JPH0314010A - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JPH0314010A JPH0314010A JP15009589A JP15009589A JPH0314010A JP H0314010 A JPH0314010 A JP H0314010A JP 15009589 A JP15009589 A JP 15009589A JP 15009589 A JP15009589 A JP 15009589A JP H0314010 A JPH0314010 A JP H0314010A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- mass flow
- flow controller
- flow rate
- valve opening
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、工業用プロセスガスの流量制御器に関する。
第２図は従来の一例を示すマスフローコントローラのブ
ロック図である。
ロック図である。
従来、この種のマスフローコントローラは、第２図に示
すように、センサー８、バイパス部１３、コントロール
バルブ６、各種電気回路２゜３．４で構成されていた。
すように、センサー８、バイパス部１３、コントロール
バルブ６、各種電気回路２゜３．４で構成されていた。
センサー８は、バイパス２管である毛細管に二つの自己
発熱抵抗体が巻かれ、ブリッジ回路２に接続されている
。ここで、バイパス管にガスが流れると、センサー８が
熱の移動に伴ない感知し、ブリッジ回路２のバランスが
くずれる。このバランスのくずれは、流体の質量と単位
時間当たりの流量に比例するものであるが、比較制御回
路４が、ブリッジ回路２の出力電圧を増幅回路３で増幅
した電圧と流量設定器から入力された電圧を比較し、コ
ントロールバルブの開度を制御することにより、マスフ
ローコントローラは、目的の流量を得ることができた。
発熱抵抗体が巻かれ、ブリッジ回路２に接続されている
。ここで、バイパス管にガスが流れると、センサー８が
熱の移動に伴ない感知し、ブリッジ回路２のバランスが
くずれる。このバランスのくずれは、流体の質量と単位
時間当たりの流量に比例するものであるが、比較制御回
路４が、ブリッジ回路２の出力電圧を増幅回路３で増幅
した電圧と流量設定器から入力された電圧を比較し、コ
ントロールバルブの開度を制御することにより、マスフ
ローコントローラは、目的の流量を得ることができた。
上述した従来のマスフローコントローラでは、通常、比
較制御回路４又は、ブリッジ回路２が故障した場合、コ
ントロールバルブ６が全開になることがあり、自燃性ガ
ス、毒性を持つガス等を使用する場合は、配管内に他の
安全装置を組み入れる必要があるので、ガスシステムの
規模が大きくなり、また構成が煩雑となる欠点を持って
いた。
較制御回路４又は、ブリッジ回路２が故障した場合、コ
ントロールバルブ６が全開になることがあり、自燃性ガ
ス、毒性を持つガス等を使用する場合は、配管内に他の
安全装置を組み入れる必要があるので、ガスシステムの
規模が大きくなり、また構成が煩雑となる欠点を持って
いた。
さらに、マスフローコントローラに流量制限として固定
オリフィスを取付けた場合でも、−次側ガス圧が適当で
なかった場合、マスフローコントローラの制御流量範囲
以上のガスが流れる危険があった。
オリフィスを取付けた場合でも、−次側ガス圧が適当で
なかった場合、マスフローコントローラの制御流量範囲
以上のガスが流れる危険があった。
本発明の目的は、かかる問題を解消するマスフローコン
トローラを提供することにある。
トローラを提供することにある。
本発明のマスフローコントローラは、工業用プロセスガ
スの流量制御を行なうマスフローコントローラにおいて
、ガス入口側に設けられた流量を検出するセンサと、こ
のセンサより出力を圧力伝送器を介して入力するバルブ
開度制限回路と、このバルブ開度制限回路の出力により
コントロールバルブの開閉を制御するバルブ開度制限器
とを備え構成される。
スの流量制御を行なうマスフローコントローラにおいて
、ガス入口側に設けられた流量を検出するセンサと、こ
のセンサより出力を圧力伝送器を介して入力するバルブ
開度制限回路と、このバルブ開度制限回路の出力により
コントロールバルブの開閉を制御するバルブ開度制限器
とを備え構成される。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すマスフローコントロ
ーラのブロック図である。このマスフローコントローラ
は、同図に示すように、許容量以上のガスが流出しない
ように、ガス人口１側に圧力検出器１１を、この圧力検
出器１１より流量を検出し、圧力伝送器９を介して作動
するバルブ開度制限回路１０と、この制限回路１０によ
り制御されるバルブ開度制限器５を設けたことである。
ーラのブロック図である。このマスフローコントローラ
は、同図に示すように、許容量以上のガスが流出しない
ように、ガス人口１側に圧力検出器１１を、この圧力検
出器１１より流量を検出し、圧力伝送器９を介して作動
するバルブ開度制限回路１０と、この制限回路１０によ
り制御されるバルブ開度制限器５を設けたことである。
その他は従来例と同じである。
次に、このマスフローコントローラの動作を説明する。
まず、マスフローコントローラ内部にガスが供給される
と、圧力検知器１１によりガス圧が検知され、圧力伝送
器９を介し、バルブ開度制限回路１０にガス圧に応じた
信号が入力される。
と、圧力検知器１１によりガス圧が検知され、圧力伝送
器９を介し、バルブ開度制限回路１０にガス圧に応じた
信号が入力される。
入力されたバルブ開度制限回路１０は入力信号に応じて
出力信号をバルブ開度制限器５に出力し、比較制御回路
４からの出力と重畳し、コントロールバルブ６を制御す
る。
出力信号をバルブ開度制限器５に出力し、比較制御回路
４からの出力と重畳し、コントロールバルブ６を制御す
る。
通常、コントロールバルブが全開時のガス流量は、ガス
種とガス圧、マスフローコントローラの圧力損失によっ
て決定される０本実施例では、コントロールバルブ６の
開度の上限をガス圧によって変化させ、マスフローコン
トローラの故障時にも、マスフローコントローラから許
容量以上のガス流出を防止するものである。また、ガス
圧力がマスフローコントローラの最大使用圧よりも高く
なった場合、コントロールバルブを全閉とする機能を備
え、通常の使用時は、従来のマスフローコントローラと
同じ動作ができる。
種とガス圧、マスフローコントローラの圧力損失によっ
て決定される０本実施例では、コントロールバルブ６の
開度の上限をガス圧によって変化させ、マスフローコン
トローラの故障時にも、マスフローコントローラから許
容量以上のガス流出を防止するものである。また、ガス
圧力がマスフローコントローラの最大使用圧よりも高く
なった場合、コントロールバルブを全閉とする機能を備
え、通常の使用時は、従来のマスフローコントローラと
同じ動作ができる。
以上説明したように本発明は、マスフローコントローラ
に圧力検知−器、圧力伝送器とその信号によりバルブ開
度を制限する機構を設けることにより、ガス圧の異常時
、マスフローコントローラの故障時にガス流量の暴走を
抑制し、大流量のガスが流れないようにすることができ
る。また、安全のなめにガスシステムに取付けられるニ
ードル弁、接点出力付圧力警報器などを組み込む必要が
ないため、ガスシステムの構成を簡素化することが可能
となり、ガスシステムをコンパクト化できる効果がある
。
に圧力検知−器、圧力伝送器とその信号によりバルブ開
度を制限する機構を設けることにより、ガス圧の異常時
、マスフローコントローラの故障時にガス流量の暴走を
抑制し、大流量のガスが流れないようにすることができ
る。また、安全のなめにガスシステムに取付けられるニ
ードル弁、接点出力付圧力警報器などを組み込む必要が
ないため、ガスシステムの構成を簡素化することが可能
となり、ガスシステムをコンパクト化できる効果がある
。
第１図は本発明な一実施例を示すマスフローコントロー
ラの１のブロック図、第２図は、従来の一例を示すマス
フローコントローラのブロック図である。 １・・・ガス入口、２・・・ブリッジ回路、３・・・増
幅回路、４・・・比較制御回路、５・・・バルブ開度制
限器、６・・・コントロールバルブ、７・・・ガス出口
、８・・・センサー ９・・・圧力伝送器、１０・・・
バルブ開度制限回路、１１・・・力検知器、１２・・・
流量設定器、１３・・・バイパス部。
ラの１のブロック図、第２図は、従来の一例を示すマス
フローコントローラのブロック図である。 １・・・ガス入口、２・・・ブリッジ回路、３・・・増
幅回路、４・・・比較制御回路、５・・・バルブ開度制
限器、６・・・コントロールバルブ、７・・・ガス出口
、８・・・センサー ９・・・圧力伝送器、１０・・・
バルブ開度制限回路、１１・・・力検知器、１２・・・
流量設定器、１３・・・バイパス部。
Claims (1)
- 工業用プロセスガスの流量制御を行なうマスフローコン
トローラにおいて、ガス入口側に設けられた流量を検出
するセンサと、このセンサより出力を圧力伝送器を介し
て入力するバルブ開度制限回路と、このバルブ開度制限
回路の出力によりコントロールバルブの開閉を制御する
バルブ開度制限器とを備えることを特徴とするマスフロ
ーコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15009589A JPH0314010A (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15009589A JPH0314010A (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | マスフローコントローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0314010A true JPH0314010A (ja) | 1991-01-22 |
Family
ID=15489405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15009589A Pending JPH0314010A (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0314010A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005076095A1 (ja) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Hitachi Metals, Ltd. | 質量流量制御装置 |
| CN104615157A (zh) * | 2009-10-15 | 2015-05-13 | 关键系统公司 | 用于气体流量控制的方法和设备 |
| KR20160138238A (ko) | 2014-03-31 | 2016-12-02 | 도쿄 세이미츠 하츠조 가부시키가이샤 | 금속판의 굽힘 가공 장치 |
| US10207304B2 (en) | 2014-03-31 | 2019-02-19 | Tokyo Seimitsu Hatsujo Co., Ltd. | Bending device for metallic plate |
-
1989
- 1989-06-12 JP JP15009589A patent/JPH0314010A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005076095A1 (ja) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Hitachi Metals, Ltd. | 質量流量制御装置 |
| KR100739520B1 (ko) * | 2004-02-03 | 2007-07-13 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 질량 유량 제어 장치 |
| US8112182B2 (en) | 2004-02-03 | 2012-02-07 | Hitachi Metals, Ltd. | Mass flow rate-controlling apparatus |
| CN104615157A (zh) * | 2009-10-15 | 2015-05-13 | 关键系统公司 | 用于气体流量控制的方法和设备 |
| US9523435B2 (en) | 2009-10-15 | 2016-12-20 | Pivotal Systems Corporation | Method and apparatus for gas flow control |
| US9904297B2 (en) | 2009-10-15 | 2018-02-27 | Pivotal Systems Corporation | Method and apparatus for gas flow control |
| US9983595B2 (en) | 2009-10-15 | 2018-05-29 | Pivotal Systems Corporation | Method and apparatus for gas flow control |
| KR20160138238A (ko) | 2014-03-31 | 2016-12-02 | 도쿄 세이미츠 하츠조 가부시키가이샤 | 금속판의 굽힘 가공 장치 |
| US10207304B2 (en) | 2014-03-31 | 2019-02-19 | Tokyo Seimitsu Hatsujo Co., Ltd. | Bending device for metallic plate |
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