JPH03142320A - 回転角度センサ - Google Patents

回転角度センサ

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JPH03142320A
JPH03142320A JP28058989A JP28058989A JPH03142320A JP H03142320 A JPH03142320 A JP H03142320A JP 28058989 A JP28058989 A JP 28058989A JP 28058989 A JP28058989 A JP 28058989A JP H03142320 A JPH03142320 A JP H03142320A
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output
rotation angle
circuit
bridge circuit
resistor
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JP28058989A
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Inventor
Mamoru Matsubara
守 松原
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Aisan Industry Co Ltd
Original Assignee
Aisan Industry Co Ltd
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はシャフトの回転角度を検出する回転角度センサ
に関し、特に強磁性磁気抵抗素子を用いた無接触型の回
転角度センサに係る。
[従来の技術] 近時、回転角度あるいは回転位置を検出するセンサに関
し、無接触機構を構威し、あるいはシャフトの慣性損失
を小さくする等の要請から磁気センサの利用が注目され
ている。この磁気センサには磁気抵抗素子が用いられ、
素子の板面が例えばシャフトの先端に装着された永久磁
石に対向するように配置されている。
上記磁気抵抗素子としては半導体磁気抵抗素子と強磁性
磁気抵抗素子が知られている。前者は半導体の電気抵抗
が磁界中で変化する性質を利用したものである。後者は
磁界中の強磁性体に関し磁化方向と電流方向のなす角度
によって抵抗が異方的に変化する性質を利用したもので
ある。これは異方性磁気抵抗効果と呼ばれ、磁界の大き
さによる負性磁気抵抗効果と区別される。即ち、通常の
強磁性体にあっては、異方性磁気抵抗効果により電流と
磁化方向が平行になった時に抵抗が最大となり、直交し
た時に最小となる。而して、この効果を利用すべく基板
の板面に薄膜の強磁性金属が折線状に付着されて強磁性
磁気抵抗素子が構成され、例えば特開昭62−2373
02号公報に記載のようじ、強磁性磁気抵抗素子がシャ
フトの端面とこの端面の対向位置の何れか一方に設けら
れ、他方に永久磁石が設けられた回転位置検出装置が知
られている。
[発明が解決しようとする課題] 然し乍ら、上記公報に記載の回転位置検出装置の出力信
号は例えば第5図(a)と同様の正弦波信号であり、回
転角度に対する出力信号の特性即ち出力特性が直線的変
化を示すのは回転角度にして約60’の範囲に過ぎない
。この範囲を外れると回転角度に対する出力変化が小さ
くなり、直線性が得られないというだけでなく検出精度
の低下が不可避となる。
ところで、電子制御燃料噴射装置を搭載した内燃機関に
おいては、スロットルポジションセンサが装着され、そ
の出力信号が燃料噴射制御に供されている。このスロッ
トルポジションセンサはスロットルシャフトに連結され
、通常、スロットルバルブ開度に応じて変化するスロッ
トル開度信号と、アイドル域か出力域かによりオンオフ
するアイドル信号が出力される。前者のスロットル開度
信号はスロットルバルブの開度に比例した信号であるこ
とが要求され、スロットルバルブの開度が約0°乃至9
0°であることから、スロットルポジションセンサの出
力特性としては少くともこの角度範囲内における直線性
が必要とされる。これに対し、上述の従来の回転角度セ
ンサではスロットルバルブの開度が70”乃至90’に
おける要求特性を充足することができず、スロットルポ
ジションセンサに利用することができない。
そこで、本発明は少くとも90” を超える広範囲の回
転角度に対し直線性を有する出力信号を確保し得る回転
角度センサを提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 上記の目的を達成するため、本発明は基板の板面に付着
した第1のパターン形状の強磁性磁気抵抗素子から成る
第1のブリッジ回路と、前記第1のパターン形状に対し
所定角度偏位して前記基板の板面に付着した第2のパタ
ーン形状の強磁性磁気抵抗素子から成る第2のブリッジ
回路を有する検出素子と、該検出素子に対向し前記基板
に平行な磁界を形成すると共に前記検出素子に対し相対
的に回転する磁石部材と、前記第1のブリッジ回路及び
前記第2のブリッジ回路の出力信号の何れか一方を選択
して出力する出力回路とを備えたものである。
尚、上記出力回路は、前記検出素子と前記磁石部材との
相対的回転角度が所定角度となったとき前記第1のブリ
ッジ回路の出力信号を前記第2のブリッジ回路の出力信
号に切替えて出力するように構成するとよい。
[作用コ 上記の構成になる回転角度センサにおいては、検出素子
と磁石部材の相対的な回転に応じて検出素子に対する磁
束が変化し、異方性磁気抵抗効果により、第1及び第2
のブリッジ回路を構成する各強磁性磁気抵抗素子の抵抗
値が変化する。この検出素子に例えば定電流回路により
定電流が供給されると、出力回路において上記抵抗値変
化に応じた第1及び第2のブリッジ回路の出力の何れか
一方が選択され、検出素子と磁石部材の相対的な回転角
度を示す信号が出力される。
而して、回転角度センサとしての出力信号は第1及び第
2のブリッジ回路の出力の合成信号となり、例えば両ブ
リッジ回路の出力特性が直線性を示す部分を合成するこ
とにより、広範囲の回転角度に対し直線性を有する出力
信号が得られる。
特に、検出素子と磁石部材との相対的回転角度が所定角
度となったときに第1のブリッジ回路の出力から第2の
ブリッジ回路の出力に切替えるように出力回路を構成し
た場合には、各ブリッジ回路の出力が例えば60”の回
転角度範囲で直線性を示すとすれば回転角度がO°近傍
から120゜近くまで直線性を有する出力信号が得られ
る。
[実施例] 以下、本発明の望ましい実施例を図面を参照して説明す
る。
第1図乃至第4図は本発明の回転角度センサの一実施例
を示すもので、第3図に全体構成を示すように磁気セン
サ10が回路基板30に実装され、これらに対向するよ
うに磁石部材20を備えたシャフト2が配置されている
第1図は磁気センサ10を構成する第1及び第2のパタ
ーン形状の強磁性磁気抵抗素子12゜13(以下、単に
第1及び第2の磁気抵抗素子12.13という)を示し
ている。
第1の磁気抵抗素子12は高抵抗化を図るため帯状のN
 1−Co合金等の薄膜強磁性合金が折曲され、第1図
に示すような第1のパターン形状に形成されている。第
1のパターン形状は、長手方向が水平な素子を中心とす
るブロックと長手方向が垂直な素子を中心とするブロッ
クとが交互に接続された四つのブロックによって構成さ
れている。そして、各ブロック間の接続点には端子12
a乃至12dが形成されホイートストンブリッジが構成
されており、本発明にいう第1のブリッジ回路が構成さ
れている。即ち、端子12a、12bは所謂電流端子で
、端子12aは電源Vcに接続され、端子12bは接地
されている。端子12c、12dは所謂電圧端子であり
、これらから検出信号が出力される。
第2の磁気抵抗素子13は第1の磁気抵抗素子12と同
一材料で、第1の磁気抵抗素子12の第1のパターン形
状に対し各ブロックの長手方向成分が所定角度α傾斜し
た第2のパターン形状に形成され、水平方向に対して所
定角度αをなすブロックと垂直方向に対して所定角度α
をなすブロックとが交互に接続された四つのブロックに
よって構成されている。而して、第2の磁気抵抗素子1
3の第2のパターン形状は全体として第1の磁気抵抗素
子12の第1のパターン形状に対し所定角度α偏位して
いる。本実施例においては、この所定角度αは45°に
設定されている。
第2の磁気抵抗素子13の各ブロック間の接続点にも端
子13a乃至13dが形成されホイートストンブリッジ
が構成されており、本発明にいう第2のブリッジ回路が
構成されている。端子13a、13bは電流端子で、端
子13aは電源Vcに接続され、端子13bは接地され
ている。端子13c、13dは電圧端子であり、これら
から検出信号が出力される。これら第1及び第2の磁気
抵抗素子12.13を備えた磁気センサ10は、第2図
に示すように回路基板30に実装され、回路基板30上
に印刷された複数のリード31に端子12a乃至12d
及び端子13a乃至13dが接続される。
そして上記磁気センサ10に対向して、第3図に示すよ
うに磁石部材20が所定間隙を隔てて配置される。磁石
部材20は永久磁石21とその両側面に接合された一対
の断面略し字状の磁性体腕部22,23から成り、これ
ら磁性体腕部22゜23の長平方向に平行に、シャフト
2が永久磁石21に固着されている。磁性体腕部22,
23は各屈曲部の先端部22a、23aの端面が対向す
るように夫々永久磁石21側面に接着等により接合され
ており、先端部22a、23aの端面間に空隙が形成さ
れている。而して、永久磁石21により磁性体腕部22
,23の先端部22a、23aに夫々N極、S極が形成
され、両者間に磁束密度が均一な平行磁束の磁界が形成
される。
第4図は検出回路を示すもので、第1及び第2の磁気抵
抗素子12.13の夫々によって構成されたホイートス
トンブリッジ、即ち第1及び第2のホイートストンブリ
ッジ40a、40bを含むブリッジ回路40を有する。
このブリッジ回路40内の抵抗Rat乃至Ra4及び抵
抗Rbl乃至Rb4は夫々第1′ELび第2の磁気抵抗
素子12.13の各ブロックの等価抵抗を示している。
尚、第1及び第2の磁気抵抗素子12.13の第1及び
第2のパターン形状は前述のように相互に所定角度α偏
位している。
上記ブリッジ回路40の第1及び第2のホイートストン
ブリッジ40a、40bの夫々に定電流回路41が接続
されている。この定電流回路41は演算増幅器(以下、
オペアンプという)OPIを有し、その帰還回路に第1
及び第2のホイートストンブリッジ40a、40bが並
列接続されている。即ち、オペアンプOPIの出力端子
はブリッジ回路40の抵抗Rat、RaZ間即ち前述の
端子12a1及び抵抗Rbl、Rh2間即ち端子13a
に夫々接続され、抵抗Ra3.Ra4間即ち端子12b
、及び抵抗Rb3.Rb4間即ち端子13bがオペアン
プOPIの反転入力端子に接続されている。また、一端
が接地GNDされた抵抗R1の他端が、オペアンプOP
Iの反転入力端子に接続されている。
一方、電源Vcに接続された抵抗R2と、接地された抵
抗R3との接続点がオペアンプOP1の非反転入力端子
に接続されている。従って、印加される定電圧が抵抗R
2と抵抗R3によって分割され、基準電圧Vsaとして
オペアンプOPIに入力される。而して、基準電圧Vs
aによって抵抗R1の両端の電圧が決り、ブリッジ回路
40全体の抵抗値の変化に応じてオペアンプOPIの出
力電圧が変化し、定電流が供給される。即ち、ブリッジ
回路40を構成する抵抗Ral乃至Ra4及び抵抗Rb
l乃至Rb4の抵抗値が変化してもブリッジ回路40に
は一定の電流が供給される。
そして、第1及び第2のホイートストンブリッジ40a
、40bの各出力端子は差動増幅回路42に接続されて
いる。即ち、第1のホイートストンブリッジ40aの抵
抗Ra2.Ra4間即ち端子12cは抵抗R4を介して
オペアンプOP2の反転入力端子に接続され、抵抗Ra
t、Ra3間即ち端子12dは抵抗R5を介してオペア
ンプOP2の非反転入力端子に接続されている。オペア
ンプOP2の出力端子は抵抗R6を介して反転入力端子
に帰還すると共に、出力回路43に接続されている。同
様に、第2のホイートストンブリッジ40bの抵抗Rb
2.Rb4間即ち端子13Cは抵抗R7を介してオペア
ンプOP3の反転入力端子に接続され、抵抗Rbl、R
bB間即ち端子13dは抵抗R8を介してオペアンプO
P3の非反転入力端子に接続されている。オペアンプO
P3の出力端子は抵抗R9を介して反転入力端子に帰還
すると共に、出力回路43に接続されている。尚、オペ
アンプOP2.OP3の非反転入力端子は夫々抵抗R1
2,R13を介して抵抗R1Oと抵抗R11の接続点に
接続されており、抵抗RIOは電源Vcに接続され抵抗
R11は接地GNDされている。
上記オペアンプOP2の出力端子は、出力回路43にお
いて、コンパレータたるオペアンプOP4とスイッチン
グ素子SW1のドレインに夫々接続され、スイッチング
素子SW1のソースは抵抗R25及びオペアンプOP6
を介して最終出力端子vOに接続されている。一方、オ
ペアンプOP3の出力端子は抵抗R19、オペアンプO
P5、スイッチング素子SW2、抵抗26及びオペアン
プOP6を介して最終出力端子vOに接続されている。
尚、スイッチング素子SWI、SW2としては本実施例
においては電界効果トランジスタが用いられる。
出力回路43においては、電源Vcに接続される抵抗R
14と、これに接続されると共に接地される抵抗R15
により基準電圧Vsbが設定され、後述する第1のホイ
ートストンブリッジ40aから第2のホイートストンブ
リッジ40bへの切替時のスレショルドレベルとされる
。同様に、抵抗R16,R17により基準電圧Vscが
設定される。尚、この基準電圧Vscは上記切替時にお
ける第1及び第2のホイートストンブリッジ40a、4
0bの出力を同一の値とするように設定されている。
コンパレータとして機能するオペアンプOP4の非反転
入力端子は抵抗R14及び抵抗R15の接続点に接続さ
れており、基準電圧Vsbが入力する。オペアンプOP
4の出力端子はトランジスタTriのベースに接続され
ており、オペアンプOP4により基準電圧Vsbとオペ
アンプOP2の出力とが比較され、その比較結果がトラ
ンジスタTriに供給される。抵抗R16と抵抗R17
との接続点は抵抗R18を介してオペアンプOP5の反
転入力端子に接続されており、この反転入力端子に抵抗
R19を介して入力するオペアンプOP3の出力に対し
基準電圧Vscが加算される。即ち、オペアンプOP5
は抵抗R18,R19、R20及び抵抗R21と共に加
算回路を構成している。
エミッタ接地のトランジスタTriのコレクタは、抵抗
R22を介して電源vcに接続されると共にスイッチン
グ素子SWIのゲートに接続され、且つ抵抗R23を介
してエミッタ接地のトランジスタTr2のベースに接続
されている。トランジスタTr2のコレクタは抵抗R2
4を介して電源Vcに接続されると共に、スイッチング
素子SW2のゲートに接続されている。スイッチング素
子SW2のドレインはオペアンプOP5の出力端子に接
続され、ソースは抵抗R26を介してオペアンプOP6
の反転入力端子に接続されている。オペアンプOP6の
非反転入力端子は抵抗R27を介して接地GNDされ、
出力端子は抵抗R28を介して反転入力端子に接続され
ると共に最終出力端子Voに接続されている。
次に本実施例の回転角度センサの作動を説明する。第3
図のシャフト2の回動に応じ、前述のように磁気センサ
10の第1及び第2の磁気抵抗素子12.13の各ブロ
ックの抵抗値が変化する。
即ち、第1及び第2の磁気抵抗素子12.13は磁性体
腕部22,23の先端部22a、23d間に形成された
均一な平行磁界中にあって、素子基板11の板面はこれ
に平行に位置し、従って第1及び第2の磁気抵抗素子1
2.13には板面に平行な均一磁束が付与される。そし
て、シャフト2の回転により永久磁石21が磁気センサ
10回りを回転すると、先端部22a、23d間の磁界
が回転し、第1及び第2の磁気抵抗素子12.13に対
する磁化方向と電流方向のなす所定角度が変化する。こ
の場合において、第1の磁気抵抗素子12に供給される
電流と先端部22a、23d間の磁界による磁化方向が
平行になった時に第1の磁気抵抗素子12の抵抗値が最
大となり、直交した時最小となる。第2の磁気抵抗素子
13についても同様である。
これにより、端子12c、12d及び端子13c、13
dの出力は何れも略正弦波となり最大値と最小値近傍を
除く部分でシャフト2の回転角度に対し略直線性を有す
る出力特性が得られる。即ち、第1及び第2の磁気抵抗
素子12.13の各プロ・・りの抵抗値の変化に応じて
、第4図の第1及び第2のホイートストンブリッジ40
a、40bの抵抗Ra 2.Ra4の接続点と抵抗Ra
t。
Ra3の接続点との間、及び抵抗Rb2.Rb4の接続
点と抵抗Rbl、Rb3の接続点との間に夫々不平衡電
位差が生ずる。これらが差動増幅回路42のオペアンプ
OP2.OP3に夫々人力し、出力回路43に対し夫々
S5図(a)、(b)に示した特性の出力信号が供給さ
れる。
ところで、前述のように第2の磁気抵抗素子13の第2
のパターン形状は、第1の磁気抵抗素子12の第1のパ
ターン形状を基準に所定角度α傾創して形成され偏位し
ている。本実施例ではα=45°に設定されており、従
って第4図中■点の出力電圧と0点の出力電圧は夫々第
5図の(a)、(b)に示すように相互に45°の位相
差が生じている。
出力回路43の第4図中■点の基準電圧VsCは抵抗R
16及び抵抗R17によって第5図(C)に示すように
設定されている。そして、第4図中■点の出力と0点の
出力がオペアンプOP5で加算され、0点の出力は第5
図(d)に示すとおりとなる。
而して、第3図のシャフト2の回転角度が小さく抵抗R
14,15で設定される基準電圧Vsbよりも0点の出
力が小さいときには、トランジスタTriはオン状態で
あり、スイッチング素子SW1もオン状態である。この
ときトランジスタTr2はオフ状態で、スイッチング素
子SW2もオフ状態であり、従ってオペアンプOP6へ
の入力は0点の出力のみとなる。
シャフト2の回転角度が大きくなり、0点の出力が基準
電圧Vsbより大きくなると、トランジスタTri、ス
イッチング素子SWIがオフとなり、代ってトランジス
タTR2、スイッチング素子SW2がオンとなりされ、
オペアンプOP6の人力は0点の出力のみとなる。これ
により、最終出力たる0点の出力は第5図(e)に示す
特性となる。即ち、本実施例ではシャフト2の回転角度
が67.5°において第1及び第2のホイートストンブ
リッジ40a、40b間の切替作動が行なわれるよう設
定されており、従って出力電圧は回転角度15°乃至1
12.5°の間で直線性が得られ、直線範囲は97.5
°に亘ることとなる。
尚、基準電圧Vsb、Vscを適宜設定することにより
最大120°に亘る直線範囲を得ることができる。
上記のように構成された回転角度センサは種々の装置に
装着し得るが、例えば内燃機関のスロットルポジション
センサに内蔵される。第6図及び第7図は上記第1図乃
至第4図に示した回転角度センサを内蔵したスロットル
ポジションセンサ1を示すもので、図示しないスロット
ルボデーに装着され、シャフト2が図示しないスロット
ルシャフトに連動して回動するように支持されている。
即ち、スロットルポジションセンサ1は隣接する二つの
凹部3a、3bを有する合成樹脂製のハウジング3を備
え、これら凹部3a、3b間の隔壁3cに、軸受4を介
してシャフト2が回動自在に支持されている。
シャフト2の一端にはハウジング3の一方の凹部3a内
に収容されたレバー5が固着されており、レバー5は図
示しないスロットルシャフトに連結されている。ハウジ
ング3とレバー5との間にはリターンスプリング6が介
装されており、レバー5が所定の初期位置方向、即ち図
示しないスロットルバルブの閉位置方向に付勢されてい
る。
従って、スロットルバルブの開作動に伴ない、スロット
ルシャフトに連動するレバー5がリターンスプリング6
の付勢力に抗して駆動され、シャフト2が回動するよう
に構成されている。
シャフト2の他端には磁石部材20が固着され、ハウジ
ング3の他方の凹部3b内に収容されている。そして、
磁石部材20を構成する永久磁石21に対向し、且つそ
の両端の磁性体腕部22.23間に位置するように磁気
センサ10が配設される。この磁気センサ10が実装さ
れた回路基板30には複数の端子32及び複数のリード
部材7が接続されている。リード部材7はハウジング3
内に埋設されており、側方に延出してハウジング3と一
体にコネクタ8が形成されている。
回路基板30はハウジング3の凹部3b内に収容、固定
され、この凹部3bは合成樹脂製のカバー9により密閉
されている。
面シて、本実施例のスロットルポジションセンサ1によ
れば、図示しないスロットルバルブに連動して第6図に
示すレバー5が駆動されシャフト2が軸受4内を回動す
る。このシャフト2の回動に応じ第1及び第2の磁気抵
抗素子12.13の抵抗値が変化する。第1及び第2の
磁気抵抗素子12.13は各ブロックにより第4図に示
すように第1及び第2のホイートストンブリッジ40a
、40bが構成されており、これに定電流が供給されて
いる。これにより、前述のように第1及び第2の磁気抵
抗素子12.13の各ブロックの抵抗値の変化に応じて
出力電圧が変化し、出力回路43を経て最終出力端子V
。からスロットル開度信号たる電圧出力が得られる。こ
のスロットルポジションセンサ1においては、シャフト
2の回転角度15°がスロットル開度O°に対応するよ
うに設定されており、従ってスロットル開度は97.5
°まで正確に検出される。
尚、上記実施例においては、第1及び第2のホイートス
トンブリッジ40a、40bは夫々四つのブロックの強
磁性磁気抵抗素子によって構成され定電流駆動とされて
いるが、夫々二つのブロックの強磁性磁気抵抗素子を有
するホイートストンブリッジを構成し定電圧駆動として
もよい。
[発明の効果] 本発明は上述のように構成されているので、以下に記載
する効果を奏する。
即ち、本発明の回転角度センサにおいては検出素子に対
し磁石部材が相対的に回転するように構成されており、
検出素子は相互に所定角度偏位した第1及び第2のパタ
ーン形状の強磁性磁気抵抗素子を備え、これらによって
構成される第1及び第2のブリッジ回路の出力信号が出
力回路によって選択して出力されるように構成されてい
るので、広範囲の回転角度で直線性を有する出力信号が
得られ、回転角度を高精度で検出することができる。従
って、内燃機関のスロットルポジションセンサに好適で
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の回転角度センサに収容され
る磁気センサを構成する第1及び第2の磁気抵抗素子の
平面図、第2図は同、磁気センサが実装された回路基板
の平面図、第3図は同、回転角度センサの斜視図、第4
図は同、検出回路の電気回路図、第5図(a)乃至(e
)は第4図中の■乃至0の各点の出力特性を示すグラフ
、第6図は本発明の一実施例に係る回転角度センサを内
蔵したスロットルポジションセンサの縦断面図、第7図
は同、スロットルポジションセンサのカバーを取り除い
た状態の平面図である。 2・・・シャフト、10・・・磁気センサ、11・・・
基板。 12・・・第1のパターン形状の強磁性磁気抵抗素子1
3・・・第2のパターン形状の強磁性磁気抵抗素子20
・・・磁石部材、   21・・・永久磁石。 30・・・回路基板、    40・・・ブリッジ回路
。 41・・・定電流回路、  40a・・・第1のホイー
トストンブリッジ(第1のブリッジ回路)。 4Qb・・・第2のホイートストンブリッジ(第2のブ
リッジ回路)。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板の板面に付着した第1のパターン形状の強磁
    性磁気抵抗素子から成る第1のブリッジ回路と、前記第
    1のパターン形状に対し所定角度偏位して前記基板の板
    面に付着した第2のパターン形状の強磁性磁気抵抗素子
    から成る第2のブリッジ回路を有する検出素子と、該検
    出素子に対向し前記基板に平行な磁界を形成すると共に
    前記検出素子に対し相対的に回転する磁石部材と、前記
    第1のブリッジ回路及び前記第2のブリッジ回路の出力
    信号の何れか一方を選択して出力する出力回路とを備え
    たことを特徴とする回転角度センサ。
  2. (2)前記出力回路は、前記検出素子と前記磁石部材と
    の相対的回転角度が所定角度となったとき前記第1のブ
    リッジ回路の出力信号を前記第2のブリッジ回路の出力
    信号に切替えて出力することを特徴とする請求項1記載
    の回転角度センサ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009139252A (ja) * 2007-12-07 2009-06-25 Tokai Rika Co Ltd ポジションセンサ
JP2015049046A (ja) * 2013-08-29 2015-03-16 アルプス電気株式会社 角度検出装置

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JP2009139252A (ja) * 2007-12-07 2009-06-25 Tokai Rika Co Ltd ポジションセンサ
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