JPH03129657A - 同時検出型質量分析装置 - Google Patents
同時検出型質量分析装置Info
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- JPH03129657A JPH03129657A JP2062006A JP6200690A JPH03129657A JP H03129657 A JPH03129657 A JP H03129657A JP 2062006 A JP2062006 A JP 2062006A JP 6200690 A JP6200690 A JP 6200690A JP H03129657 A JPH03129657 A JP H03129657A
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- Japan
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- lens
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、同時検出型質量分析装置に関し、特に質量分
析系によるイオンの収束展開面を回転させることのでき
る同時検出型質量分析装置に関する。
析系によるイオンの収束展開面を回転させることのでき
る同時検出型質量分析装置に関する。
［槌来技術］
第７図は、同時検出型質量分析装置の一例を示している
。図においてイオン源１で生成されたイオンは、円筒電
場２及び扇形−様磁場３から構成される質量分析系によ
り、収束展開面りに沿って質量電荷比に応じて収束展開
される。この展開されたイオンを同時検出するため、収
束展開面ｐに沿って同時検出型イオン検出器４が配置さ
れる。
。図においてイオン源１で生成されたイオンは、円筒電
場２及び扇形−様磁場３から構成される質量分析系によ
り、収束展開面りに沿って質量電荷比に応じて収束展開
される。この展開されたイオンを同時検出するため、収
束展開面ｐに沿って同時検出型イオン検出器４が配置さ
れる。
このイオン検出器４としては、例えばマイクロチャンネ
ルプレートや半導体微小イオン検出器アレイを用いたイ
オン検出器のように、異なった位置に入射したイオンを
別個に区別して検出することが可能なイオン検出器が使
用される。
ルプレートや半導体微小イオン検出器アレイを用いたイ
オン検出器のように、異なった位置に入射したイオンを
別個に区別して検出することが可能なイオン検出器が使
用される。
［発明が解決しようとする課題］
上述の様に同時検出型イオン検出器を用いた質量分析装
置においては、イオン検出器の検出面をイオン収束展開
面ｇに正確に沿うように配置する必要があるが、このた
めの調整はイオン検出器を機械的に移動させて行わねば
ならず、必ずしも容易ではないという問題がある。
置においては、イオン検出器の検出面をイオン収束展開
面ｇに正確に沿うように配置する必要があるが、このた
めの調整はイオン検出器を機械的に移動させて行わねば
ならず、必ずしも容易ではないという問題がある。
更に、以下に述べるような課題も残されている。
いま、イオン中心軌道Ｏを通るイオンの質量をｍｏ、検
出器４の両端に入射するイオンの質量をｍａｌ ｍｂ
ｓ検出器４の長さをり、質量分析器の質量分散をＡγと
すると、検出器４によって同時検出できる質量範囲Δｍ
は、下式で表わされる。
出器４の両端に入射するイオンの質量をｍａｌ ｍｂ
ｓ検出器４の長さをり、質量分析器の質量分散をＡγと
すると、検出器４によって同時検出できる質量範囲Δｍ
は、下式で表わされる。
Δｍ＝ Ｉ ｍｂ −ｍａ
−（Ｌ／Ａγ） ｍｏ ・・・（１）一方、
検出器４の空間分解能をｄとすると、検出器４によって
決定される質量分解能Ｒの制限は、下式で表わされる。
検出器４の空間分解能をｄとすると、検出器４によって
決定される質量分解能Ｒの制限は、下式で表わされる。
Ｒ≦Ａγ／ｄ ・・・（２）通常、Ｌ及
びｄは検出器を決定すると決まってしまい、自由に選ぶ
ことは出来ない。そのため、例えば（１）式に従って質
量範囲を大きくするためにＡγを小さくすると、（２）
式より分解能が小さくなる。そのため、装置設計者は、
質量範囲と分解能の兼ね合いで、適当なところで妥協し
なければならなかった。即ち、同じ装置では、質量範囲
と分解能の両立は出来ない。
びｄは検出器を決定すると決まってしまい、自由に選ぶ
ことは出来ない。そのため、例えば（１）式に従って質
量範囲を大きくするためにＡγを小さくすると、（２）
式より分解能が小さくなる。そのため、装置設計者は、
質量範囲と分解能の兼ね合いで、適当なところで妥協し
なければならなかった。即ち、同じ装置では、質量範囲
と分解能の両立は出来ない。
本発明は、上述した点に鑑みてなされたものであり、質
量分析系によるイオンの収束展開面とイオン中心軌道と
の成す角度を任意に変化し得る装置を提供することによ
り、上記問題点及び課題を解決することを目的としてい
る。
量分析系によるイオンの収束展開面とイオン中心軌道と
の成す角度を任意に変化し得る装置を提供することによ
り、上記問題点及び課題を解決することを目的としてい
る。
［課題を解決するための手段］
この目的を達成するため、本発明は、イオン源と、該イ
オン源で生成されたイオンが導入される少なくとも扇形
磁場を含む質量分析系と、該質量分析系によって質量電
荷比に応じて収束展開されたイオンを同時検出するため
、その収束展開面に沿って配置されるイオン検出器とを
備えた同時検出型質量分析装置において、前記扇形磁場
とイオン検出器との間のイオン通路上に強度を変化し得
る６電極レンズを配置したことを特徴としている。
オン源で生成されたイオンが導入される少なくとも扇形
磁場を含む質量分析系と、該質量分析系によって質量電
荷比に応じて収束展開されたイオンを同時検出するため
、その収束展開面に沿って配置されるイオン検出器とを
備えた同時検出型質量分析装置において、前記扇形磁場
とイオン検出器との間のイオン通路上に強度を変化し得
る６電極レンズを配置したことを特徴としている。
［作用］
質量分析系に含まれる扇形磁場と同時検出型イオン検出
器との間のイオン通路上に配置される６電極レンズの強
度を変えると、収束展開面ρとイオン中心軌道との成す
角度を任意に変化させることができる。
器との間のイオン通路上に配置される６電極レンズの強
度を変えると、収束展開面ρとイオン中心軌道との成す
角度を任意に変化させることができる。
［実施例］
以下、図面に基づき、本発明の一実施例を詳説する。
第１図は本発明を実施した同時検出型質量分析装置の一
例を示すイオン光学図である。第１図の実施例が第６図
の従来例と叉なるのは、−様扇形磁場３とイオン検出器
４との間のイオン通路上に６電極レンズ５を挿入した点
である。この６電極レンズ５は、レンズ制御回路６によ
りそのレンズ強度が制御される。
例を示すイオン光学図である。第１図の実施例が第６図
の従来例と叉なるのは、−様扇形磁場３とイオン検出器
４との間のイオン通路上に６電極レンズ５を挿入した点
である。この６電極レンズ５は、レンズ制御回路６によ
りそのレンズ強度が制御される。
′第２図は、６ｆｆｉ極レンズ５のＢ−Ｂ断面図を示し
ている。第２図において、６電極レンズ５は６０＠間隔
で同一円周上に配置される６本の円筒電極ＰＬ−Ｐ６か
ら構成される。各電極には、制御回路６から＋Ｅ、−Ｈ
の電圧が印加される。
ている。第２図において、６電極レンズ５は６０＠間隔
で同一円周上に配置される６本の円筒電極ＰＬ−Ｐ６か
ら構成される。各電極には、制御回路６から＋Ｅ、−Ｈ
の電圧が印加される。
ここで、６電極レンズ５の働きについて説明する。第２
図のように配置された６電極レンズにより６！ＩＩ（極
電場が発生され、この６電極電場内において光軸に垂直
な面（ｘ−ｙ平面）上の任意の位置（ｘ、 ｙ）のポ
テンシャルＶは、次式で示される値Ｖ （ｘ、ｙ）をと
る。
図のように配置された６電極レンズにより６！ＩＩ（極
電場が発生され、この６電極電場内において光軸に垂直
な面（ｘ−ｙ平面）上の任意の位置（ｘ、 ｙ）のポ
テンシャルＶは、次式で示される値Ｖ （ｘ、ｙ）をと
る。
Ｖ （ｘ、ｙ）＝ｈ （ｘ’−３ｘｙ２） （３）
ここで、ｈはレンズ電極に印加した電圧に比例した係数
である。
ここで、ｈはレンズ電極に印加した電圧に比例した係数
である。
イオンが質量に応じて展開される軌道平面（ｙ−０）内
では、（３）式は Ｖ （ｘ）＝ｈｘ３ （４）と簡
単化される。
では、（３）式は Ｖ （ｘ）＝ｈｘ３ （４）と簡
単化される。
（４）式で表わされるポテンシャルが与えられる電場内
を飛行する電荷ｅを持つイオンが受ける力Ｆ （ｘ）は
、次式で与えられる。
を飛行する電荷ｅを持つイオンが受ける力Ｆ （ｘ）は
、次式で与えられる。
Ｆ （ｘ）＝ｅｄＶ （ｘ）／ｄｘ＝−３ｈｘ”（５〉
今、ｘ−Ｏを中心とするイオンビームに対するレンズ効
果を考える。レンズ効果は、力Ｆ （ｘ）の位置による
一次の変化率に比例する。従って、Ｘ””ＸＱ近傍のレ
ンズ効果は、 ｄＦ （Ｘ）／ｄＸｘ−ｘｏ” ６ｈｘｏ （
６）となる。
果を考える。レンズ効果は、力Ｆ （ｘ）の位置による
一次の変化率に比例する。従って、Ｘ””ＸＱ近傍のレ
ンズ効果は、 ｄＦ （Ｘ）／ｄＸｘ−ｘｏ” ６ｈｘｏ （
６）となる。
（６）式は、６ｆｆｉ極レンズによるレンズ効果の強さ
が、イオンの中心軌道（ｘ＝０）からの距離に比例し、
中心軌道を挟んでレンズ効果の向きが逆転することを示
している。従って、６電極レンズは、中心軸からの距離
に比例して焦点距離を変化させることができ、ｈの値に
よってイオンの収束展開面を任意の方向へ任意の角度回
転させることが可能である。
が、イオンの中心軌道（ｘ＝０）からの距離に比例し、
中心軌道を挟んでレンズ効果の向きが逆転することを示
している。従って、６電極レンズは、中心軸からの距離
に比例して焦点距離を変化させることができ、ｈの値に
よってイオンの収束展開面を任意の方向へ任意の角度回
転させることが可能である。
第３図はｈの値と収束展開面ρの回転の関係を示してお
り、ｈ−０（レンズ効果なし）における収束展開面ｇ。
り、ｈ−０（レンズ効果なし）における収束展開面ｇ。
が、ｈ＞ｏではｌ 、 、ｈ＜０ではｇ２と、互いに反
対方向に回転する。回転角度は、ｈの大きさによって決
定される。ｈの大きさを変えるには、レンズ電極に印加
する電圧±Ｅを極性を含めて変化させれば良い。
対方向に回転する。回転角度は、ｈの大きさによって決
定される。ｈの大きさを変えるには、レンズ電極に印加
する電圧±Ｅを極性を含めて変化させれば良い。
このように、６電極レンズにより収束展開面を回転させ
ることができるため、第４図（ａ）に示すように、イオ
ンの収束展開面ｇが検出器の入射面に対して角度θ傾斜
していた場合、第４図（ｂ）に示すように６極子レンズ
を設けることにより、収束展開面を一〇回転させ、入射
面と一致させることができる。
ることができるため、第４図（ａ）に示すように、イオ
ンの収束展開面ｇが検出器の入射面に対して角度θ傾斜
していた場合、第４図（ｂ）に示すように６極子レンズ
を設けることにより、収束展開面を一〇回転させ、入射
面と一致させることができる。
実際には、イオン検出器４から渇られる質量スペクトル
を観察しつつ、制御回路６を操作して６電極レンズ５の
強度を調節し、得られるスペクトル全域についてスペク
トルピークの線幅が最小になるようにすれば、イオン検
出器の検出面をイオンの収束展開面りに正確に沿うよう
に設定することができる。
を観察しつつ、制御回路６を操作して６電極レンズ５の
強度を調節し、得られるスペクトル全域についてスペク
トルピークの線幅が最小になるようにすれば、イオン検
出器の検出面をイオンの収束展開面りに正確に沿うよう
に設定することができる。
尚、第１図の実施例において、イオン検出器４をイオン
ビームの中心軌道Ｏとの交点を中心として矢印ａで示す
ように回転し得るように構成することにより、イオン検
出器４にて検出し得る質量範囲を変化させることが可能
となる。即ち、第５図（ａ）、 （ｂ）に示すように
、イオン検出器への入射角度がほぼ９０’、４５°にな
るようにイオン検出器４の角度を設定した場合について
考える。どちらの場合も、６電極レンズ５のレンズ強度
を調節することにより収束展開面ｇを回転させ収束展開
面ｇをイオン検出器の入射面に正確に一致させることが
可能である。そして、２つの場合におけるイオン検出器
４の端から端への入射イオンの質量範囲を比較すると、
第５図（ａ）の方が狭く、同図（ｂ）の方が広いことが
わかる。従って、第５図（ａ）の状態では質量範囲は狭
いものの高分解能の測定（高分解能モード）が可能で、
一方、第４図（ｂ）の状態では、分解能はそれよりも低
くなるものの広い質量範囲の測定（広質量範囲モード）
が可能となる。
ビームの中心軌道Ｏとの交点を中心として矢印ａで示す
ように回転し得るように構成することにより、イオン検
出器４にて検出し得る質量範囲を変化させることが可能
となる。即ち、第５図（ａ）、 （ｂ）に示すように
、イオン検出器への入射角度がほぼ９０’、４５°にな
るようにイオン検出器４の角度を設定した場合について
考える。どちらの場合も、６電極レンズ５のレンズ強度
を調節することにより収束展開面ｇを回転させ収束展開
面ｇをイオン検出器の入射面に正確に一致させることが
可能である。そして、２つの場合におけるイオン検出器
４の端から端への入射イオンの質量範囲を比較すると、
第５図（ａ）の方が狭く、同図（ｂ）の方が広いことが
わかる。従って、第５図（ａ）の状態では質量範囲は狭
いものの高分解能の測定（高分解能モード）が可能で、
一方、第４図（ｂ）の状態では、分解能はそれよりも低
くなるものの広い質量範囲の測定（広質量範囲モード）
が可能となる。
第６図は、本出願人が先に特願昭６３−１７６０９２号
に提案している質量分析装置に本発明を適用した実施例
を示す。
に提案している質量分析装置に本発明を適用した実施例
を示す。
第６図の装置が第１図の装置と異なるのは、−様扇形磁
場３とイオン検出器４との間のイオン通路上に２つの４
電極レンズ７．８が更に配置されることである。９は４
電極レンズ７．８の強度Ｑ１、Ｑ２を予め定められた組
み合わせで可変するレンズ強度調整口路である。
場３とイオン検出器４との間のイオン通路上に２つの４
電極レンズ７．８が更に配置されることである。９は４
電極レンズ７．８の強度Ｑ１、Ｑ２を予め定められた組
み合わせで可変するレンズ強度調整口路である。
今、２つの４電極レンズ７．８の強度のある組合わせ（
Ｑｌｌ、 Ｑ２１）で収束展開面が２１になっており、
その時の質量分散がＡγ１であるとする。
Ｑｌｌ、 Ｑ２１）で収束展開面が２１になっており、
その時の質量分散がＡγ１であるとする。
また、その時の１１とイオン中心軌道Ｏ（イオン光軸）
との交点をＰとする。
との交点をＰとする。
次に、別のレンズ強度の組合わせ（Ｑｌ２． Ｑ２２を
とった時の収束展開面をｆ１２とする。
とった時の収束展開面をｆ１２とする。
この時、ｆ１２とイオン中心軌道Ｏとの交点がＰとなる
ように（Ｑｌ２． Ｑ２２）の値を定めることができる
。なぜなら、４電極しンズ７．８の強度はＱｌ、Ｑ２そ
れぞれ任意に選択できるが、Ｐを収束点とするという条
件は、Ｑｌ、Ｑ２の間にただ１つの関係を与えるので、
例えば、Ｑｌの値を定めればＱ２の値は自動的に定まる
ことになるからである。この時、一般にｐ、と１２とは
同一ではなく、又、Ａγ１とＡγ２ （Ｉ２上の質量分
散）は異なる。
ように（Ｑｌ２． Ｑ２２）の値を定めることができる
。なぜなら、４電極しンズ７．８の強度はＱｌ、Ｑ２そ
れぞれ任意に選択できるが、Ｐを収束点とするという条
件は、Ｑｌ、Ｑ２の間にただ１つの関係を与えるので、
例えば、Ｑｌの値を定めればＱ２の値は自動的に定まる
ことになるからである。この時、一般にｐ、と１２とは
同一ではなく、又、Ａγ１とＡγ２ （Ｉ２上の質量分
散）は異なる。
従って、（Ｑｌ、Ｑ２）の値によって、Ａγをある範囲
で自由に設定できることになる。Ａγを大きくすれば分
解能を高めた高分解能モードとなり、Ａγを小さくすれ
ば質量範囲を広げた高質量範囲モードとなる。
で自由に設定できることになる。Ａγを大きくすれば分
解能を高めた高分解能モードとなり、Ａγを小さくすれ
ば質量範囲を広げた高質量範囲モードとなる。
前記レンズ強度調整回路９には、上述したように異なる
質量分散を与え、しかも収束展開面とイオン光軸との交
点が移動しないようなＱｌとＱ２の組合わせ（Ｑｌ２．
Ｑ２２） 、 （Ｑｌ２． Ｑ２２）が記憶されて
おり、オペレータの指令により、４電極しンズ７．８の
強度を（Ｑｌ２． Ｑ２２）又は（Ｑｌ２゜Ｑ２２）に
夫々設定する。
質量分散を与え、しかも収束展開面とイオン光軸との交
点が移動しないようなＱｌとＱ２の組合わせ（Ｑｌ２．
Ｑ２２） 、 （Ｑｌ２． Ｑ２２）が記憶されて
おり、オペレータの指令により、４電極しンズ７．８の
強度を（Ｑｌ２． Ｑ２２）又は（Ｑｌ２゜Ｑ２２）に
夫々設定する。
ここで、もし６四極レンズ５が存在しなければ、収束展
開面は高分解能モードではｇｌの位置をとり、広質量範
囲モードではＲ２の位置をとる筈である。前述した特願
昭６３−１７６０９２号では、それに合わせてイオン検
出器を回転させるようにしたが、本発明を適用した本実
施例では、イオン検出器４は収束展開面ρ、に沿うよう
に固定的に配置される。そして、６四極レンズ５は、表
１に従って高分解能モードの時にり、（−０）、広質量
範囲モードの時にｈ２となるように、制御回路６によっ
て付勢される。
開面は高分解能モードではｇｌの位置をとり、広質量範
囲モードではＲ２の位置をとる筈である。前述した特願
昭６３−１７６０９２号では、それに合わせてイオン検
出器を回転させるようにしたが、本発明を適用した本実
施例では、イオン検出器４は収束展開面ρ、に沿うよう
に固定的に配置される。そして、６四極レンズ５は、表
１に従って高分解能モードの時にり、（−０）、広質量
範囲モードの時にｈ２となるように、制御回路６によっ
て付勢される。
（以下余白）
表
このｈ２は、収束展開面をＲ２からＲ１へΔθ回転させ
得るように適切に選ばれている。そのため、高分解能モ
ードの時も広質量範囲モードの時も収束展開面は１１と
なり、固定されたイオン検出器４で２つのモードに対応
できる。
得るように適切に選ばれている。そのため、高分解能モ
ードの時も広質量範囲モードの時も収束展開面は１１と
なり、固定されたイオン検出器４で２つのモードに対応
できる。
尚、２つの４重積レンズは、検出器前の自由空間に配置
されているため、どのようなＱｌ、Ｑ２の組み合わせで
も、Ｐ点で方向収束していれば、エネルギー収束条件も
同時に満たされる。尚、４重積レンズに代えて例えばア
インツエルレンズを用いることができる。
されているため、どのようなＱｌ、Ｑ２の組み合わせで
も、Ｐ点で方向収束していれば、エネルギー収束条件も
同時に満たされる。尚、４重積レンズに代えて例えばア
インツエルレンズを用いることができる。
上述した実施例は単なる例示であって、本発明は幾多の
変形が可能である。例えば、６電極レンズを含む各レン
ズは静電型、電磁型のいずれを用いても良く、位置も一
様磁場とイオン検出器との間のイオン通路上に配置すれ
ば良い。例えば、イオン源、−様磁場、電場、検出器の
順序で配置される所謂逆配置の光学系を質量分析系とし
て用いる場合には、各レンズは一様磁場と電場の間又は
電場とイオン検出器との間のどちらに配置しても良い。
変形が可能である。例えば、６電極レンズを含む各レン
ズは静電型、電磁型のいずれを用いても良く、位置も一
様磁場とイオン検出器との間のイオン通路上に配置すれ
ば良い。例えば、イオン源、−様磁場、電場、検出器の
順序で配置される所謂逆配置の光学系を質量分析系とし
て用いる場合には、各レンズは一様磁場と電場の間又は
電場とイオン検出器との間のどちらに配置しても良い。
また、順序も上記実施例に限らず任意に設定できる。
［効果］
以上詳述した如く、本発明によれば、質量分析系の一様
磁場とイオン検出器との間に６電極レンズを配置するよ
うにしたため、イオンの収束展開面を任意に回転させる
ことが可能となり、以下のような優れた効果が得られる
。
磁場とイオン検出器との間に６電極レンズを配置するよ
うにしたため、イオンの収束展開面を任意に回転させる
ことが可能となり、以下のような優れた効果が得られる
。
（ａ）固定されたイオン検出器へ収束展開面を一致させ
る調整が電気的に容易にできる。
る調整が電気的に容易にできる。
（ｂ）回転可能に設けられるイオン検出器との組み合わ
せにより、測定質量範囲を重視した測定モードと、分解
能を重視した測定モードとを選択できる同時検出型質量
分析装置が実現される。
せにより、測定質量範囲を重視した測定モードと、分解
能を重視した測定モードとを選択できる同時検出型質量
分析装置が実現される。
（ｃ）特願昭６３−１７６０９２号との組み合ゎせによ
り、固定したイオン検出器で、測定質量範囲を重視した
ａＰｊ定モードと、分解能を重視した測定モードとを選
択できる同時検出型質量分析装置が実現される。
り、固定したイオン検出器で、測定質量範囲を重視した
ａＰｊ定モードと、分解能を重視した測定モードとを選
択できる同時検出型質量分析装置が実現される。
第１図及び第６図は夫々本発明の一実施例を示すイオン
光学図、第２図は６電極レンズのＢ−Ｂ断面図、第３図
は６電極レンズによる収束展開面の回転を説明するため
の図、第４図は６電極レンズによる収束展開面の調節を
説明するための図、第５図は高分解能モードと高質量範
囲モードを説明するための図、第７図は従来例を示すイ
オン光学図である。 １：イオン源 ２：円筒電場 ３ニー様磁場 ４：同時検出型イオン検出器５：６電極
レンズ ６：レンズ制御回路、７．８：４四極レンズ９：レンズ
強度調整回路
光学図、第２図は６電極レンズのＢ−Ｂ断面図、第３図
は６電極レンズによる収束展開面の回転を説明するため
の図、第４図は６電極レンズによる収束展開面の調節を
説明するための図、第５図は高分解能モードと高質量範
囲モードを説明するための図、第７図は従来例を示すイ
オン光学図である。 １：イオン源 ２：円筒電場 ３ニー様磁場 ４：同時検出型イオン検出器５：６電極
レンズ ６：レンズ制御回路、７．８：４四極レンズ９：レンズ
強度調整回路
Claims (3)
- （１）イオン源と、該イオン源で生成されたイオンが導
入される少なくとも扇形磁場を含む質量分析系と、該質
量分析系によって質量電荷比に応じて収束展開されたイ
オンを同時検出するため、その収束展開面に沿って配置
されるイオン検出器とを備えた同時検出型質量分析装置
において、前記扇形磁場とイオン検出器との間のイオン
通路上に強度を変化し得る６重極レンズを配置したこと
を特徴とする同時検出型質量分析装置。 - （２）前記イオン検出器をイオン中心軌道とイオン収束
展開面の交点を中心として回転させる機構を備えたこと
を特徴とする請求項１記載の同時検出型質量分析装置。 - （３）イオン源と、該イオン源で生成されたイオンが導
入される少なくとも扇形磁場を含む質量分析系と、該質
量分析系によって質量電荷比に応じて収束展開されたイ
オンを同時検出するため、その収束展開面に沿って配置
されるイオン検出器とを備えた同時検出型質量分析装置
において、前記扇形磁場とイオン検出器との間のイオン
通路上に直列に配置される２つのレンズ手段と、該２つ
のレンズ手段の強度を変化させる手段であって該強度変
化にかかわらずイオン中心軌道とイオン収束展開面の交
点が移動しないように２つのレンズ手段の強度を組み合
わせで変化させるレンズ強度可変手段と、前記扇形磁場
とイオン検出器との間のイオン通路上に配置される強度
可変の６重極レンズとを設けたことを特徴とする同時検
出型質量分析装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB8915234A GB2221566B (en) | 1988-07-14 | 1989-07-03 | Mass spectrometer capable of multiple simultaneous detection |
| GB8915234.2 | 1989-07-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03129657A true JPH03129657A (ja) | 1991-06-03 |
| JP2697942B2 JP2697942B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=10659462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2062006A Expired - Fee Related JP2697942B2 (ja) | 1989-07-03 | 1990-03-13 | 同時検出型質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2697942B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5780652A (en) * | 1980-11-06 | 1982-05-20 | Jeol Ltd | Mass analyzer |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP2062006A patent/JP2697942B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5780652A (en) * | 1980-11-06 | 1982-05-20 | Jeol Ltd | Mass analyzer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2697942B2 (ja) | 1998-01-19 |
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