JPH03155200A - 基板保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、真空源により基板を真空吸着して保持する基
板保持装置に関する。

（・口〉従来の技術 この種の基板保持装置が特開昭５８−２１９０５４号公
報に開示されている。

この従来技術は、互いに連通ずる多数の開口が設けられ
た印刷テーブル上にて開口に接続された材料吸引部によ
り基板を真空吸引して直接印刷テーブル上に基板を載置
させ保持するものである。

しかしながら、この方式では吸着できる位置の自由度が
少ない、このため、プリント基板の上反りの度合が小さ
い場合は良いが、大きいと吸着保持できないことがある
。

（Ａ）発明が解決しようとする課題 そこで本発明は、吸着できる位置の自由度を高めると共
に、上反りがあってもプリント基板を上方から押圧して
水平にしなくてもよい基板保持装置を提供するものであ
る。

（ニ）課題を解決するための手段 このために本発明は、真空源に連通ずる真空吸引路を有
する吸着ベースと、該吸着ベースに植設され前記吸引路
を介して真空源により吸引されるとプリント基板の裏面
を吸着保持すべく前記吸引路に連通ずる吸気路が形成さ
れた複数の支持ピンとを備えた基板保持装置に於いて、
前記支持ピンの吸気路内に上下可能に設けられて上端に
吸着パッドを有する円筒体と、前記真空源による吸引非
動作時には前記円筒体の吸着パッドが前記支持ピン上端
より上方となるように位置せしめると共に吸引動作時に
は前記プリント基板と関係して前記支持ピンの上端レベ
ルより同等以下のレベルとなるようにする制御部材とを
設けたものである。

（＊）作用 真空源による吸引非動作時には上下可能な円筒体の吸着
パッドが支持ピン上端より上方となるように制御部材が
位置せしめ、吸引動作時には制御部材はプリント基板と
関係して前記吸着パッドが前記支持ピンの上端レベルよ
り同等レベル以下となるように制御する。

（へ）実施例 第２図に於いて、（１）は本発明を適用せるスクリーン
印刷機で、（２〉はモータ（３）により回動されるポー
ルネジで、ナツト（４）に嵌合している。該ナツト（４
）には移動するスキージベース（５）が取付けられてい
て、前記モータ（３）の正逆回転により該ベース（５）
は往復移動される。

（７）（７）は前記スキージベース（５）の移動を案内
する一対のリニアガイドである。（８）はパターンが設
けられたプリント基板（９〉に電子部品（１０〉が装着
されるためのクリーム半田をスクリーン（１１）を介し
て塗布するスキージであり、前記スキージベース（５）
に取付けられている。

次に第１図に於いて、（１２）は吸着ベースであり、そ
の上面には前後左右に一定間隔に真空吸引用のベース開
口（１３）（１３）・・・が同一径の円形状で開設され
ている。該開口（１３）＜１３）・・・は吸着ベース（
１２）の内部の真空通気路（１４）を介して図示しない
真空ポンプに連通している。

（１５）は前記ベース開口（１３）（１３）・・・に着
脱可能に嵌入された支持ピンで、前記真空通気路（１４
）に連通する吸気路（１６）が貫通して形成されている
。また該ピン（１５）は、前記真空通気路（１４）に嵌
入する小径部（１５Ａ　）と該通気路（１４）より大き
な大径部（１５Ｂ）とから成り、前記小径部（１５Ａ）
の外周部には０リング（１７）が埋設され前記嵌入を密
にしている。

（１８）は前記吸気路（１６）内を上下可能な円筒体で
、その上端には漏斗状に上方が拡開したゴム等からなる
吸着パッド（１９）が設けられ、中間外周部には全周に
亘ってフランジ部り２０〉が形成されている。そして前
記支持ピン（１５）の吸気路（１６）を形成する面の一
部が切除されて凹部（２１）が形成されて前記フランジ
部（２０）が上下可能となる。

また前記凹部（２１）に連通ずるための連通路（２２）
（２３）が形成され、前記吸着ベース（１２）に設けら
れた圧縮空気路（２４）（２５）を介して圧縮空気供給
源（図示せず）に連通されている。そして前記圧縮空気
路（２４）（２５）は、切換可能にいずれかが前記圧縮
空気供給源に連通ずる。

以上の構成により、以下動作について説明する。先ずプ
リント基板（９）が第２図の左方の実線の位置にある場
合に於いて、圧縮空気供給源が下の圧縮空気路（２５）
に連通して、連通路（２３）を介して支持ピン（１５）
のフランジ部（２０）を凹部（２１）を形成する上壁に
押しつけ、吸着パッド（１９）の上端が支持ピン（１５
）の上端より上方に位置されている。

この状態で、吸着テーブル（１２）は、上下動装置によ
り上昇されると、吸着パッド〈１９〉が基板（９）に当
接する（第３図参照）。

その後、真空源により真空通気路（１４）、吸気路（１
６）を介して、プリント基板（９）は支持ピン（１５）
に吸着保持されるが、このとき圧縮空気供給源より圧縮
空気路（２４）及び連通路（２２）を介してフランジ部
（２０）に上方から・圧縮空気が加えられる。しかし吸
引力の方が強いために、円筒体（１８）は吸着パッド〈
１９）がプリント基板（９）に吸着した状態、即ち支持
ピン（１５）と吸着パッド（１９）の上端レベルが同等
レベルとなる（第４図参照）。

この後モータ（３）が運転し、ボールネジ（２）が回動
しナツト（４）に固定されたスキージベース（５）が往
動する。これに伴い、スキージベース（５）に取付けら
れたスキージ（８）がスクリーン（１１）を介してクリ
ーム半田がプリント基板（９〉上に塗布される。

然る後、吸着ベース（１２）を下降させ、下流に搬送さ
せればよい。

尚、プリント基板（９）に開口（９Ａ）があった場合の
動作について、第５図に基づき述べる。この場合、真空
源及び圧縮空気供給源により、円筒体（１８）はその下
端が吸気路（１６）の段差部に当接するまで下降した状
態となり、真空路が遮断されて、他の吸着パッドがリー
クすることはない。

次に第２の実施例を第６図及び第７図に基づき説明する
。この場合、同一番号を付したものは同一機能を有する
ものとして説明は省略する。

圧縮空気供給源に連通ずる圧縮空気路（２５〉のみであ
り、また前記凹部（２１）内にはフランジ部（２０）上
にコイルバネ（３０）を設けた実施例である。

この場合、真空源により吸引していないときには、圧縮
空気供給源による加圧によりコイルバネ（３０）に抗し
て吸着パッド（１９）を支持ピン（１５〉より上方へ突
出させ、プリント基板（９）を吸着保持し易くする。そ
して支持ピン（１５）による吸着時には、圧縮空気の供
給を止める。すると、真空源による吸着動作により確実
に吸着保持できる。プリント基板（９）に開口（９Ａ）
がある場合には、前述と同様、円筒体（１８）は吸気路
（１６）の段差部に当接した状態となる。

尚、プリント基板（９）の裏面に既にチップ状電子部品
（１０）が装着されている場合には、当該部品（１０）
の直下には前記支持ピン（１５）が配設できないので、
ベース開口（１３）には蓋体（２７）が圧入されている
。

次に第８図に基づき第３の実施例について述べる。この
第３の実施例は、圧縮空気路（２４）（２５）はなく、
前記凹部（２１）内のフランジ部（２０）の下方にコイ
ルバネ（３１）を収納した例である。即ち、真空源によ
り吸引していない場合には、コイルバネ（３１）の付勢
力により円筒体（１８）の上端を支持ピン（１５）の上
端より上方に位置せしめて、吸着パッド〈１９）により
吸着保持し易くしている。その後の吸着等については、
前述と同様である。

マウンター、デイスペンサー等に応用できる。

（ト）発明の効果 以上のように本発明は、プリント基板を吸着できる位置
の自由度が高められると共に、プリント基板に上反りが
あっても該プリント基板を上方から押圧して水平にしな
くとも、確実に吸着保持できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す縦断面図、第２図
はスクリーン印刷機の概略平面図、第３図乃至第５図は
第１の実施例の各動作を示す縦断面図、第６図及び第７
図は第２の実施例を示す縦断面図、第８図は第３の実施
例を示す縦断面図を夫々示す。 （１）・・・スクリーン印刷機、（１２）・・・吸着ベ
ース、　　（１３）・・・ベース開口、　（１４〉・・
・真空通気路、（１５）・・・支持ピン、　（１６）・
・・吸気路、　（１８）・・・円筒体、　（１９〉・・
・吸気パッド、　（２０）・・・フランジ部、（２１〉
・・・凹部、　（２２）　（２３）・・・連通路、　（
２４）（２５）・・・圧縮空気路、　　　　　　゛（３
０）（３１）・・・コイルバネ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空源に連通する真空吸引路を有する吸着ベース
   と、該吸着ベースに植設され前記吸引路を介して真空源
   により吸引されるとプリント基板の裏面を吸着保持すべ
   く前記吸引路に連通する吸気路が形成された複数の支持
   ピンとを備えた基板保持装置に於いて、前記支持ピンの
   吸気路内に上下可能に設けられて上端に吸着パッドを有
   する円筒体と、前記真空源による吸引非動作時には前記
   円筒体の吸着パッドが前記支持ピン上端より上方となる
   ように位置せしめると共に吸引動作時には前記プリント
   基板と関係して前記支持ピンの上端レベルより同等以下
   のレベルとなるようにする制御部材とを設けたことを特
   徴とする基板保持装置。