JPH03146434A - 高純度石英多孔質ガラス母材の加熱処理方法およびそのための加熱炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、光ファイバ用母村などの高純度石英ガラス母
材の加熱炉に関し、更に詳しくは、石英系多孔質ガラス
＠粒子体を加熱処理（例えば脱水、ドーパント添加、焼
結など）して光ファイバなどの製造に使用する透明な高
純度石英ガラス母材とする加熱炉に関する。

［従来の技術〕 光フアイバ用ガラス母材を製造するｉこめに使用する加
熱炉において、従来、例えば特公昭５Ｂ＝４２１３６及
び５８−５８２９９号公報並びに特開昭６０−８６０４
９号公報に示されているように、炉芯管として石英ガラ
ス管を使用することが提案されている。

しかしながら、石英ガラス管には高温で変形し易いとい
う重大な問題点が存在する。実際、１５００℃以上で加
熱炉を使用した場合、炉芯管の支持方法と炉芯管内外の
差圧とを厳密に調節しないと、石英ガラス管が変形し、
使用不可能となることがある。また、１１５０℃以上で
長時間使用すると、石英ガラス管において失透（結晶化
）が生じる。ガラス層と失透層とは、熱膨張係数が異な
るため、生じた歪によって炉芯管が破壊するという問題
点ら存在する。

本発明者等は、この問題点を解決するため、炉芯管とし
てカーボン管が有効であることを既に見出している（例
えば、特開昭６４−７６９２７号公報および国際出願公
開ＷＯ３８１０６１４５号（ＰＣＴ／ＪＰ８Ｂ１００１
５１）参照）。

カーボン管は、２０００℃以上においても安定であり耐
熱性に優れるばかりでなく、灰分を２０ｐｐｍ以下にで
き、高純度化が容易であり、また、光フアイバ用ガラス
母材の加熱処理に有用な反応性ガス（例えばｃＱ、、Ｃ
ＣＱ、、ＳｉＦ＋、Ｓ　Ｆ　ｍ、ＣＣｌ２ｔＦｔ等）と
反応しないという長所をもっている。カーボン管は加工
精度が良いので、組立式にすることにより低コスト化を
図ることができ、更に外面をＳｉＣコーティングやカー
ボンコーティングすることにより気密性が向上するので
より高品質の光フアイバ用ガラス母材を得ることができ
る。

従来の加熱処理は、例えば第７図に示すように、ゾーン
ヒータを有する炉で加熱処理を行なう。中空の炉体１の
内側にカーボンヒータ２を有し、炉芯管３が炉体１を貫
通している。この加熱炉は、炉体パージ用窒素ガス人口
４、炉芯管内雰囲気ガス人口５およびガラス母材支持治
具６を有し、多孔質ガラス体７が加熱炉の中に挿入され
る。炉芯管３は、上部３１、中央部３２および下部３３
から構成され、少なくとも中央部３２はカーボンからで
きており、カーボンの表面にはＳｉＣコーティングまた
はカーボンコーティングが施されていることがある。

従来の加熱処理では、加熱炉は第７図に示すように構成
されているので、ガラス体を出し入れする時に、炉芯管
内に周辺大気（作業室の雰囲気）が侵入する。

第８図は、炉芯管への周辺大気の混入量を測定する装置
の概略図である。この装置は炉芯管１Ｏ１１パ一ジガス
人口１０２、ガス採取管１０３、酸素濃度測定装置１０
４、ポンプ１０５およびゾーン炉１０６を有する。炉芯
管１０１の内径は１５０ｍｍであり、ガス採取管の先端
は炉芯管の開口部より１ｍ入った点に固定する。

第８図に示した装置を使用して、加熱炉に周辺大気が混
入する程度を測定した。その結果を加熱炉内の酸素濃度
とパージする窒素量との関係として第９図のグラフに示
す。グラフから明らかなように、炉芯管中に周辺大気が
相当量混入しており、たとえパージ窒素ガスの流量を増
やしたとしても周辺大気混入を防止することは不可能で
あることが判る。

このように加熱炉に大気が混入すると、以下のような問
題が生じる。

第１に、炉芯管内が大気中のダストにより汚染される。

ダストは、５ｉｄｅ、Ａ　Ｑ　ｖ　Ｏｓ、Ｆｅ１Ｏ３等
により構成されており、このうちＡｌ２ｔＯａは母材失
透の原因となり、Ｐｅｔ’ｓはロス増加の原因となる。

第２に、カーボン炉芯管内面の酸化が起こる。

カーボン焼成体の酸化では、バインダとして使われてい
るタールおよびピッチがまず酸化することが知られてい
る。そのため、残された黒鉛粒子は脱落したり飛散して
炉内を舞う。この粒子が、焼結したガラス母材の表面に
付着するので、このような状態で加熱処理したガラス母
材から製造したファイバには、低強度部分が多く存在す
ることになる。更に、当然のことながら、カーボン炉芯
管の寿命が極端に短くなる。

このような炉芯管の酸化を防止する第１の方法として、
ガラス体の出し入れ温度をカーボンが酸化しない４００
℃以下にすることが考えられる。

しかし、この方法では炉の稼働率が大幅に低下し、更に
、カーボン炉芯管は多孔質であるため周辺大気に一度暴
露すると、炉芯管に周辺大気中の水分が相当量吸着する
ためにカーボンの酸化消耗を完全には防止することは不
可能である。

第２の方法として、炉芯管の上部に前室を設け、多孔質
ガラス母材を前室に一度収容して不活性ガス置換した後
、多孔質ガラス母材を炉芯管内に移動させる方法が特開
昭６４−７６９２７号公報に開示されている。この特許
出願に記載されている加熱炉を第１Ｏ図に示す。

第１Ｏ図の加熱炉は、炉体ｌの内側にカーボンヒータ２
およびカーボン炉芯管３が設けられている。この加熱炉
は、炉体パージ用窒素ガス人口４、炉芯管内雰囲気ガス
人口５、ガラス母材支持治具６、前室１１．前室ガス出
口１４、前室パージガス人口１５および間仕切り１６を
有して成り、多孔質ガラス体７が加熱炉中に挿入される
。

第１０図の加熱炉へ多孔質ガラス体を挿入するには、次
の手順で操作する。

！１回転・上下動可能なチャックに多孔質ガラス体７を
支持棒６を介して取り付ける。

２、前室１１の上蓋を開け、多孔質ガラス体７を前室１
１内に降下させる。

３、上蓋を閉じ、前室内を不活性ガス（Ｎ、またはＨｅ
など）で置換する。

４、前室１１と加熱雰囲気を隔てる間仕切り１６を開け
、多孔質ガラス体７を予め加熱処理温度に保たれた加熱
雰囲気へ導入する。

５、間仕切り１６を閉める。

また、この加熱炉から母材を取り出すには、次の手順で
操作する。

ｌ１間仕切り１６を開ける。

２、加熱処理が終わった母材７を加熱雰囲気から前室１
１へ引上げる。その際、加熱雰囲気の温度は、必ずしも
下げる必要はない。

３、間仕切り■６を閉じる。

４、前室１１の上蓋を開け、母材７を取り出す。

［発明が解決しようとする課題］ 上述の第１Ｏ図の加熱炉は、周辺大気巻き込みによるカ
ーボン製炉芯管の酸化消耗を防止するという機能に関し
ては良好な効果をもたらしたものの、以下のような新た
な問題が発生する。

即ち、■前室を設ける必要があるので、装置の全高が長
くなり過ぎることである。第２図は、全長８００　＋＋
ｕｎ、種棒２００ｍｍの多孔質ガラス母材を加熱処理す
る場合の第１Ｏ図の加熱炉の例である。この場合、炉芯
管の先端からチャック下端の位置まで６７６０＋ｍ必要
であり、作業上必要なスペースを見込むと加熱炉の全高
は８０００ｍｍ近くなる。

更に、０間仕切りＩ６が複雑な構造になることである。

間仕切り１６は多孔質ガラス母材支持具が貫通している
時としていない時の両方の場合に対応する必要がある。

間仕切り１６の操作方法について第１２図、第１３図お
よび第１４図を参照して、以下に具体的に説明する。

第１２図は前室１１内で多孔質ガラス体を保持している
状態を、第１３図は前室２内を不活性ガスにより置換後
、間仕切り１６を開放して多孔質ガラス体を加熱雰囲気
内に挿入する状態を、第１４図は加熱処理をしている状
態を示す。

このようなの３つの操作を行う場合、３つの部材、即ち
、貫通部封止Ｍ７２と２つの半割り蓋７１を２本のスラ
イドロッド７３を使用して操作する必要がある。

従って、例えば次のような問題が生じる：（ｉ）間仕切
１６が合計３個の部材から構成されているために間仕切
りの開閉操作に時間を要すること； （ｉｉ）間仕切１６の構造が複雑であり、特に半割り蓋
が完全に閉じた状態であることを確認するのが困難であ
り、不十分な封止状態で前室を大気開放する可能性が高
いこと：　および （ｉｉｉ）間仕切１６の構造が複雑なため、間仕切り部
分の容積が増加し、ガス置換に時間を要すること。

［課題を解決するための手段］ 上述の課題を解決するための手段として、本発明は、発
熱体を有する中空の炉体および炉体を貫通する炉芯管を
用いて高純度石英多孔質ガラス母材を炉芯管内で加熱処
理する方法であって、炉芯管の垂直下方向から多孔質ガ
ラス母材を炉芯管に挿入し、また、炉芯管の垂直下方向
にガラス母材を取り出すことを特徴とする加熱処理方法
を提供する。

更に、上記加熱処理方法のより好ましい態様として、本
発明は、少なくとも炉芯管開放時、不活性ガスを炉芯管
の上方に供給することにより、炉芯管内に周辺大気が侵
入することを防止し、周辺大気の代わりに不活性ガスを
優先的に炉芯管に流入させることを含む上記加熱処理方
法を提供する。

また、本発明は、発熱体を有する中空の炉体および炉体
を貫通する炉芯管を有し、高純度石英多孔質ガラス母材
を炉芯管内で加熱処理して高純度石英母材を製造するた
めの加熱炉であって、炉体より下方に突出している炉芯
管部分が垂直下方向に開口し、かつ、キャップ部材によ
り閉止できるようになっている開口部を有して成り、加
熱処理するガラス母材を開口部を介して炉芯管に挿入し
、また、炉芯管から取り出すことができるようになって
いる加熱炉を提供する。本発明の上記加熱炉は、上述の
本発明の加熱処理方法に最も好都合に通用できる。

本明細書において使用する「加熱処理」なる語は、脱水
、ドーパント添加、焼結処理などを包含する、炉芯管を
加熱する操作を全て包含するものとして使用する。

［作用］ 本発明の加熱処理方法および加熱炉について第１〜６図
を参照して詳細に説明する。

第１図および第２図は、本発明の加熱炉を使用して加熱
処理する方法を模式的に示す。第３〜６図は、本発明の
基礎となる検討のための模式図である。

最初に、従来の炉芯管に関して周辺大気の混入状態を考
察するために炉芯管大気開放部におけるガス流の可視化
実験を行った。

その結果を第３図（ａ）に模式的に示す。矢印で示すよ
うに、炉芯管中央部では強い下降流が、また、炉芯管内
壁面近傍では上昇流が生じていることが判った。また、
開口部における（炉芯管の中心を通る断面の半径（ｒ）
方向の）速度（ｖ）分布を第３図（ｂ）に模式的に示す
。第３図（ｂ）において斜線で示す部分が周辺大気が炉
芯管内に混入する部分である。尚、実験時のヒーター温
度は８ｏｏ℃、周辺大気の温度は２５℃、また、炉芯管
上部外表面温度は２００℃であった。

このような現象は、低温の周辺大気と高温の炉芯管との
温度差により生じる自然対流の効果によるものである。

次に、自然対流現象について簡単な例により考察をして
みる。第４図に示すように水を入れたビーカーの底面中
朱部を加熱すると、ビーカーの底部中央付近の水は暖め
られ軽くなって浮力により上昇する。水面で冷却された
後、図中の矢印を付した線で示すようにビーカー壁面付
近に沿って降下して底面へ達する。逆に、ビーカーの側
面下方部を加熱する場合は第５図に示すように、上述の
場合と逆の現象となる。

自然対流現象は、このように温度差により流体内で密度
差が生じて何等かの流動現象が発生する現象であると言
える。

以上のような考察に基づいて、加熱炉の炉芯管において
生ヒる現象を以下のように考えることができる。

炉芯管内のガスは高温部つまり炉芯管内壁面で加熱され
て壁面に沿って高温で密度の小さい上昇流が発生する。

この上昇流によって炉芯管内のガスは炉芯管外に放出さ
れるため、放出分を補填するために上昇流に比べて相対
的に低温で密度が大きく、炉芯管内ガスの上方に存在す
る周辺大気が炉芯管中央部を降下する。この下降流が周
辺大気混入の原因であり、外気に含まれるダストを炉芯
管内部へ同伴し、また、炉芯管がカーボン材質でできて
いるなら、周辺大気に含まれている酸素によりカーボン
が酸化されて消耗することになる。

以上の考察より、上述の自然対流による大気混入を発生
させないようにするには、炉芯管内壁により加熱された
高温で密度の小さいガスが低温で密度の大きい周辺の大
気より常に上方に存在するような構造の炉芯管にすれば
よいと考えられる。

即ち、第３図に示すような従来の構造の加熱炉では、炉
芯管の開口部が上方に向いて開いているために密度の高
い周辺大気は外部より侵入することになる。即ち、密度
の高い周辺大気は、密度の小さい炉芯管内ガスと比べる
と、重力の作用により相対的に下降しやすい。従って、
炉芯管の開口部が上方に向かって開いている限り、周辺
大気が炉芯管内に混入し易い。

しかしながら、第６図（ａ）に示すように、炉芯管の開
口部が炉芯管の下方部分に設けられ、炉芯管の開口部が
下方に向かって開いている場合、炉芯管内の密度の小さ
いガスは外部に出にくく、また、周辺大気は炉芯管内に
入りにくい。従って、炉芯管内壁にて加熱されたガスは
上昇し、炉芯管上部で合流した後に下降するが、この下
降流が炉芯管内壁面近傍で上昇したガス分を浦填する。

更に、炉芯管の開口部近傍においては、炉芯管内で加熱
された高温の密度の低いガスが低温で密度の大きい周辺
大気の上に存在するため密度差によるガスの交換も殆ど
行なわれないので外部からの大気の侵入を最小限に抑制
できる。従って、第６図（ａ）の場合の開口部における
（炉芯管を中心を通る断面の半径（「）方向の）速度（
ｖ）分布は第６図（ｂ）のように模式的に示すことがで
きる。

本発明の加熱処理方法および加熱炉は上述のような考察
に基づくものである。

即ち、本発明では、第１図および第２図に示すように、
炉芯管３に対するガラス母材７の出し入れは、炉体ｌか
ら突出した炉芯管部分の垂直下向きの開口部ｌＯを介し
て行う。第１図および第２図に示す炉芯管の態様は第６
図の態様を実用的な態様に修正したものである。

従って、炉芯管を開放してガラス母材を出し入れするに
際し、炉芯管内壁の温度が高いことによる対流が炉芯管
内において生じても、上述の理由により炉芯管内に周辺
大気が炉芯管に混入することは最小限に抑制される。

より好ましい態様では、炉芯管を開放する際に、不活性
ガス、例えば窒素を炉芯管上方から内部に供給すること
により周辺大気の炉芯管内への混入が更に抑制される。

第１図は、加熱処理前または後の本発明の加熱炉の模式
断面図であり、キャップ部材９は炉芯管３から外されて
おり、炉芯管の開口部１０が下方に開いている。

第２図は、加熱処理中の本発明の加熱炉の模式断面図で
あり、キャップ部材９は炉芯管３に取り付けられている
。

次に、本発明による加熱炉の性能評価のために、以下の
ような実験を行った。実験では、第１図に示す加熱炉を
使用し、キャップ部材９を開放した状態で炉芯管３内部
の酸素濃度を測定することにより性能評価した。

カーボンヒータ２の表面温度が８５０”Ｃ１炉内雰囲気
ガス（５から導入）の流量がＩＯＲ／分（Ｎ。

ガス使用時）の場合、炉芯管３内の酸素濃度は１１００
ｐｐ以下であった。この１１００ｐｐという値は、炉芯
管３の材質がカーボンの場合、１時間当たり０．０５ｇ
のカーボンをＣＯｔに変化させるレベルであり、実用上
充分許容できる値である。

多孔質ガラス母材を加熱炉に挿入する場合、例えば以下
のような手順で操作する。

第２図において多孔質ガラス母材７が配置されていない
状態から説明する。

■カーボンヒータ２の温度を８５０℃以下に設定し、炉
芯管雰囲気ガス人口５よりパージ用雰囲気ガス（例えば
Ｎ、ガス）を供給する。

■キャラプ部材９を開放する。この間、パージガスは■
と同様に供給されており、その流量は１０９１分である
。

■キャップ部材９を第１図に示すように引き下げ、多孔
質ガラス母材７を支持棒（回転および上下動可能）６に
固定する。パージガスは■と同様に供給されている。

■多孔質ガラス母材７をキャップ部材９と共に例えばキ
ャップ部材昇降装置８を使用して上昇させ、炉芯管３内
に挿入する。パージガスは■と同様に供給されている。

■キャブ１部ｖＩ９を閉じた後、不活性ガス排出ボート
９１から不活性ガスを排気する。（第２図の状ａ） ■多孔質ガラス母材７の処理を開始する。

母材を加熱炉の炉芯管から取り出す手順の上述の手順を
逆にすればよい。（手順■では母材を支持棒から取り外
す。） ［実施例］ 以下に本発明の実施例を示す。

Ｘ敷鯉上 第１１図に示す炉芯管の上方に前室を有する従来の加熱
炉を使用して多孔質ガラス母材（全長８００ａ＋＋ｏ、
種棒長２００　ａｍ）を加熱処理する加熱炉を設計した
ところ、設計上必要なスペースや作業上必要なスペース
を含めた装置の全高は約８０００ｘｘとなった。

これに対し、同じ多孔質ガラス母材を処理する第里図に
示す本発明の加熱炉を設計する場合、装置高さはチャッ
ク下端からキャップ部材昇降装置の下端までで４５６０
ｓ−であった。設計上必要なスペースや作業上必要なス
ペースを含めて実際に設計した装置の全高は５８００＋
ｎｎとなり、上述の同じ大きさの母材を処理する第１１
図に示す装置より約２．２ｍ低い加熱炉で十分であるこ
とが判った。

実施例２ 第１図の直径２００ｕの加熱炉（炉芯管部分は、厚さ８
ｍｍの熱分解カーボンを表面に３０μ肩コートした高純
度カーボン製）を使用して多孔質ガラス母材を加熱処理
した。処理条件を以下に示す：脱水時温度　　　　　　
１１００℃ 透明化温度　　　　　　１６５０℃ 本実施例において多孔質ガラス母材を炉芯管内に挿入す
る際の条件を以下に示す： カーボンヒータ温度　　　　　８５０℃カーボンヒータ
均熱部長さ　　５００ｘｘカーボンヒータ均熱部長さ に於ける温度分布　　　　　　８５０±ｌＯ℃パージガ
ス種　　　　　　　　　　Ｎ。

パージガス流量　　　　　　　１０．！ｌ／ｌ／分管芯
管内径　　　　　　　　２００ｘｍ尚、上記条件で同時
にキャップ部材９の開放時のＯ！濃度も測定した。キャ
ップを開放している時間は、多孔質ガス母材をセットす
る３分間であり、この時のＯ１濃度の最大値は１２Ｂｐ
ｐ−であった。

また、ヒータ外部に露出した炉芯管部分も加熱し、上記
の均熱部長さを１１０００ｉとした場合、同様にＯ２濃
度測定を実施したところ、最大値は６０ｐｐｍであった
。

母材の加熱処理後、このガラス母材をコア材として線引
速度１５０ｘ／分で線引することにより、外径１２５μ
厘の寸法形状である光ファイバを作ったところ、伝送ロ
スは、光波長１．５５μ−において０．１８ｄＢ／ｋｍ
と低ロスであった。

Ｘ敷鯉ｉ 実施例２と同様の方法で多孔質ガラス体の焼結処理を９
０回繰り返した。この間のカーボン炉芯管の減量は１４
９であった（加熱部で３５μｍの酸化消耗に相当）。こ
の消耗量は、カーボン炉芯管を２年程度使用できる量に
相当する。

比較例１ 第１Ｏ図の加熱炉（炉芯管部分は、厚さ８Ｒ１＆の熱分
解カーボンを表面に３０μｌコートした高純度カーボン
製、）を使用した。多孔質ガラス体を前室に入れ、前室
の上蓋を閉じ、前室内に窒素ガスを１０Ｑ／分で１０分
間流し、前室内を窒素ガスにより置換した。その後、間
仕切りを開け、多孔質ガラス母材を前室から炉芯管内へ
移動させ、間仕切りを閉めた後加熱処理を行ない、透明
な光フアイバ用ガラス母材を製造した。

加熱処理条件は、実施例２と同様であった。

母材の取り出し時には先ず間仕切りを開け、ガラス母材
を前室に移動させた後に間仕切りを閉め、その後、上蓋
を開はガラス母材を取り出した。

実施例２と同様にして、得られたガラス母材をコア材と
して光ファイバを作ったところ、伝送口・スは、光波長
１．５５μｌに於いて０．１８ｄＢ／ｋｎと低かった。

比較例２ 比較例１と同様の方法で、多孔質ガラス体の加熱処理を
４０回繰り返した。この間のカーボン炉芯管の減量は２
０ｇ（表面より５０μ屑の酸化消耗に相当）であった。

この消耗量は、カーボン炉芯管を！、５年程度使用でき
る量に相当する。

［発明の効果］ 加熱雰囲気への周辺大気（作業室の雰囲気）の混入がな
くなり、炉芯管内の不純物による汚染がなくなる。その
ため、母材の失透を防止できると共に、製造される母材
の透明度が向上する。

炉芯管がカーボンからできている場合、カーボンの酸化
消耗が抑えられて寿命が伸びる。また、同様の目的の前
室付き加熱炉と比校した場合、同等かそれ以上の効果が
あり、本発明の加熱炉の構造はより単純であり、装置全
高も低いという別の利点がある。

更に、ガラス体の出し入れ時に、炉体を降温さ仕る必要
がないので、炉の稼動率が高くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の加熱炉の概略断面図、第
３図（ａ）および（ｂ）は炉芯管上部の気体の流れの状
態を示す図、第４図および第５図は自然対流の模式図、
第６図（ａ）および（ｂ）は、本発明の原理を示す図、
第７図は従来の高純度石英母材製造用焼結炉の概略断面
図、第８図は炉芯管内部の酸素濃度を測定する装置の概
略構成図、第９図は、炉芯管内の酸素濃度とパージガス
流量との関係を示すグラフ、第１Ｏ図は従来のもう１つ
の高純度石英母材製造用加熱炉の概略構成図、第１１図
は第１０図の加熱炉の高さを説明する図、第１２図、第
１３図および第１４図は、第１Ｏ図の加熱炉の間仕切り
の操作方法を示す説明図である。 Ｉ・・・炉体、２・・・カーボンヒータ、３・・・炉芯
管、４・・・炉体パージ用ガス入口、５・・・炉芯管内
雰囲気ガス人口、 ６・・・ガラス母材支持治具、 ７・・・多孔質ガラス母材、 訃・・キャップ部材昇降装置、９・・・キャップ部材、
ｌＯ・・・開口部、１１・・・前室、 １４・・・前室ガス出口、 １５・・・前室パージガス入口、１６・・・間仕切り、
１．３２．３３・・・炉芯管構成部材、■・・・半割り
蓋、７２・・・貫通部封止蓋、３・・・スライドロッド
、 １・・・不活性ガス排出ボート、 ０２・・・炉体パージ用ガス人口、 ０３・・・ガス採取管、 ０４・・・酸′１ｇ１１１度測定装置、０６・・・炉体
。 １０１・・・炉芯管、 １０５・・・ポンプ、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、発熱体を有する中空の炉体および炉体を貫通する炉
   芯管を用いて高純度石英多孔質ガラス母材を炉芯管内で
   加熱処理する方法であって、炉芯管の垂直下方向から多
   孔質ガラス母材を炉芯管に挿入し、また、炉芯管の垂直
   下方向にガラス母材を炉芯管から取り出すこと含んで成
   る加熱処理方法。 ２、炉芯管の上方に不活性ガスを供給することを更に含
   んで成る請求項１記載の加熱処理方法。 ３、発熱体を有する中空の炉体および炉体を貫通する炉
   芯管を有し、高純度石英多孔質ガラス母材を炉芯管内で
   加熱処理して高純度石英母材を製造するための加熱炉で
   あって、炉体より下方に突出している炉芯管部分が垂直
   下方向に開口し、かつ、キャップ部材により閉止できる
   ようになっている開口部を有して成り、加熱処理するガ
   ラス母材を開口部を介して炉芯管に挿入し、また、炉芯
   管から取り出すことができるようになっている加熱炉。 ４、請求項３記載の加熱炉を用いる請求項１または２記
   載の加熱処理方法。