JPH03142303A - 形状抽出方法および装置 - Google Patents

形状抽出方法および装置

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JPH03142303A
JPH03142303A JP27968389A JP27968389A JPH03142303A JP H03142303 A JPH03142303 A JP H03142303A JP 27968389 A JP27968389 A JP 27968389A JP 27968389 A JP27968389 A JP 27968389A JP H03142303 A JPH03142303 A JP H03142303A
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color
shape
angle
soldering
shape extraction
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JP27968389A
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Seiji Hata
清治 秦
Yuji Takagi
裕治 高木
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔肱莱上り)利用分野] 不発男は、微小?j説圓物体の表曲形状等の形状抽出方
法及び製直に関するものである。特に、笑妓プリント板
上の半田形状の計測、検査や半導体のワイヤーボンディ
ング形状の計測、出気記録装置のヘラド形状の計測など
に用いて好適な形状抽出方法及び装置に関するもりであ
る。
〔従来の技術〕
こυ)ような微小な説tmw体の形状抽出方法について
は、アイ・イー・イー・イー トランザクション オン
パターンアナリンス アンド マシン インテリジェン
ス 10巻1号(1988年)ak44負から第55頁
(IEEE  i”rarLs、 on patter
nAnalysts and Machine Int
glliytnct 、 Vol、10゜肩1(IS’
8s ) 、 pp、a4−55 )  において論じ
られた倒かある。この方法は、第22図に示すように、
多数の発光ダイオード45を規則正しく配置した半球状
υ)フードの下に挑面状物体50をおき、フードの中央
の穴から1゛Vカメラ41で物体?:撮像する。
このとき、第23園のように発光しているダイオード4
3と、それが正反射してカメラ41にとらえられたー塚
上の光−)1点を位置関係から、三角測量の原理により
、婉曲物体の反射点の3次元的な位置な次足できる。さ
らに、この内時に点灯する発光ターイオードυ分布を2
分割的にうまく組合せることにより、少ない点灯−数で
多数の光九ダイオードの位置を脣足できる。このことに
より、・多くυ場合10II!ll揮程度の撮儂助数で
競(2)形状を決定できる。
なお、第22囚において、42は発光ダイオード430
点灯制御を行うコントローラ、44はインタフェースI
g l1lr 、45 ハワークステーションナとび)
コンピュータ、46は入出力#cfII:、47は7”
 Vカメラで煉像した画像を記憶するカラー−株メモリ
、48はXYθテーブルを制御するコントローラ、49
はモニターTVである。
また、電子部品の半田付け状態の横置につL・ては、ア
イ・イー・イー・イー トランザクションオン パター
ン アナリシス アンド マシンインテリジェンス 1
0巻5号(1988年)第587貝から第395頁(I
 EEE  Trans、 on patternAn
alysis and Machine Intglハ
Hence 、 Vol、10゜屑5 (1988) 
、 pp 、 587−595 )において論じられた
汐りかある。この方法は、第24凶に示すように、上I
II K青いリング状のライト52、下側に赤いリング
上のライト55を設置した2段の照明系を配置し、兵よ
、のらカラーTV51で児ることで、例えは、プリント
板54に搭載されたリード部品55リリード57υ)は
んだ部56のm囲で反射して米る赤青の色の分布を見て
、半田の状態を刊vjr1−るもの℃ある。
この分布の釣をリード飾品55の場合−0児ると、第2
5凶ta+に示すように正常な場合には、赤、宵のリン
グがリードの一つに向ノし出土に皿ぷか、第25凶1b
l 、 (C1に示すように異常な場合には亦い部分ρ
・無いとか、形が内心円でないなどの %徴から利足で
きるとされている。
〔発男が解決しようとする課題〕
しかし、上記第1の従来技術では、各々の発光ダイオー
ドは個別に点灯制御できなげれ江ならず、評廁な続佃形
状を求めようとする場合、発光ダイオードの個数は数1
00個にのぼるため、発光ダイオードと計算依などとの
インクフェースや電源糸が複雑なもりになる。また、す
べての発光ダイオードを個別に撮像はしないにしても、
TVカメラからの10卸@度の画像入力は必要であり、
処坤O尚迷化の上では大きな制約にたる。
また、第2の従来技術では、II!ll像上の色分布を
過当なしきい値で検出し、その2次元的な形状をヒユー
リスティックにf(1走するわげである′D)ら、対嵌
とする部品の形状、リード部品力)山Nげ部品かで判定
の嗣埋を組替えなげれはならない。また、形状によって
は、照明の配置が過当で無いこともあり、本来この方式
が半田の形状そのものを検出していない事からくる判定
の不確かさを克服できない。なIJ)でも、これらの装
置に強く木めらfLる半田の過不足などの倣妙tL刊定
は、不司龍℃ある。。
本発明の目的は、特別な発光制御をおこなわない照明系
と1回の憚像で広範な点の5次元的な形状を正確に決定
できる1、腕囲形状の抽出方法及び装置を提供すること
にある。
また、本発明の目的は、物体表面の反射分布の変動にか
かわらず尚精度υ〕(2)の角度の抽出を可能にする形
状抽出方法及び装置を提供するにあう。
〔課組を解決するだめの手段〕
上記目的を連取するために、本発明では、例えは、裁2
図に示すように、サークライン照明」2と、1旬7LX
円上に色分けされた半球状υフード5を用いて、部分毎
に異なる多数の色からなる照明系で物体を照明する。そ
して、フード5内にプリント14に搭載されたはんだ部
6を有するチップ部品5たどの鏡面物体を置き、上方か
らカラー1’ Vカメ21などで撮像することで、組曲
W坏の衣血から反射される色を識別し、そり色により、
例えは、゛躬3−に示すように物体表血C水平−となす
角度(例えば、θ1.θりを決定′1−るものである。
これは、反射の出ている谷幽索対応に決定できるため、
特別な点灯方法を用いる事なく、さらに1回の撮像で、
鏡面物体のほとんどの微小面の角度決定ができる。この
角反馨もとに尚さの分かつている点から形を復元するこ
とにより、睨ckUvlJ体の形状を抽出するものであ
る。
〔作用〕
このように、同心状に色分けされたフードなどを珀いる
ことにより、カラーカメラの1回のm像で馳駆物体の形
状を決定できる。こび)ため、これをチップ部品などの
はんだ付けwL査たとに用いた場合、短時間ではんだ部
の正確lよ形状を決定できる。。
そして、はんだの有無、はんだf O) LA少、はん
だプロフィールり良否など、多様た判定を正碌に行うこ
とが可北に々る。とくに、従来り多数のダイオードを点
灯する方法と較べた場合、下阪ダイオードからの光か正
反射する数100点程良O座標点しか木まらなかったも
のか、本発明では広いフード全体を光源として、角度を
求めることができるため、抽出される形状精度は飛躍的
に向上する。
なお、こび)形状n曳の向上のためには、フードに配色
されている色の数もム要である。特に、半田の過不足の
検出など形状検査的な応用の場合、その検出誤差を数%
に押さえたい。いま、角度の検出誤差をJθとすると、
長さ的な検出1JI4 N J tのオーダーは、下式
の様である。
J l=l、 * 5LrLAIJ したかつて、At/L1に叙優とするためには、If)
がせいセい±2〜5友以内でなければならない。これに
より、水平面から45度までの角度を計測丁Oから、フ
ードに迩る色数は、7〜8色以上であることが望ましい
。10数色〜20色程度に分かれていれは、検出角度精
度を±1〜2腿にすることかできる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を説明する。第1囚は、本発明に
よるff[l実装部品のはんだ部の検査装置である。サ
ークライン照明2と多色7−ド3から々るフード状σ〕
照明系とカラーTVカメラ1からtlる憚塚ホがプリン
ト板4を躯せるXYテーブル9υ)上に設ムされている
。プリント板4上のチップ部品5のはんだ部(第2図の
6)はテーブルコントローラ8の制御によりXYテーブ
ル9を移動させてカメラ1の下に持つてきて撮像され、
反射光の分布を画像処理装置7で解析することによって
検査される。カラーTVカメ−)1の視野は10mm程
度に設定される。また、フード3の外径は数100mm
である。検査されるはんだ部6に較ベフード5は十分大
であるため、画面内の位t11tは面方向の計測精度に
それほど大きた影響を与えない・本装置で検査する対象
の外観を第4−に示す。
本装置ではチップ部品、Sup、QFpなとの通実#c
部品が検査されるが、第4−は代表的なチップ部品5を
プリント板4に搭載、はんだs6にはんだ付けしたもの
である。このようなチップ部品5のはんだ付け不良の例
には%第5!N(blに示すはんだ無し、はんだ不足、
第5VIC+に示すはんだ過多、第51W(d+に示す
ブリッジなどがある。本検食装置は、このような欠陥を
烏い信頼性で検出するもりである。
フード形の照明部の1?f成を第6図に示す。半球形の
多色フード3の外9111または内組1」にカラーフィ
ルタ20が形成されており、外部の照明(倒えは、サー
クジイン照明2)によりフードSの円軸に色彩光を放っ
ている。フード本体には白色のアクリル板または艶消し
ガラス21などが用いられ、色彩光が広い方向に拡散す
るように構成されている。
ここで色フィルタ20の付け万は、フード3の外形にそ
って1Tlr11シ内状に付けられており、色は上から
下に連杭に変化することが望ましいか、論7図に示すよ
うに多数の色のバンドを並べても、実用的には産し支え
ない。また、各光源が必ずしも帯状のものでたく、多数
の点光源から奴っていても艮い。また、フード3のルも
半球形か良いか、実用的には第8図(α)に示す円錐型
でも第8図(,61に示す円盤形でもある根皮の検査?
:失行できる。単に時短σ〕方向のはんだ部を暎食する
目的に対しては、第9凶(αl 、 (,6)に示す2
万回形や角錐形のようにいくつかの平板を組み合わせる
だけでも十分である。
フィルタの色は、出水るだげ信号的に:I!!枕に変イ
(丁Φようフード状に形成される。こり連続的変化は、
色O徂1]足を行う信号空間上で定義される。
この信号空間上では、?体表面の反射率の変動によるa
t測梢度の低下を防ぐために、男るさ笈動昏工1e/!
1lil 、シないもりか0そましい。力えはfB号糸
として(R,G、H)信号な用いた場合、全体的な男心
さYは、Y=R+G十Bとして永められるが、計測には
こd) Yで谷姐を割ったr=R/Y 、5=G/Y 
、b=B/Yを用いる。また、色性空間上では(Y、R
−Y、B−Y)で各色か衣されるか、ここでも已侶勺り
処理は第10図にあるようにR−Y/Y、H−Y/Yυ
ように切るさで正規化することか菫ましい。
ところで、色走仝間で芭信号を他社する場合、第10図
にあるように、各色は無料色り白のしりに址ぷ。ここで
図中り角度θは色相を表し、生性r+Xe&を衣丁。フ
ード上でフィルタυ)芭丁けなどにより遅れに色か変化
するとは、第10凶(α)にボ丁ように、彩展rか遜枕
に変化すると力)、IAIに示すようK (R−Y/Y
 、 B−Y/Y )4BQf力@f1M的に変化Tる
と力)、(C1に示すようにθか瞬合うように色相か変
化するなどC7)K化を示すことである。
これは、他の信号空間でも1IllI様である。フィル
タ200色付けσつ一例を第11−に示す。
第12−に示1−ようにTVカメラ1でS品5のはんだ
都6を児たとき、はんだ部6は鋭圓に近いため、はんt
こ次回で正反射する方向の色かTVカメラ1に入射する
。このため、この反射の色を見ることで、はんだ血の法
細万10Iを決定できる。ここで、反射圓り反射O仕方
には、図にホ丁ように正及荊力同に強いビークを待つ場
合ψ1と、比戟的広い月展の九を取り込む場合慟かある
0フードSの色付けを信号空間上で連続的に8C直しで
あると、反射の仕方か少々変動しても、計測される角度
の課左を少tくすることか出水る。
ここで、色と角度の対応付けは、第13−IC示すキャ
リブレーション市具11を珀いて竹われる。冶具11は
、半球状の欣rmw体であり、これをカラー1’ V 
7Iメラ1で上方から見ると第14凶(α)りようにT
V−血12σつ中iC多叙の肉色υ〕1司Iし出15か
みえる。旧具11の半球の半径Rは、41罰に前側でき
ろりで、k141WL61に示すように、向七円の中I
しからの短離rか分かれは、その点の曲り法蛛の水平動
とな1月θは、 r  = R#  5Lnd を関係式として、藺単に永めることかできる。ところで
、その点の画憾から(R−Y/Y 、 H−Y/Y)な
どσノ訂測mは、圓単に水めることかできOので、第1
5−・に示すようなテーブルを生成1−ることかできる
。こtl、を利用して、はんだ部の@塚入力時[は、間
単に角iを決定できる。なお、第15凶のテーブル上で
は、フード3に使っている色か眠すれているため、第1
4凶のキャリブレーションでは先生には埋まらない。こ
の部分には、キャリブレーションででてくる色の内、で
きるたけ近い色の角度を入nるか、ある−足取上り左か
ある場合には、異常1直として検出出水Φようにしてお
く。
く。
実際に離縁とするはんだ都を本照明下で児た場合、そり
画像は第16凶の悼に耽る。この色馨賛ることで、概1
5(3)のテーブルを参照して、褐17凶に示すように
水平市からの角度θを固定できる。なお、Jjiu!!
的に、itt側できる面0法趣角曳θは45度〜90展
の範囲である。ところで、第15−のテーフ′ル’に&
照して決定できる用度は、水平血からの法細用展θのみ
であり、空間的llc法蛛万回が確定するためには、第
18凶にホ丁ようにX軸とび)なす角αなどのもう一つ
σ〕角腿か決定されなけれはならない。ここで、社側面
り形状か平cio的でなたら力)な曲回χ持つ場合、前
側山上に第17図の休に寺θIv5 nを引き、この曲
?IMK対する1−1を永めることで、近似的に法1i
i11I52のX軸となす月αを水め心ことかできる。
このように2つの角艮(0,α)か氷ヱ心と、面の1?
::能力向を一意的に決定でさる。
この悄轍な用いてはんだfTげの横置を行うには、(1
)はんだ部の5次元的形状を俊太しはんだの鉦を刊友し
て良否を判定する、(2)第19図に示すように1工ん
だ抽6の方向に直腺を引き、直線に旧ったはんたプロフ
ィールから良否を判定する。(5)第20凶に示すよう
にはんだ都60方向に直軸をづき、七〇)はんだ部の山
積から艮舎を判定する(4)第6図、第7図に示フーフ
ード5では水平血からの凹の角度に16じて対工6する
色付けかなされるため同じ色の領域を切り出して、そり
分布を調べることではんだ都V〕艮古を決定する、など
の谷樋σ〕判定方法を用いることかできる。
ここ℃第19坦に示すプロフィール判定では、チップ烏
さが1α)の妹に変化するとき、θ’: 90− tJ
とし℃、その変化な(A+のようにグラフに貴くことか
できる。ここで、はんだ不足、佳んだ焦し、はんた増多
り場合、o ’ v)嚢化は第21凶の(αl 1,6
11cIりよ5になり、この変化を検出′1″ることで
、(工んだの艮古な決定できる。
また、第211図の山積4!lJ足では、ビクセルサイ
ズdVcたいし、法線方向θが与えられfことき、1画
素当りのたかさ変動Ahは J h =:d a tanθ で永めることかでき、チップ上の分かっている高さから
始めて、i20!W+、61の断面形状な決定できる。
なお、はんた都の一部に沃趣角度かΩ〜45  展の部
分か有った場合、簡単には断面形状を永めることか小米
はい。これは、この光学系では、物体表面か6の正反射
を用いて抽の法謝万−1を決定していりためであり、原
理的に45度から90度の面しか氷まらUいρ′−h℃
ある。ところで、ふつうのはんだfTげでは、圓のプロ
フィールか思噴な部分かそれほど軌くことは少茂いので
、中央11m (ここでは、約23度)ya−代表値と
して、補うことで、断向形状を書くことかできる。
断面形状か氷よると、その面積’l Ctとして、下式
〇ように一足の範囲内に有ることを#f佃1′ることで
、はんた付けの艮?!3χ刊定できる。ここで、第20
−のようにイa1本かのラインでCL’5r−永めると
、これは、(すの体積判定とほぼおなじ伎食になる1’
h>ciの1−べてのラインの合計>7’Jここで7’
A 、 Tlは、良否判定の上限及び下限である。
以上のよ5tCして、はんだ付けの艮台?:択短丁Φこ
とで、はんだ付け夜食装置を摘取することかできる。
〔%男の効果〕
本発明によれは、従来困轍であった貌面状の表面を待つ
物体の5次元的形状を、その表面に与るフードにつげら
れた色をS析することにより容易に氷めることか小米る
。また、フード色付けを色信号空間で連続となるように
おこなっておくことで、形状佃出χ物体表圓の反射O仕
方V)変動に関わらず尚検反にポめることかできる。信
号の解析にわいても、色空間上で四〇成分を正規化する
ことで、色相または彩度もしく味その円方の40利用で
、物体表面の反射率の変動に影簀されたい形状抽出がo
J舵V−なる。
こび)ようにして睨IIIJwlJ杯の形状抽出か可北
になると、従来困難であったプリント板りはんだ部の良
否を、正確な形状抽出で的雉に判定することか0] H
ll:にムる。
4、m−の簡単7j説明 第1凶は、本発明による形状抽出方法及び装置を珀いた
はんだ何82食装置O徊欣凶、第2区は、多色に色分ビ
されたフードを用いた炒状抽出装置の偽成凶、51%5
図は、色分けされたフードによる面の方向決定の原理−
、第4凶は、チップ部品のを工んだ付け恢の外観−、第
5−(α+ 、 t、61 、 (cl 、 idlは
、はんだ付けの(αj止常品、(blはんだなし、不足
、tClはんだ過多、ldlブリッジの例をホ″TV、
第6凶は、照明糸の徊戚図、第7−は、バンド状に色分
けされたフードジ)伽を示す一1第8−(αI 、 l
blは、フードの色々な代替案を示′f−1架9幽(c
l 、 iblは、平曲的なフードの格取倒χ示す図、
第10図は、1!!、左平山での色付けの方法をボ丁幽
、第11−は、フィルタへの色付けの−frlIJをホ
す一1第12凶は、はんだ部での反射c/l)仕方によ
る児える色への影響の祝用凶、第15図は、キャリブレ
ーション用治具な示す図、第14−(αI 、 i、6
1は、治具なカラーカメラで見たときのm像と治具との
関係を示′″f凶、第15−は、色から%i嵐への涙換
チーグルσつ例を示す凶、第16凶は、はんだ付けした
チップ都電′4I:多色フード下でカラーカメラで見た
i[1111Mを示す凶、第17凶は、面の寺角良脈を
祝四するための一1第18図は、面の法紛万回の次元方
法を続開1−るためり凶、第19泗は、角度変化の解析
によるはんだ部の慎食方法を説明するための一1第20
園(cl 、 lbl 、 +cqは、断面形状の解析
によるたんだ抽の検査方法を祝用するための凶、第21
凶(cl 、 IbI 、 tCl 、 (d+は、計
測軸にそった断面および角度変化の例を示す区、第22
色は、多数の発光ダイオードを利用しTこ従来りはんだ
検査装置の物取−1第23図は、裁22−の原理を祝用
するための図、裁24図は、2段の照明糸を配置した従
来υ)はんだ検査装置の徊戟図、第25図(cl 、 
IbI。
(cl 、 idlは、鋼24図の灸tIi、を珀いた
判足力法を読切−fるTこめO卸であ心。
1・・・カラーIVカメラ 2・・・サークライン熱間
3・・・多色フード    4・・・プリント版5・・
・チップ部品    6・・・はんだ都7・・・画像処
畦装置 8・・・チーフルコントローラ 9・・・XYケチ−ル   1「1・・・丸軸パターン
11・・・旧具       12・・・1°VIIl
llIiI第2図 チック1苦B品 5 (よんだ邪6 第4図 ÷ツブ邪品5 第5円 正常晶 は5π゛なし、不足 ブリッジ 第6巴 葛7図 第8図 ヨ錐形 第10図 第 図 −Y 第12図 子(シブ部品5 弔14図 第15図 第16図 第17図 第19図 第20図 (久) 可1先状 笥21図 (α) (b) 正常晶プロフィール 1は/’uだ不足 :ま起に→央、し i寥んΣ過多 鷺22図 (α) 第25図 (b) (C) よんだ過多

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、部分毎に異なる多数の色からなる照明系で物体を照
    明し、その物体の表面から反射される色を画像処理装置
    により解析することで、物体の形状を抽出することを特
    徴とする形状抽出方法。 2、前記照明系において、半球状または円錐状または角
    錐状または広い板状など中心部の上部を広い範囲で覆う
    ようなフードを用い、物体の広範な部分の形状解析を可
    能とした請求項1記載の形状抽出方法。 3、前記フード上の色を多数の色彩を同心円状に配置し
    た請求項2記載の形状抽出方法。4、多数の隣合う色が
    (R、G、B)空間や色差空間などの色信号空間におい
    て隣合うように配置することで、物体表面の反射分布の
    変動に関わらず高精度の面の角度の抽出を可能にした照
    明系を用いた請求項1記載の形状抽出方法。 5、多数の隣合う色が(R、G、B)空間や色差空間な
    どの色信号空間において隣合うように配置することで、
    物体表面の反射分布の変動に関わらず高精度の形状抽出
    を可能にした照明糸を用いた請求項1記載の形状抽出方
    法。 6、請求項3記載の同心円状に配置する色を、(R、G
    、B)空間の色差空間などの色信号空間において連続変
    化するように配置することで、物体表面の反射分布の変
    動に関わらず高精度の面の角度の抽出を可能にした照明
    系を用いた請求項5記載の形状抽出方法。 7、請求項3記載の同心円状に配置する色を、(R、G
    、B)空間や色差空間などの色信号空間において連続変
    化するように配置することで、物体表面の反射分布の変
    動に関わらず高精度の形状抽出を可能にした照明系を用
    いた請求項3記載の形状抽出方法。 8、物体表面の角度や形状を色信号で検出する際に、(
    R、G、B)空間や色差空間などの色信号空間において
    、明度について正規化を行い色相または彩度またはその
    両方のみを用いることで、物体の反射率の変動の影響を
    なくした請求項1記載の形状抽出方法。 9、色信号と物体表面の方向を対応付ける際に、物体位
    置に径の分かった球状または円筒状の物体を置き、その
    表面上の反射の色彩を観測することで、対応付けを決定
    する請求項1記載の形状抽出方法。 10、色信号と物体表面の対応付けをおこなう変換テー
    ブルを用意し、容易に変換できるようにしておき、この
    変換テーブル作成時に、請求項9記載の対応付けでは埋
    まらないテーブル要素には、それに近い周辺の要素の値
    から要素を補完して決定する請求項9記載の形状抽出方
    法。 11、請求項9記載の対応付けでは値の求まらないテー
    ブル要素の内で、求められる要素からあまりにも値がか
    け離れているとき、それを異常値として検出することを
    可能にした請求項10記載の形状抽出方法。 12、請求項3記載の同心円状に構成した多色の色フィ
    ルタを利用して、画面内の色対応で面の水平面からの角
    度を決定し、それを元に等角度の部分領域を抽出、その
    外形の画面内の接線を元に水平面となす角以外の角を決
    定して2つ目の角度を求めることにより、面の法線方向
    を空間的に決定することを特徴とする形状抽出方法。 13、請求項1記載の形状抽出方法を用いて、プリント
    板のはんだ部の形状を抽出することによりはんだ付けの
    良否を判定するはんだ付け検査方法。 14、請求項13記載のはんだ付け検査方法において、
    請求項12記載の検定方法で面の法線方向を決定し、こ
    れをもとにはんだ部の体積をもとめて、はんだ付けの良
    否を判定するはんだ付け検査方法。 15、請求項13記載のはんだ付け検査方法において、
    請求項3記載の同心円状に色付けされたフード内では、
    面の水平面からの角度に対応して色が決まることを利用
    して、その色のパターンからはんだ付けの良否を決定す
    るはんだ付け検査方法。 16、請求項13記載のはんだ付け検査方法において、
    請求項3の同心円状に色付けされたフード内では、面の
    水平面からの角度を色対応に決定できることを利用し、
    これを基にはんだ部の水平面からの角度を求め、この角
    度の等角度線のパターンからはんだ付けの良否を決定す
    るはんだ付け検査方法。 17、請求項13記載のはんだ付け検査方法において、
    はんだの方向に何本かの計測線を引き、計測線上の面の
    角度変化を調べ、それが正常パターンと異なることまた
    は異常パターンとなっていることを検出してはんだ付け
    の良否を決定する、はんだ付け検査方法。 18、請求項13記載のはんだ付け検査方法において、
    はんだの方向に何本かの計測線を引き、計測線上の面の
    角度変化を調べ、それを元に計測線上のはんだ部の外形
    プロフィールを計算し、そのパターンをもとにはんだ付
    けの良否を決定する、はんだ付け検査方法。19、請求
    項13記載のはんだ付け検査方法において、はんだの方
    向に何本かの計測線を引き、計測線上の面の角度変化を
    調べ、それを元に計測線上のはんだ部の外形プロフィー
    ルを計算し、それをもとにはんだ部の計測線上の面積を
    求め、それが妥当な範囲内にあることを検査してはんだ
    付けの良否を決定する、はんだ付け検査方法。 20、請求項2記載のフードとして、表面に多数の色を
    配列し内側に散乱面または内部散乱のある材料を配した
    照明系、または、内側に多数の色を配し外側を散乱体と
    した照明系、または配色面の内側と外側の両方に散乱面
    を配置した光学系を用いる請求項2記載の形状抽出方法
    。 21、部分毎に異なる多数の色からなる照明系と、該照
    明系で照明される物体を撮像するカラーカメラと、該カ
    ラーカメラで撮像された画像に基いて前記物体の表面か
    ら反射される色を解析することで物体の形状を抽出する
    画像処理手段とを有することを特徴とする形状抽出装置
    。 22、前記照明系として、中心部の上部を広い範囲で覆
    うようなフードを用いることを特徴とする請求項21記
    載の形状抽出装置。 23、前記フード上の色を多数の色彩を同心円状に配置
    した請求項22記載の形状抽出装置。
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