JPH03141679A - 多ビーム固体レーザ発振器 - Google Patents
多ビーム固体レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH03141679A JPH03141679A JP1279350A JP27935089A JPH03141679A JP H03141679 A JPH03141679 A JP H03141679A JP 1279350 A JP1279350 A JP 1279350A JP 27935089 A JP27935089 A JP 27935089A JP H03141679 A JPH03141679 A JP H03141679A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- light
- mirrors
- solid
- state laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0401—Arrangements for thermal management of optical elements being part of laser resonator, e.g. windows, mirrors, lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電子部品や精密機器等の加工装置、あるいは
計測・分析機器に用いられる多ビーム固体レーザ発振器
に関するものである。
計測・分析機器に用いられる多ビーム固体レーザ発振器
に関するものである。
従来の技術
固体レーザ発振器は、比較的高い加工精度が要求される
レーザ加工などに広く用いられている。
レーザ加工などに広く用いられている。
第３図に従来の固体レーザ発振器の構成の一例をボす。
出力ミラー２０、高反射ミラー２１と呼ばれる２枚の反
射ミラーの間に、レーザ媒質及びレーザ媒質を励起する
ための機構を内蔵したレーザヘッド１９、光変調器２２
、シャッター２３、アパーチャー２４を配したものにな
っている。
射ミラーの間に、レーザ媒質及びレーザ媒質を励起する
ための機構を内蔵したレーザヘッド１９、光変調器２２
、シャッター２３、アパーチャー２４を配したものにな
っている。
レーザヘッド１９内部のレーザ媒質で発生したレーザ光
２６は、高反射ミラー２１と出力ミラー２０の間を往復
する間に急速に増幅される。高反射ミラー２１に、レー
ザ光２６に対して高い反射率を有する反射鏡を用い、出
力ミラー２０に、レーザ光２６を部分的に反射して、部
分的に透過する反射鏡を用いることにより、２枚のミラ
ー２０．２１の間で増幅されたレーザ光２６の一部２５
を出力ミラー２０から発振器の外部に取り出し、所定の
用途に応用する。
２６は、高反射ミラー２１と出力ミラー２０の間を往復
する間に急速に増幅される。高反射ミラー２１に、レー
ザ光２６に対して高い反射率を有する反射鏡を用い、出
力ミラー２０に、レーザ光２６を部分的に反射して、部
分的に透過する反射鏡を用いることにより、２枚のミラ
ー２０．２１の間で増幅されたレーザ光２６の一部２５
を出力ミラー２０から発振器の外部に取り出し、所定の
用途に応用する。
このような固体レーザ発振器は、例えば発振器から取り
出されたレーザ光２５をビームスプリッタ−等の光学系
により分岐して、同時に多点の加工等を行うという方法
等に広く用いられている。
出されたレーザ光２５をビームスプリッタ−等の光学系
により分岐して、同時に多点の加工等を行うという方法
等に広く用いられている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記のような構成の固体レーザ発振器を
用いて同時に多点の加工等を行う場合、加工点の数が多
くなるとレーザ光を分岐するための光学系が、複雑かつ
大型になるという問題点があった。場合によっては、複
数台の固体レーザ発振器を用いて、さらにそれらのレー
ザ光を分岐するようにしなければならないこともあった
。
用いて同時に多点の加工等を行う場合、加工点の数が多
くなるとレーザ光を分岐するための光学系が、複雑かつ
大型になるという問題点があった。場合によっては、複
数台の固体レーザ発振器を用いて、さらにそれらのレー
ザ光を分岐するようにしなければならないこともあった
。
本発明は上記従来の固体レーザ発振器の課題に鑑み、１
台のレーザ発振器から複数のレーザ光を取り出すことに
より、同時に多点の加工等を行う場合に、レーザ光の分
岐の数を減らし、分岐の光学系を簡略化できる多ビー１
１固体レーザ発振器を提供することを目的とするもので
ある。
台のレーザ発振器から複数のレーザ光を取り出すことに
より、同時に多点の加工等を行う場合に、レーザ光の分
岐の数を減らし、分岐の光学系を簡略化できる多ビー１
１固体レーザ発振器を提供することを目的とするもので
ある。
課題を解決するための手段
本発明の固体レーザ発振器は、レーザ共振器部が少なく
とも２枚以上の出力ミラーを有し、その間にレーザヘッ
ドを配した構成を備えたものである。
とも２枚以上の出力ミラーを有し、その間にレーザヘッ
ドを配した構成を備えたものである。
作用
本発明は上記した構成によって、レーザヘッドから発生
したレーザ光について複数の出力ミラーから複数のレー
ザ光を同時に取り出すことができる。例えば、２枚の出
力ミラーから２本のレーザ光を取り出した場合、多点同
時加工に必要な分岐の数は半分になり、分岐の光学系は
大幅に簡略化される。
したレーザ光について複数の出力ミラーから複数のレー
ザ光を同時に取り出すことができる。例えば、２枚の出
力ミラーから２本のレーザ光を取り出した場合、多点同
時加工に必要な分岐の数は半分になり、分岐の光学系は
大幅に簡略化される。
実施例
以下本発明の一実施例の多ビーム固体レーザ発振器につ
いて、図面を参照しながら説明する。
いて、図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の第１の実施例における多ビーム固体レ
ーザ発振器の構成を示すブロック図である。第１図にお
いて、１はレーザ媒質及びレーザ媒質を励起するための
機構を内蔵したレーザヘッドと呼ばれる部分であり、２
はレーザ光を部分的に反射、透過する第一の出力ミラー
であり、３はレーザ光を部分的に反射、透過する第二の
出力ミラーであり、４は光変調器であり、５はシャッタ
ーであり、６はアパーチャーであり、７は共振器内部で
増幅されているレーザ光を表し、８は出力ミラーから取
り出されたレーザ光を表している。
ーザ発振器の構成を示すブロック図である。第１図にお
いて、１はレーザ媒質及びレーザ媒質を励起するための
機構を内蔵したレーザヘッドと呼ばれる部分であり、２
はレーザ光を部分的に反射、透過する第一の出力ミラー
であり、３はレーザ光を部分的に反射、透過する第二の
出力ミラーであり、４は光変調器であり、５はシャッタ
ーであり、６はアパーチャーであり、７は共振器内部で
増幅されているレーザ光を表し、８は出力ミラーから取
り出されたレーザ光を表している。
この様に、第一 第二の出力ミラー２．３の間に、レー
ザヘッド１が配されている。
ザヘッド１が配されている。
以上のように構成された固体レーザ発振器において、第
−及び第二の出力ミラーのレーザ光に対する反射率を例
えば９０パーセントとすると、それぞれの出力ミラーか
ら、共振器内部で増幅されているレーザ光７の約ｌＯパ
ーセントが取り出されることになる。
−及び第二の出力ミラーのレーザ光に対する反射率を例
えば９０パーセントとすると、それぞれの出力ミラーか
ら、共振器内部で増幅されているレーザ光７の約ｌＯパ
ーセントが取り出されることになる。
以上のように本実施例によれば、レーザ共振器部を２枚
の出力ミラー２．３で構成することにより、１台の固体
レーザ発振器から２本のレーザ光８を取り出すことがで
き、多点同時加工等の用途に有効である。
の出力ミラー２．３で構成することにより、１台の固体
レーザ発振器から２本のレーザ光８を取り出すことがで
き、多点同時加工等の用途に有効である。
以下本発明の第２の実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第２図は本発明の第２の実施例を示す多ビーム固体レー
ザ発振器の構成を示すブロック図である。
ザ発振器の構成を示すブロック図である。
第１図の部材、手段と同じものには同じ符号が付されて
いる。
いる。
同図において、ｌはレーザヘッドであり、２は第一の出
力ミラーであり、３は第二の出力ミラーであり、１２は
第一の高反射ミラーであり、１３は第二の高反射ミラー
であり、４は光変調器であり、５はシャッターであり、
６はアパーチャーであり、７はレーザ共振器内部で増幅
されているレーザ光を表し、８は出力ミラーから取り出
されたレーザ光を表す。第１図の構成と異なるのは、２
枚の高反射ミラー１２．１３を用いることにより、２本
のレーザ光８の出射方向を同一にできることである。
力ミラーであり、３は第二の出力ミラーであり、１２は
第一の高反射ミラーであり、１３は第二の高反射ミラー
であり、４は光変調器であり、５はシャッターであり、
６はアパーチャーであり、７はレーザ共振器内部で増幅
されているレーザ光を表し、８は出力ミラーから取り出
されたレーザ光を表す。第１図の構成と異なるのは、２
枚の高反射ミラー１２．１３を用いることにより、２本
のレーザ光８の出射方向を同一にできることである。
以上の構成により、本実施例においては１台のレーザ発
振器から２木のレーザ光を取り出すとともに、取り出さ
れたレーザ光の方向を揃えることができる。
振器から２木のレーザ光を取り出すとともに、取り出さ
れたレーザ光の方向を揃えることができる。
発明の効果
以上のように本発明は、２枚以上の出力ミラーを有する
レーザ共振器を備えることにより、１台の固体レーザ発
振器より複数のレーザ光Ａ−１２り出すことができ、そ
れにより多点同時加工等を行う場合にレーザ光を分岐す
る光学系を大幅に簡略化することができる。
レーザ共振器を備えることにより、１台の固体レーザ発
振器より複数のレーザ光Ａ−１２り出すことができ、そ
れにより多点同時加工等を行う場合にレーザ光を分岐す
る光学系を大幅に簡略化することができる。
第１図は本発明の第１の実施例における多ビーム固体レ
ーザ発振器の構成を示すブロック図、第２図は本発明の
第２の実施例における多ビーム固体レーザ発振器の構成
を示すブロック図、第３図は従来の固体レーザ発振器の
構成を示すブロック図である。 １・・・レーザヘッド、２・・・第一の出力ミラー３・
・・第二の出力ミラー ４・・・光変調器、５・・・シ
ャッター ６・・・アパーチャー ７・・・共振器内部
で増幅されているレーザ光、８・・・共振器から取り出
されたレーザ光。
ーザ発振器の構成を示すブロック図、第２図は本発明の
第２の実施例における多ビーム固体レーザ発振器の構成
を示すブロック図、第３図は従来の固体レーザ発振器の
構成を示すブロック図である。 １・・・レーザヘッド、２・・・第一の出力ミラー３・
・・第二の出力ミラー ４・・・光変調器、５・・・シ
ャッター ６・・・アパーチャー ７・・・共振器内部
で増幅されているレーザ光、８・・・共振器から取り出
されたレーザ光。
Claims (1)
- 少なくとも２枚以上の出力ミラーを備え、その間にレー
ザヘッドを配したレーザ共振器部を有することを特徴と
する多ビーム固体レーザ発振器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1279350A JPH03141679A (ja) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | 多ビーム固体レーザ発振器 |
| KR1019900017237A KR910008900A (ko) | 1989-10-26 | 1990-10-26 | 다비임고체 레이저발진기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1279350A JPH03141679A (ja) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | 多ビーム固体レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03141679A true JPH03141679A (ja) | 1991-06-17 |
Family
ID=17609948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1279350A Pending JPH03141679A (ja) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | 多ビーム固体レーザ発振器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03141679A (ja) |
| KR (1) | KR910008900A (ja) |
-
1989
- 1989-10-26 JP JP1279350A patent/JPH03141679A/ja active Pending
-
1990
- 1990-10-26 KR KR1019900017237A patent/KR910008900A/ko not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR910008900A (ko) | 1991-05-31 |
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