JPH03150421A - 液面測定方法 - Google Patents
液面測定方法Info
- Publication number
- JPH03150421A JPH03150421A JP28917989A JP28917989A JPH03150421A JP H03150421 A JPH03150421 A JP H03150421A JP 28917989 A JP28917989 A JP 28917989A JP 28917989 A JP28917989 A JP 28917989A JP H03150421 A JPH03150421 A JP H03150421A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- liquid level
- peak position
- line sensor
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 2
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の[」的
(産業上の利用分野)
この発明は、貯溜槽等に貯溜された液体の液面のレヘル
もしくはその変化量を非接触でしかも安定性良く測定す
るための液面測定方法に関する。
もしくはその変化量を非接触でしかも安定性良く測定す
るための液面測定方法に関する。
(従来の技術)
従来液体の液面を測定する方法として、液面に揺動アー
ムに結合されたフロートを浮かへて、そのフロート位置
による揺動アームの角度変化を検出するフロート方式か
あるか、接触方式であるために高精度に測定することか
不用能であると共に、別の7夜体を順次交換して処理す
るようなシステムには応用することか不適当てあり、例
えば液体か変わる毎にフロート等を清掃して測定しIt
りれはならない欠点かある。また、別の接触方式として
は、電気抵抗を液中に挿入して液レヘルて電気抵抗が変
化する原理を尾、用した電気抵抗方式もあるか、高精度
な測定か不可能であると共に、上述したような液体の交
換に刻して(J上述同様な清掃をしなりねばならない欠
点かある。
ムに結合されたフロートを浮かへて、そのフロート位置
による揺動アームの角度変化を検出するフロート方式か
あるか、接触方式であるために高精度に測定することか
不用能であると共に、別の7夜体を順次交換して処理す
るようなシステムには応用することか不適当てあり、例
えば液体か変わる毎にフロート等を清掃して測定しIt
りれはならない欠点かある。また、別の接触方式として
は、電気抵抗を液中に挿入して液レヘルて電気抵抗が変
化する原理を尾、用した電気抵抗方式もあるか、高精度
な測定か不可能であると共に、上述したような液体の交
換に刻して(J上述同様な清掃をしなりねばならない欠
点かある。
(発明か解決しようとする課題)
上述のような接触検出方式に代わるものとして、非接触
て液面を測定する方式として超音波方式と反射光の強度
を利用する測定方式とかある。
て液面を測定する方式として超音波方式と反射光の強度
を利用する測定方式とかある。
しかし、超音波方式ては例えは±0.5mmといった精
度で液面レベルを測定することか不可能であり、反射光
の強度変化を利用する場合には、反射波長の異なる複数
の液体に対して常に高精度な測定を行なうことが困難で
あると共に、外乱光の影響を受は易い欠点がある。
度で液面レベルを測定することか不可能であり、反射光
の強度変化を利用する場合には、反射波長の異なる複数
の液体に対して常に高精度な測定を行なうことが困難で
あると共に、外乱光の影響を受は易い欠点がある。
この発明は上述のような事情よりなされたものであり、
この発明の目的は、液面レベルな非接触で測定すると共
に、どのような液体か測定対象物となった場合でも、清
掃することなく同一の高い精度かつ安定的に液面レベル
を測定することができる液面測定方法を提供することに
ある。
この発明の目的は、液面レベルな非接触で測定すると共
に、どのような液体か測定対象物となった場合でも、清
掃することなく同一の高い精度かつ安定的に液面レベル
を測定することができる液面測定方法を提供することに
ある。
発明の構成
(課題を解決するための手段)
この発明は液面測定方法に関するものて、この発明の上
記目的は、液面に光を照射し、その反射光をラインセン
サで受光して受光量のピーク位置を検出し、前記ピーク
位置の変動量に基づいて前記液面レベルもしくはその変
化量を測定することによって達成される。
記目的は、液面に光を照射し、その反射光をラインセン
サで受光して受光量のピーク位置を検出し、前記ピーク
位置の変動量に基づいて前記液面レベルもしくはその変
化量を測定することによって達成される。
(作用)
この発明では液面に赤外光等の光を照射し、その反射光
をラインセンサの全体て受光するようにし、しかもライ
ンセンサての受光量を液面レベルに対応させるのではな
く、ラインセンサが受光する受光量のピーク位置を検出
し、そのピーク位置の変動量に基づいて液面レベルを測
定するようにしている。反n」光を電気信号に変換した
場合、ラインセンサ上には必らずピーク位ffff1か
とこかに在り、そのピーク位置は液面レベルが変化する
とそのレベル変化量に応して移動するため、液体の反射
率や光源の光量等の外乱に影響されることなく、安定か
つ高精度な液面の測定か可能となる。
をラインセンサの全体て受光するようにし、しかもライ
ンセンサての受光量を液面レベルに対応させるのではな
く、ラインセンサが受光する受光量のピーク位置を検出
し、そのピーク位置の変動量に基づいて液面レベルを測
定するようにしている。反n」光を電気信号に変換した
場合、ラインセンサ上には必らずピーク位ffff1か
とこかに在り、そのピーク位置は液面レベルが変化する
とそのレベル変化量に応して移動するため、液体の反射
率や光源の光量等の外乱に影響されることなく、安定か
つ高精度な液面の測定か可能となる。
(実施例)
第1図はこの発明方法を実現する装置の構造例を示して
おり、液体2は水槽1に収容されており、水槽1は定盤
3の土に載置されており、水槽1の上部には液面に光を
照aJシて受光する測定ヘッドlOか配置されている。
おり、液体2は水槽1に収容されており、水槽1は定盤
3の土に載置されており、水槽1の上部には液面に光を
照aJシて受光する測定ヘッドlOか配置されている。
測定ヘットlOは、支柱21を上下動するハイドケージ
20のアーム22を横力向に摺動てきるような構造とな
っており、ノ\イトケージ20は上下動すると共に、ア
ーム22土を左右に摺動させることによって液体2の測
定位置を自由に変えることかてきる。また、測定へ・ン
ト10の内部構成は第2図に示すように、赤外光を発光
する発光ダイオード11と、発光ダイオード11からの
光りを集光して液面に照射する投光レンズ12と、液面
からの反射光を受光する受光レンズ13と、受光レンズ
13の集束光を受光するラインセンサ14とて構成され
ており、発光ダイオード11及び投光レンズ12の光軸
と、受光レンズ13及びラインセンサ14の光軸とがあ
る角度を持って交叉するようになっている。
20のアーム22を横力向に摺動てきるような構造とな
っており、ノ\イトケージ20は上下動すると共に、ア
ーム22土を左右に摺動させることによって液体2の測
定位置を自由に変えることかてきる。また、測定へ・ン
ト10の内部構成は第2図に示すように、赤外光を発光
する発光ダイオード11と、発光ダイオード11からの
光りを集光して液面に照射する投光レンズ12と、液面
からの反射光を受光する受光レンズ13と、受光レンズ
13の集束光を受光するラインセンサ14とて構成され
ており、発光ダイオード11及び投光レンズ12の光軸
と、受光レンズ13及びラインセンサ14の光軸とがあ
る角度を持って交叉するようになっている。
ラインセンサ14は第3図で示すように駆動回路31で
駆動され、ラインセンサ14に受光された光の受光量を
電気信号に変換した読取信号RSかへ/D変換器32に
人力され、ディジタル量に変換されてメ干り33に一旦
記憶されるようになっている。メモリ33の記憶データ
は演算手段30に読出されて所定の演算かされ、ピーク
位置の検出が検出されて移動量か検出されて後、更に予
め求められているルックアップテーブル34のデータと
の対応関係からレベル検出信号LSを出力するようにな
っている。?皮面レベルとラインセンサ14におけるビ
ーり位置との相対関係を予め求めておき、そのデータを
テーブル化してルックアップテーブル34に格納してお
く。
駆動され、ラインセンサ14に受光された光の受光量を
電気信号に変換した読取信号RSかへ/D変換器32に
人力され、ディジタル量に変換されてメ干り33に一旦
記憶されるようになっている。メモリ33の記憶データ
は演算手段30に読出されて所定の演算かされ、ピーク
位置の検出が検出されて移動量か検出されて後、更に予
め求められているルックアップテーブル34のデータと
の対応関係からレベル検出信号LSを出力するようにな
っている。?皮面レベルとラインセンサ14におけるビ
ーり位置との相対関係を予め求めておき、そのデータを
テーブル化してルックアップテーブル34に格納してお
く。
このような構成において、液体2の液面が第2図の2へ
の位置にある場合、発光タイオート11から発光された
光しは投光レンズ12を経て液面2八に照射され、その
反則光L1か受光レンズ13を経てラインセンサ14て
受光されるので、その受光量は第3図の特性への如くな
り、演算手段30でピーク位置×1が測定される。すな
わち、ラインセンサ14は特性Aに応じた読取信号R5
を出力し、その読取信号R5がへ/D変換器32でディ
ジタル値に変換されてメ干す33に順次記憶されるので
、演算手段30はディジタル値の大きさを順次比較する
ことによって、特性Aのピーク位置×1を演算すること
がてきここにおいて、液体2の液面レベルか下がって第
2図の2Bのように変化すると、発光タイオートIIか
ら発光された光りの反射光はL2のようになり、その反
射光が受光レンズ13を介してラインセンサ14に受光
されると、第3図の特性Bのようにシフトした波形とな
り、前述と同様に特性Bのピーク位置×2を測定するこ
とができる。従って、この特性位置のピーク位置XI−
I X2の変化量が液面レへル2八と2Bの差りに相当
するのて、ピーク位ftの移動量と液面レベルhとの相
互関係を予め求めてルックアップデープル34に格納し
ておくことにより、ピーク位置の移動量の差(x2−
xi)から液面レベルhを演算手段30で求め、レベル
検出信号LSとして出力することができる。
の位置にある場合、発光タイオート11から発光された
光しは投光レンズ12を経て液面2八に照射され、その
反則光L1か受光レンズ13を経てラインセンサ14て
受光されるので、その受光量は第3図の特性への如くな
り、演算手段30でピーク位置×1が測定される。すな
わち、ラインセンサ14は特性Aに応じた読取信号R5
を出力し、その読取信号R5がへ/D変換器32でディ
ジタル値に変換されてメ干す33に順次記憶されるので
、演算手段30はディジタル値の大きさを順次比較する
ことによって、特性Aのピーク位置×1を演算すること
がてきここにおいて、液体2の液面レベルか下がって第
2図の2Bのように変化すると、発光タイオートIIか
ら発光された光りの反射光はL2のようになり、その反
射光が受光レンズ13を介してラインセンサ14に受光
されると、第3図の特性Bのようにシフトした波形とな
り、前述と同様に特性Bのピーク位置×2を測定するこ
とができる。従って、この特性位置のピーク位置XI−
I X2の変化量が液面レへル2八と2Bの差りに相当
するのて、ピーク位ftの移動量と液面レベルhとの相
互関係を予め求めてルックアップデープル34に格納し
ておくことにより、ピーク位置の移動量の差(x2−
xi)から液面レベルhを演算手段30で求め、レベル
検出信号LSとして出力することができる。
上述ではピーク位置の移動量から液面の変動量りを求め
る例を説明したが、予め液面レベル2Aの高さHを測定
してルックアップテーブル34に格納しておけば、ピー
ク移動量に従って液面2Bの高さ11°を演算手段30
で求めることも可能である。
る例を説明したが、予め液面レベル2Aの高さHを測定
してルックアップテーブル34に格納しておけば、ピー
ク移動量に従って液面2Bの高さ11°を演算手段30
で求めることも可能である。
又この発明の測定方法によれは、液面2Bてのラインセ
ンサ14の検出特性は第3図の特性Bであるが、その受
光量が光源もしくは光学系等の影響によって低下し、例
えは特性B′となってもピーク位置そのものは変化しな
いので、ピーク位置×2とピーク位置×1との差は変化
せず、常に正確な液面レベルもしくはその変化量を測定
することかできる。
ンサ14の検出特性は第3図の特性Bであるが、その受
光量が光源もしくは光学系等の影響によって低下し、例
えは特性B′となってもピーク位置そのものは変化しな
いので、ピーク位置×2とピーク位置×1との差は変化
せず、常に正確な液面レベルもしくはその変化量を測定
することかできる。
なお、上述ではピーク位置の検出にラインセンサを用い
ているが、エリアセンサを用いたり、スポット的な受光
素子を移動させて検出するようにしても良い。
ているが、エリアセンサを用いたり、スポット的な受光
素子を移動させて検出するようにしても良い。
発明の効果。
以上のようにこの発明の液面測定方法によれば、液面の
レベル変化による光学的変化をその光量で測定するので
はなく、ラインセンサが受光するピーク位置の移動量に
基づいて測定するようにしているため、外乱に影響され
ることなく、常に正確で安定な測定を行なうことができ
る。また反射光量等にも影響されないので、液体そのも
のが異なる種類の液体に交換されたような場合でも、1
つの光学系でしかも同一精度で測定することかできる利
点がある。
レベル変化による光学的変化をその光量で測定するので
はなく、ラインセンサが受光するピーク位置の移動量に
基づいて測定するようにしているため、外乱に影響され
ることなく、常に正確で安定な測定を行なうことができ
る。また反射光量等にも影響されないので、液体そのも
のが異なる種類の液体に交換されたような場合でも、1
つの光学系でしかも同一精度で測定することかできる利
点がある。
第1図はこの発明の測定方法を実現する装置例を示す構
成図、第2図はこの発明の詳細な説明するための図、第
3図はこの発明の測定原理及びその測定装置を示す図で
ある。 1・・・水槽、2・・・液体、lO・・・検出ヘラI・
、11・・・発光ダイオード、12・・・投光レンズ、
13・・・受光レンズ、14・・・ラインセンサ、20
・・・ハイドゲージ、21・・・支柱、22・・・アー
ム、30・・・演算手段、31・・・駆動回路、32・
・・A/D変換器、33・・・メモリ、34・・・ルッ
クアップテーブル。
成図、第2図はこの発明の詳細な説明するための図、第
3図はこの発明の測定原理及びその測定装置を示す図で
ある。 1・・・水槽、2・・・液体、lO・・・検出ヘラI・
、11・・・発光ダイオード、12・・・投光レンズ、
13・・・受光レンズ、14・・・ラインセンサ、20
・・・ハイドゲージ、21・・・支柱、22・・・アー
ム、30・・・演算手段、31・・・駆動回路、32・
・・A/D変換器、33・・・メモリ、34・・・ルッ
クアップテーブル。
Claims (1)
- 1、液面に光を照射し、その反射光をラインセンサで受
光して受光量のピーク位置を検出し、前記ピーク位置の
変動量に基づいて前記液面レベルもしくはその変化量を
測定するようにしたことを特徴とする液面測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28917989A JPH03150421A (ja) | 1989-11-07 | 1989-11-07 | 液面測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28917989A JPH03150421A (ja) | 1989-11-07 | 1989-11-07 | 液面測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03150421A true JPH03150421A (ja) | 1991-06-26 |
Family
ID=17739794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28917989A Pending JPH03150421A (ja) | 1989-11-07 | 1989-11-07 | 液面測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03150421A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005134384A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Minebea Co Ltd | 液体充填レベルの光学的測定方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS606821A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-01-14 | Hitachi Ltd | レベル検出装置 |
-
1989
- 1989-11-07 JP JP28917989A patent/JPH03150421A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS606821A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-01-14 | Hitachi Ltd | レベル検出装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005134384A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Minebea Co Ltd | 液体充填レベルの光学的測定方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Mohammad | Using ultrasonic and infrared sensors for distance measurement | |
| US4573193A (en) | Individual identification apparatus | |
| AU595937B2 (en) | Laser probe for determining distance | |
| JP2002541430A5 (ja) | ||
| DK0633456T3 (da) | Sonde til afføling af væskeniveau samt et styrekredsløb | |
| FR2859277B1 (fr) | Procede et dispositif de detection optique de position par reflexion d'un objet sur une surface quelconque | |
| UST102104I4 (en) | Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices | |
| US20060001859A1 (en) | Optical sensor | |
| JPH03150421A (ja) | 液面測定方法 | |
| JPH10197212A (ja) | 光式変位センサ、光式厚さセンサ、変位検出方法及び厚さ検出方法 | |
| CN105783738B (zh) | 一种增量式小量程位移传感器的测量方法 | |
| JP3259326B2 (ja) | 光沢度測定装置 | |
| JPH08145763A (ja) | 分注機の液面位検出装置 | |
| FI79906B (fi) | Anordning foer angivande av en vinkel eller riktning. | |
| JP3705863B2 (ja) | 高さ測定装置及び高さ測定方法 | |
| JPS6461601A (en) | Detecting device for lens displacement quantity | |
| KR100638259B1 (ko) | 광소자와 거울을 이용한 길이 측정장치 및 방법 | |
| KR0150816B1 (ko) | 광센서를 이용한 디지탈수평계 | |
| JP2970250B2 (ja) | 測距装置 | |
| JPH0631365Y2 (ja) | 材料試験機用試験片伸び測定装置 | |
| Anghel et al. | Performance Comparison of Infrared and Ultrasonic Sensors in Distance Measuring | |
| JPH09229624A (ja) | 測定装置 | |
| JP3394090B2 (ja) | 変位計 | |
| JPH035846Y2 (ja) | ||
| JPS62266405A (ja) | 透明薄膜の膜厚測定装置 |