JPH03140464A - ターゲットのバッキング装置 - Google Patents
ターゲットのバッキング装置Info
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- JPH03140464A JPH03140464A JP27936789A JP27936789A JPH03140464A JP H03140464 A JPH03140464 A JP H03140464A JP 27936789 A JP27936789 A JP 27936789A JP 27936789 A JP27936789 A JP 27936789A JP H03140464 A JPH03140464 A JP H03140464A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体集積回路の製造に用いられるターゲッ
トのバッキング装置に関する。
トのバッキング装置に関する。
（従来の技術）
半導体基板に配線金属層を形成する方法としてスパッタ
法が知られており（例えば、特開昭６０−３９１６０号
公報参照）、このスパッタ法に用いられるターゲットの
バッキング装置として、例えば、特開昭６０−１１０８
７３号公報に記載のものが公知である。
法が知られており（例えば、特開昭６０−３９１６０号
公報参照）、このスパッタ法に用いられるターゲットの
バッキング装置として、例えば、特開昭６０−１１０８
７３号公報に記載のものが公知である。
この従来のバッキング装置を第８図に図示すれば、３０
はターゲット、３１はバッキングプレート（ｂａｃｋｉ
ｎｇ ｐｌａｔｅ ） 、３２は側壁、３３はマグネッ
ト、３４は連結棒、３５はモータである。バッキングプ
レート３１と側壁３２とは一体成形されており、その側
壁３２には冷却水人口３６および出口３７が形成され、
バッキングプレート３１には冷却水路３８が形成されて
いる。そしてターゲット３０はインジュームによるロー
付けによりバッキングプレート３１に固定されている。
はターゲット、３１はバッキングプレート（ｂａｃｋｉ
ｎｇ ｐｌａｔｅ ） 、３２は側壁、３３はマグネッ
ト、３４は連結棒、３５はモータである。バッキングプ
レート３１と側壁３２とは一体成形されており、その側
壁３２には冷却水人口３６および出口３７が形成され、
バッキングプレート３１には冷却水路３８が形成されて
いる。そしてターゲット３０はインジュームによるロー
付けによりバッキングプレート３１に固定されている。
（発明が解決しようとする課題）
ターゲットのバッキング装置において、均質な薄膜を得
るための磁界の均一性を得るためには、バッキングプレ
ートの薄肉化、すなわち、磁力の高透過性が必要となる
。
るための磁界の均一性を得るためには、バッキングプレ
ートの薄肉化、すなわち、磁力の高透過性が必要となる
。
しかしながら、前記従来のバッキング装置では、バッキ
ングプレートと側壁とが一体構造であるため、冷却水路
形成に当り、ハ・ノキングプレートの厚みを厚くしなけ
ればならず、磁力の高透過性を達成することが困難であ
った。
ングプレートと側壁とが一体構造であるため、冷却水路
形成に当り、ハ・ノキングプレートの厚みを厚くしなけ
ればならず、磁力の高透過性を達成することが困難であ
った。
また前記従来の一体型のバッキングプレートでは、ター
ゲットをロー付けする際、装置全体をロー付は温度にま
で加熱しなければならず、加熱のための装置が大がかり
となり、かつ多大の熱量を必要としていた。
ゲットをロー付けする際、装置全体をロー付は温度にま
で加熱しなければならず、加熱のための装置が大がかり
となり、かつ多大の熱量を必要としていた。
そこで、本発明は、バッキングプレートを可及的に薄肉
化して磁力の高透過性を得ると共に、ターゲットのロー
付けを容易としたターゲットのバッキング装置を提供す
ることを目的とする。
化して磁力の高透過性を得ると共に、ターゲットのロー
付けを容易としたターゲットのバッキング装置を提供す
ることを目的とする。
（課題を解決するための手段）
前記目的を達成するため、本発明は、次の手段を講じた
。即ち、本発明のターゲットのバッキング装置は、ター
ゲットをロー付けにより取付けるターゲット支持部と、
該ターゲット支持部を着脱自在に取付けると共に前記タ
ーゲットに磁場を付与するマグネットを収納したマグネ
ット収納部とに分割構成され、 前記ターゲット支持部は、ターゲットをロー付けする装
着面を備えたバッキングプレートと、該バッキングプレ
ートの装着面とは反対側の端面に密着固定された底板と
に分割構成され、かつ、該底板とバッキングプレート間
に冷却水路が形成されている。
。即ち、本発明のターゲットのバッキング装置は、ター
ゲットをロー付けにより取付けるターゲット支持部と、
該ターゲット支持部を着脱自在に取付けると共に前記タ
ーゲットに磁場を付与するマグネットを収納したマグネ
ット収納部とに分割構成され、 前記ターゲット支持部は、ターゲットをロー付けする装
着面を備えたバッキングプレートと、該バッキングプレ
ートの装着面とは反対側の端面に密着固定された底板と
に分割構成され、かつ、該底板とバッキングプレート間
に冷却水路が形成されている。
（作 用）
本発明によれば、ターゲット支持部とマグネット収納部
が分割構成されているので、ターゲットをターゲット支
持部にロー付けする際、マグネット収納部からターゲッ
ト支持部を取外し、該取外されたターゲット支持部に対
してターゲットをロー付けする。
が分割構成されているので、ターゲットをターゲット支
持部にロー付けする際、マグネット収納部からターゲッ
ト支持部を取外し、該取外されたターゲット支持部に対
してターゲットをロー付けする。
しかして、本発明によれば、ロー付けのためにターゲッ
ト支持部のみを加熱すれば良いので、従来の装置全体を
加熱するものに比べ、ロー付けが容易になる。
ト支持部のみを加熱すれば良いので、従来の装置全体を
加熱するものに比べ、ロー付けが容易になる。
またターゲット支持部は、バッキングプレートと底板と
に分割構成されているため、冷却水路の形成に際しては
、バッキングプレートに底板を密着固定する前に、バッ
キングプレートの端面に開きょ状の溝を形成し、その上
に底板を密着固定して暗きょ状の冷却水路を形成するこ
とができる。
に分割構成されているため、冷却水路の形成に際しては
、バッキングプレートに底板を密着固定する前に、バッ
キングプレートの端面に開きょ状の溝を形成し、その上
に底板を密着固定して暗きょ状の冷却水路を形成するこ
とができる。
しかして、本発明によれば、冷却水路をバッキングプレ
ートの端面に自由に形成することができ水路設計が容易
になると共に、従来の一体型パッキングプレートに比べ
、肉厚を薄クシても水路を形成することができる。
ートの端面に自由に形成することができ水路設計が容易
になると共に、従来の一体型パッキングプレートに比べ
、肉厚を薄クシても水路を形成することができる。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第１図に示すものは、スパッタリング装置に用いられる
ターゲットのバッキング装置１である。
ターゲットのバッキング装置１である。
該バッキング装置１は、ターゲット２をロー付けにより
取付けるターゲット支持部３と、該支持部３をボルト４
を介して着脱自在に取付けると共に、前記ターゲット２
に磁場を付与するマグネット５を収納したマグネット収
納部６とに分割構成されている。
取付けるターゲット支持部３と、該支持部３をボルト４
を介して着脱自在に取付けると共に、前記ターゲット２
に磁場を付与するマグネット５を収納したマグネット収
納部６とに分割構成されている。
前記マグネット収納部６は、ベース７と、該ベース７に
設けられた円筒状の周壁８とから成り、この周壁８の上
端面に、前記ターゲット支持部３が着脱自在に取付けら
れている。そして、前記周壁８で囲まれた空間に前記マ
グネット５が回転自在に収納され、該マグネット５は連
結部材９を介して外部のモータ１０に連結されている。
設けられた円筒状の周壁８とから成り、この周壁８の上
端面に、前記ターゲット支持部３が着脱自在に取付けら
れている。そして、前記周壁８で囲まれた空間に前記マ
グネット５が回転自在に収納され、該マグネット５は連
結部材９を介して外部のモータ１０に連結されている。
前記ターゲット支持部３は、前記ターゲット２をロー付
けする装着面１１を備えたバッキングプレート１２と、
該バッキングプレート１２の装着面１１とは反対側の端
面に密着固定された底板１３と分割構成されている。そ
して、バッキングプレート１２と底板１３間に冷却水路
１４が形成されている。
けする装着面１１を備えたバッキングプレート１２と、
該バッキングプレート１２の装着面１１とは反対側の端
面に密着固定された底板１３と分割構成されている。そ
して、バッキングプレート１２と底板１３間に冷却水路
１４が形成されている。
第２図乃至第５図に前記ターゲット支持部３の詳細が示
されている。すなわち、第２図に示す如（前記バンキン
グプレー目２の上面中央部には、すりばち状の円形凹部
が形成され、該凹部の底面が前記装着面１１とされてい
る。このバッキングプレート１２の装着面１１の部分の
肉厚は薄肉とされ、該装着面１１より外周の周縁部１５
は厚肉とされている。そして、装着面１１の外周と周縁
部１５の内周の境界に、前記ターゲット２の位置決め用
の段部１６が形成されている。更に、前記周縁部１５に
は、ボルト挿入孔１７が多数開設されており、該挿入孔
１７に前記ボルト４が挿入される。
されている。すなわち、第２図に示す如（前記バンキン
グプレー目２の上面中央部には、すりばち状の円形凹部
が形成され、該凹部の底面が前記装着面１１とされてい
る。このバッキングプレート１２の装着面１１の部分の
肉厚は薄肉とされ、該装着面１１より外周の周縁部１５
は厚肉とされている。そして、装着面１１の外周と周縁
部１５の内周の境界に、前記ターゲット２の位置決め用
の段部１６が形成されている。更に、前記周縁部１５に
は、ボルト挿入孔１７が多数開設されており、該挿入孔
１７に前記ボルト４が挿入される。
前記バッキングプレート１２の装着面１１とは反対側の
端面には、第３図に示すように開きょ状の冷却水路１４
が形成されている。この冷却水路１４は、周縁部１５に
形成された入口１８及び出口１９に連通している。この
ように周縁部より冷却水の給排を行なうことにより例え
ば、プレートのセンターより行う場合に比して、冷却水
量を多くとることが可能で冷却効率がｕｐするとともに
、マグネット収容部の構造も簡単となる。
端面には、第３図に示すように開きょ状の冷却水路１４
が形成されている。この冷却水路１４は、周縁部１５に
形成された入口１８及び出口１９に連通している。この
ように周縁部より冷却水の給排を行なうことにより例え
ば、プレートのセンターより行う場合に比して、冷却水
量を多くとることが可能で冷却効率がｕｐするとともに
、マグネット収容部の構造も簡単となる。
第４図及び第５図に示すように、前記開きょ状の冷却水
路１４は、バッキングプレート１２に密着固定される底
板１３によって塞がれて、暗きょ状の冷却水路１４にな
る。バッキングプレート１２と底板１３とは銀ロー付け
により密着固定されている。
路１４は、バッキングプレート１２に密着固定される底
板１３によって塞がれて、暗きょ状の冷却水路１４にな
る。バッキングプレート１２と底板１３とは銀ロー付け
により密着固定されている。
尚、前記バッキングプレート１２の周縁部１５に形成さ
れた冷却水の入口１８及び出口１９は、マグネット収納
部６の周壁８に形成された供給水路２０及び排出水路（
図示省略）に連通している。
れた冷却水の入口１８及び出口１９は、マグネット収納
部６の周壁８に形成された供給水路２０及び排出水路（
図示省略）に連通している。
前記バッキングプレー目２に形成された冷却水路１４は
、−筆書状として、単位流量を流す時、流速が速くとれ
、冷却効率を良くしている。
、−筆書状として、単位流量を流す時、流速が速くとれ
、冷却効率を良くしている。
前記構成の本発明の実施例によれば、ターゲット２をイ
ンジュームでロー付けする際、マグネット収納部６から
ターゲット支持部３を取外し、該取外されたターゲット
支持部３を所定温度まで加熱し、ターゲット２をロー付
けする。
ンジュームでロー付けする際、マグネット収納部６から
ターゲット支持部３を取外し、該取外されたターゲット
支持部３を所定温度まで加熱し、ターゲット２をロー付
けする。
即ち、ロー付けに際しては、ターゲット支持部３のみを
加熱すれば良いので、加熱が容易となり、またロー付け
も容易になる。
加熱すれば良いので、加熱が容易となり、またロー付け
も容易になる。
また、前記実施例によれば、ターゲット支持部３はバッ
キングプレート１２と底板１３とに分割構成されている
ので、バッキングプレート１２に滑らかな冷却水路１４
を形成することができ、水路抵抗を小さくし、冷却水流
量を充分に確保することができる。
キングプレート１２と底板１３とに分割構成されている
ので、バッキングプレート１２に滑らかな冷却水路１４
を形成することができ、水路抵抗を小さくし、冷却水流
量を充分に確保することができる。
また、水路形成が容易なため、バッキングプレート１２
を薄肉化することができるので、磁力の高透過性を達成
することができた。
を薄肉化することができるので、磁力の高透過性を達成
することができた。
更に、バッキングプレート１２の薄肉化による強度不足
を周縁部１５を厚肉化することにより補強したので、強
度不足も生じない。
を周縁部１５を厚肉化することにより補強したので、強
度不足も生じない。
第６図に示すものは、本発明の他の実施例であり、冷却
水路１４の形状が前記実施例のものと異なる。その他の
構成は同じである。
水路１４の形状が前記実施例のものと異なる。その他の
構成は同じである。
第７図乃至第１０図に示すものは、本発明の他の実施例
があり、この実施例では、底板１３にも冷却水路形成用
の凹溝２１が形成されている。
があり、この実施例では、底板１３にも冷却水路形成用
の凹溝２１が形成されている。
第７図に示すものは、本発明の他の実施例であり、バッ
キングプレート１２を薄肉化することによる強度不足を
、補強部材２２で補うようにしたものである。即ち、冷
却水路１４に、中心部から複数の隔壁を兼た補強部材２
２を設け、真空、水圧等による装着面１１のたわみを防
止している。この補強部材２２とバッキングプレート１
２及び底板１３は、銀ロー付けされている。
キングプレート１２を薄肉化することによる強度不足を
、補強部材２２で補うようにしたものである。即ち、冷
却水路１４に、中心部から複数の隔壁を兼た補強部材２
２を設け、真空、水圧等による装着面１１のたわみを防
止している。この補強部材２２とバッキングプレート１
２及び底板１３は、銀ロー付けされている。
尚、本発明は、前記実施例に限定されるものではない。
（発明の効果）
本発明によれば、ターゲット支持部をバッキングプレー
トと底板とに分割構成し、バッキングプレートと底板間
に冷却水路を形成したので、冷却水路の形成が容易にな
り、製作費のコストダウンになる。また、水路形成が容
易であるから、バンキングプレートの肉厚を薄くするこ
とができ、磁力の高透過性を達成できる。
トと底板とに分割構成し、バッキングプレートと底板間
に冷却水路を形成したので、冷却水路の形成が容易にな
り、製作費のコストダウンになる。また、水路形成が容
易であるから、バンキングプレートの肉厚を薄くするこ
とができ、磁力の高透過性を達成できる。
また、ターゲット支持部とマグネット収納部とを分割構
成したので、ターゲットのロー付けに際し、ターゲット
支持部のみを加熱すればよいので、ロー付けが容易にな
る。
成したので、ターゲットのロー付けに際し、ターゲット
支持部のみを加熱すればよいので、ロー付けが容易にな
る。
第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図はターゲ
ット支持部の平面図、第３図はバッキングプレートの底
面図、第４図は第２図のＩＶ−ＴＶ線断面図、第５図は
冷却水入口付近の拡大断面図、第６図は本発明の他の実
施例を示すバッキングプレートの底面図、第７図は本発
明の他の実施例を示すバッキングプレートの底面図、第
８図は従来のバッキング装置を示す断面図である。 １・・・ターケ゛ットのバッキング装置、２・・・ター
ゲット、３・・・ターゲット支持部、５・・・マグネッ
ト、６・・・マグネット収納部、１２・・・バッキング
プレート、１３・・・底板、１４・・・冷却水路。
ット支持部の平面図、第３図はバッキングプレートの底
面図、第４図は第２図のＩＶ−ＴＶ線断面図、第５図は
冷却水入口付近の拡大断面図、第６図は本発明の他の実
施例を示すバッキングプレートの底面図、第７図は本発
明の他の実施例を示すバッキングプレートの底面図、第
８図は従来のバッキング装置を示す断面図である。 １・・・ターケ゛ットのバッキング装置、２・・・ター
ゲット、３・・・ターゲット支持部、５・・・マグネッ
ト、６・・・マグネット収納部、１２・・・バッキング
プレート、１３・・・底板、１４・・・冷却水路。
Claims (1)
- （１）ターゲットをロー付けにより取付けるターゲット
支持部と、該ターゲット支持部を着脱自在に取付けると
共に前記ターゲットに磁場を付与するマグネットを収納
したマグネット収納部とに分割構成され、 前記ターゲット支持部は、ターゲットを装 着面を備えたバッキングプレートと該装着面より厚肉化
された周縁部とより成り、該バッキングプレートの装着
面とは反対側の端面に密着固定された底板とに分割構成
され、かつ、該底板とバッキングプレート間にバッキン
グプレート周縁部より給排水される蛇行状の冷却水路が
形成されたことを特徴とするターゲットのバッキング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27936789A JPH03140464A (ja) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | ターゲットのバッキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27936789A JPH03140464A (ja) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | ターゲットのバッキング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03140464A true JPH03140464A (ja) | 1991-06-14 |
Family
ID=17610171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27936789A Pending JPH03140464A (ja) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | ターゲットのバッキング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03140464A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5433835A (en) * | 1993-11-24 | 1995-07-18 | Applied Materials, Inc. | Sputtering device and target with cover to hold cooling fluid |
| JPH07197248A (ja) * | 1993-11-24 | 1995-08-01 | Applied Materials Inc | 一体型スパッタリングターゲット組立体 |
| WO1996023085A1 (en) * | 1995-01-25 | 1996-08-01 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Autoclave bonding of sputtering target assembly |
| US6199259B1 (en) | 1993-11-24 | 2001-03-13 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Autoclave bonding of sputtering target assembly |
| US6340415B1 (en) | 1998-01-05 | 2002-01-22 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for enhancing a sputtering target's lifetime |
| US7799190B2 (en) * | 2005-04-14 | 2010-09-21 | Tango Systems, Inc. | Target backing plate for sputtering system |
| JP2010255071A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Panasonic Corp | スパッタリング装置 |
| US7959776B2 (en) | 2004-11-19 | 2011-06-14 | Applied Films Gmbh & Co. | Cooled backing plate for a sputtering target, and sputtering target comprising a plurality of backing plates |
| CN104416253A (zh) * | 2013-09-02 | 2015-03-18 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 背板的形成方法和背板 |
-
1989
- 1989-10-26 JP JP27936789A patent/JPH03140464A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH07197248A (ja) * | 1993-11-24 | 1995-08-01 | Applied Materials Inc | 一体型スパッタリングターゲット組立体 |
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| US5433835A (en) * | 1993-11-24 | 1995-07-18 | Applied Materials, Inc. | Sputtering device and target with cover to hold cooling fluid |
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| US5595337A (en) * | 1993-11-24 | 1997-01-21 | Applied Materials, Inc. | Sputtering device and target with cover to hold cooling fluid |
| US5603816A (en) * | 1993-11-24 | 1997-02-18 | Applied Materials, Inc. | Sputtering device and target with cover to hold cooling fluid |
| WO1996023085A1 (en) * | 1995-01-25 | 1996-08-01 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Autoclave bonding of sputtering target assembly |
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| CN104416253A (zh) * | 2013-09-02 | 2015-03-18 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 背板的形成方法和背板 |
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