JPH03130592A - 内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポンプ - Google Patents
内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポンプInfo
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- JPH03130592A JPH03130592A JP26564389A JP26564389A JPH03130592A JP H03130592 A JPH03130592 A JP H03130592A JP 26564389 A JP26564389 A JP 26564389A JP 26564389 A JP26564389 A JP 26564389A JP H03130592 A JPH03130592 A JP H03130592A
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Classifications
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
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-
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04C13/005—Removing contaminants, deposits or scale from the pump; Cleaning
-
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- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポンプに係り
、第１発明は初段ケーシングの真空ゾーンに対応する嵌
込口から洗浄８！または油を滴下することにより、真空
吸引する〃ス中に少量の汚物等の夾雑物が混入している
場合に、その雑物を洗浄して吐出口に除去するルーツ式
真空ポンプにおいて、各ａ−夕ンヤ７トの袖！ｔ？ｊｌ
構に前記した夾雑物の一部により粕封不良を生ずるのを
有効に防ぐ構成にしたものである。第２発明は前記第１
発明においてハウクング側に嵌める＆！ｇフッ化エチレ
ン製オイルシールの内周の接触部に対応させてロータシ
ャフト側の第２カラーに硬質リングを設け、ドライシー
ル方式においても前記オイルシールの接触発熱による溶
損劣化を防ぐ構成にしたものである。第３発明は第１発
明において、第１ドレーン通路に入口と出口とにドレー
ンパルプを設けたドレーンピットを連結し、ハウジング
で遠心力により分離除去される夾雑物の排出を運転中で
も可能にしたものである。
、第１発明は初段ケーシングの真空ゾーンに対応する嵌
込口から洗浄８！または油を滴下することにより、真空
吸引する〃ス中に少量の汚物等の夾雑物が混入している
場合に、その雑物を洗浄して吐出口に除去するルーツ式
真空ポンプにおいて、各ａ−夕ンヤ７トの袖！ｔ？ｊｌ
構に前記した夾雑物の一部により粕封不良を生ずるのを
有効に防ぐ構成にしたものである。第２発明は前記第１
発明においてハウクング側に嵌める＆！ｇフッ化エチレ
ン製オイルシールの内周の接触部に対応させてロータシ
ャフト側の第２カラーに硬質リングを設け、ドライシー
ル方式においても前記オイルシールの接触発熱による溶
損劣化を防ぐ構成にしたものである。第３発明は第１発
明において、第１ドレーン通路に入口と出口とにドレー
ンパルプを設けたドレーンピットを連結し、ハウジング
で遠心力により分離除去される夾雑物の排出を運転中で
も可能にしたものである。
（従来技術と解決を要する問題点・本発明の目的）多数
のロータリーシャフトの夫々を各ハウジングに嵌めた粕
受ベアリングにより支持してなる多段式ルーツ真空ポン
プの機構は普通である。また初段ケーシングの真空ゾー
ンに対応する嵌込口から洗浄液または油を滴下して、真
空吸引する〃ス中にベト付いた汚物等の少量の夾雑物が
混入しでいる場合にケーシング、ロータ等を洗浄するこ
とも多収真空ポンプの一使用態様として普通である。
のロータリーシャフトの夫々を各ハウジングに嵌めた粕
受ベアリングにより支持してなる多段式ルーツ真空ポン
プの機構は普通である。また初段ケーシングの真空ゾー
ンに対応する嵌込口から洗浄液または油を滴下して、真
空吸引する〃ス中にベト付いた汚物等の少量の夾雑物が
混入しでいる場合にケーシング、ロータ等を洗浄するこ
とも多収真空ポンプの一使用態様として普通である。
しかるに従来の多段式真空ポンプにおいて各ハフリング
に通したルーツロータ−及びその軸封部に前記した夾雑
物が付着してトラブルが発生し、食品の真空パック、水
分を多く含むものの乾燥その他に使用する多段式ルーツ
真空ポンプの緊急運松停止をしなければならない問題、
弘がある。
に通したルーツロータ−及びその軸封部に前記した夾雑
物が付着してトラブルが発生し、食品の真空パック、水
分を多く含むものの乾燥その他に使用する多段式ルーツ
真空ポンプの緊急運松停止をしなければならない問題、
弘がある。
本発明はこのような問題点がない多段式ルーツ真空ポン
プを提供することを課題とし、本発明の目的とするもの
である。
プを提供することを課題とし、本発明の目的とするもの
である。
（問題点を解決するための手段）
本考案の多段式ルーツ真空ポンプは、前記した課題を解
決したもので、第１発明は、ハウジングのネック部に設
けたグランドパツキンにロータシャフトを通した該ハウ
ジングに設けたベアリングにより支持した多段真空ポン
プにおいて、ハウジングのネック部とボールベアリング
の開に第１ドレーン通路に連通するｍｌ振切り凹溝の形
成と、四フッ化エチレン製オイルシールの嵌込みと、第
２ドレーン通路に連通する第２振切り凹溝の形成を施し
た第１カラーを設置し、ロータシャフトには第１振切り
凹溝に対応する第１振切り材の形成と＃ＩＪ２カラーの
嵌め込みとを施し、第１振切り凹溝に対応してロータシ
ャフトに第１振切り材を設け、第２カラーに第２ＦＡ坊
り凹溝に対応する第２振切り材を設け、第１振切り材及
び第２振切り材の前後に夫々環溝を設けたことを特徴と
する内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポンプである。ま
た第２発明、第３発明は第１発明を特定発明と産業上の
利用分野及び構成に欠くことができない事項の主要部が
同一である発明をなし、第２発明は、第１発明のロータ
シャフトに閥めた１２カラーの、四フッ化エチレン製オ
イルンールの内周が接触する部位に硬質リングを設けて
摩擦熱による前記オイルシールの焼損を防ぐ構成からな
り、特にドライシール方式を可能とする手段をなし、第
３発明は第１発明の第１ドレーン通路に、入口と出口と
にＶレーンバルブを設けたドレーンピットを連結したこ
とを特徴とするもので、運転中でも適時に夾雑物の排出
ができるようにするものである。
決したもので、第１発明は、ハウジングのネック部に設
けたグランドパツキンにロータシャフトを通した該ハウ
ジングに設けたベアリングにより支持した多段真空ポン
プにおいて、ハウジングのネック部とボールベアリング
の開に第１ドレーン通路に連通するｍｌ振切り凹溝の形
成と、四フッ化エチレン製オイルシールの嵌込みと、第
２ドレーン通路に連通する第２振切り凹溝の形成を施し
た第１カラーを設置し、ロータシャフトには第１振切り
凹溝に対応する第１振切り材の形成と＃ＩＪ２カラーの
嵌め込みとを施し、第１振切り凹溝に対応してロータシ
ャフトに第１振切り材を設け、第２カラーに第２ＦＡ坊
り凹溝に対応する第２振切り材を設け、第１振切り材及
び第２振切り材の前後に夫々環溝を設けたことを特徴と
する内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポンプである。ま
た第２発明、第３発明は第１発明を特定発明と産業上の
利用分野及び構成に欠くことができない事項の主要部が
同一である発明をなし、第２発明は、第１発明のロータ
シャフトに閥めた１２カラーの、四フッ化エチレン製オ
イルンールの内周が接触する部位に硬質リングを設けて
摩擦熱による前記オイルシールの焼損を防ぐ構成からな
り、特にドライシール方式を可能とする手段をなし、第
３発明は第１発明の第１ドレーン通路に、入口と出口と
にＶレーンバルブを設けたドレーンピットを連結したこ
とを特徴とするもので、運転中でも適時に夾雑物の排出
ができるようにするものである。
本発明の好適な実施例を次に説明する。
（実施例）
図において、１はケーシング２の側部に固着したハウジ
ングであって、ケーシング２の内部に三葉式ルーツロー
タ３．３を通常のとおりに配置し、各ロータシャフト４
．４を多段の各段のハウジング２のネック部５に通す、
ネック部５にはテフロン製のグランドパツキン１３を設
けて初段の嵌込口における滴下液体の大量流入を防止す
るシールをｍす。ハウジング１にはネック部５を拡径し
た第１振切り！！ｌ溝６と該溝６を少し拡径したオイル
シール嵌込溝７と該溝７をさらに少し拡径した輪受ベア
リングの嵌込溝８とを設ける。第１振切り凹溝６は第１
ドレン通路１０に通ずるようにし、さらに後記のように
ドレンビット３２に導くものであるが、エヤー等のが人
質を真空吸引の対象とする場合には第１振切り凹溝６を
、ケーシング１の嵌込側に連通するドレン通路１１に連
通させる。
ングであって、ケーシング２の内部に三葉式ルーツロー
タ３．３を通常のとおりに配置し、各ロータシャフト４
．４を多段の各段のハウジング２のネック部５に通す、
ネック部５にはテフロン製のグランドパツキン１３を設
けて初段の嵌込口における滴下液体の大量流入を防止す
るシールをｍす。ハウジング１にはネック部５を拡径し
た第１振切り！！ｌ溝６と該溝６を少し拡径したオイル
シール嵌込溝７と該溝７をさらに少し拡径した輪受ベア
リングの嵌込溝８とを設ける。第１振切り凹溝６は第１
ドレン通路１０に通ずるようにし、さらに後記のように
ドレンビット３２に導くものであるが、エヤー等のが人
質を真空吸引の対象とする場合には第１振切り凹溝６を
、ケーシング１の嵌込側に連通するドレン通路１１に連
通させる。
オイルシール嵌込Ｗｔ７にはドライシール方式を可能に
するため、内周をシャフト４に対応させた四フッ化エチ
レン樹脂製のオイルシール１４を嵌込む。嵌込溝８の内
端にはｔｊ４２振切り凹溝１６を設けた第１カラー１５
を嵌めつける。第２振切り凹１苫１６は後記するベアリ
ング２７の潤滑油がケーシング２の真空により嵌込まれ
てオイルシール１４内周のリップに触れ、接触熱により
炭化してリップを損傷する危険を後記する第２振切り材
２５との協同で防止するためのものである。第２振切り
凹溝１６には軸方向の流出溝１７を設けてハウジング１
に設けた第２ドレン通路１８に連通し、ドレンを該第２
ドレン通路１８から例えばギヤケースの油ｍ等（図示せ
ず）に還流する。
するため、内周をシャフト４に対応させた四フッ化エチ
レン樹脂製のオイルシール１４を嵌込む。嵌込溝８の内
端にはｔｊ４２振切り凹溝１６を設けた第１カラー１５
を嵌めつける。第２振切り凹１苫１６は後記するベアリ
ング２７の潤滑油がケーシング２の真空により嵌込まれ
てオイルシール１４内周のリップに触れ、接触熱により
炭化してリップを損傷する危険を後記する第２振切り材
２５との協同で防止するためのものである。第２振切り
凹溝１６には軸方向の流出溝１７を設けてハウジング１
に設けた第２ドレン通路１８に連通し、ドレンを該第２
ドレン通路１８から例えばギヤケースの油ｍ等（図示せ
ず）に還流する。
ロータシャフト４は前記したネック部５に通してグラン
ドパツキン１３１こ外周を接してなり、ｔｊＳ１振切り
凹溝６に対応させた第１縮径ｇ１つと、後記する第１カ
ラー１５に対応させた第２縮径部２０と、ボールベアリ
ング２７の内側リング２９にＮ応させたＰＪ３縮径部２
１とを備え、第１縮径部１つに第１振坊り材２２を突出
状に環設し、その前後に環溝２２ａ、２２ｂを設ける。
ドパツキン１３１こ外周を接してなり、ｔｊＳ１振切り
凹溝６に対応させた第１縮径ｇ１つと、後記する第１カ
ラー１５に対応させた第２縮径部２０と、ボールベアリ
ング２７の内側リング２９にＮ応させたＰＪ３縮径部２
１とを備え、第１縮径部１つに第１振坊り材２２を突出
状に環設し、その前後に環溝２２ａ、２２ｂを設ける。
第２縮径部２０に第２カラー２３を嵌める。第２カラー
２３はハウジング１の前記のオイルシール嵌込溝７と第
１カラー１５の合計長とほぼ等しい長さとし、該第２カ
ラー２３の外周にオイルシール１４の内周に対応させた
超合金またはセラミックスリング等の硬質リング２４を
インサート、コーティング等により設け、第１カラー１
５の第２振切り凹溝１６に対応させてロータシャフト４
の外周に第２振切り材２５を形成し、その前後に環Ｆ￥
２５ａ１２５ｂを設ける。
２３はハウジング１の前記のオイルシール嵌込溝７と第
１カラー１５の合計長とほぼ等しい長さとし、該第２カ
ラー２３の外周にオイルシール１４の内周に対応させた
超合金またはセラミックスリング等の硬質リング２４を
インサート、コーティング等により設け、第１カラー１
５の第２振切り凹溝１６に対応させてロータシャフト４
の外周に第２振切り材２５を形成し、その前後に環Ｆ￥
２５ａ１２５ｂを設ける。
本発明においでは、ロータシャフト４の外径寸法と第１
振切り材２２の軸方向の長さ（巾）Ｑと、環溝２２ａ、
２２ｂの軸方向の艮８（巾）Ｗ及び深さＨの関係は重要
である。それは前記滴下の洗浄液（水）と油とでは表面
張力に大きな差があり、水と油部用にして使ル上の制約
を生じさせな０ために必要だからである。
振切り材２２の軸方向の長さ（巾）Ｑと、環溝２２ａ、
２２ｂの軸方向の艮８（巾）Ｗ及び深さＨの関係は重要
である。それは前記滴下の洗浄液（水）と油とでは表面
張力に大きな差があり、水と油部用にして使ル上の制約
を生じさせな０ために必要だからである。
！＃４図はロータシャフト４の外径（ネック５を通る部
分の外径）を５０１ＩＩｌφとし１．＠１振切り材２２
の軸方向の艮）Ｑを３＋６＠とじ、環Ｆ１２２ ａ、２
２ｂの軸方向の長さＷを３〜４ｍｍとし、深さＨを２１
１Ｉ＋１と該シャフト４の周速と、夾雑物が水であるか
油であるかとかにより、グループ（イ）〜（ニ）に分け
、シャフト４の周速と夾雑物の分離の可否とを示した成
１２表である。この表により明らかなように液質、及び
周速により適性が異なり、（ロ）、（ニ）のグループは
水にも油にも合格し、グルー７゜（イ）（ハ）のグルー
プは不可であった。
分の外径）を５０１ＩＩｌφとし１．＠１振切り材２２
の軸方向の艮）Ｑを３＋６＠とじ、環Ｆ１２２ ａ、２
２ｂの軸方向の長さＷを３〜４ｍｍとし、深さＨを２１
１Ｉ＋１と該シャフト４の周速と、夾雑物が水であるか
油であるかとかにより、グループ（イ）〜（ニ）に分け
、シャフト４の周速と夾雑物の分離の可否とを示した成
１２表である。この表により明らかなように液質、及び
周速により適性が異なり、（ロ）、（ニ）のグループは
水にも油にも合格し、グルー７゜（イ）（ハ）のグルー
プは不可であった。
ケーシング１の第１ドレン通＃ｔ１０には第１ドレンパ
ルプ３１を分挿した大き（１容積の（約１１）ットル）
ドレンビット３２を連結し、外部出口１こ第２ドレンバ
ルブ３３を股（する。
ルプ３１を分挿した大き（１容積の（約１１）ットル）
ドレンビット３２を連結し、外部出口１こ第２ドレンバ
ルブ３３を股（する。
第２ドレン通路１８は、図示しなり）ギヤケース等のオ
イルをベアリング２７の潤滑にも利用するためのドレン
通路であって、−（アリング２７をグリス潤滑にすると
きは該ドレン通路１８を大気１こ連通させることもでき
る。
イルをベアリング２７の潤滑にも利用するためのドレン
通路であって、−（アリング２７をグリス潤滑にすると
きは該ドレン通路１８を大気１こ連通させることもでき
る。
（作用及び効果）
本発明の第１発明は、？）ウノング１のネ・ツク部５に
設けたグランドパツキン１３にロータシャフト４を通し
た上で該ノ）ウジングに設けたベアリング２７によ１）
支持して、ノ１ウジング１のネック部５とベアリング２
７の開に第１ドレーン通路１０に連通する第１振切り凹
溝６の形成と、四フッ化エチレン製オイルシール１４の
嵌込みと、第２ドレーン通路１８に連通する第２振切り
凹溝１６の形成を施した第１カラー１５を設置し、ロー
タシャフト４にはＰＩＩＪ１振切り凹溝６に対応する第
１振切り材２５の形成と第２カ５−２３の眼め込みとを
施し、第１振切り凹溝６に対応してロータシャフト４に
第１振切り材２２を設け、第２カラー２３に第２振切り
！！Ｊ溝１６に対応する第２振切り材２５を設け、第１
振切り材２２及び第２振切り材２５の前後に夫々環溝を
設けたことを特徴とする構成になり、この構成により真
空ゾーン側の嵌込口から滴下する洗浄液、油に混入する
真空ゾーンの遊離物により構成される夕景の夾雑物がハ
ウジングに侵入しても第４図及び同図の説明に示したよ
うに極く有効に外部に排出できる効果がある。
設けたグランドパツキン１３にロータシャフト４を通し
た上で該ノ）ウジングに設けたベアリング２７によ１）
支持して、ノ１ウジング１のネック部５とベアリング２
７の開に第１ドレーン通路１０に連通する第１振切り凹
溝６の形成と、四フッ化エチレン製オイルシール１４の
嵌込みと、第２ドレーン通路１８に連通する第２振切り
凹溝１６の形成を施した第１カラー１５を設置し、ロー
タシャフト４にはＰＩＩＪ１振切り凹溝６に対応する第
１振切り材２５の形成と第２カ５−２３の眼め込みとを
施し、第１振切り凹溝６に対応してロータシャフト４に
第１振切り材２２を設け、第２カラー２３に第２振切り
！！Ｊ溝１６に対応する第２振切り材２５を設け、第１
振切り材２２及び第２振切り材２５の前後に夫々環溝を
設けたことを特徴とする構成になり、この構成により真
空ゾーン側の嵌込口から滴下する洗浄液、油に混入する
真空ゾーンの遊離物により構成される夕景の夾雑物がハ
ウジングに侵入しても第４図及び同図の説明に示したよ
うに極く有効に外部に排出できる効果がある。
また第２の発明は、第１発明の構成に必須とする四フッ
化エチレン製オイルシールの摩擦熱による熱撰を防止す
る主目的を果たすのみでなく、真空度の長期的保持等に
寄与し、第３発明は第１発明の第１ドレーン通路からの
夾雑物排出をさらに有効にできる効果がある。
化エチレン製オイルシールの摩擦熱による熱撰を防止す
る主目的を果たすのみでなく、真空度の長期的保持等に
寄与し、第３発明は第１発明の第１ドレーン通路からの
夾雑物排出をさらに有効にできる効果がある。
添付図面は本発明の実施例を示し、第１図はケーシング
の縦断側面図、第２図は本発明の要部の［断正面図、第
３図は説明図面、第４図は成績表である。 １→ハｔノング ４→ロータンヤ７ト ６→第１振切り凹溝 １０→第１１ルン通路１４→四フ
ッ化エチレン樹脂製オイルシール１５→第１カラー １
６→第２振切り凹溝１７→流出溝 １８→第２ドレン通
路 ２２−４．１振切り材 ２２ａ、２２ｂ−Ｊｊｌ溝２３
→第２カー７−２４→硬質リング ２５−、第２振切り材 ２５ａ、２５ｂ−＋環溝３２→
ドレーンビット
の縦断側面図、第２図は本発明の要部の［断正面図、第
３図は説明図面、第４図は成績表である。 １→ハｔノング ４→ロータンヤ７ト ６→第１振切り凹溝 １０→第１１ルン通路１４→四フ
ッ化エチレン樹脂製オイルシール１５→第１カラー １
６→第２振切り凹溝１７→流出溝 １８→第２ドレン通
路 ２２−４．１振切り材 ２２ａ、２２ｂ−Ｊｊｌ溝２３
→第２カー７−２４→硬質リング ２５−、第２振切り材 ２５ａ、２５ｂ−＋環溝３２→
ドレーンビット
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）ハウジングのネック部に設けたグランドパッキンに
ロータシャフトを通して、該ハウジングに設けたボール
ベアリングにより支持した多段真空ポンプにおいて、 ハウジングのネック部とボールベアリングの間に、第１
ドレーン通路に連通する第１振切り凹溝の形成と、内周
をロータシャフトに接触する四フッ化エチレン製オイル
シールの嵌込みと、第２ドレーン通路に連通する第２振
切り凹溝を形成した第１カラーの嵌込みをハウジング側
に施し、ロータシャフトには第１振切り凹溝に対応する
第１振切り材を設けると共に、第２カラーの嵌め込みを
施し、第２カラーに前記の第２振切り凹溝に対応する第
２振切り材を設け、第１振切り材及び第２振切り材の前
後に夫々環溝を設けたことを特徴とする内部洗浄可能な
多段式ルーツ真空ポンプ。 ２）ロータシャフトに嵌めた第２カラーの、四フッ化エ
チレン製オイルシールの内周の接触部に硬質リングを設
けドライシール方式としたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポン
プ。 ３）第１ドレーン通路に、入口と出口にドレーンパルプ
を設けたドレーンピットを連結したことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の内部洗浄可能な多段式ルーツ
真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26564389A JPH03130592A (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26564389A JPH03130592A (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03130592A true JPH03130592A (ja) | 1991-06-04 |
Family
ID=17419984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26564389A Pending JPH03130592A (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03130592A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03123998U (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-17 | ||
| US6688864B2 (en) * | 2001-07-05 | 2004-02-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Oil leak prevention structure of vacuum pump |
| US6688863B2 (en) * | 2001-06-29 | 2004-02-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Oil leak prevention structure of vacuum pump |
| JP2010203422A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-16 | Anlet Co Ltd | ルーツ式真空ポンプ |
| EP2402613A1 (fr) * | 2010-06-30 | 2012-01-04 | Adixen Vacuum Products | Pompe à vide de type sèche |
| JP2012017660A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Furukawa Industrial Machinery Systems Co Ltd | 一軸偏心ねじポンプ |
| JP2015017239A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-29 | Ｊｆｅケミカル株式会社 | コークス炉ガスからの軽油の回収方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186073A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Ulvac Corp | 回転型真空ポンプの密封装置 |
-
1989
- 1989-10-12 JP JP26564389A patent/JPH03130592A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186073A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Ulvac Corp | 回転型真空ポンプの密封装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| FR2962173A1 (fr) * | 2010-06-30 | 2012-01-06 | Alcatel Lucent | Pompe a vide de type seche |
| US8858204B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-10-14 | Adixen Vacuum Products | Dry vacuum pump having multiple lubricant reservoirs |
| JP2012017660A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Furukawa Industrial Machinery Systems Co Ltd | 一軸偏心ねじポンプ |
| JP2015017239A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-29 | Ｊｆｅケミカル株式会社 | コークス炉ガスからの軽油の回収方法 |
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