JPH03134503A - レーザ測長器及びそれにおける空気のゆらぎの補正方法 - Google Patents
レーザ測長器及びそれにおける空気のゆらぎの補正方法Info
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- JPH03134503A JPH03134503A JP1271658A JP27165889A JPH03134503A JP H03134503 A JPH03134503 A JP H03134503A JP 1271658 A JP1271658 A JP 1271658A JP 27165889 A JP27165889 A JP 27165889A JP H03134503 A JPH03134503 A JP H03134503A
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- Japan
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- air
- measurement
- refractive index
- correction
- optical path
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ測長器及びレーザ測長器における空気の
ゆらぎ、即ち空気の屈折率変化による変位の測定誤差の
補正方法に係り、特に半導体製造装置におけるウェハの
位置決め精度を向上させるのに有効なレーザ測長器及び
レーザ測長器における空気のゆらぎの補正方法に関する
。
ゆらぎ、即ち空気の屈折率変化による変位の測定誤差の
補正方法に係り、特に半導体製造装置におけるウェハの
位置決め精度を向上させるのに有効なレーザ測長器及び
レーザ測長器における空気のゆらぎの補正方法に関する
。
半導体製造装置においては、縮小投影露光装置のＸＹス
テージにより高密度にウェハを位置決めする技術が要求
されており、現状ではステージ位置決めようセンサとし
てレーザ測長器が広く利用されている。しかし、半導体
素子の高密度化に伴ないステージに要求される位置決め
精度がより高くなり、レーザビーム上の空気のゆらぎ、
即ち空気の屈折率の変化に起因する測定誤差が無視し得
なくなりつつある。
テージにより高密度にウェハを位置決めする技術が要求
されており、現状ではステージ位置決めようセンサとし
てレーザ測長器が広く利用されている。しかし、半導体
素子の高密度化に伴ないステージに要求される位置決め
精度がより高くなり、レーザビーム上の空気のゆらぎ、
即ち空気の屈折率の変化に起因する測定誤差が無視し得
なくなりつつある。
このような空気のゆらぎによる測定誤差を減らすために
、特開昭６０−２６３８０１号公報に記載の装置によれ
ば、信号ビームの他に屈折率補正用ビームとして参照ビ
ームを信号ビームの近傍に設け、参照ビーム反射鏡と信
号ビーム反射鏡をほぼ同じ距離だけ離して設定すること
により両ビームがほぼ同程度の屈折率変化を受けるので
、両光の干渉をとることによってこれらの影響がほぼキ
ャンセルされるとしているが、近似的に補正を行うだけ
で、測定対象物がある程度長い距離を動いて両ビームの
光路長差が大きくなったときに発生する測定誤差につい
ては配慮していなかった。
、特開昭６０−２６３８０１号公報に記載の装置によれ
ば、信号ビームの他に屈折率補正用ビームとして参照ビ
ームを信号ビームの近傍に設け、参照ビーム反射鏡と信
号ビーム反射鏡をほぼ同じ距離だけ離して設定すること
により両ビームがほぼ同程度の屈折率変化を受けるので
、両光の干渉をとることによってこれらの影響がほぼキ
ャンセルされるとしているが、近似的に補正を行うだけ
で、測定対象物がある程度長い距離を動いて両ビームの
光路長差が大きくなったときに発生する測定誤差につい
ては配慮していなかった。
また現在のところ広く行われている従来技術としては、
環境センサを使って信号ビームの近傍における空気の温
度、圧力、湿度等を測定し、数式によって空気の屈折率
を算出して数値補正を行っていたが、環境の測定点数が
限られるためその測定点数における屈折率の平均値的な
ものでしか補正が行えず、レーザビームパス全体につい
ての補正としては完全なものとは言えなかった。
環境センサを使って信号ビームの近傍における空気の温
度、圧力、湿度等を測定し、数式によって空気の屈折率
を算出して数値補正を行っていたが、環境の測定点数が
限られるためその測定点数における屈折率の平均値的な
ものでしか補正が行えず、レーザビームパス全体につい
ての補正としては完全なものとは言えなかった。
上記従来技術では、測定対象物が変位して参照ビームと
測定ビームの光路長差が大きくなったときには両ビーム
に与える空気の屈折率変化の影響の度合いが異なるため
に補正が不完全になり測定誤差が大きくなる点が課題と
なっていた。
測定ビームの光路長差が大きくなったときには両ビーム
に与える空気の屈折率変化の影響の度合いが異なるため
に補正が不完全になり測定誤差が大きくなる点が課題と
なっていた。
本発明は上記の課題を解決し、測定対象物が長い距離動
いても、測定誤差の補正が完全になされるようにレーザ
測長器及びレーザ測長器における空気のゆらぎの補正方
法を備えることを目的とする。
いても、測定誤差の補正が完全になされるようにレーザ
測長器及びレーザ測長器における空気のゆらぎの補正方
法を備えることを目的とする。
上記目的は、レーザ光の干渉を利用したレーザ測長器に
おいて、レーザビームを二分割し、分割した一方のビー
ムを空気中を経由する測定用ビームとして、これにより
測定用出力を生ずる測定用干渉計手段を構成すると共に
、他方のビームを前記測定用ビームの過分の空気中を経
由して、屈折率変化補正用ビームとし、前記測定用ビー
ムと異なる影響下で空気の屈折率変化の影響を受けた測
定出力を生じる補正用干渉計を構成し、リセット時の前
記両ビームの光路長の情報および空気の屈折率値を定数
入力として且つ前記再測定出力を随時入力として取り込
み、リセット時以降の空気の空気の屈折率変化の影響を
補正した測定対象物の変位量を示す測定結果を出力する
演算装置を備えることにより達成される。
おいて、レーザビームを二分割し、分割した一方のビー
ムを空気中を経由する測定用ビームとして、これにより
測定用出力を生ずる測定用干渉計手段を構成すると共に
、他方のビームを前記測定用ビームの過分の空気中を経
由して、屈折率変化補正用ビームとし、前記測定用ビー
ムと異なる影響下で空気の屈折率変化の影響を受けた測
定出力を生じる補正用干渉計を構成し、リセット時の前
記両ビームの光路長の情報および空気の屈折率値を定数
入力として且つ前記再測定出力を随時入力として取り込
み、リセット時以降の空気の空気の屈折率変化の影響を
補正した測定対象物の変位量を示す測定結果を出力する
演算装置を備えることにより達成される。
また補正用干渉計において、補正用ビームを参照光と信
号光に分割し、前者を屈折率が一定な光路に、後者を空
気中に伝播させることにより空気の屈折率の変動分だけ
を測定できる。
号光に分割し、前者を屈折率が一定な光路に、後者を空
気中に伝播させることにより空気の屈折率の変動分だけ
を測定できる。
〔作用〕
レーザビームを２分割して、その一方を屈折率変化に伴
なう測定誤差補正用ビームとして、変位測定用ビームと
は別に全く独立した補正用干渉計を構成する。この補正
用ビームにより空気の屈折率変化をモニタし、このモニ
タの結果を演算装置に取入れて、空気の屈折率変化に起
因する成分を消去して、その影響を全く受けない測定結
果を出力する。
なう測定誤差補正用ビームとして、変位測定用ビームと
は別に全く独立した補正用干渉計を構成する。この補正
用ビームにより空気の屈折率変化をモニタし、このモニ
タの結果を演算装置に取入れて、空気の屈折率変化に起
因する成分を消去して、その影響を全く受けない測定結
果を出力する。
補正用干渉計においては、その参照光と信号光の光路長
を等しくとり、前者の光路は屈折率が変動しない媒質中
とし、後者の光路は空気中として空気のゆらぎを受ける
ようにすることで、空気の屈折率の変動分だけを測定で
きる。このとき支持部材等の熱伸縮による両光路長の変
動はキャンセルされるので問題とならない、このような
補正用ビームを、変位測定用干渉計の信号光に近いとこ
ろに設置すれば、かなり高い精度でその空気のゆらぎを
モニタし、出力を補正することができる。
を等しくとり、前者の光路は屈折率が変動しない媒質中
とし、後者の光路は空気中として空気のゆらぎを受ける
ようにすることで、空気の屈折率の変動分だけを測定で
きる。このとき支持部材等の熱伸縮による両光路長の変
動はキャンセルされるので問題とならない、このような
補正用ビームを、変位測定用干渉計の信号光に近いとこ
ろに設置すれば、かなり高い精度でその空気のゆらぎを
モニタし、出力を補正することができる。
以下５本発明のレーザ測長器の一実施例を第１図及び第
２図により説明する。
２図により説明する。
レーザ測長器は直線偏光を発振する波長安定化レーザ発
振器１と、発振したレーザ光を二分割するビーム分割器
２とを備え、一方で偏光ビームスプリッタ１５．１／４
波長板１７．偏光板２７及び三角プリズム１６よりなる
補正用干渉計４と、ミラー６及び例えば石英ガラス等で
できた補正用参照光路７により補正用光学系を構成する
と共に、他方で１７４波長板２０，２１、偏光板２８お
よび偏光ビームスプリッタ２７よりなる測定用干渉計５
と、測定対象物であるＸＹステージ１４上に設置された
捧ミラー８により測定用光学系を構成している。
振器１と、発振したレーザ光を二分割するビーム分割器
２とを備え、一方で偏光ビームスプリッタ１５．１／４
波長板１７．偏光板２７及び三角プリズム１６よりなる
補正用干渉計４と、ミラー６及び例えば石英ガラス等で
できた補正用参照光路７により補正用光学系を構成する
と共に、他方で１７４波長板２０，２１、偏光板２８お
よび偏光ビームスプリッタ２７よりなる測定用干渉計５
と、測定対象物であるＸＹステージ１４上に設置された
捧ミラー８により測定用光学系を構成している。
９．１０はそれぞれ干渉計４，５からの干渉光を光電変
換してこれにより位相変化を測定する光路差測定装置で
、これらの出力Ａ、Ｂを演算装置１１に取り込んで演算
処理し、空気のゆらぎを補正した変位測定出力Ｘを出力
する。
換してこれにより位相変化を測定する光路差測定装置で
、これらの出力Ａ、Ｂを演算装置１１に取り込んで演算
処理し、空気のゆらぎを補正した変位測定出力Ｘを出力
する。
以下に、各部の動作を詳細に説明する。波長を安定化し
たレーザ発振器１を発した紙面に対して４５°方向に偏
光面をもつ直線偏光のレーザ光は、ビーム分割器２によ
り補正用ビーム２３と測定用ビーム２４に２分割される
。補正用ビーム２３は補正用干渉計４の偏光ビームスプ
リッタ１５に入射し、紙面に垂直な直線偏光成分である
補正用参照光２５と５紙面に平行な直線偏光成分である
補正用信号光２６に２分割される。補正用参照光２５は
１／４波長板１７を経て円偏光となり、例えば石英ガラ
スなどでできているロンド状の補正用参照光路７中を伝
播し、その先端に位置する反射鏡６で反射され、再び同
一光路を戻って偏光ビームスプリッタ１５に至るが、１
／４波長板１７を一往復したこの光は偏光面が９０°回
転しているので今度は偏光ビームスプリッタ１５を透過
して偏光板２７に至る。一方、はじめに偏光ビームスプ
リッタ１５を透過した補正用信号光２６は三角プリズム
１６で反射し１／４波長板を経て同じく円偏光となるが
、こちらは空気中を伝播して反射鏡６に至り、ここで反
射されてやはり同一光路を戻って偏光ビームスプリッタ
１５に再入射する。
たレーザ発振器１を発した紙面に対して４５°方向に偏
光面をもつ直線偏光のレーザ光は、ビーム分割器２によ
り補正用ビーム２３と測定用ビーム２４に２分割される
。補正用ビーム２３は補正用干渉計４の偏光ビームスプ
リッタ１５に入射し、紙面に垂直な直線偏光成分である
補正用参照光２５と５紙面に平行な直線偏光成分である
補正用信号光２６に２分割される。補正用参照光２５は
１／４波長板１７を経て円偏光となり、例えば石英ガラ
スなどでできているロンド状の補正用参照光路７中を伝
播し、その先端に位置する反射鏡６で反射され、再び同
一光路を戻って偏光ビームスプリッタ１５に至るが、１
／４波長板１７を一往復したこの光は偏光面が９０°回
転しているので今度は偏光ビームスプリッタ１５を透過
して偏光板２７に至る。一方、はじめに偏光ビームスプ
リッタ１５を透過した補正用信号光２６は三角プリズム
１６で反射し１／４波長板を経て同じく円偏光となるが
、こちらは空気中を伝播して反射鏡６に至り、ここで反
射されてやはり同一光路を戻って偏光ビームスプリッタ
１５に再入射する。
この場合も先と同様１／４波長板を一往復したこの光は
偏光面が９０’回転しているので今度は偏光ビームスプ
リッタ１５で反射して先の補正用参照光と共に偏光板２
７に至る。ここで偏光板２７はその透過軸を紙面に対し
て４５°に設置しであるので１両光の共通な偏光成分同
志が干渉を起こす。補正用参照光路はすべてガラス中な
ので空気のゆらぎの影響を受けることはなくその光路長
は安定しているのに対し、補正用信号光路上の空気の屈
折率がゆらぎにより変化すると、反射光の位相が変化し
、干渉光の強度が変化するので、光路差測定装置９にお
いてその強度変化から、空気のゆらぎによる位相の変化
分を出力Ａとして得られる。つまり、この出力Ａは、補
正用信号光路上の空気のゆらぎの度合いを示しているこ
とになり、これが空気の屈折率変化のモニタとなる。
偏光面が９０’回転しているので今度は偏光ビームスプ
リッタ１５で反射して先の補正用参照光と共に偏光板２
７に至る。ここで偏光板２７はその透過軸を紙面に対し
て４５°に設置しであるので１両光の共通な偏光成分同
志が干渉を起こす。補正用参照光路はすべてガラス中な
ので空気のゆらぎの影響を受けることはなくその光路長
は安定しているのに対し、補正用信号光路上の空気の屈
折率がゆらぎにより変化すると、反射光の位相が変化し
、干渉光の強度が変化するので、光路差測定装置９にお
いてその強度変化から、空気のゆらぎによる位相の変化
分を出力Ａとして得られる。つまり、この出力Ａは、補
正用信号光路上の空気のゆらぎの度合いを示しているこ
とになり、これが空気の屈折率変化のモニタとなる。
次にビーム分割器２で分けられた一方の光、測定用ビー
ム２４は１反射鏡３を経て測定用干渉計５の偏光ビーム
スプリッタ２２に入射する。ここでも先の補正用ビーム
の場合と同様に偏光ビームスプリッタ２２で測定用参照
光と測定用信号光に２分割される。測定用参照光ははじ
め偏光ビームスプリッタ２２を透過して１／４波長板２
１へ入射し、その裏面に付けた反射膜２９で反射して再
び偏光ビームスプリッタ２２を経て偏光板２８に至る。
ム２４は１反射鏡３を経て測定用干渉計５の偏光ビーム
スプリッタ２２に入射する。ここでも先の補正用ビーム
の場合と同様に偏光ビームスプリッタ２２で測定用参照
光と測定用信号光に２分割される。測定用参照光ははじ
め偏光ビームスプリッタ２２を透過して１／４波長板２
１へ入射し、その裏面に付けた反射膜２９で反射して再
び偏光ビームスプリッタ２２を経て偏光板２８に至る。
−力測定用信号光ははじめ偏光ビームスプリッタ２２で
反射し、１７４波長板２０を経てＸＹステージ１４上の
捧ミラー８に至り、ここで反射して再び１７４波長板２
−Ｏ２偏光ビームスプリッタ２２を経て偏光板２８に至
る。ここで両光の共通成分同志が干渉し、ステージ１４
が変位して測定用信号光路長が変化することに応じてそ
の干渉光張渡が変化するので、これを光路差測定装置１
０において処理し、ｘＹステージの変位量として出力Ｂ
を得ている。
反射し、１７４波長板２０を経てＸＹステージ１４上の
捧ミラー８に至り、ここで反射して再び１７４波長板２
−Ｏ２偏光ビームスプリッタ２２を経て偏光板２８に至
る。ここで両光の共通成分同志が干渉し、ステージ１４
が変位して測定用信号光路長が変化することに応じてそ
の干渉光張渡が変化するので、これを光路差測定装置１
０において処理し、ｘＹステージの変位量として出力Ｂ
を得ている。
続いて出力Ａ、Ｂについて説明する。ここでは測定の原
点（リセット時）、つまり測定対象物のＸＹステージ１
４の変位が零の時の測定用干渉計５とＸＹステージ上の
棒ミラー８との距離をＱｌ。
点（リセット時）、つまり測定対象物のＸＹステージ１
４の変位が零の時の測定用干渉計５とＸＹステージ上の
棒ミラー８との距離をＱｌ。
補正用干渉計４と反射鏡６との距離、つまり補正用参照
光路長をｆｉｘ、補正用参照光路７を構成する部材の屈
折率をｎｇ、またＱｌ及びＱＺの領域では空気の屈折率
は一様でｎであると考える。この状態から測定対象物で
あるＸＹステージ１４がＸだけ変化したとし、この間に
空気の屈折率が全光路上において一様にΔｎだけ変化し
て（ｎ＋Δｎ）になったとすると光路差測定装置！９．
１０の出力Ａ、Ｂはそれぞれ次のようになる。
光路長をｆｉｘ、補正用参照光路７を構成する部材の屈
折率をｎｇ、またＱｌ及びＱＺの領域では空気の屈折率
は一様でｎであると考える。この状態から測定対象物で
あるＸＹステージ１４がＸだけ変化したとし、この間に
空気の屈折率が全光路上において一様にΔｎだけ変化し
て（ｎ＋Δｎ）になったとすると光路差測定装置！９．
１０の出力Ａ、Ｂはそれぞれ次のようになる。
Ａ＝（ｎｇ−ｒｌ＋Δｎ）Ｑｔ−（ｎｇ−ｎ）Ｑｚ＝Δ
ｎＱ１ ・・・（１）Ｂ＝（ｕ
ｚ＋ｘ）（ｎ＋Δｎ）−Ｑｚｎ＝＝ｎｘ＋（１ｔ＋ｘ）
Δｎ −（２）（１）よりΔｎ ＝ Ａ
／ Ｑ １ を（２）に代入してＸについて整理すると
次のようになる。
ｎＱ１ ・・・（１）Ｂ＝（ｕ
ｚ＋ｘ）（ｎ＋Δｎ）−Ｑｚｎ＝＝ｎｘ＋（１ｔ＋ｘ）
Δｎ −（２）（１）よりΔｎ ＝ Ａ
／ Ｑ １ を（２）に代入してＸについて整理すると
次のようになる。
Ｊｌ ｔ ｎ ＋ Ａ
従ってリセット時のＭｔ、Ｑｚ、ｎの値を初期値として
演算装置１１に入力しておき、光路差測定装置９，１０
の出力Ａ、Ｂを随時演算装置１１に取り込んで（３）式
の演算を実行し、その解Ｘを随時出力又として出力すれ
ば、この出力Ｘは空気の屈折率変化Δｎ、つまり空気の
ゆらぎの影響を受けない安定な変位Ｘの測定結果となる
。
演算装置１１に入力しておき、光路差測定装置９，１０
の出力Ａ、Ｂを随時演算装置１１に取り込んで（３）式
の演算を実行し、その解Ｘを随時出力又として出力すれ
ば、この出力Ｘは空気の屈折率変化Δｎ、つまり空気の
ゆらぎの影響を受けない安定な変位Ｘの測定結果となる
。
２二で初期値として用いるリセット時のＱｌの測定誤差
あるいは測定中の温度変動によるａｌの変動による測定
誤差を検討する。Ｑｌに誤差δＱｌが含まれるときに発
生する測定誤差δＸはっぎのようになる。
あるいは測定中の温度変動によるａｌの変動による測定
誤差を検討する。Ｑｌに誤差δＱｌが含まれるときに発
生する測定誤差δＸはっぎのようになる。
一δＱ ｚＢ （ｆｆ ｔｎ ＋Ａ）＋δＱ１ｎ（ＱＩ
Ｂ−ＱｚＡ）（（ａｌ−δＩｘ）ｎ＋Ａ）（１２ｔｎ＋
Ａ）−δＱ１・Ａ（Ｂ＋Ｑ２ｎ） Ｑｘ” ここで実際的な値としてＱｚ＝Ｑｚ＝Ｂ＝０．２（ｍ）
、ｎ＝１．またこの程度の長さの光路上で気温が仮に１
℃変化するとΔｎは１０−６程度変化するので、これら
の値を代入すると δｘ＝２６ＱｚＸ１０−’ よって、測定値Ｘを誤差ｉｎｎ以下で測定するためには ２δｊｌｚＸ１０″″Ｂ＜１０−” δｎｔ＜５Ｘ１０″″４（ｍ） という条件から、初期値としてのａＸの精度は０．５（
■）程度でよく、また測定中にΩ！が０．５（■）程度
は変動しても支障はない。
Ｂ−ＱｚＡ）（（ａｌ−δＩｘ）ｎ＋Ａ）（１２ｔｎ＋
Ａ）−δＱ１・Ａ（Ｂ＋Ｑ２ｎ） Ｑｘ” ここで実際的な値としてＱｚ＝Ｑｚ＝Ｂ＝０．２（ｍ）
、ｎ＝１．またこの程度の長さの光路上で気温が仮に１
℃変化するとΔｎは１０−６程度変化するので、これら
の値を代入すると δｘ＝２６ＱｚＸ１０−’ よって、測定値Ｘを誤差ｉｎｎ以下で測定するためには ２δｊｌｚＸ１０″″Ｂ＜１０−” δｎｔ＜５Ｘ１０″″４（ｍ） という条件から、初期値としてのａＸの精度は０．５（
■）程度でよく、また測定中にΩ！が０．５（■）程度
は変動しても支障はない。
本発明によれば、レーザ干渉を利用した測長器において
、ビームを二分割して、一方を変位測定用ビームとし、
他方を補正用ビームとして空気の屈折率をモニタし、両
ビームによる測定結果を演算する装置に取り込み、Ｈｉ
折率変化分を消去する演算を行うことにより、測定対象
物がどのような位置にあるときにでも、また空気の屈折
率がビーム上でどのように分布し、さらにそれが不均一
に変化するときにでも空気の屈折率変化による変位の測
定誤差を補正し、高精度で再現性の高い安定な出力が得
られる。
、ビームを二分割して、一方を変位測定用ビームとし、
他方を補正用ビームとして空気の屈折率をモニタし、両
ビームによる測定結果を演算する装置に取り込み、Ｈｉ
折率変化分を消去する演算を行うことにより、測定対象
物がどのような位置にあるときにでも、また空気の屈折
率がビーム上でどのように分布し、さらにそれが不均一
に変化するときにでも空気の屈折率変化による変位の測
定誤差を補正し、高精度で再現性の高い安定な出力が得
られる。
現状では空気の流れによる屈折率の変化によって、０．
０１〜０．１μｍ程度の測定誤差が発生するが本発明に
よれば、この誤差を１／１０〜１／１００に低（できる
。
０１〜０．１μｍ程度の測定誤差が発生するが本発明に
よれば、この誤差を１／１０〜１／１００に低（できる
。
第１図は本発明のレーザ測長器の構成図、第２図は第１
図に示した補正用光学系部分の拡大図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・ビーム分割器、４・・
・補正用干渉計、５・・・測定用干渉計、７・・・補正
用参照光ｊ１算栗Ｉ
図に示した補正用光学系部分の拡大図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・ビーム分割器、４・・
・補正用干渉計、５・・・測定用干渉計、７・・・補正
用参照光ｊ１算栗Ｉ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ光の干渉を利用したレーザ測長器において、
レーザビームを二分割する手段と、分割した一方のビー
ムを空気中を経由する測定用ビームとして、これにより
測定対象物の変位量を示す測定出力を生ずる測定用干渉
計手段と、他方のビームを前記測定用ビームの近傍の空
気中を経由して屈折率変化補正用ビームとし、前記測定
用ビームと異なる影響下で空気の屈折率変化の影響を受
けた測定出力を生ずる補正用干渉計手段と、リセット時
の前記両ビームの光路長の情報および空気の屈折率値を
定数入力として且つ前記両干渉計手段の測定出力を随時
入力として取り込み、リセット時以降の空気の屈折率変
化の影響を補正した測定対象物変位量を示す測定結果を
出力する演算手段とからなるレーザ測長器。２、前記補
正用干渉計手段が前記補正用ビームを参照光と信号光に
分割する手段を含み、更に屈折率が一定な光路を設けて
、前記参照光を前記光路に、前記信号光を空気中に伝播
させるようにした請求項１記載のレーザ測長器。 ３、レーザ光の干渉を利用したレーザ測長器において、
レーザビームを二つに分割し、一方のビームを空気中を
経由する測定用ビームとして、これにより測定対象物の
変化量を示す測定出力を生じる測定用干渉計を構成する
と共に、他方のビームを前記測定用ビームの近傍の空気
中を経由して屈折率変化補正用ビームとし、前記測定用
ビームと異なる影響下で空気の屈折率変化の影響を受け
た測定出力を生じる補正用干渉計を構成し、リセット時
の前記両ビームの光路長の情報および空気の屈折率値を
定数入力として且つ前記両測定出力を随時入力として取
り込み、リセット時以降の空気の屈折率変化の影響を補
正した測定対象物の変化量を示す測定結果を出力するよ
うにしたことを特徴とするレーザ測長器における空気の
ゆらぎに伴なう測定誤差の補正方法。 ４、前記補正用ビームを参照光と信号光に分割し、更に
屈折率が一定な光路を設けて、前記参照光を前記光路に
、前記信号光を空気中に伝播させることを特徴とする請
求項３記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1271658A JPH03134503A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | レーザ測長器及びそれにおける空気のゆらぎの補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1271658A JPH03134503A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | レーザ測長器及びそれにおける空気のゆらぎの補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03134503A true JPH03134503A (ja) | 1991-06-07 |
Family
ID=17503098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1271658A Pending JPH03134503A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | レーザ測長器及びそれにおける空気のゆらぎの補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03134503A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022188520A (ja) * | 2021-06-09 | 2022-12-21 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、露光装置、及び物品の製造方法 |
-
1989
- 1989-10-20 JP JP1271658A patent/JPH03134503A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022188520A (ja) * | 2021-06-09 | 2022-12-21 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、露光装置、及び物品の製造方法 |
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