JPH03131464A - 研摩テープを使用した平面研摩装置における研摩テープの張力制御装置 - Google Patents
研摩テープを使用した平面研摩装置における研摩テープの張力制御装置Info
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- JPH03131464A JPH03131464A JP26466389A JP26466389A JPH03131464A JP H03131464 A JPH03131464 A JP H03131464A JP 26466389 A JP26466389 A JP 26466389A JP 26466389 A JP26466389 A JP 26466389A JP H03131464 A JPH03131464 A JP H03131464A
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- pressure roll
- roll
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- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 abstract 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、研摩ヘッドが微小範囲内で高サイクルの往復
直線運動を行い、圧接ロールに巻回されている研摩テー
プを低速度で走行させつつ、この圧接ロールを被研摩物
に圧接させて、研摩量が微少な平面研摩を行う構成の研
摩テープを使用した平面研摩装置における研摩テープの
張力制御装置に関するものである。
直線運動を行い、圧接ロールに巻回されている研摩テー
プを低速度で走行させつつ、この圧接ロールを被研摩物
に圧接させて、研摩量が微少な平面研摩を行う構成の研
摩テープを使用した平面研摩装置における研摩テープの
張力制御装置に関するものである。
研摩テープを使用した平面研摩装置の概要を、第６図を
参照にして説明する。
参照にして説明する。
この平面研摩装置の最大の特徴は、微小範囲内で高サイ
クルの往復直線運動を行う研摩ヘッドＨ゛を備えている
ことである。
クルの往復直線運動を行う研摩ヘッドＨ゛を備えている
ことである。
この研摩ヘッドＨ°は、案内レールｌにスライドブロッ
ク２がスライド可能に嵌め込まれ、支点ピン３を中心に
して回動するレバー４の一端部と、スライドブロック２
とが連結ロッド５で連結されていると共に、レバー４の
他端部と、回転円板６に偏心して取付けられたクランク
ピン７とがクランクロッド８で連結され、回転円板６の
回転によって、スライドブロック２に取付けられた圧接
ロール９が、微小範囲内において往復直線運動を行う構
成である。
ク２がスライド可能に嵌め込まれ、支点ピン３を中心に
して回動するレバー４の一端部と、スライドブロック２
とが連結ロッド５で連結されていると共に、レバー４の
他端部と、回転円板６に偏心して取付けられたクランク
ピン７とがクランクロッド８で連結され、回転円板６の
回転によって、スライドブロック２に取付けられた圧接
ロール９が、微小範囲内において往復直線運動を行う構
成である。
この圧接口―ル９には、研摩テープ１１が巻回されてお
り、未使用の研摩テープ１１は、巻出しり−ル１２に巻
回されていると共に、使用済の研摩テープ１１は、巻取
りリール１３に巻回され、巻出しり−ル１２には、ブレ
ーキ用モーターＭ。
り、未使用の研摩テープ１１は、巻出しり−ル１２に巻
回されていると共に、使用済の研摩テープ１１は、巻取
りリール１３に巻回され、巻出しり−ル１２には、ブレ
ーキ用モーターＭ。
が取付けられていると共に、巻取リリール１３には、巻
取り用モーターＭ、が取付けられている。
取り用モーターＭ、が取付けられている。
いずれのモーターＭ ＋、 Ｍ ｔも、加えられる電圧
の変化によって、発生トルクが変化するトルクモーター
から成る。なお、図中１４は、スライドブロック２に取
付けられた案内ロール、１５ａ、 １５ｂは、装置のヘ
ッド部（図示せず）に取付けられた一対の案内ロール、
１６は、スライドブロック２の運動によって生ずる振動
を吸収するための防振スプリングを示す。
の変化によって、発生トルクが変化するトルクモーター
から成る。なお、図中１４は、スライドブロック２に取
付けられた案内ロール、１５ａ、 １５ｂは、装置のヘ
ッド部（図示せず）に取付けられた一対の案内ロール、
１６は、スライドブロック２の運動によって生ずる振動
を吸収するための防振スプリングを示す。
圧接ロール９が所定の圧接力Ｐで被研摩物Ｗに圧接され
た状態で、スライドブロック２が往復直線運動を行うと
共に、圧接ロール９に巻回されている研摩テープ１１が
低速度で走行して、常に新しい研摩テープ１１によって
、被研摩物Ｗが研摩される。
た状態で、スライドブロック２が往復直線運動を行うと
共に、圧接ロール９に巻回されている研摩テープ１１が
低速度で走行して、常に新しい研摩テープ１１によって
、被研摩物Ｗが研摩される。
ここで、巻出しリール１２に取付けられているブレーキ
用モーターＭ、のブレーキトルクは、巻取られている研
摩テープ１１の径に比例して小さくなるようにしである
。これにより、研摩テープ１１の張力Ｔがほぼ一定とな
るようにしてあり、この張力Ｔは、圧接ロール９に巻回
されている研摩テープ１１が、研摩中に圧接ロール９に
対してずれない大きさになっている。
用モーターＭ、のブレーキトルクは、巻取られている研
摩テープ１１の径に比例して小さくなるようにしである
。これにより、研摩テープ１１の張力Ｔがほぼ一定とな
るようにしてあり、この張力Ｔは、圧接ロール９に巻回
されている研摩テープ１１が、研摩中に圧接ロール９に
対してずれない大きさになっている。
そして、ブレーキ用モーターＭ、のブレーキトルクが、
巻出しリール１２に巻回されている研摩テープ１１の径
に比例して小さくならない場合には、研摩テープ１１の
張力Ｔは、一定とならない。
巻出しリール１２に巻回されている研摩テープ１１の径
に比例して小さくならない場合には、研摩テープ１１の
張力Ｔは、一定とならない。
研摩テープ１１の張力Ｔが設定張力よりも小さくなった
場合には、圧接ロール９の部分において、研摩テープ１
１が圧接ロール９に対してずれることがあり、これによ
り研摩精度、及び研摩能率の双方が低下してしまうと共
に、その張力Ｔが設定張力よりも大きくなった場合にも
、圧接ロール９の圧接力が微妙に変化して、研摩精度が
低下する。
場合には、圧接ロール９の部分において、研摩テープ１
１が圧接ロール９に対してずれることがあり、これによ
り研摩精度、及び研摩能率の双方が低下してしまうと共
に、その張力Ｔが設定張力よりも大きくなった場合にも
、圧接ロール９の圧接力が微妙に変化して、研摩精度が
低下する。
〔発明が解決しようとする諜Ｎ）
本発明は、研摩テープを使用した平面研摩装置の有する
上記したような問題に鑑み、研摩中の圧接ロールの圧接
力を検出し、この結果を、巻出しリールにブレーキトル
クを加えているブレーキ用モーターにフィードバックさ
せて、研摩テープの張力を一定に保持し、これにより圧
接ロールの圧接力を一定にして、研摩能率、及び精度の
双方を高めることを課題としてなされたものである。
上記したような問題に鑑み、研摩中の圧接ロールの圧接
力を検出し、この結果を、巻出しリールにブレーキトル
クを加えているブレーキ用モーターにフィードバックさ
せて、研摩テープの張力を一定に保持し、これにより圧
接ロールの圧接力を一定にして、研摩能率、及び精度の
双方を高めることを課題としてなされたものである。
上記課題を解決するために本発明の採用した手段は、中
央部の支点軸を中心にして回動する二股レバー部材を前
記スライドブロックの前面に取付け、該二股レバー部材
の一端部に圧接ロールを取付け、該圧接ロールの圧接力
の反力によって、二股レバー部材の他端部をスライドブ
ロックに取付けられたロードセルに圧接させ、該ロード
セルによって検出された圧接ロールの圧接力の大きさに
応じて、巻出しリールに作用しているブレーキトルクを
調整するようにしたことである。
央部の支点軸を中心にして回動する二股レバー部材を前
記スライドブロックの前面に取付け、該二股レバー部材
の一端部に圧接ロールを取付け、該圧接ロールの圧接力
の反力によって、二股レバー部材の他端部をスライドブ
ロックに取付けられたロードセルに圧接させ、該ロード
セルによって検出された圧接ロールの圧接力の大きさに
応じて、巻出しリールに作用しているブレーキトルクを
調整するようにしたことである。
二股レバー部材の一端部に取付けられている圧接ロール
に研摩テープが巻回されているので、研摩テープの張力
の変動によって、被研摩物に対する圧接ロールの圧接力
が変化する。また、圧接ロールの圧接力の反力が、二股
レバー部材を介してロードセルに作用しているので、ロ
ードセルによって圧接力が検出され、この結果を巻出し
リールにブレーキトルクを加えているブレーキ用モータ
ーにフィードバックして、ブレーキトルクの調整を行う
と、研摩中における研摩テープの張力が一定となって、
圧接ロールの圧接力もこれに対応して一定となり、研摩
精度、及び能率の双方が向上する。
に研摩テープが巻回されているので、研摩テープの張力
の変動によって、被研摩物に対する圧接ロールの圧接力
が変化する。また、圧接ロールの圧接力の反力が、二股
レバー部材を介してロードセルに作用しているので、ロ
ードセルによって圧接力が検出され、この結果を巻出し
リールにブレーキトルクを加えているブレーキ用モータ
ーにフィードバックして、ブレーキトルクの調整を行う
と、研摩中における研摩テープの張力が一定となって、
圧接ロールの圧接力もこれに対応して一定となり、研摩
精度、及び能率の双方が向上する。
以下、実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。
なお、上記した「従来の技術」の項目で説明した部分と
同一部分には、同一符号を付し、重複説明を避けて、本
発明に係わる部分についてのみ説明する。
同一部分には、同一符号を付し、重複説明を避けて、本
発明に係わる部分についてのみ説明する。
第１図ないし第４図に研摩ヘッドＨが示されており、二
股レバー部材１７は、中央部に支点軸１８が設けられて
おり、スライドブロック２の前面に二股レバー部材１７
が支点軸１８を中心にして回動可能に取付けられている
。スライドブロック２の前面には、二股レバー部材１７
と隣接してロードセルユニット１９が取付けられている
。なお、第１図及び第３図において、Ｃは、二股レバー
部材１７の支点軸１８の軸心を示す。
股レバー部材１７は、中央部に支点軸１８が設けられて
おり、スライドブロック２の前面に二股レバー部材１７
が支点軸１８を中心にして回動可能に取付けられている
。スライドブロック２の前面には、二股レバー部材１７
と隣接してロードセルユニット１９が取付けられている
。なお、第１図及び第３図において、Ｃは、二股レバー
部材１７の支点軸１８の軸心を示す。
このロードセルユニット１９は、第４図の拡大断面図で
示されているように、ユニット本体２１がスライドブロ
ック２に固定され、先端部が閉塞されている筒体２２が
ユニット本体２１に摺動可能に内装されている。この筒
体２２の外周面には段付部２２ａが設けられていて、所
定位置からはユニット本体２１に対して突出しない構造
になっている。ユニット本体２１には、調整ナンド２３
が螺合され、この調整ナンド２３の内側に設けられたス
プリング受け２４と、筒体２２の先端の閉塞部との間に
圧縮スプリング２５が弾装されている。筒体２２の先端
部に、ロードセル２６が取付けられている。このロード
セル２６の部分に過大な力が加わると、圧縮スプリング
２５の復元力に抗して、筒体２２がユニット本体２１内
に押し込められ、これにより異常時における安全が図ら
れている。
示されているように、ユニット本体２１がスライドブロ
ック２に固定され、先端部が閉塞されている筒体２２が
ユニット本体２１に摺動可能に内装されている。この筒
体２２の外周面には段付部２２ａが設けられていて、所
定位置からはユニット本体２１に対して突出しない構造
になっている。ユニット本体２１には、調整ナンド２３
が螺合され、この調整ナンド２３の内側に設けられたス
プリング受け２４と、筒体２２の先端の閉塞部との間に
圧縮スプリング２５が弾装されている。筒体２２の先端
部に、ロードセル２６が取付けられている。このロード
セル２６の部分に過大な力が加わると、圧縮スプリング
２５の復元力に抗して、筒体２２がユニット本体２１内
に押し込められ、これにより異常時における安全が図ら
れている。
圧縮スプリング２５の復元力は、通常の研摩中において
ロードセル２６に作用する力に比較して温かに大きいよ
うに設定しである。
ロードセル２６に作用する力に比較して温かに大きいよ
うに設定しである。
二股レバー部材１７の一端部に、圧接ロール９と案内ロ
ール１４とが取付けられ、その他端部に取付けられた圧
接ボルト２７が、ロードセルユニット１９の筒体２２の
先端に取付けられたロードセル２６に圧接している。
ール１４とが取付けられ、その他端部に取付けられた圧
接ボルト２７が、ロードセルユニット１９の筒体２２の
先端に取付けられたロードセル２６に圧接している。
装置のヘッド部（図示せず）には、一対の案内ロール１
５ａ、１５ｂと、同２８と、同２９と、ドライブロール
３１とが取付けられ、巻出しり−ル１２から巻出される
研摩テープ１１は、案内ロル２８、同１５ａ１同１４、
圧接ロール９、案内ロール１５ｂ、ドライブロール３１
、及び案内ロール２９の順序で巻き掛けられて、巻取リ
リール１３に巻取られるようになっている。
５ａ、１５ｂと、同２８と、同２９と、ドライブロール
３１とが取付けられ、巻出しり−ル１２から巻出される
研摩テープ１１は、案内ロル２８、同１５ａ１同１４、
圧接ロール９、案内ロール１５ｂ、ドライブロール３１
、及び案内ロール２９の順序で巻き掛けられて、巻取リ
リール１３に巻取られるようになっている。
ドライブロール３１には、可変速モーターＭ。
が取付けられており、このドライブロール３１の駆動回
転によって、これよりも上流側の研摩テープ１１が可変
速モーターＭ３の設定速度で巻取られ、ドライブロール
３１で巻取られた研摩テープ１１は、巻取りリール１３
に巻取られるようになっている。従って、研摩テープｔ
１は、ブレーキ用モーターＭ、のブレーキトルクに対応
した張力Ｔで巻出しリール１２から巻出されると共に、
可変速モーターＭｓによって設定される速度で走行する
ことになる。
転によって、これよりも上流側の研摩テープ１１が可変
速モーターＭ３の設定速度で巻取られ、ドライブロール
３１で巻取られた研摩テープ１１は、巻取りリール１３
に巻取られるようになっている。従って、研摩テープｔ
１は、ブレーキ用モーターＭ、のブレーキトルクに対応
した張力Ｔで巻出しリール１２から巻出されると共に、
可変速モーターＭｓによって設定される速度で走行する
ことになる。
研摩テープ１１が巻回されている圧接ロール９は、被研
摩物Ｗに所定の圧接力Ｐで圧接した状態で、高サイクル
の往復直線運動を行って、被研摩物Ｗの研摩を行う。
摩物Ｗに所定の圧接力Ｐで圧接した状態で、高サイクル
の往復直線運動を行って、被研摩物Ｗの研摩を行う。
ここで、圧接ロール９の圧接力Ｐの反力は、二股レバー
部材１７を介して前記ロードセル２６に作用しているた
め、このロードセル２６によって圧接ロール９の圧接力
Ｐが検出される。圧接ロール９は、二股レバー部材１７
の一端部に取付けられているので、研摩テープ１１の張
力Ｔが変動すると、圧接ロール９の圧接力Ｐが変動する
。即ち、研摩テープ１１の張力Ｔが大きくなると、圧接
ロル９の圧接力Ｐは小さくなる。前述したように、研摩
テープ１１の張力Ｔが一定となるように、巻出しり−ル
１２に巻取られている研摩テープ１１の径が小さくなる
に応じて、ブレーキ用モーターＭ１のブレーキトルクを
小さくしているが、研摩中において研摩テープ１１の張
力Ｔに変動が生ずることがある。
部材１７を介して前記ロードセル２６に作用しているた
め、このロードセル２６によって圧接ロール９の圧接力
Ｐが検出される。圧接ロール９は、二股レバー部材１７
の一端部に取付けられているので、研摩テープ１１の張
力Ｔが変動すると、圧接ロール９の圧接力Ｐが変動する
。即ち、研摩テープ１１の張力Ｔが大きくなると、圧接
ロル９の圧接力Ｐは小さくなる。前述したように、研摩
テープ１１の張力Ｔが一定となるように、巻出しり−ル
１２に巻取られている研摩テープ１１の径が小さくなる
に応じて、ブレーキ用モーターＭ１のブレーキトルクを
小さくしているが、研摩中において研摩テープ１１の張
力Ｔに変動が生ずることがある。
本発明においては、第５図に示されるように、ロードセ
ル２Ｇによって検出された圧接ロール９の圧接力Ｐを電
気量ｅ、に変換して、比較回路３２に入力し、この比較
回路３２内において、設定した圧接力Ｐ、に対応する電
気量ｅと比較され、両者に差がある場合には、これが電
気信号ｆとして、ブレーキ用モーターＭｌの制御回路３
３に人力され、これによりブレーキ用モーターＭ、のブ
レーキトルクの調整を行つて、研摩テープ１１の張力Ｔ
を調整している。研摩テープ１１の張力Ｔの調整によっ
て、圧接ロール９の圧接力Ｐが調整される。
ル２Ｇによって検出された圧接ロール９の圧接力Ｐを電
気量ｅ、に変換して、比較回路３２に入力し、この比較
回路３２内において、設定した圧接力Ｐ、に対応する電
気量ｅと比較され、両者に差がある場合には、これが電
気信号ｆとして、ブレーキ用モーターＭｌの制御回路３
３に人力され、これによりブレーキ用モーターＭ、のブ
レーキトルクの調整を行つて、研摩テープ１１の張力Ｔ
を調整している。研摩テープ１１の張力Ｔの調整によっ
て、圧接ロール９の圧接力Ｐが調整される。
このように、本発明においては、ロードセル２６によっ
て圧接ロール９の圧接力Ｐを検出し、この結果をブレー
キ用モーターＭ、にフィードバックして、研摩テープ！
■の張力Ｔを制御しているので、研摩中における研摩テ
ープ１１の張力Ｔを一定に保持できる。この結果、圧接
ロール９の圧接力Ｐも一定となる。
て圧接ロール９の圧接力Ｐを検出し、この結果をブレー
キ用モーターＭ、にフィードバックして、研摩テープ！
■の張力Ｔを制御しているので、研摩中における研摩テ
ープ１１の張力Ｔを一定に保持できる。この結果、圧接
ロール９の圧接力Ｐも一定となる。
本発明は、中央部の支点軸を中心にして回動する二股レ
バー部材を前記スライドブロックの前面に取付け、該二
股レバー部材の一端部に圧接ロールを取付け、該圧接ロ
ールの圧接力の反力によって、二股レバー部材の他端部
をスライドブロックに取付けられたロードセルに圧接さ
せ、該ロードセルによって検出された圧接ロールの圧接
力の大きさに応じて、巻出しリールに作用するブレーキ
トルクを調整するように構成されているので、研摩中に
おける研摩テープの張力を一定に保持することができて
、圧接ロールの圧接力が一定となり、この結果、研摩精
度、及び能率の双方を高めることができる。
バー部材を前記スライドブロックの前面に取付け、該二
股レバー部材の一端部に圧接ロールを取付け、該圧接ロ
ールの圧接力の反力によって、二股レバー部材の他端部
をスライドブロックに取付けられたロードセルに圧接さ
せ、該ロードセルによって検出された圧接ロールの圧接
力の大きさに応じて、巻出しリールに作用するブレーキ
トルクを調整するように構成されているので、研摩中に
おける研摩テープの張力を一定に保持することができて
、圧接ロールの圧接力が一定となり、この結果、研摩精
度、及び能率の双方を高めることができる。
第１図ないし第５図は、本発明を説明するための図であ
って、第１図は、本発明に係わる張力制御装置を装着し
である研摩ヘッドＨの斜視図、第２図は、同じく正面図
、第３図は、同じく平面図、第４図は、ロードセルユニ
ット１９の拡大断面図、第５図は、本発明によって研摩
テープ１１の張力Ｔが制御される内容を示すフローチャ
ートである。 第６図は、従来の研摩テープを使用した平面研摩装置の
正面図である。 本発明を構成している主要部分の符号の説明は以下の通
りである。 Ｈ：研摩ヘッド Ｍｌ Ｍ２ ：巻取り用モーター Ｐ：圧接ロールの圧接力 Ｔ：研摩テープの張力 Ｗ：被研摩物 ２ニスライドブロツク ９：圧接ロール１１：研摩テー
プ １２：Ｓ出しリール１３：巻取りリール １
７：二股レバー部材１８：二股レバー部材の支点軸 ２６：ロードセル ：ブレーキ用モーター
って、第１図は、本発明に係わる張力制御装置を装着し
である研摩ヘッドＨの斜視図、第２図は、同じく正面図
、第３図は、同じく平面図、第４図は、ロードセルユニ
ット１９の拡大断面図、第５図は、本発明によって研摩
テープ１１の張力Ｔが制御される内容を示すフローチャ
ートである。 第６図は、従来の研摩テープを使用した平面研摩装置の
正面図である。 本発明を構成している主要部分の符号の説明は以下の通
りである。 Ｈ：研摩ヘッド Ｍｌ Ｍ２ ：巻取り用モーター Ｐ：圧接ロールの圧接力 Ｔ：研摩テープの張力 Ｗ：被研摩物 ２ニスライドブロツク ９：圧接ロール１１：研摩テー
プ １２：Ｓ出しリール１３：巻取りリール １
７：二股レバー部材１８：二股レバー部材の支点軸 ２６：ロードセル ：ブレーキ用モーター
Claims (1)
- スライドブロックと一体となって圧接ロールが微小範囲
内で高サイクルの往復直線運動を行う構成の研摩ヘッド
を備えており、ブレーキトルクに抗して巻出しリールか
ら巻出される研摩テープを前記圧接ロールに巻回させて
、巻取りリールで巻取ることにより、該研摩テープを低
速度で走行させつつ、前記圧接ロールを被研摩物に圧接
させて平面研摩を行う構成の平面研摩装置において、中
央部の支点軸を中心にして回動する二股レバー部材を前
記スライドブロックの前面に取付け、該二股レバー部材
の一端部に前記圧接ロールを取付け、該圧接ロールの圧
接力の反力によって、二股レバー部材の他端部をスライ
ドブロックに取付けられたロードセルに圧接させ、該ロ
ードセルによって検出された圧接ロールの圧接力の大き
さに応じて、利用しリールに作用しているブレーキトル
クを調整して、研摩中の研摩テープの張力を一定に保持
するように構成されていることを特徴とする研摩テープ
を使用した平面研摩装置における研摩テープの張力制御
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26466389A JP2694197B2 (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 | 研摩テープを使用した平面研摩装置における研摩テープの張力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26466389A JP2694197B2 (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 | 研摩テープを使用した平面研摩装置における研摩テープの張力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03131464A true JPH03131464A (ja) | 1991-06-05 |
| JP2694197B2 JP2694197B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=17406479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26466389A Expired - Lifetime JP2694197B2 (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 | 研摩テープを使用した平面研摩装置における研摩テープの張力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2694197B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2677288A1 (fr) * | 1991-06-06 | 1992-12-11 | Commissariat Energie Atomique | Machine de polissage a feuille microbrasive tendue. |
| US5335453A (en) * | 1991-06-06 | 1994-08-09 | Commissariat A L'energie Atomique | Polishing machine having a taut microabrasive strip and an improved wafer support head |
| WO2003016070A3 (en) * | 2001-08-16 | 2003-04-03 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for supporting a polishing web |
| WO2008041778A1 (en) * | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Ebara Corporation | Polishing apparatus, polishing method, and treating apparatus |
-
1989
- 1989-10-11 JP JP26466389A patent/JP2694197B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2677288A1 (fr) * | 1991-06-06 | 1992-12-11 | Commissariat Energie Atomique | Machine de polissage a feuille microbrasive tendue. |
| US5335453A (en) * | 1991-06-06 | 1994-08-09 | Commissariat A L'energie Atomique | Polishing machine having a taut microabrasive strip and an improved wafer support head |
| WO2003016070A3 (en) * | 2001-08-16 | 2003-04-03 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for supporting a polishing web |
| US6837964B2 (en) | 2001-08-16 | 2005-01-04 | Applied Materials, Inc. | Integrated platen assembly for a chemical mechanical planarization system |
| WO2008041778A1 (en) * | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Ebara Corporation | Polishing apparatus, polishing method, and treating apparatus |
| US8047896B2 (en) | 2006-10-04 | 2011-11-01 | Ebara Corporation | Polishing apparatus, polishing method, and processing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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