JPH03148601A - 多層膜反射鏡 - Google Patents
多層膜反射鏡Info
- Publication number
- JPH03148601A JPH03148601A JP28750489A JP28750489A JPH03148601A JP H03148601 A JPH03148601 A JP H03148601A JP 28750489 A JP28750489 A JP 28750489A JP 28750489 A JP28750489 A JP 28750489A JP H03148601 A JPH03148601 A JP H03148601A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- multilayer film
- reflecting mirror
- film
- rays
- film reflecting
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、Ｘ線用光学系として広範囲に用いられる多層
膜反射鏡に関する。 （従来の技術） 近時、Ｘ線リソグラフィー、Ｘ＠顕微鏡、シンクロトロ
ン放射（ＳＯＲ）分光、Ｘ線レーザーなどの軟Ｘ線用光
学系として、多層膜反射鏡が、広範囲に用いられている
。従来、Ｘ線用多層膜反射鏡の多層膜としては、複素屈
折率の異なる二つの物質の組み合わせが用いられている
。たとえば、Ａｕ／Ｃ，Ｍｏ／Ｃ，Ｔａ／Ｃ，Ｗ／Ｃ。 ＡｕＰｄ／Ｃ，ＲｅＷ／Ｃ等の組み合わせが報告されて
いる（特開昭６２−２９７８００号公報、特開昭６３−
８８５０１号公報、特開昭６３−１８５０２号公報、特
開昭６３−８８５０３号公報、特開昭６３−９５４００
号公報、特開昭６３−２６６３９６号公報、特開昭６３
−２６６３９７号公報、特開昭６３−２６６３９８号公
報、特開昭６３−２６６３９９号公報、特開昭６３−２
６６４００号公報、特開昭６３−２７１２００号公報、
特開昭６３−２７３０９９号公報、特開昭６３−２８４
４９８号公報、特開昭６３−２８４４９９号公報、特開
昭６４−１８０９１１号公報）。つまりーこれらの物質
対の組み合わせは重元素と軽元素の組合せで複素屈折率
の差が大きくなるように構成されている。 （発明が解決しようとする課題） しかしながら、一般的に重元素は吸収係数が大きいため
、熱吸収による多層膜構造の劣化の原因ともなる。 本発明は、上記事情を参酌してなされたもので、反射率
が高く、かつ、吸収率の小さい多層膜反射鏡を提供する
ことを目的とする。 ［発明の構成］ （課題を解決するための手段と作用） 吸収係数の小さい軽元素のみにより多層膜を形成するこ
とにより、反射率が高く、かつ吸収率の小さい多層膜反
射鏡を得るようにしたものである。 （実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。 第１図は、この実施例の多層膜反射鏡を示している。こ
の多層膜反射鏡は、例えばＳｉＣなど平面または曲面に
形成された基板（１）と、この基板（１）上に着設され
た多層膜（２）と、この多層膜（２）の最上層に被着さ
れた例えばＣ（炭素）などからなる極薄（１０八以下）
の保護膜（３）とからなっている。そうして、前記多層
膜（２）は、例えば密度が４ ｇ／ｃｉ以下の軽元素か
らなる一対の膜（４）、（５）が交互に例えば３１層積
層されてなるものであり、各膜（４） 、 （５）の膜
厚は、それぞれの層中におけるＸ線吸収および各層の界
面からの反射Ｘ線の位相の重なりによる反射Ｘ線の強め
合いの両者を考慮し、多層膜反射鏡全体として最も高い
反射率かえられるようにする。また、膜（４）、（５）
の材種の選択は、両者のフレネル係数の差の絶対値が大
きいこと、及び膜（５）の軽元素は複素屈折率の吸収係
数が小さいことの二つの条件を満たすようになされてい
る。さらに、多層膜の最上層は、膜（４）とするほうが
反射率が高まる。以上を考慮して、例えば波長４４．１
人のＸ線を効率よく反射するには、膜（４）は膜厚ｄＡ
４ｇ人の八１−（アルミニウム）で、また膜（５）は膜
厚ｄＢ３６人のＣ（炭素）で構成すると良い。 つぎに、上記構成の多層膜反射鏡の作用について述べる
。 多層膜（２）に対して、波長４４．７人のＸ線を投射す
る。すると、この多層膜（２）にては、反射Ｘ線が反射
率Ｒで反射する。このときの入射角θと反射率Ｒとの関
係を第２図に示す。すなわち、この第２図が示すように
、１４″の入射角で極大の反射率１９．５％を得ること
ができる。この反射率では、ＳＯＲ分光用、Ｘ線顕微鏡
用などのｘＩｌ用光学系として、十分使用できるものと
なる。しかも、膜（４） 、 （５）は、複素屈折率の
吸収係数が小さい軽元素からなっているので、Ｘ線によ
る昇温蓄熱が小さくなり、反射鏡全体の冷却が容易とな
る。 なお、膜（４）、（５）の膜厚は、必ずしも一定でなく
てもよい。さらに、多層膜を構成する膜対の組み合わせ
は、波長４４．７人のＸ線に対してはＡｉ／Ｃａ、Ａ
Ｉ／Ｌ ｉ、Ｂ／Ｃａ、Ｂ／Ｃ，Ｂ／Ｌ ｔ。 ５ ｉ／Ｃａ、Ｓ ｉ／Ｃ，Ｓ ｉ／Ｌ ｔ、Ｂｅ／Ｃ
。 Ｂｅ／Ｃａ、Ｂｅ／Ｌｉ等、密度４ｇ／ｄ以下で融点１
００℃以上のものの組合せであるならばどのようなもの
でもよい。
膜反射鏡に関する。 （従来の技術） 近時、Ｘ線リソグラフィー、Ｘ＠顕微鏡、シンクロトロ
ン放射（ＳＯＲ）分光、Ｘ線レーザーなどの軟Ｘ線用光
学系として、多層膜反射鏡が、広範囲に用いられている
。従来、Ｘ線用多層膜反射鏡の多層膜としては、複素屈
折率の異なる二つの物質の組み合わせが用いられている
。たとえば、Ａｕ／Ｃ，Ｍｏ／Ｃ，Ｔａ／Ｃ，Ｗ／Ｃ。 ＡｕＰｄ／Ｃ，ＲｅＷ／Ｃ等の組み合わせが報告されて
いる（特開昭６２−２９７８００号公報、特開昭６３−
８８５０１号公報、特開昭６３−１８５０２号公報、特
開昭６３−８８５０３号公報、特開昭６３−９５４００
号公報、特開昭６３−２６６３９６号公報、特開昭６３
−２６６３９７号公報、特開昭６３−２６６３９８号公
報、特開昭６３−２６６３９９号公報、特開昭６３−２
６６４００号公報、特開昭６３−２７１２００号公報、
特開昭６３−２７３０９９号公報、特開昭６３−２８４
４９８号公報、特開昭６３−２８４４９９号公報、特開
昭６４−１８０９１１号公報）。つまりーこれらの物質
対の組み合わせは重元素と軽元素の組合せで複素屈折率
の差が大きくなるように構成されている。 （発明が解決しようとする課題） しかしながら、一般的に重元素は吸収係数が大きいため
、熱吸収による多層膜構造の劣化の原因ともなる。 本発明は、上記事情を参酌してなされたもので、反射率
が高く、かつ、吸収率の小さい多層膜反射鏡を提供する
ことを目的とする。 ［発明の構成］ （課題を解決するための手段と作用） 吸収係数の小さい軽元素のみにより多層膜を形成するこ
とにより、反射率が高く、かつ吸収率の小さい多層膜反
射鏡を得るようにしたものである。 （実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。 第１図は、この実施例の多層膜反射鏡を示している。こ
の多層膜反射鏡は、例えばＳｉＣなど平面または曲面に
形成された基板（１）と、この基板（１）上に着設され
た多層膜（２）と、この多層膜（２）の最上層に被着さ
れた例えばＣ（炭素）などからなる極薄（１０八以下）
の保護膜（３）とからなっている。そうして、前記多層
膜（２）は、例えば密度が４ ｇ／ｃｉ以下の軽元素か
らなる一対の膜（４）、（５）が交互に例えば３１層積
層されてなるものであり、各膜（４） 、 （５）の膜
厚は、それぞれの層中におけるＸ線吸収および各層の界
面からの反射Ｘ線の位相の重なりによる反射Ｘ線の強め
合いの両者を考慮し、多層膜反射鏡全体として最も高い
反射率かえられるようにする。また、膜（４）、（５）
の材種の選択は、両者のフレネル係数の差の絶対値が大
きいこと、及び膜（５）の軽元素は複素屈折率の吸収係
数が小さいことの二つの条件を満たすようになされてい
る。さらに、多層膜の最上層は、膜（４）とするほうが
反射率が高まる。以上を考慮して、例えば波長４４．１
人のＸ線を効率よく反射するには、膜（４）は膜厚ｄＡ
４ｇ人の八１−（アルミニウム）で、また膜（５）は膜
厚ｄＢ３６人のＣ（炭素）で構成すると良い。 つぎに、上記構成の多層膜反射鏡の作用について述べる
。 多層膜（２）に対して、波長４４．７人のＸ線を投射す
る。すると、この多層膜（２）にては、反射Ｘ線が反射
率Ｒで反射する。このときの入射角θと反射率Ｒとの関
係を第２図に示す。すなわち、この第２図が示すように
、１４″の入射角で極大の反射率１９．５％を得ること
ができる。この反射率では、ＳＯＲ分光用、Ｘ線顕微鏡
用などのｘＩｌ用光学系として、十分使用できるものと
なる。しかも、膜（４） 、 （５）は、複素屈折率の
吸収係数が小さい軽元素からなっているので、Ｘ線によ
る昇温蓄熱が小さくなり、反射鏡全体の冷却が容易とな
る。 なお、膜（４）、（５）の膜厚は、必ずしも一定でなく
てもよい。さらに、多層膜を構成する膜対の組み合わせ
は、波長４４．７人のＸ線に対してはＡｉ／Ｃａ、Ａ
Ｉ／Ｌ ｉ、Ｂ／Ｃａ、Ｂ／Ｃ，Ｂ／Ｌ ｔ。 ５ ｉ／Ｃａ、Ｓ ｉ／Ｃ，Ｓ ｉ／Ｌ ｔ、Ｂｅ／Ｃ
。 Ｂｅ／Ｃａ、Ｂｅ／Ｌｉ等、密度４ｇ／ｄ以下で融点１
００℃以上のものの組合せであるならばどのようなもの
でもよい。
本発明の多層膜反射鏡は、膜対が、複素屈折率の係数が
小さい軽元素からなっているので、Ｘ線による昇温蓄熱
が小さくなり、水冷などによる反射鏡の冷却が容易とな
る。
小さい軽元素からなっているので、Ｘ線による昇温蓄熱
が小さくなり、水冷などによる反射鏡の冷却が容易とな
る。
（２）：多層膜
（３）、（４） 、膜
Claims (1)
- 鏡面が形成された基板と、上記鏡面上に形成された多層
膜とを具備し、上記多層膜は、密度が４ｇ／ｃｍ＾２以
下かつ融点１００℃以上の種類の異なる軽元素からなる
一対の膜が積層されてなることを特徴とする多層膜反射
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28750489A JPH03148601A (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 多層膜反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28750489A JPH03148601A (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 多層膜反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03148601A true JPH03148601A (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=17718196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28750489A Pending JPH03148601A (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 多層膜反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03148601A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5505805A (en) * | 1992-03-05 | 1996-04-09 | Industrieanlagen-Betriebsgesellschaft Gmbh | Method for the production of reflectors |
| US5825565A (en) * | 1992-03-05 | 1998-10-20 | Industrieanlagen-Betriebsgesellschaft Gmbh | Reflector |
-
1989
- 1989-11-06 JP JP28750489A patent/JPH03148601A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5505805A (en) * | 1992-03-05 | 1996-04-09 | Industrieanlagen-Betriebsgesellschaft Gmbh | Method for the production of reflectors |
| US5825565A (en) * | 1992-03-05 | 1998-10-20 | Industrieanlagen-Betriebsgesellschaft Gmbh | Reflector |
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