア10が一体的に取着されてい
る。
アーマチュア10は第3図〜第5図に示すように、ピス
トン7に嵌合する円筒状をしたサポート面10aの内周
の一部分から矩形状断面をした本体10bが対向するサ
ポート面10aの直前まで垂下している。本体10bに
は、サポート面10aの内側にサポート面10aと同軸
状に円弧状の係合片10eが形成されており、係合片1
0eの軸方向の両端面はスリーブ12の開口12bと嵌
合する(点P2)。
トン7に嵌合する円筒状をしたサポート面10aの内周
の一部分から矩形状断面をした本体10bが対向するサ
ポート面10aの直前まで垂下している。本体10bに
は、サポート面10aの内側にサポート面10aと同軸
状に円弧状の係合片10eが形成されており、係合片1
0eの軸方向の両端面はスリーブ12の開口12bと嵌
合する(点P2)。
アーマチュア10の本体10aの下端部にアーマチュア
10の軸線に直交する方向に小孔10cが穿たれている
。
10の軸線に直交する方向に小孔10cが穿たれている
。
スライダ8がスリーブ12内を摺動可能に設けられてお
り、スライダ8とアーマチュア10の小孔10cとはリ
ンク11により連結されている。
り、スライダ8とアーマチュア10の小孔10cとはリ
ンク11により連結されている。
また、スライダ8は連結棒6を介してLVDT5に連結
されている。
されている。
次に本実施例の作用を述べる。アーマチュア10は軸線
方向(第4図においてC方向)に揺動可能であり、スリ
ーブ12と点P2において係合しく第1図参照)、係合
点P2を支点としてピストン7上の点Piの変位は本体
10bにより増幅されて小孔10cの位置の点P3に出
力される。
方向(第4図においてC方向)に揺動可能であり、スリ
ーブ12と点P2において係合しく第1図参照)、係合
点P2を支点としてピストン7上の点Piの変位は本体
10bにより増幅されて小孔10cの位置の点P3に出
力される。
従って、点P1と22間の長さを41.点P2と43間
の長さを12とすると(第3図参照)、ロッドエンド9
に作用する外力によるピストンヘッド13とアーマチュ
ア10間の長さLの領域でのピストン7の変形量は12
/!1倍に増幅され小孔10c位置P3の変位に変換さ
れ、スライダ8を介してLVDTロッド6の変位に帰還
される。
の長さを12とすると(第3図参照)、ロッドエンド9
に作用する外力によるピストンヘッド13とアーマチュ
ア10間の長さLの領域でのピストン7の変形量は12
/!1倍に増幅され小孔10c位置P3の変位に変換さ
れ、スライダ8を介してLVDTロッド6の変位に帰還
される。
作用方向について述べる。今、指令信号が零の状態にお
いて、仮にロッドエンド9に矢印A方向(第1図)の引
張り荷重が作用したとすると、ピストン7の長さLの領
域の長さは長くなり(A方向へ動<)、アーマチュア1
0の支点P2に対するPLの変位方向はA方向に移動し
、LVDTロッド6は矢印B方向へ△X動く。その結果
、ピストンロッドは僅かにA方向へ動いているにもかか
わらず、ΔX相当のB方向の等価帰還がかけられる。こ
の帰還信号により、電油変換手段4は、作動油をシリン
ダ室15aへ流入させると共にシリンダ室15b内の作
動油を逃がす(排出する)ように作動し、従って、ピス
トン7は矢印A方向へ移動する。そのため、サーボアク
チュエータの剛性が低下し、2またはそれ以上のサーボ
アクチュエータが並列に1つの制御対象に結合されてい
る場合は、各種誤差によるフォースファイトは減少する
。
いて、仮にロッドエンド9に矢印A方向(第1図)の引
張り荷重が作用したとすると、ピストン7の長さLの領
域の長さは長くなり(A方向へ動<)、アーマチュア1
0の支点P2に対するPLの変位方向はA方向に移動し
、LVDTロッド6は矢印B方向へ△X動く。その結果
、ピストンロッドは僅かにA方向へ動いているにもかか
わらず、ΔX相当のB方向の等価帰還がかけられる。こ
の帰還信号により、電油変換手段4は、作動油をシリン
ダ室15aへ流入させると共にシリンダ室15b内の作
動油を逃がす(排出する)ように作動し、従って、ピス
トン7は矢印A方向へ移動する。そのため、サーボアク
チュエータの剛性が低下し、2またはそれ以上のサーボ
アクチュエータが並列に1つの制御対象に結合されてい
る場合は、各種誤差によるフォースファイトは減少する
。
なお、サーボアクチュエータ作動方向は外力と同方向で
ある。従って、外力を加えたときにサーボアクチュエー
タは、その外力を低下させる方向へ作用するため、安定
性は増大する。
ある。従って、外力を加えたときにサーボアクチュエー
タは、その外力を低下させる方向へ作用するため、安定
性は増大する。
なお、上述した実施例においては、リンクによる増幅を
1段としたが、2段増幅以上とすることにより、更にそ
の効果は増大可能である。
1段としたが、2段増幅以上とすることにより、更にそ
の効果は増大可能である。
本発明の第2実施例を第6図および第7図を参照して説
明する。
明する。
第6図に示す第2実施例においては、シリンダ14、シ
リンダ14の内部に設けられたLVDT5、LVDT5
に接続された復調器3、加算器1、増幅器2、電油変換
手段4等の構成は第1図に示した実施例と同様であるの
で、第1図と同様な部材については同一の符号を付し、
それらの説明は省略する。
リンダ14の内部に設けられたLVDT5、LVDT5
に接続された復調器3、加算器1、増幅器2、電油変換
手段4等の構成は第1図に示した実施例と同様であるの
で、第1図と同様な部材については同一の符号を付し、
それらの説明は省略する。
第2実施例においても、ピストン7の内側にピストン7
と同軸上にスリーブ12か設けられており、スリーブ1
2の端部(第6図においては左側端部)はピストン7に
一体的に結合されている。
と同軸上にスリーブ12か設けられており、スリーブ1
2の端部(第6図においては左側端部)はピストン7に
一体的に結合されている。
スリーブ7の先端部12aは第1実施例と同様に斜めに
形成されており、スリーブ12の先端側周面には、円形
状の孔12bが形成されている。
形成されており、スリーブ12の先端側周面には、円形
状の孔12bが形成されている。
また、ピストン7のスリーブ12の先端部と対応する位
置には、以下に記載する方法により、円筒部材20がピ
ストン7と一体的に且つスリーブ12の外側を囲むよう
に設けられている。
置には、以下に記載する方法により、円筒部材20がピ
ストン7と一体的に且つスリーブ12の外側を囲むよう
に設けられている。
すなわち、ピストン7の内部に形成された円形断面の凹
部内に、円筒部材20が装着され、その右側端部には、
皿ばね21が装着され、更にロッドエンド9がピストン
7に螺合連結されている。
部内に、円筒部材20が装着され、その右側端部には、
皿ばね21が装着され、更にロッドエンド9がピストン
7に螺合連結されている。
これにより円筒部材20は、皿ばね21によりピストン
7内の凹部に固定的に位置されている。なお、符号31
は円筒部材20の左側先端面とピストン7との間に設け
られたシムである。
7内の凹部に固定的に位置されている。なお、符号31
は円筒部材20の左側先端面とピストン7との間に設け
られたシムである。
円筒部材20には、前述したスリーブ12の円形孔12
bに対応する位置に、円形孔20aが形成されており、
円形孔20aと中心軸を挟んで反対側で且つ軸線方向に
変位した位置には、円形孔20bが形成されている。
bに対応する位置に、円形孔20aが形成されており、
円形孔20aと中心軸を挟んで反対側で且つ軸線方向に
変位した位置には、円形孔20bが形成されている。
円形孔12bおよび20aにはL字形状をしたリンク2
2が嵌着されている。リンク22の上端部は球面状をし
ており、ピストン7の内周面と点接触するようになって
いる。更に、リンク22は、円形孔12b、20Hに対
応する位置に環状の突起部22b、22aを有している
。突起部22b、22aの放射方向外周面はそれぞれ球
面状に形成されている。
2が嵌着されている。リンク22の上端部は球面状をし
ており、ピストン7の内周面と点接触するようになって
いる。更に、リンク22は、円形孔12b、20Hに対
応する位置に環状の突起部22b、22aを有している
。突起部22b、22aの放射方向外周面はそれぞれ球
面状に形成されている。
リンク22の下端部には、第6図の平面図で見た場合に
、同じくL字状となるリンク24の底部がボルト23に
より一体的に締結されている。リンク24の底部24a
に連結した本体部24bに小孔24cが形成され、本体
部24bは、リンク25の小孔25cに枢着されたビン
26を介してリンク25に枢動可能に連結されている。
、同じくL字状となるリンク24の底部がボルト23に
より一体的に締結されている。リンク24の底部24a
に連結した本体部24bに小孔24cが形成され、本体
部24bは、リンク25の小孔25cに枢着されたビン
26を介してリンク25に枢動可能に連結されている。
リンク25は第6図に示すように、その下端部に形成さ
れた円筒状部25bが円筒部拐20に形成された円形孔
20bに嵌合されるようになっている。なお、リンク2
5の円筒状部25bおよび下端先端部はそれぞれ球面状
をしている。
れた円筒状部25bが円筒部拐20に形成された円形孔
20bに嵌合されるようになっている。なお、リンク2
5の円筒状部25bおよび下端先端部はそれぞれ球面状
をしている。
上述のようにリンク24の先端部に形成された小孔24
cとリンク25に形成された小孔25cがピン26によ
り枢着されている。
cとリンク25に形成された小孔25cがピン26によ
り枢着されている。
リンク25の先端部には、小孔25dが形成されている
。リンク28は小孔28a、28bを有している。リン
ク25とリンク28は小孔25dと小孔28aに装着さ
れたピン27により連結されている。リンク28の他の
小孔28bはピン2つによりスライダー8に枢着されて
いる。
。リンク28は小孔28a、28bを有している。リン
ク25とリンク28は小孔25dと小孔28aに装着さ
れたピン27により連結されている。リンク28の他の
小孔28bはピン2つによりスライダー8に枢着されて
いる。
また、LVDTロッド6の先端に設けられたスライダ8
の左側端面とスリーブ12の間には、各リンク22.2
4.25.28間のバックラッシを無くすための与圧ス
プリング2つが装着されている。なお、符号30はスラ
イダ8の外周面とスリーブ12の間に装着されたウェア
リングである。
の左側端面とスリーブ12の間には、各リンク22.2
4.25.28間のバックラッシを無くすための与圧ス
プリング2つが装着されている。なお、符号30はスラ
イダ8の外周面とスリーブ12の間に装着されたウェア
リングである。
以上の構成からなる第2実施例においては、ロッドエン
ド9に作用した外力によりピストン7が移動すると、こ
の移動および外力に伴うピストンの変形は円筒部材20
からリンク22の円弧状の凸部22aに伝えられる。
ド9に作用した外力によりピストン7が移動すると、こ
の移動および外力に伴うピストンの変形は円筒部材20
からリンク22の円弧状の凸部22aに伝えられる。
一方、ロッドエンドaの外力による変形から切り離され
ているスリーブ12により、ピストン7の変位そのもの
はスリーブ12を介してリンク22の円形凸部22bに
伝えられる。
ているスリーブ12により、ピストン7の変位そのもの
はスリーブ12を介してリンク22の円形凸部22bに
伝えられる。
これらにより、ロッドエンド9に作用した外力によるピ
ストン7の変形はリンク22に伝えられ、第7図に示す
ように環状突起部22b間の距離llに対する環状突起
部22bとリンク22を連結しているピン26との間の
距離12との比率、すなわち12/!L、により拡大さ
れ、リンク25に伝えられる。また、リンク25によっ
て、■筒形状部25bとピン26の間の距Mj13と、
円筒形状部25bとピン27の間の距Mj14との比率
、すなわち、44/43の比率により増幅される。
ストン7の変形はリンク22に伝えられ、第7図に示す
ように環状突起部22b間の距離llに対する環状突起
部22bとリンク22を連結しているピン26との間の
距離12との比率、すなわち12/!L、により拡大さ
れ、リンク25に伝えられる。また、リンク25によっ
て、■筒形状部25bとピン26の間の距Mj13と、
円筒形状部25bとピン27の間の距Mj14との比率
、すなわち、44/43の比率により増幅される。
以上のように、ピストン7の変形により生ずる環状突起
部22bの変位は、2段に増幅され、すなわち、C12
・、e4 )/ (4113)倍に増幅されてスライダ
8に伝達される。
部22bの変位は、2段に増幅され、すなわち、C12
・、e4 )/ (4113)倍に増幅されてスライダ
8に伝達される。
更に、ピストン7の変形は、リンク25の円筒状部25
bも直接変位させるから、その変位分は44/43倍に
拡大されてスライダ8に伝達される。
bも直接変位させるから、その変位分は44/43倍に
拡大されてスライダ8に伝達される。
以上の結果、ピストン7の変形は、
(J2 ・44 )/ (4113)+j4 /j3倍
に拡大されてスライダ8に伝達されるこの結果、本実施
例によれば、外力によるロッドエンド9の変形量を非常
に増幅した状態でLVDTロッド6へ帰還することがで
きる。また、本実施例の構造は第6図からも明らかなよ
うに、工作および製造が非常に容易な形状となっている
。
に拡大されてスライダ8に伝達されるこの結果、本実施
例によれば、外力によるロッドエンド9の変形量を非常
に増幅した状態でLVDTロッド6へ帰還することがで
きる。また、本実施例の構造は第6図からも明らかなよ
うに、工作および製造が非常に容易な形状となっている
。
また、本実施例においては、リンク22.24.25.
28の各連結部におけるバックラッシを与圧スプリング
29によりなくすようにしているためにバックラッシの
影響も非常に減することができる。
28の各連結部におけるバックラッシを与圧スプリング
29によりなくすようにしているためにバックラッシの
影響も非常に減することができる。
なお、第1実施例および第2実施例においてロッドエン
ド9に軸方向外力のみならず軸方向に垂直な外力も加わ
るような使用方法を取る場合には、その垂直な外力が第
1図および第2図において紙面に直交する方向に作用す
るように設定することが好ましい。
ド9に軸方向外力のみならず軸方向に垂直な外力も加わ
るような使用方法を取る場合には、その垂直な外力が第
1図および第2図において紙面に直交する方向に作用す
るように設定することが好ましい。
以上、説明したように、本発明によれば下記の効果が奏
される。
される。
1)シリンダ内差圧検出機構が不要であり、帰還ポイン
トがLVDTであるため、低コストである。
トがLVDTであるため、低コストである。
2)固定絞り、及び、作動油浸漬部に摺動部等がないた
め、作動油混入異物等により、本機構が作動不良を起こ
すことがなく、更に、1)項等の理由により、信頼性が
高い。
め、作動油混入異物等により、本機構が作動不良を起こ
すことがなく、更に、1)項等の理由により、信頼性が
高い。
3)軽量/省スペースである。
4)外力検出を目的として、両シリンダ間差圧を検出す
る方法を採っていないため、ピストンシール部の摩擦力
による分解能劣化の現象は発生しない。
る方法を採っていないため、ピストンシール部の摩擦力
による分解能劣化の現象は発生しない。
5)製造公差が小さい。
第1図は本発明の第1実施例の断面図、第2図は第1実
施例の要部の斜視図、第3図(a)は第1実施例の別の
要部の正面図、第3図(b)は平面図、第4図は第3図
の断面図、第5図は第3図の斜視図、第6図は第2実施
例の要部断面図、第7図は第2実施例の作用を説明する
線図である。 1・・・電油変換手段、 4・・・シリンダ型アクチュエータ、 5・・・LVDT、 6・・・復調器、7・・・
増幅器、 10・・・アーマチュア、16・・・加
算器、 20・・・円筒部材。
施例の要部の斜視図、第3図(a)は第1実施例の別の
要部の正面図、第3図(b)は平面図、第4図は第3図
の断面図、第5図は第3図の斜視図、第6図は第2実施
例の要部断面図、第7図は第2実施例の作用を説明する
線図である。 1・・・電油変換手段、 4・・・シリンダ型アクチュエータ、 5・・・LVDT、 6・・・復調器、7・・・
増幅器、 10・・・アーマチュア、16・・・加
算器、 20・・・円筒部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、サーボアクチュエータのピストンロッドの変形量を
機械的に帰還して剛性調整を行なうようにしたことを特
徴とするサーボアクチュエータ。 2、サーボアクチュエータのピストンロッドの変形量を
機械的に帰還して安定性補償を行なうようにしたことを
特徴とするサーボアクチュエータ。 3、電気信号を油圧信号に変換する電油変換手段、該電
油変換手段により作動されるアクチュエータ、該アクチ
ュエータの出力部材の位置を検出し位置電気信号を発信
する位置検出器、該位置検出器からの位置信号と指令信
号とを比較して偏差信号を発信する加算器、該加算器か
らの偏差信号を前記電油変換手段へ入力する電油サーボ
アクチュエータにおいて、該サーボアクチュエータのピ
ストンロッド部の外力に伴なう変形量を機械的に検出し
、機械的変位増幅機構により増幅して、この変位を位置
検出装置に帰還するようにしたことを特徴とするサーボ
アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26745989A JPH03129103A (ja) | 1989-10-14 | 1989-10-14 | サーボアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26745989A JPH03129103A (ja) | 1989-10-14 | 1989-10-14 | サーボアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03129103A true JPH03129103A (ja) | 1991-06-03 |
Family
ID=17445136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26745989A Pending JPH03129103A (ja) | 1989-10-14 | 1989-10-14 | サーボアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03129103A (ja) |
-
1989
- 1989-10-14 JP JP26745989A patent/JPH03129103A/ja active Pending
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