JPH03145320A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は衛星放送用等の高周波帯域（１００−旧４２以
上）で使用される多チヤンネル型の弾性表面波装置＜　
Ｓ　Ａ　Ｗフィルタ）に関するものであろう （ロ）従来の技術 ＳＡＷフィルタは圧電基板上に、くし型の１対のインタ
ープＩジタル！極を形成し、片方の送信用電極に交流信
号を印９０する事で、基板表面に弾性波を発生させ、も
う一方の受信用電極でこれを受信して、再度ｔＬ気信号
に変換する装置て゛あり、この変換過程で帯域フィルタ
（バンドパスフィルタ）を実現させている。斯るＳＡＷ
フィルタは同一基板上に復数個の送受信用インターディ
ジタルＴＬ極を形成する事が可能であり、同一基板りに
異なる任意の周波数特性を有するフィルタを構成するこ
とができる。たとえば、ヨーロッパ等いくつら放送衛星
が打上げられている地域では、それぞれ帯域幅を変えて
送信された信号に対して１個のＳＡＷフィルタで対応し
、出力側で、各チャンネルに切り換えて使用される。こ
れにより復数個のＳＡ〜Ｖフ、イルタを使用することに
比べて小型化を図る事が出来る。しかしながらこの場合
、異なる間波数特性の復数個のフノルタを同一基板上に
形成するため、各チャンネル間の選択性が悪くなり、相
互干渉等によるノイズが特性を劣化させるという問題が
ある。

この問題を解決するため、特開昭６３−１０２５０７号
公報（ＨＯ３Ｈ９／　２５　）には第４図に示すように
各フィルタ（１）（２）間に溝（３）を形成することが
提案されている。

尚、同図において、（１ａ）（２ａ）は送信用インター
ディジタル電極、（ｌｂ）（２ｂ）は受信用インターデ
ィジタル電極、（ｌｃ）（２ｃ）はシールド電極である
。

しかじながら、同図に示すような表面波伝播方向（、ｌ
＼）に対して平行な直線状の溝（３）では、成る方向か
ら入射してくる不要表面波は全て同一方向に反射される
のて゛、斯る反射された表面波が受信用インターディジ
タルｔ　Ｔｈ　（ｌｂ）（２ｂ）に到達すると、ノイズ
となって出力されるおそれがある。

また、このような溝（３）を形成する方法として、ダイ
シ／グツ−、スクライバ−等を使用した場合、切削クズ
が生じ、この切削クズは特に高［同波・１１■用のＳ　
Ａ　Ｗ　７　、ルタでは非常に不都合である。

（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は上述の問題に鑑みろされたものであり、同一基
板上に複数イ且の送受信用インターディジタル電極を形
成してなる弾性表面波フィルタにおいて、互いの弾性波
による影響が確実に防止されかつ上述のような溝形成時
の切削クズ等による不都合を解消することを目的とする
。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明の弾性表面波装置は同一基板上に複数組の送受信
用インターディジタル電極が設けられた弾性表面波装置
において、各相の送受信用インターディジタル電極間に
表面波伝播方向に対する傾斜方向を交互に逆方向に変え
つつ表面波ｆ云播方向に伸びるドライエツチングにより
形成されるのこぎり刃状等の溝、またはドライエツチン
グにより形成される複数の微細孔を備えることを特徴と
するものである。

（ホノ　作　　　用 本発明の弾性表面波装置は上記のように構成したので、
のこぎり刃状の溝または微細孔により表面波が反射、吸
収される。

（へ）実施例 以ド、本発明の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図は本発明の弾性表面波装置の斜視図である。

（１１）はＬ＋ＴａＯ３等の圧電基板、（１２ａ）（１
３ａ）は送信用インターディジタル電極、（１２ｂ）（
１３ｂ）は受信用インターディジタル電極であり、圧電
基板（１１）上（こ）オドリングラフィ等により形成さ
れる。これら送受信用インターディジタル電極（１２ａ
Ｈ１３ａ）（１２ｂ）（１３ｂ）は夫々、電ｔ％　（１
２ａ）（１２ｂ）、１極（１３ａ）（１３ｂ）の紐で異
なる周波数特性を有するフィルタ（１２）（１３）を構
成している。（１２ｃ）（１３ｃ）はシールド電極、（
１２ｄ）（１２ｄ）（１３ｄ）（１３ｄ）は基板端面に
て反射される不要表面波を防止する吸収材である。

（１４）はのこぎり刃状の溝であり、各フィルタ（１２
）（１３）を構成する送受信用インターディジタル？ｉ
　Ｓ　（１２ａ）（１２ｂ）と送受信用インターディジ
タル電極（１３ａ）（１３ｂ）間にドライエツチングに
より精度良く形］戊される。この溝（１４）は表面波伝
播方向（Ａ）に対して、所定の傾斜を有し、その＃ｉ斜
方向を交互に変えながら表面波伝播方向（Ａ）に伸びて
形成されている。

このように溝（１４）はノコギリ刃状に形成されている
ので、第２図に示すように不要表面波（１５〕を散乱さ
せる。尚、不要表面波を吸収させるために、このＫ（１
４）に吸収材を塗布してもよい。

また、溝（１４）の代りに第３図に示すような復数個の
微細孔（１６）（１６）・・・をドライエツチングによ
り形成することにより、不要表面波（１５）を散乱させ
ることかできる。

そして、ドライエツチングによる溝（孔）の加工におい
ては、圧電基板の切削クズ等が生じないので、高周波帯
用のＳ　Ａ　Ｗフィルタには好適である。

尚、ドライエンチングにより、深い溝（孔）を形成しよ
うとした場合、時間を要するが、表面波は１波長内の深
さにエネルギーの９ｏｏ！ｉ以上が含まれるので、例え
ば４００＼ＩＨｚ帯では１波長が約８コｍであり、Ｌｉ
Ｔａ０＋基板の場合ドライエツチングで充分対応出来る
深さの加工量である。

（ト）発明の詳細 な説明したように、本発明のドライエツチングにより形
成されたのこぎり刃状の溝および微細化は従来のものに
比べ、不要表面波を散乱させる効果は大きく、これによ
り同一基板上に設けられた谷フィルタどうしの互いの表
面波の影響を少なくすることができる。また、ドライエ
ツチングにより形成されるため、切削クズ等が発生しな
いので、電極パターンへの悪影響が抑制される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の弾性表面波装置の斜視図、第２図、第
３図は同じく要部拡大図、第４図は従来例を示す図であ
る。 （１１）・・・圧電基板、（１２ａ）（１３ａ）・・・
送信用インターディジタル電極、（１２ｂ）（１３ｂ）
・・受信用インターディジタル電極、（１４）・・溝、
（１６）・・（敷紙孔。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）同一基板上に夫々所定の周波数特性を有するフィ
   ルタを構成する複数組の送受信用インターディジタル電
   極が設けられた弾性表面波装置において、前記各組の送
   受信用インターディジタル電極間に表面波伝播方向に対
   する傾斜方向を交互に逆方向に変えつつ前記表面波伝播
   方向に伸びるドライエッチングにより形成されるのこぎ
   り刃状の溝、またはドライエッチングにより形成される
   復数個の微細孔を備えることを特徴とする弾性表面波装
   置。