JPH0315038B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〓産業上の利用分野〓 本発明は完全乾式気密真空ポンプに関する。

〓従来の技術〓 金属ベローにより気密となる完全乾式の渦巻タ
イプのポンプは公知である。この種のポンプは特
に、フランス特許2141402及び2153129、並びに対
応する西ドイツ特許2225327及び米国特許3802809
に記載されている。これらのポンプは大気圧で排
出可能であるが、残余限定真空度約10Pa
（10^-1mb）を達成する。

これらの特許は、乾式渦巻ポンプを合成材料の
ダイアフラムを持つポンプと組合せて、約
10^-1Pa（10^-3mb）の限定真空度を達成可能にする
提案をしている。

しかし、この解決法は合成材料のダイアフラム
と適合する気体の排出に制限される。腐蝕性また
は放射性の気体の排出、例えばポンプ動作部が完
全に金属でできているもののみが使用される。ウ
ラン凝縮や核融合反応に使われる気体の排出には
適用できない。

金属ベローの交互の圧縮を利用し、前記のタイ
プの渦巻ポンプと組合せて、腐蝕性及び放射性ガ
スを同程度の限定真空度（10^-1Pa）まで排出す
ることを可能にする乾式ポンプも公知である。し
かし、これらのベロータイプのポンプの性能はベ
ローの近くに必然的に残る残余量のために制限さ
れる。

最後に、例えばフランス特許1457688または米
国特許2021156に記載される異なるタイプのダイ
アフラム・ポンプが公知である。

これらの特許に記載された装置は、ダイアフラ
ムの内側折曲部に遊嵌される１つか複数の硬直な
輪を含んでいる。合成材料のダイアフラムの使用
により発生する上述した欠点を別にしても、この
輪の存在はダイアフラムの急速な損耗を引起こ
し、特に本発明の説明で明らかにする適用に不適
当である。

本発明の目的は、ポンプ動作部が金属製で性能
が改良された新しいタイプの真空ポンプを提供す
ることにある。本発明は、簡単で頑丈な構成にし
てトラブルの少ない作動を特徴とする新しい往復
動式乾式ポンプであつて、圧縮サイクル毎に吸引
された気体をほぼ全て排気することによつて限定
真空の点で高性能を達成し得るポンプに向けられ
ている。

本発明は更に、上述のタイプの乾式渦巻ポンプ
とを組合せて、腐蝕性及び放射性気体を含む全て
の気体に使用でき、公知の乾式ポンプに比べて限
定真空及び排気圧の点で著しく改良した往復動式
乾式ポンプに向けられている。

〓問題点に解決するための手段〓 本発明によれば、吸入口、吐出口、輪方向の固
定端壁及び軸方向の可動端壁を有する少なくとも
１つの可変容量ポンプ室と、該吸入口から該吐出
口へ一方向に流体を流す逆流防止手段と、該ポン
プ室内に配された該ポンプ実の堅牢部に固定され
た外側部を有しかつ該端壁の１つに嵌合するよう
形成された少なくとも１つの径方向に堅く軸方向
に柔軟な環状金属部材と、該環状金属部材が固定
されかつ他端壁が離間した位置と該端壁が閉じた
位置との間を軸方向に往復運動する可動部とから
なり、該環状金属部材とこれに嵌合する該端壁が
該端変が閉じた位置においてほぼ同じ断面形状を
有することにより、それらの間の残余スペースが
可及的に小さくなるところの、完全乾式気密真空
ポンプが提供される。

ポンプ室の堅牢部の断面を、端壁が閉じた位置
において柔軟な金属部材がなす断面に一致させる
ことにより、ポンプ室にあるガスをほぼ全部排気
することができ、ポンプ室の残余量はこの方法で
最小になる。

本発明では更に、安全ベローを柔軟な金属部材
の回りに設けて堅牢部に取付けることにより、外
気から２重の金属による遮蔽を有する乾式ポンプ
が提供される。その結果、気密の環状室内に外気
圧より実質的に低い入念に選ばれた圧力が生じ、
これにより次の２つの注目すべき成果を得ること
ができる。

１ この気密室を圧力監視及び警報スイツチと連
結することにより、いずれかの柔軟な金属部材
からのどんな不慮の漏出も監視する。

２ 柔軟な金属部材がその外側部分を直接外気圧
に晒した場合に受ける疲労を減少する。

柔軟な金属部材はほぼトロイド形の横断面を有
する環状形をなし得るが、その場合には該部材
は、ベロー部のように単一部分として形成される
か、またはほぼ半トロイド形断面を有する、即ち
径方向外側に開口する（第１、第２図参照）、２
つの予め成形された金属ダイアフラムをその内側
縁部に沿つて接着することで形成される。ほぼト
ロイド形柔軟部材のこのタイプは、可動ポンプ動
作部の行程が比較的短い場合に、また比較的高い
排気圧を達成するために、より適している。

乾式ポンプのこのタイプは、好ましくは、応力
を受けない状態で予め形成された円盤から形成さ
れる別形の柔軟な金属部材を装備し得るが、その
断面形状は軸方向の柔軟性の点で最良の性能を与
え、疲労を最小限にする。この円盤の２つを中央
部で背中合せに結合することにより、ポンプ室の
容量を２倍にしながら、各々に同じ量の行程を行
なわせて上述の柔軟性の利点を保持させることが
可能となる。この２つの円盤の中央部を固定する
場合には、同じポンプ室の２つの部分を連通させ
るための穴を設けなければならない。

上述のように、本発明に係る真空ポンプの使用
は、上述の渦巻タイプのポンプと組合せる場合、
特に有利となる。

この場合、10^-2〜10^-3Pa（10^-4〜10^-5mb）の完
全に乾燥した限定真空が、使用される柔軟部材の
タイプ次第で、極めて高い排気圧と共に達成でき
る。

〓実施例〓 本発明の特徴と利点は、添附の図を参照に本発
明の実施例の記載から明白となるであろう。

第１図は、本発明の好適な実施例としての、腐
蝕性及び放射性流体までも含む全ての種類の流体
に使用可能な往復直線圧縮タイプの完全乾式気密
真空ポンプの一部を示す。

ポンプはポンプ室１を有し、その可変容量は、
この実施例では特に環状である円形のほぼトロイ
ド形の横断面を持つ、金属部材内に画成されてい
て、該金属部材は外側に開口しかつ軸方向に柔軟
性を有し、この実施例では２つの柔軟な金属環状
ダイアフラム２，３を背中合せにその内側環状縁
部４で結合することにより形成されている。この
ポンプ室は軸方向に対面する堅牢部５，６により
限定され、この堅牢部はポンプ室の軸方向の端壁
を形成し、軸Ａ−Ａに沿つて相互に離間した位置
と閉じた位置の間で往復直線運動をする。環状部
材２，３は例えば、外側部７，８において各々堅
牢部に溶接される。この堅牢部は、軸方向に対面
する互いに補足的な形状を有する中心面９，１０
と、これらと環状部材の取付部との間に環状凹所
９Ａ，１０Ａを含む。この凹所９Ａと１０Ａの形
状は非常に正確に形成され、閉じた状態の時、環
状部材２，３と非常に小さな隙間を除いて正確に
嵌合し、かつ中心面９，１０（第１図では平坦で
ある）もまた非常に小さな隙間を除いては一致さ
せなければならない。この構成によりポンプ室１
の残余量は最小に減少される。

第１図の実施例によるポンプでは、上方堅牢部
５はフレームＢに固定される。

下方堅牢部は、いわゆる“フレーム”タイプの
偏心機構１１により駆動される可動装置Ｍの一部
をなし、この機構の軸Ｘ−Ｘは軸Ａ−Ａと直交す
る。図示のように機構１１は、ボールベアリング
１１Ｃ内に係合する偏心輪１１Ｂに固定され、軸
Ｘ−Ｘと直線上にある駆動軸１１Ａを含む。可動
堅牢部６は中心面１０に平行な２つの支持面６
ａ，６ｂを含み、この両面間にボールベアリング
１１Ｃの外輪が隙間をおいて係合する。

偏心輪１１が第１図に示される下方位置から回
転すると、装置Ｍに軸方向上方の押圧力を及ぼす
が、径方向の摩擦はボールベアリング１１Ｃが支
持面６ａに対して回転することによつて消去され
る。この上昇運動が閉じた状態に対応する位置ま
で続いた後、偏心輪１１の回転は可動装置Ｍの下
降運動をおこし、これが周期的に続く。装置Ｍの
軸方向の変位は偏心輪１１の偏心率“ｅ”により
表わされる。

堅牢部５，６にはボール型の逆止弁１２，１３
が設けられ、吸入口１４Ａと吐出口１４Ｂからな
る管１４中を流体が一方向に流れるようにしてい
る。

実動作では、可動装置Ｍの上昇運動が開始する
と、環状部材２，３は非常に小さな隙間を除いて
はポンプ室の部分９Ａ，１０Ａの面と次第に嵌合
し、それと同時にポンプ室の中心面９，１０もま
た非常に小さな隙間を除いて相互に嵌合する。そ
の際、各環状金属部材は図示した如くその基本形
状を実質的に維持したまま軸方向に変位されるた
め、これに加わる応力は最小限となり、その結
果、金属疲労が抑制されることとなる。このよう
にして、ほぼ全ての気体が吐出口より排出され
る。

第２図は、上述のタイプの２つのポンプ室１，
１′が背中合せに配置された構成をなす本発明に
係るポンプを示す。上方ポンプ室１に関しては、
第１図のと同じ構成部には同じ符号を付し、ダツ
シユが付いた同様の符号は下部ポンプ室１′の対
応する構成部を示す。

ポンプ室１，１′は同軸Ａ−Ａに沿つて中心が
あり、かつ整列し、可動部６，６′は固定堅牢部
５，５′と環状部材２，３，２′，３と共にポンプ
室を形成し、共に可動装置Ｍに固定され、また可
動装置は２，３，２′，３により、特にその径方
向に硬直であることによりフレームＢに対し軸方
向に案内される。その結果、これらの室は交互に
圧縮サイクルを行ない、室１′から１へと連続的
に排気が引起こされる。

管１４Ａは可動部Ｍを貫き、ポンプ室１用の吸
入口及びポンプ室１′用…吐出口をなし、またポ
ンプ室１′は管１４Ａ，１４Ｂと直線上にある吸
入口１４Ｃに通じ、また１４Ｂはポンプ室１の吐
出管を形成する。

安全対策として、環状部材つまり柔軟な金属の
ポンプ動作部２，３，２′，３は、この環状部材
が固定されている固定及び可動堅牢部５，６に固
定された金属ベロー１５，１５′によつて囲まれ
ることが望ましい。この環状部材とベローは環状
安全室１５Ａ，１５′Ａを画成し、外部の環境か
らポンプ室を遮断する。この環状室は好ましくは
連結管１７Ａ，１７Ｂにより圧力スイツチ１６に
連結され、この圧力スイツチは環状室内に封じ込
められた指示ガスの圧力を感知るが、この圧力は
一定の上・下限値内に収まつていなければなら
ず、もし許容範囲外の値を示す場合には、何らか
の制御及び安全システムが作動されるべく、圧力
スイツチが働く。このように圧力スイツチは、ポ
ンプ室内部と外部環境を直接に連通させることな
く、環状部材やベローの破損を発見することを可
能とする。これにより、危険な気体を排気する場
合に高い安全水準を達成する。

都合のよいことに、この同じ構成は、柔軟な金
属ポンプ動作部２，３，２′，３′が、その外側面
を大気圧に直接晒した場合に受ける疲労応力を、
安全室１５，１５′Ａ内の指示ガスを大気圧より
実質的に低い圧力に保つことにより減少させる。
この都合良さは柔軟な金属ポンプ動作部の耐用年
数を増し、またそれ故ポンプ装置全体の信頼度を
増すことになる。

第３図は硬直な円盤から作られる金属ポンプ動
作部１８を示し、軸方向に最大の柔軟性、つまり
軸方向の最小の力に対して最大の軸方向の変位を
生じるような断面形状を持つよう形成される。

詳細には、金属部材１８の要求される形は、硬
直な金属円盤の一方の面に所定の水圧を加えるこ
とによつて決定され、円盤は外周と円形中心部３
３で固定させておく。この単純な形成プロセスは
軸方向に最大の柔軟性を生じる断面形状を得るこ
とを可能にしているが、柔軟部材１８を工業的に
製造する場合に必ずしも使用される必要はない。
例えば、上述のようにして決定された要求される
断面を再現するように形成された圧断機を使用し
て、同様の円盤を打ち出すことによつて得られ
る。このポンプ動作部１８は外周端７を固定部５
に、また中心部３３を適宜な方法で可動部Ｍに固
定するようになつている（第５図）。

第４図は柔軟な金属部材が第３図のそれと同一
の２つの部分１８からなり、その各中心部３３で
互いに結合され、その断面形状は変位の軸方向に
直交する面に関してほぼ対称形である。外周端
７，８は、各々堅牢部５，６に、例えば溶接など
で気密に固定されるよう設計され、また中心部３
３はこのようにして形成されたポンプ室の２つの
部分間を連通する通路３４を含む。

第５図は第２図に示されたものと類似した乾式
ポンプを示すが、２つのポンプ室１，１′は第３
図に示されたように予め形成された金属円盤から
なるポンプ動作部と固定部５，５′間に形成され
る。これらの単一部材１８，１８′は外周部７，
７′において固定部５，５′に取り付けられ、その
交互の軸方向分同は、３３，３３′において固定
される可動部Ｍによりそれらに伝達される。この
構成において、屈曲部１８は言わば可変容量室の
軸方向可動端壁を形成する。そして、上記実施例
の場合と同様に、部材１８は実質的にその基本形
状を維持したま軸方向に変位する。この実施例
は、第２図を参照して既に記載された細部、特に
ベロー１５，１５′による二重囲い、圧力スイツ
チ１６によるスペース１５Ａ，１５′Ａの監視、
閉じ込められた偏心機構を構成する偏心輪１１等
の部分を含む。第２図と異なり気体吸入及び吐出
管はポンプ本体の外にあり、フラツプまたはブレ
ードタイプの逆止弁１４ａを備えているが、これ
らの通常の解決法は往復ポンプに特有のものであ
る。

このタイプの完全乾式ポンプの信頼度及び性能
は、１８等の柔軟部材の軸方向における相当な柔
軟性に、また気密環状スペース１５Ａ，１５′Ａ
で柔軟部材の外表面を軽度に与圧することにより
柔軟部材が受ける疲労効果を減ずることに、基ず
く。

第６図は、ポンプ動作部が第４図に示された中
心部３３において固定された２つの要素１８から
なる点を除いては、第５図に示されたものと同じ
乾式ポンプの構造を示している。これらの要素１
８，１８′は、各々の外周部、７，７′，８，８′
が固定部５，５′と可動部Ｍの一部を形成する部
分６に固定され、またこの可動部は偏心機構によ
り作動されて交互の軸方向運動を柔軟要素に伝達
する。

このように構成された２要素１８からなる部分
の各々が同じ作業出力をするため、ポンプ室１の
容量は、第５図に示すような、単一の要素１８を
装備するポンプ室の容量に比べて２倍となること
に注目すべきである。要素１８が離間した位置と
閉じた位置の間を動く時、ポンプ室１の２つの部
分間を連通する通路３４は気体を全部排出するこ
とを可能にしている。この設計は第２図と第５図
に図示した構成に関して上述した様々の有利な組
合せから利益を得る。

上述タイプの完全乾式気密ポンプは単独で使用
されてもよいが、例えば他の上述の渦巻タイプの
ポンプと組合せることも有利である。第７図及び
第８図は、この種類の渦巻ポンプ１９Ａと、第５
図を参照に上述したタイプのポンプ１９Ｂとの組
合せを示す。

渦巻ポンプ１９Ａは、前述の特許（特にフラン
ス特許2141402、フランス特許2153129、西ドイツ
特許2222537、米国特許3802809）からその主要部
は良く知られているので、概要だけ後述する。

これは、鐘状部２６及び二重ベローアセンブリ
２７により閉鎖された囲いの中の、気体収入管２
５にプレート２４Ａを介して取付けられた固定渦
巻２４と、この渦巻に挿挾まれ、これとこれに組
合さられるベースプレート２４Ａに対して径方向
及び軸方向に一定の非常に小さな隙間を保ちつつ
正確な円形並進運動を行なうよう駆動される可動
渦巻２２とからなる。この円形並進運動は、同じ
偏心率“ｅ”を有する３つの偏心輪２３により伝
達されるが、この偏心輪は３つの平行シヤフト２
０に固定され、可動渦巻２２を担持する部分２２
Ａの軸方向の凹所にベアリングを介して挿入され
る。

３つのシヤフト２０の１つ２０Ａは、モータ２
１の回転により駆動され、また他のシヤフトは可
動渦巻２２を正確に案内するためだけに働く。こ
のアセンブリはフレームＢ１の内側に位置する。

排出されるべき気体は、排気されるべき室に連
結されたホース（図示せず）を通して管２５の通
路２８内に吸入される。気体は外周部で渦巻の間
に入り、渦巻間で圧縮された後、管２５と二重ベ
ローアセンブリ間の環状室２９内に軸方向へ排出
される。

この気体は、次に管３０を介してポンプ１９Ｂ
のポンプ室１，１′に導入される。

このポンプ１９Ｂは、第５図に示すポンプと同
様であつて、第７図の断面は第５図の断面と直交
しており、対応する構成部分は第５図と同じ参照
番号を付す。

上述のように、このポンプは気体を大気、容
器、または回路内へ、本発明に従い及び使用され
る柔軟部材のタイプ次第で、大気圧より高い圧力
で排気することができる。

ポンプ１９Ｂの偏心輪１１（偏心率e₁を有す）
は、モータ２１に駆動されるシヤフト２０Ａと同
直線上のシヤフト３２の回転により駆動される。
シヤフト２０と３２間は、直接にまたは減速装置
を介して連結されるが、主なポンプ作業が渦巻ポ
ンプにより、小流量の気体が加圧下に排出される
場合には、圧縮往復ポンプ１９Ｂは減速連結にお
いても充分な効率を保持する。

二重ベローアセンブリ２７の２つのベロー間の
室は管１７Ｃを介して、柔軟部材１８，１８′と
ベロー１５，１５′間の室１５Ａ，１５A′と同様
に、部材２７，１８−１８′，１５−１５′からの
漏れを見地する圧力スイツチ１６に連結され得
る。

テスト用に気密環状スペース１５Ａ，１５
A′を数10mbに制限して加圧設定した場合、柔軟
部材１８の外側面が大気圧の作用からこのように
保護され、柔軟部材の疲労度を著しく減少させる
ことができる。

以上、本発明をその好適な実施例を参照にして
記載したが、本発明はそれに限られることなく
種々の変更が可能である。柔軟性金属ポンプ動作
部の具体的構成、同じポンプ内の種々のポンプ室
配置、及び本発明に係るポンプと他のポンプ、特
に、しかし限定するものではないが、渦巻タイプ
のポンプと組合せる構造などについては、特にこ
のことが当てはまる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、２つのダイアフラムを結合して形成
されるほぼトロイド形の横断面を有する環状部材
からなる柔軟な金属ポンプ部材が、固定堅牢部と
可動堅牢部との間に配されて、環状部材と２つの
堅牢部の間のスペースの排気を行なう所の、本発
明に係るポンプの軸方向部分断面図、第２図は第
１図に示されたポンプ部分を複製し、一方のポン
プ室が最小の容量の時、他方が最大の容量とな
り、連続してポンプ動作をするように形成された
ポンプの第１図に類似の断面図、第３図は１つの
金属盤を予め成形して得られる柔軟な金属ポンプ
部材の断面図、第４図は第３図と同じもの２つを
結合して形成される柔軟な金属部材の断面図、第
５図は２つのポンプ室の各々が第３図に示される
１つの柔軟な金属部材を有しかつ第２図とは異な
つた弁の構成を有する第２図に示されたポンプと
同様なポンプの断面図、第６図は第４図に示され
た二重金属部材を有する第５図と同様の断面図、
第７図は第５図に示されたポンプと円形並進運動
する渦巻ポンプ組合せて構成される完全乾式気密
ポンプセツトを示す第８図の−線に沿つて切
断された断面図、第８図は第７図の−線に沿
つて切断された断面図である。 １……ポンプ室、２，３，１８……環状金属部
材、４……内側環状縁部、５……固定堅牢部、６
……可動堅牢部、７，８……外側部、９，１０…
…中心面、９Ａ，１０Ａ……環状凹所、１１……
偏心機構、１１Ｃ……ボールベアリング、１２，
１３……逆止弁、１４……管、１４Ａ，１４Ｃ…
…吸入口、１４……吐出口、１５……金属ベロ
ー、１５Ａ……環状安全室、１６……圧力スイツ
チ、１９Ａ……渦巻ポンプ、２０……シヤフト、
２１……モータ、２２……可動渦巻、２３……偏
心輪、２４……固定渦巻、３２……シヤフト、３
３……中心部、３４……通路、Ａ−Ａ……軸、Ｍ
……可動部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 吸入口、吐出口、軸方向の固定端壁及び軸方
   向の可動端壁を有する少なくとも１つの可変容量
   ポンプ室と、該吸入口から該吐出口へ一方向に流
   体を流す逆流防止手段と、該ポンプ室内に配され
   該ポンプ室の堅牢部に固定された外側部を有し、
   かつ該軸方向の端壁の１つに嵌合するよう形成さ
   れた少なくとも１つの径方向に堅く軸方向に柔軟
   な環状金属部材と、該環状金属部材が固定されか
   つ該軸方向の端壁が離間した位置と該軸方向の端
   壁が閉じた位置との間を軸方向に往復運動する可
   動部とからなり、該環状金属部材は基本形状を実
   質的に維持しつつ該可動部の往復運動に伴つて軸
   方向に変位し、該軸方向の端壁が閉じた位置にお
   いて該環状金属部材とこれに嵌合する該軸方向の
   端壁がほぼ同じ断面形状を有しかつ相互にほぼ当
   接することにより、該ポンプ室の残余スペースが
   可及的に小さくなることを特徴とする往復動式完
   全気密真空ポンプ。 ２ 前記少なくとも１つのポンプ室が前記環状金
   属部材の１つだけを含み、該環状金属部材の前記
   外側部が前記軸方向の固定端壁に気密的に取付け
   られ、該環状金属部材の中央部が前記可動部に固
   定されることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の往復動式完全気密真空ポンプ。 ３ 前記少なくとも１つのポンプ室が２つの前記
   環状金属部材を含み、該２つの環状金属部材は同
   様の中央部を有し、該環状金属部材の各々の断面
   形状が横断面に関してほぼ対称になるように該環
   状金属部材を該中央部において相互に結合し該環
   状金属部材の前記外側部はそれぞれ前記固定端壁
   と前記可動端壁に気密的に固定され、該結合中央
   部に通路が形成されることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の往復動式完全気密真空ポン
   プ。 ４ 前記環状金属部材がほぼトロイド形横断面を
   有する環状輪郭を有し、外側に開口して前記固定
   端壁と前記可動端壁の堅牢部に各々結合される２
   つの外側環状縁部を形成し、該端壁は前記閉じた
   位置で該環状金属部材の隣接部とほぼ同じ断面形
   状を有する環状開口を画成することを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の往復動式完全気密真
   空ポンプ。 ５ 前記環状金属部材が２つの柔軟な金属環状ダ
   イアフラムからなり、該ダイアフラムは背中合せ
   に内側環状縁部で結合されることを特徴とする特
   許請求の範囲第４項記載の往復動式完全気密真空
   ポンプ。 ６ 前記少なくとも１つのポンプ室内にある前記
   少なくとも１つの環状金属部材を囲む金属ベロー
   を更に有し、該金属ベローはポンプの固定堅牢部
   と可動堅牢部に気密的に固定されて、該ポンプ室
   を周囲の環境から遮断する少なくとも１つの環状
   安全室を画成することを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の往復動式完全気密真空ポンプ。 ７ 前記少なくとも１つの環状安全室に連結する
   圧力感知装置を更に有することを特徴とする特許
   請求の範囲第６項記載の往復動式完全気密真空ポ
   ンプ。 ８ 前記少なくとも１つの環状安全室を、前記周
   囲の環境の圧力より実質的に低い圧力に保持する
   手段を更に有することを特徴とする特許請求の範
   囲第６項記載の往復動式完全気密真空ポンプ。 ９ 前記環状金属部材の断面形状が、軸方向に最
   大の柔軟性を得るべく、金属円盤をその周辺部と
   中央部において固定して所定の水圧を加えること
   によつて得られる断面形状と同様であることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の往復動式完
   全気密真空ポンプ。 １０ 偏心機構を有し、これにより前記可動部が
   直線上を往復運動することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の往復動式完全気密真空ポン
   プ。 １１ 可動渦巻と、該可動渦巻を挿挾む固定渦巻
   と、同じ偏心率を有する３つの偏心輪と、該偏心
   輪が固定される３つの平行なシヤフトと、該シヤ
   フトの１つに連結されるモータとからなり、これ
   により該可動渦巻が円形並進運動する形式の完全
   乾式気密ポンプと組合され、前記偏心機構が搭載
   されかつ該モータに連結された該シヤフトに直線
   上に整列するシヤフトを更に有し、該偏心機構は
   該モータに連結された該シヤフトにより回転駆動
   されることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の往復動式完全気密真空ポンプ。